JP4158961B2 - ガラス基板の枚葉搬送装置 - Google Patents
ガラス基板の枚葉搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4158961B2 JP4158961B2 JP2002098349A JP2002098349A JP4158961B2 JP 4158961 B2 JP4158961 B2 JP 4158961B2 JP 2002098349 A JP2002098349 A JP 2002098349A JP 2002098349 A JP2002098349 A JP 2002098349A JP 4158961 B2 JP4158961 B2 JP 4158961B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- single wafer
- glass
- transfer device
- wafer transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板の枚葉搬送装置に関し、特に、ガラス基板を、その加工工場において、１枚ずつ搬送するために用いられるガラス基板の枚葉搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えば、液晶用ガラス基板等のガラス基板は、大形化が顕著となり、このため、ガラス基板の加工工場において、１枚ずつ加工装置に供給するようにされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この場合、ガラス基板は、大形化されるのと併せて薄形化されるため、例えば、ガラス基板の搬送装置と加工装置の間等でガラス基板の搬送を行うガラス基板の枚葉搬送装置において、ガラス基板に曲げ応力がかかると、ガラス基板が撓んで変形し品質が低下したり、撓みが大きくなるとガラス基板が破損する等の問題があった。
【０００４】
本発明は、上記のガラス基板の枚葉搬送装置が有する問題点に鑑み、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備え、ばね部材によってガラス基板に向けて付勢するようにしたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
このガラス基板の枚葉搬送装置は、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備え、ばね部材によってガラス基板に向けて付勢するようにしたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができる。
そして、特に、ローラをガラス基板に向けて付勢するばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【０００７】
この場合において、駆動機構とローラとの間に、電磁クラッチを介在することができる。
【０００８】
これにより、並設した複数個のローラ間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【０００９】
また、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することができる。
【００１０】
これにより、載置部の昇降部を上昇又は降下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入することができる空間を形成することができ、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１〜図３に、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の一実施例を示す。
このガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の少なくとも一端（本実施例においては、両端）に、移載装置のフォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２を形成するようにし、この枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面に、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２に形成した圧縮エア通路３に連通する多数の微小径のエア噴出口３１を形成することによりガラス基板Ｇをエア浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によって回転駆動されるローラ４１を備えたガラス基板移送機構４を並設し、ローラ４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するように構成している。
【００１３】
この場合において、移載装置のフォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２は、複数の固定部２１（本実施例においては、６列の固定部２１）と、昇降部２２（本実施例においては、５列の昇降部２２）とを、幅方向に交互に配して構成するようにしている。
これにより、載置部２の昇降部２２を上昇又は降下させる（本実施例においては、降下させる）ことにより、載置部２の固定部２１と昇降部２２の間に移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３を形成することができ、移載装置のフォーク５との間でのガラス基板Ｇの受け渡しを円滑に実施することができるものとなる。
そして、本実施例においては、６列の固定部２１と５列の昇降部２２で以て載置部２を構成するようにしているため、５列の移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３を形成することができ、これにより、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板Ｇを、６列の固定部２１と、５列のフォーク５との間で、ガラス基板Ｇに大きな曲げ応力がかかることなく、受け渡しを行うことができる。
なお、ガラス基板Ｇの受け渡しを行うときは、載置部２（固定部２１及び昇降部２２）の表面に形成したエア噴出口３１からのエアの噴出を停止するようにする。
【００１４】
一方、ローラ４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしたガラス基板移送機構４の駆動機構としてのモータ４２とローラ４１との間に、電磁クラッチ４３を介在することができる。
これにより、並設した複数個のローラ４１間の揃速を容易に行うことができ、ローラ４１とガラス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
【００１５】
また、ローラ４１をガラス基板Ｇに向けて付勢するばね部材４４を配設することができる。
これにより、対向するローラ４１、４１間でのガラス基板Ｇの挟持力を一定に維持することができ、ローラ４１とガラス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
【００１６】
なお、本実施例のガラス基板移送機構４は、特に限定されるものではないが、モータ４２のブラケット４５に軸支したリンク４６の一端にローラ４１を配設するとともに、他端にばね部材４４を、枚葉搬送台１又はガラス基板の載置部２側に取り付けたばねホルダ４８間に配するように設けて、ローラ４１をガラス基板Ｇに向けて付勢するし、さらに、モータ４２とローラ４１とに駆動ベルト４７を掛け渡して構成するようにしている。
【００１７】
上記の構成からなるガラス基板の枚葉搬送装置は、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面に多数の微小径のエア噴出口３１を形成し、このエア噴出口３１からエアを噴出させることによりガラス基板Ｇを浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によって回転駆動されるローラ４１を並設し、対向するローラ４１、４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板Ｇの場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板Ｇに大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができる。
【００１８】
以上、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明のガラス基板の枚葉搬送装置によれば、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備えたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができ、ガラス基板に大きな曲げ応力がかかって、ガラス基板が撓んで変形し品質が低下したり、撓みが大きくなってガラス基板が破損する等の事故が発生することを確実に防止することができる。
そして、特に、ローラをガラス基板に向けて付勢するばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【００２０】
また、駆動機構とローラとの間に、電磁クラッチを介在することにより、並設した複数個のローラ間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【００２１】
また、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することにより、載置部の昇降部を上昇又は降下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入することができる空間を形成することができ、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の一実施例を示し、（ａ）は全体の正面図、（ｂ）は全体の平面図である。
【図２】 同（ａ）は、図１（ａ）のＡ側から見た側面図（ガラス基板の載置部の昇降部が降下した状態の説明図）、（ｂ）は、図１（ａ）のＢ側から見た側面図（ガラス基板の載置部の昇降部が上昇した状態の説明図）、（ｃ）は、図１（ａ）のＣ断面図（枚葉搬送台の説明図）である。
【図３】 ガラス基板移送機構の平面図である。
【図４】 ガラス基板移送機構の正面図である。
【符号の説明】
Ｇ ガラス基板
１ 枚葉搬送台
２ ガラス基板の載置部
２１ 固定部
２２ 昇降部
２３ 空間
３ 圧縮エア通路
３１ エア噴出口
４ ガラス基板移送機構
４１ ローラ
４２ モータ（駆動機構）
４３ 電磁クラッチ
４４ ばね部材
５ 移載装置のフォーク
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板の枚葉搬送装置に関し、特に、ガラス基板を、その加工工場において、１枚ずつ搬送するために用いられるガラス基板の枚葉搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えば、液晶用ガラス基板等のガラス基板は、大形化が顕著となり、このため、ガラス基板の加工工場において、１枚ずつ加工装置に供給するようにされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この場合、ガラス基板は、大形化されるのと併せて薄形化されるため、例えば、ガラス基板の搬送装置と加工装置の間等でガラス基板の搬送を行うガラス基板の枚葉搬送装置において、ガラス基板に曲げ応力がかかると、ガラス基板が撓んで変形し品質が低下したり、撓みが大きくなるとガラス基板が破損する等の問題があった。
【０００４】
本発明は、上記のガラス基板の枚葉搬送装置が有する問題点に鑑み、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備え、ばね部材によってガラス基板に向けて付勢するようにしたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
このガラス基板の枚葉搬送装置は、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備え、ばね部材によってガラス基板に向けて付勢するようにしたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができる。
そして、特に、ローラをガラス基板に向けて付勢するばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【０００７】
この場合において、駆動機構とローラとの間に、電磁クラッチを介在することができる。
【０００８】
これにより、並設した複数個のローラ間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【０００９】
また、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することができる。
【００１０】
これにより、載置部の昇降部を上昇又は降下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入することができる空間を形成することができ、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１〜図３に、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の一実施例を示す。
このガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の少なくとも一端（本実施例においては、両端）に、移載装置のフォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２を形成するようにし、この枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面に、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２に形成した圧縮エア通路３に連通する多数の微小径のエア噴出口３１を形成することによりガラス基板Ｇをエア浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によって回転駆動されるローラ４１を備えたガラス基板移送機構４を並設し、ローラ４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するように構成している。
【００１３】
この場合において、移載装置のフォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２は、複数の固定部２１（本実施例においては、６列の固定部２１）と、昇降部２２（本実施例においては、５列の昇降部２２）とを、幅方向に交互に配して構成するようにしている。
これにより、載置部２の昇降部２２を上昇又は降下させる（本実施例においては、降下させる）ことにより、載置部２の固定部２１と昇降部２２の間に移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３を形成することができ、移載装置のフォーク５との間でのガラス基板Ｇの受け渡しを円滑に実施することができるものとなる。
そして、本実施例においては、６列の固定部２１と５列の昇降部２２で以て載置部２を構成するようにしているため、５列の移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３を形成することができ、これにより、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板Ｇを、６列の固定部２１と、５列のフォーク５との間で、ガラス基板Ｇに大きな曲げ応力がかかることなく、受け渡しを行うことができる。
なお、ガラス基板Ｇの受け渡しを行うときは、載置部２（固定部２１及び昇降部２２）の表面に形成したエア噴出口３１からのエアの噴出を停止するようにする。
【００１４】
一方、ローラ４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしたガラス基板移送機構４の駆動機構としてのモータ４２とローラ４１との間に、電磁クラッチ４３を介在することができる。
これにより、並設した複数個のローラ４１間の揃速を容易に行うことができ、ローラ４１とガラス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
【００１５】
また、ローラ４１をガラス基板Ｇに向けて付勢するばね部材４４を配設することができる。
これにより、対向するローラ４１、４１間でのガラス基板Ｇの挟持力を一定に維持することができ、ローラ４１とガラス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
【００１６】
なお、本実施例のガラス基板移送機構４は、特に限定されるものではないが、モータ４２のブラケット４５に軸支したリンク４６の一端にローラ４１を配設するとともに、他端にばね部材４４を、枚葉搬送台１又はガラス基板の載置部２側に取り付けたばねホルダ４８間に配するように設けて、ローラ４１をガラス基板Ｇに向けて付勢するし、さらに、モータ４２とローラ４１とに駆動ベルト４７を掛け渡して構成するようにしている。
【００１７】
上記の構成からなるガラス基板の枚葉搬送装置は、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面に多数の微小径のエア噴出口３１を形成し、このエア噴出口３１からエアを噴出させることによりガラス基板Ｇを浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によって回転駆動されるローラ４１を並設し、対向するローラ４１、４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板Ｇの場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板Ｇに大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができる。
【００１８】
以上、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明のガラス基板の枚葉搬送装置によれば、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備えたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することができ、ガラス基板に大きな曲げ応力がかかって、ガラス基板が撓んで変形し品質が低下したり、撓みが大きくなってガラス基板が破損する等の事故が発生することを確実に防止することができる。
そして、特に、ローラをガラス基板に向けて付勢するばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【００２０】
また、駆動機構とローラとの間に、電磁クラッチを介在することにより、並設した複数個のローラ間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することができる。
【００２１】
また、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することにより、載置部の昇降部を上昇又は降下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入することができる空間を形成することができ、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の一実施例を示し、（ａ）は全体の正面図、（ｂ）は全体の平面図である。
【図２】 同（ａ）は、図１（ａ）のＡ側から見た側面図（ガラス基板の載置部の昇降部が降下した状態の説明図）、（ｂ）は、図１（ａ）のＢ側から見た側面図（ガラス基板の載置部の昇降部が上昇した状態の説明図）、（ｃ）は、図１（ａ）のＣ断面図（枚葉搬送台の説明図）である。
【図３】 ガラス基板移送機構の平面図である。
【図４】 ガラス基板移送機構の正面図である。
【符号の説明】
Ｇ ガラス基板
１ 枚葉搬送台
２ ガラス基板の載置部
２１ 固定部
２２ 昇降部
２３ 空間
３ 圧縮エア通路
３１ エア噴出口
４ ガラス基板移送機構
４１ ローラ
４２ モータ（駆動機構）
４３ 電磁クラッチ
４４ ばね部材
５ 移載装置のフォーク
Claims (3)
- ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板をエア浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される上下に鍔を備え、ばね部材によってガラス基板に向けて付勢するようにしたローラを並設し、該ローラ間でエア浮上させたガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしたことを特徴とするガラス基板の枚葉搬送装置。
- 駆動機構とローラとの間に、電磁クラッチを介在したことを特徴とする請求項１記載のガラス基板の枚葉搬送装置。
- 移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成したことを特徴とする請求項１又は２記載のガラス基板の枚葉搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003292153A JP2003292153A (ja) | 2003-10-15 |
| JP4158961B2 true JP4158961B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=29240381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A Expired - Fee Related JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4158961B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009018917A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置、基板の受け渡し方法及び塗布方法 |
| JP5224612B2 (ja) * | 2010-09-09 | 2013-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受渡装置及び基板受渡方法 |
| JP6226641B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-11-08 | 株式会社ダン科学 | エッジ搬送機能を有する基板処理装置 |
| CN107685972B (zh) * | 2017-08-24 | 2020-01-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传送装置 |
-
2002
- 2002-04-01 JP JP2002098349A patent/JP4158961B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003292153A (ja) | 2003-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101286283B1 (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 | |
| JP4054359B2 (ja) | フィルム剥離方法と装置 | |
| JP4579071B2 (ja) | 基板用搬送除塵装置 | |
| JP5028919B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
| CN110023255B (zh) | 玻璃板的制造方法及玻璃板的折断装置 | |
| JP3851077B2 (ja) | 基板エア浮上搬送装置及びそれを用いた基板搬送方法 | |
| JP2001196438A (ja) | 薄板状材の搬送装置 | |
| JP3682396B2 (ja) | 薄板状材の定点搬送装置 | |
| TWI411567B (zh) | Floating handling device and handling system with floating handling device | |
| JP4158961B2 (ja) | ガラス基板の枚葉搬送装置 | |
| JPH09278181A (ja) | ワーク搬送装置及び搬送方法 | |
| WO2008044340A1 (fr) | Dispositif de transfert de substrat | |
| JP4229670B2 (ja) | 薄板状材の搬送方法及び装置 | |
| JP2006327819A (ja) | ガラス板の移載装置および移載方法 | |
| JP3911405B2 (ja) | シート取り出し装置とシート取り出し方法 | |
| CN101814407B (zh) | 显示面板组装装置及方法及处理作业装置及基板输送装置 | |
| JP3834469B2 (ja) | 基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法 | |
| KR20110059121A (ko) | 기판 이송 유닛과, 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
| KR101167076B1 (ko) | 기판 이송장치 | |
| JP2007246287A (ja) | 板材の縦型搬送装置 | |
| JP3853059B2 (ja) | ガラス板の保持搬送方法 | |
| JP5003107B2 (ja) | ガラス板搬送装置 | |
| JP4216029B2 (ja) | 薄板搬送装置 | |
| KR101141146B1 (ko) | 기판 반송 방법 | |
| JP2012101897A (ja) | 搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060602 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080415 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080708 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080710 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130725 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |