JP5224612B2 - 基板受渡装置及び基板受渡方法 - Google Patents
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Description
SA 減速センサ
SB 停止センサ
SC 基板有無検出センサ
RC1 第1ローラコンベア
RC2 第2ローラコンベア
50 架台
56 駆動ローラ
59 フリーローラ
60A 基準の位置決めアライメント
60B 確定の位置決めアライメント
65 フリーローラ駆動用シリンダ(フリーローラ移動機構)
101 搬送アームフォーク
107 インパスユニット
108 アウトパスユニット
109 2段パス多段バッファユニット
109a パスユニット多段バッファ収納部
110 搬送アーム
212 2段パスユニット部
300 コントローラ(制御手段)
Claims (10)
- 基板を水平方向に搬送可能なローラコンベアと、
基板を水平方向、鉛直方向及び鉛直軸回りに回転自在に移動可能なフォークを有する搬送アームと、を具備し、
前記ローラコンベアは、協働して基板を搬送する駆動ローラ列とフリーローラ列とを交互に並列に配列し、前記フリーローラ列を隣接する一方の前記駆動ローラ列側へ移動して、隣接する他方の駆動ローラ列とフリーローラ列の間に空間を形成するフリーローラ移動機構を具備してなり、
前記空間に前記搬送アームのフォークを搬送方向と直交する方向から挿入して、前記ローラコンベア上の基板を搬送アームに受け渡す、
ことを特徴とする基板受渡装置。 - 前記ローラコンベアの搬送経路上の下流側に配置され、基板搬送の減速開始位置を検出する減速センサ及び基板の停止位置を検出する停止センサと、前記減速センサ及び停止センサからの検出信号に基づいて前記駆動ローラの駆動機構を制御する制御手段と、を更に具備し、
前記制御部の制御信号に基づいて、前記ローラコンベアによって搬送されてきた基板を前記減速センサが検出した後、所定の時間経過後に前記駆動ローラを減速し、前記停止センサが検出した後、前記駆動ローラを停止する、ことを特徴とする請求項1記載の基板受渡装置。 - 前記制御部は、前記減速センサからの検出信号に基づいて前記フリーローラ移動機構を制御可能に形成され、前記ローラコンベアによって搬送されてきた基板を前記減速センサが検出した後、前記フリーローラ列を隣接する一方の前記駆動ローラ列側へ移動して、前記空間を形成する、ことを特徴とする請求項2記載の基板受渡装置。
- 前記ローラコンベアの搬送経路上の下流側に配設され、ローラコンベアによって搬送される基板の下流側端部の隅部に当接する可動アライメント部材を有する基板の基準位置決め用アライメント機構と、
前記ローラコンベアの搬送経路上の上流側に配設され、ローラコンベアによって搬送される基板の上流側端部の隅部に当接可能な可動アライメント部材を有する基板の確定位置決め用アライメント機構と、を更に具備することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板受渡装置。 - 基板を水平方向に搬送可能な第1ローラコンベアと、
前記第1ローラコンベアの上方に配置され、基板を水平方向に搬送可能な第2ローラコンベアと、
基板を水平方向、鉛直方向及び鉛直軸回りに回転自在に移動可能なフォークを有する搬送アームと、
基板を枚葉毎に収納可能な収納部を積層した基板収納部と、
前記搬送アームが受け渡す基板の処理ユニットと、
前記処理ユニット上の基板の有無を検出する手段と、
前記搬送アームを制御する制御手段と、を具備し、
前記第1ローラコンベアは、協働して基板を搬送する駆動ローラ列とフリーローラ列とを交互に並列に配列し、前記フリーローラ列を隣接する一方の前記駆動ローラ列側へ移動して、隣接する他方の駆動ローラ列とフリーローラ列の間に空間を形成するフリーローラ移動機構を具備し、
前記第2ローラコンベアは、前記搬送アームのフォークが挿入可能な空間をおいて並列される駆動ローラ列を具備し、
前記制御手段の制御信号に基づいて、前記処理ユニット上に基板の有りを検出した場合は、前記第1ローラコンベア上の基板を前記基板収納部へ受け渡し、
前記処理ユニット上に基板の無しを検出した場合は、前記第1ローラコンベア上の基板を前記処理ユニットへ受け渡す、
ことを特徴とする基板受渡装置。 - 前記第1ローラコンベアの搬送経路上の下流側に配置され、基板搬送の減速開始位置を検出する減速センサ及び基板の停止位置を検出する停止センサと、前記減速センサ及び停止センサからの検出信号に基づいて前記駆動ローラの駆動機構を制御する制御手段と、を更に具備し、
前記制御部の制御信号に基づいて、前記第1ローラコンベアによって搬送されてきた基板を前記減速センサが検出した後、所定の時間経過後に前記駆動ローラを減速し、前記停止センサが検出した後、前記駆動ローラを停止する、ことを特徴とする請求項5記載の基板受渡装置。 - 前記制御部は、前記減速センサからの検出信号に基づいて前記フリーローラ移動機構を制御可能に形成され、前記第1ローラコンベアによって搬送されてきた基板を前記減速センサが検出した後、前記フリーローラ列を隣接する一方の前記駆動ローラ列側へ移動して、前記空間を形成する、ことを特徴とする請求項6項記載の基板受渡装置。
- 前記第1ローラコンベアの搬送経路上の下流側に配設され、第1ローラコンベアによって搬送される基板の下流側端部の隅部に当接する可動アライメント部材を有する基板の基準位置決め用アライメント機構と、
前記第ローラコンベアの搬送経路上の上流側に配設され、第1ローラコンベアによって搬送される基板の上流側端部の隅部に当接可能な可動アライメント部材を有する基板の確定位置決め用アライメント機構と、を更に具備することを特徴とする請求項5ないし7のいずれかに記載の基板受渡装置。 - 駆動ローラ列とフリーローラ列とを交互に並列に具備するローラコンベアにより基板を水平方向に搬送する工程と、
基板を減速センサにより検出し、検出した信号に基づいて前記駆動ローラの回転を減速する工程と、
基板を停止センサにより検出し、検出した信号に基づいて前記駆動ローラの回転を所定の時間経過後に停止する工程と、
アライメント機構のアライメント部材により基板の搬送経路上の下流側の隅部を当接して基準の位置決めを行う工程と、
前記フリーローラを隣接する一方の前記駆動ローラ列側に移動して、隣接する他方の駆動ローラ列とフリーローラ列の間に空間を作る工程と、
アライメント機構のアライメント部材により基板の搬送経路上の上流側の隅部を当接して基板の位置決めを確定する工程と、
基板を水平方向、鉛直方向及び鉛直軸回りに回転自在に移動可能な搬送アームのフォークを、基板の搬送方向と直交する方向から、前記フリーローラを移動してできた空間に挿入して、ローラコンベア上の基板を搬送アームへ受け渡す工程と、
を含むことを特徴とする基板受渡方法。 - 前記減速センサが基板を検出した信号に基づいて、前記駆動ローラの回転を減速する工程の開始時期と同時期に前記フリーローラを搬送方向と同一方向に移動して搬送アームのフォークが挿入できる空間を作る工程を含むことを特徴とする請求項9項記載の基板受渡方法。
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