JP2003292153A - ガラス基板の枚葉搬送装置 - Google Patents
ガラス基板の枚葉搬送装置Info
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- JP2003292153A JP2003292153A JP2002098349A JP2002098349A JP2003292153A JP 2003292153 A JP2003292153 A JP 2003292153A JP 2002098349 A JP2002098349 A JP 2002098349A JP 2002098349 A JP2002098349 A JP 2002098349A JP 2003292153 A JP2003292153 A JP 2003292153A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 大形化及び薄形化されたガラス基板の場合で
あっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス
基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが
可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の
少なくとも一端に、移載装置のフォーク５との間でガラ
ス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２を形成したガ
ラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台１の表面に
多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス
基板Ｇを浮上させるとともに、枚葉搬送台１の両側部に
駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、ロー
ラ間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇ
を搬送するようにする。
あっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス
基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが
可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供する。 【解決手段】 ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の
少なくとも一端に、移載装置のフォーク５との間でガラ
ス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２を形成したガ
ラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台１の表面に
多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス
基板Ｇを浮上させるとともに、枚葉搬送台１の両側部に
駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、ロー
ラ間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇ
を搬送するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板の枚葉
搬送装置に関し、特に、ガラス基板を、その加工工場に
おいて、１枚ずつ搬送するために用いられるガラス基板
の枚葉搬送装置に関するものである。
搬送装置に関し、特に、ガラス基板を、その加工工場に
おいて、１枚ずつ搬送するために用いられるガラス基板
の枚葉搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、例えば、液晶用ガラス基板等のガ
ラス基板は、大形化が顕著となり、このため、ガラス基
板の加工工場において、１枚ずつ加工装置に供給するよ
うにされている。
ラス基板は、大形化が顕著となり、このため、ガラス基
板の加工工場において、１枚ずつ加工装置に供給するよ
うにされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この場合、ガラス基板
は、大形化されるのと併せて薄形化されるため、例え
ば、ガラス基板の搬送装置と加工装置の間等でガラス基
板の搬送を行うガラス基板の枚葉搬送装置において、ガ
ラス基板に曲げ応力がかかると、ガラス基板が撓んで変
形し品質が低下したり、撓みが大きくなるとガラス基板
が破損する等の問題があった。
は、大形化されるのと併せて薄形化されるため、例え
ば、ガラス基板の搬送装置と加工装置の間等でガラス基
板の搬送を行うガラス基板の枚葉搬送装置において、ガ
ラス基板に曲げ応力がかかると、ガラス基板が撓んで変
形し品質が低下したり、撓みが大きくなるとガラス基板
が破損する等の問題があった。
【０００４】本発明は、上記のガラス基板の枚葉搬送装
置が有する問題点に鑑み、大形化及び薄形化されたガラ
ス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実
に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく
搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供
することを目的とする。
置が有する問題点に鑑み、大形化及び薄形化されたガラ
ス基板の場合であっても、ガラス基板を、１枚ずつ確実
に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく
搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板
を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置の
フォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載
置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉
搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成するこ
とによりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台
の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並
設し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガ
ラス基板を搬送するようにしたことを特徴とする。
め、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置は、ガラス基板
を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置の
フォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載
置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉
搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成するこ
とによりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台
の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並
設し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガ
ラス基板を搬送するようにしたことを特徴とする。
【０００６】このガラス基板の枚葉搬送装置は、枚葉搬
送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成すること
によりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台の
両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設
し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガラ
ス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形
化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、
１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がか
かることなく搬送することができる。
送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成すること
によりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台の
両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設
し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガラ
ス基板を搬送するようにしているので、大形化及び薄形
化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、
１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がか
かることなく搬送することができる。
【０００７】この場合において、駆動機構とローラとの
間に、電磁クラッチを介在することができる。
間に、電磁クラッチを介在することができる。
【０００８】これにより、並設した複数個のローラ間の
揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との
間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行
うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装
置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することが
できる。
揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板との
間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確に行
うことができるとともに、ローラの摩耗を防止して、装
置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止することが
できる。
【０００９】また、ローラをガラス基板に向けて付勢す
るばね部材を配設することができる。
るばね部材を配設することができる。
【００１０】これにより、ローラ間でのガラス基板の挟
持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板
との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確
に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止し
て、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止する
ことができる。
持力を一定に維持することができ、ローラとガラス基板
との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確
に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止し
て、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止する
ことができる。
【００１１】また、移載装置のフォークとの間でガラス
基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部
と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することが
できる。
基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部
と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することが
できる。
【００１２】これにより、載置部の昇降部を上昇又は降
下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置の
フォークを挿入することができる空間を形成することが
でき、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け
渡しを円滑に実施することができる。
下させることにより、固定部と昇降部の間に移載装置の
フォークを挿入することができる空間を形成することが
でき、移載装置のフォークとの間でのガラス基板の受け
渡しを円滑に実施することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明のガラス基板の枚葉
搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】図１〜図３に、本発明のガラス基板の枚葉
搬送装置の一実施例を示す。このガラス基板の枚葉搬送
装置は、ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の少なく
とも一端（本実施例においては、両端）に、移載装置の
フォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板
の載置部２を形成するようにし、この枚葉搬送台１及び
ガラス基板の載置部２の表面に、枚葉搬送台１及びガラ
ス基板の載置部２に形成した圧縮エア通路３に連通する
多数の微小径のエア噴出口３１を形成することによりガ
ラス基板Ｇをエア浮上させるとともに、枚葉搬送台１及
びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモ
ータ４２によって回転駆動されるローラ４１を備えたガ
ラス基板移送機構４を並設し、ローラ４１間でガラス基
板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するよう
に構成している。
搬送装置の一実施例を示す。このガラス基板の枚葉搬送
装置は、ガラス基板Ｇを搬送する枚葉搬送台１の少なく
とも一端（本実施例においては、両端）に、移載装置の
フォーク５との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板
の載置部２を形成するようにし、この枚葉搬送台１及び
ガラス基板の載置部２の表面に、枚葉搬送台１及びガラ
ス基板の載置部２に形成した圧縮エア通路３に連通する
多数の微小径のエア噴出口３１を形成することによりガ
ラス基板Ｇをエア浮上させるとともに、枚葉搬送台１及
びガラス基板の載置部２の両側部に駆動機構としてのモ
ータ４２によって回転駆動されるローラ４１を備えたガ
ラス基板移送機構４を並設し、ローラ４１間でガラス基
板Ｇを挟持することによりガラス基板Ｇを搬送するよう
に構成している。
【００１５】この場合において、移載装置のフォーク５
との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２
は、複数の固定部２１（本実施例においては、６列の固
定部２１）と、昇降部２２（本実施例においては、５列
の昇降部２２）とを、幅方向に交互に配して構成するよ
うにしている。これにより、載置部２の昇降部２２を上
昇又は降下させる（本実施例においては、降下させる）
ことにより、載置部２の固定部２１と昇降部２２の間に
移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３
を形成することができ、移載装置のフォーク５との間で
のガラス基板Ｇの受け渡しを円滑に実施することができ
るものとなる。そして、本実施例においては、６列の固
定部２１と５列の昇降部２２で以て載置部２を構成する
ようにしているため、５列の移載装置のフォーク５を挿
入することができる空間２３を形成することができ、こ
れにより、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合で
あっても、ガラス基板Ｇを、６列の固定部２１と、５列
のフォーク５との間で、ガラス基板Ｇに大きな曲げ応力
がかかることなく、受け渡しを行うことができる。な
お、ガラス基板Ｇの受け渡しを行うときは、載置部２
（固定部２１及び昇降部２２）の表面に形成したエア噴
出口３１からのエアの噴出を停止するようにする。
との間でガラス基板Ｇを受け渡すガラス基板の載置部２
は、複数の固定部２１（本実施例においては、６列の固
定部２１）と、昇降部２２（本実施例においては、５列
の昇降部２２）とを、幅方向に交互に配して構成するよ
うにしている。これにより、載置部２の昇降部２２を上
昇又は降下させる（本実施例においては、降下させる）
ことにより、載置部２の固定部２１と昇降部２２の間に
移載装置のフォーク５を挿入することができる空間２３
を形成することができ、移載装置のフォーク５との間で
のガラス基板Ｇの受け渡しを円滑に実施することができ
るものとなる。そして、本実施例においては、６列の固
定部２１と５列の昇降部２２で以て載置部２を構成する
ようにしているため、５列の移載装置のフォーク５を挿
入することができる空間２３を形成することができ、こ
れにより、大形化及び薄形化されたガラス基板の場合で
あっても、ガラス基板Ｇを、６列の固定部２１と、５列
のフォーク５との間で、ガラス基板Ｇに大きな曲げ応力
がかかることなく、受け渡しを行うことができる。な
お、ガラス基板Ｇの受け渡しを行うときは、載置部２
（固定部２１及び昇降部２２）の表面に形成したエア噴
出口３１からのエアの噴出を停止するようにする。
【００１６】一方、ローラ４１間でガラス基板Ｇを挟持
することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしたガラ
ス基板移送機構４の駆動機構としてのモータ４２とロー
ラ４１との間に、電磁クラッチ４３を介在することがで
きる。これにより、並設した複数個のローラ４１間の揃
速を容易に行うことができ、ローラ４１とガラス基板Ｇ
との間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正
確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４
１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さら
に、発塵を防止することができるものとなる。
することによりガラス基板Ｇを搬送するようにしたガラ
ス基板移送機構４の駆動機構としてのモータ４２とロー
ラ４１との間に、電磁クラッチ４３を介在することがで
きる。これにより、並設した複数個のローラ４１間の揃
速を容易に行うことができ、ローラ４１とガラス基板Ｇ
との間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの搬送を正
確に行うことができるとともに、合成樹脂製のローラ４
１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上させ、さら
に、発塵を防止することができるものとなる。
【００１７】また、ローラ４１をガラス基板Ｇに向けて
付勢するばね部材４４を配設することができる。これに
より、対向するローラ４１、４１間でのガラス基板Ｇの
挟持力を一定に維持することができ、ローラ４１とガラ
ス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの
搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製の
ローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上さ
せ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
付勢するばね部材４４を配設することができる。これに
より、対向するローラ４１、４１間でのガラス基板Ｇの
挟持力を一定に維持することができ、ローラ４１とガラ
ス基板Ｇとの間でのスリップを防止し、ガラス基板Ｇの
搬送を正確に行うことができるとともに、合成樹脂製の
ローラ４１の摩耗を防止して、装置の耐久性を向上さ
せ、さらに、発塵を防止することができるものとなる。
【００１８】なお、本実施例のガラス基板移送機構４
は、特に限定されるものではないが、モータ４２のブラ
ケット４５に軸支したリンク４６の一端にローラ４１を
配設するとともに、他端にばね部材４４を、枚葉搬送台
１又はガラス基板の載置部２側に取り付けたばねホルダ
４８間に配するように設けて、ローラ４１をガラス基板
Ｇに向けて付勢するし、さらに、モータ４２とローラ４
１とに駆動ベルト４７を掛け渡して構成するようにして
いる。
は、特に限定されるものではないが、モータ４２のブラ
ケット４５に軸支したリンク４６の一端にローラ４１を
配設するとともに、他端にばね部材４４を、枚葉搬送台
１又はガラス基板の載置部２側に取り付けたばねホルダ
４８間に配するように設けて、ローラ４１をガラス基板
Ｇに向けて付勢するし、さらに、モータ４２とローラ４
１とに駆動ベルト４７を掛け渡して構成するようにして
いる。
【００１９】上記の構成からなるガラス基板の枚葉搬送
装置は、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面
に多数の微小径のエア噴出口３１を形成し、このエア噴
出口３１からエアを噴出させることによりガラス基板Ｇ
を浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の
載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によっ
て回転駆動されるローラ４１を並設し、対向するローラ
４１、４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラ
ス基板Ｇを搬送するようにしているので、大形化及び薄
形化されたガラス基板Ｇの場合であっても、ガラス基板
を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板Ｇに大きな曲げ応
力がかかることなく搬送することができる。
装置は、枚葉搬送台１及びガラス基板の載置部２の表面
に多数の微小径のエア噴出口３１を形成し、このエア噴
出口３１からエアを噴出させることによりガラス基板Ｇ
を浮上させるとともに、枚葉搬送台１及びガラス基板の
載置部２の両側部に駆動機構としてのモータ４２によっ
て回転駆動されるローラ４１を並設し、対向するローラ
４１、４１間でガラス基板Ｇを挟持することによりガラ
ス基板Ｇを搬送するようにしているので、大形化及び薄
形化されたガラス基板Ｇの場合であっても、ガラス基板
を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板Ｇに大きな曲げ応
力がかかることなく搬送することができる。
【００２０】以上、本発明のガラス基板の枚葉搬送装置
について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は
上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、
その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更
することができるものである。
について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は
上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、
その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更
することができるものである。
【００２１】
【発明の効果】本発明のガラス基板の枚葉搬送装置によ
れば、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を
形成することによりガラス基板を浮上させるとともに、
枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される
ローラを並設し、該ローラ間でガラス基板を挟持するこ
とによりガラス基板を搬送するようにしているので、大
形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガ
ラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな
曲げ応力がかかることなく搬送することができ、ガラス
基板に大きな曲げ応力がかかって、ガラス基板が撓んで
変形し品質が低下したり、撓みが大きくなってガラス基
板が破損する等の事故が発生することを確実に防止する
ことができる。
れば、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を
形成することによりガラス基板を浮上させるとともに、
枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動される
ローラを並設し、該ローラ間でガラス基板を挟持するこ
とによりガラス基板を搬送するようにしているので、大
形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガ
ラス基板を、１枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな
曲げ応力がかかることなく搬送することができ、ガラス
基板に大きな曲げ応力がかかって、ガラス基板が撓んで
変形し品質が低下したり、撓みが大きくなってガラス基
板が破損する等の事故が発生することを確実に防止する
ことができる。
【００２２】また、駆動機構とローラとの間に、電磁ク
ラッチを介在することにより、並設した複数個のローラ
間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板
との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確
に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止し
て、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止する
ことができる。
ラッチを介在することにより、並設した複数個のローラ
間の揃速を容易に行うことができ、ローラとガラス基板
との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬送を正確
に行うことができるとともに、ローラの摩耗を防止し
て、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防止する
ことができる。
【００２３】また、ローラをガラス基板に向けて付勢す
るばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス
基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガ
ラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬
送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を
防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防
止することができる。
るばね部材を配設することにより、ローラ間でのガラス
基板の挟持力を一定に維持することができ、ローラとガ
ラス基板との間でのスリップを防止し、ガラス基板の搬
送を正確に行うことができるとともに、ローラの摩耗を
防止して、装置の耐久性を向上させ、さらに、発塵を防
止することができる。
【００２４】また、移載装置のフォークとの間でガラス
基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部
と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することに
より、載置部の昇降部を上昇又は降下させることによ
り、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入す
ることができる空間を形成することができ、移載装置の
フォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施
することができる。
基板を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部
と、昇降部とを、幅方向に交互に配して構成することに
より、載置部の昇降部を上昇又は降下させることによ
り、固定部と昇降部の間に移載装置のフォークを挿入す
ることができる空間を形成することができ、移載装置の
フォークとの間でのガラス基板の受け渡しを円滑に実施
することができる。
【図１】本発明の本発明のガラス基板の枚葉搬送装置の
一実施例を示し、（ａ）は全体の正面図、（ｂ）は全体
の平面図である。
一実施例を示し、（ａ）は全体の正面図、（ｂ）は全体
の平面図である。
【図２】同（ａ）は、図１（ａ）のＡ側から見た側面図
（ガラス基板の載置部の昇降部が降下した状態の説明
図）、（ｂ）は、図１（ａ）のＢ側から見た側面図（ガ
ラス基板の載置部の昇降部が上昇した状態の説明図）、
（ｃ）は、図１（ａ）のＣ断面図（枚葉搬送台の説明
図）である。
（ガラス基板の載置部の昇降部が降下した状態の説明
図）、（ｂ）は、図１（ａ）のＢ側から見た側面図（ガ
ラス基板の載置部の昇降部が上昇した状態の説明図）、
（ｃ）は、図１（ａ）のＣ断面図（枚葉搬送台の説明
図）である。
【図３】ガラス基板移送機構の平面図である。
【図４】ガラス基板移送機構の正面図である。
Ｇ ガラス基板
１ 枚葉搬送台
２ ガラス基板の載置部
２１ 固定部
２２ 昇降部
２３ 空間
３ 圧縮エア通路
３１ エア噴出口
４ ガラス基板移送機構
４１ ローラ
４２ モータ（駆動機構）
４３ 電磁クラッチ
４４ ばね部材
５ 移載装置のフォーク
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3F033 BA04 BB16 BC03 BC08 GA09
GB08 GD02 GE07
5F031 CA05 FA02 FA07 FA14 GA63
LA11 LA13 PA18 PA26
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少な
くとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板
を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚
葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径
のエア噴出口を形成することによりガラス基板を浮上さ
せるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって
回転駆動されるローラを並設し、該ローラ間でガラス基
板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにし
たことを特徴とするガラス基板の枚葉搬送装置。 - 【請求項２】 駆動機構とローラとの間に、電磁クラッ
チを介在したことを特徴とする請求項１記載のガラス基
板の枚葉搬送装置。 - 【請求項３】 ローラをガラス基板に向けて付勢するば
ね部材を配設したことを特徴とする請求項１又は２記載
のガラス基板の枚葉搬送装置。 - 【請求項４】 移載装置のフォークとの間でガラス基板
を受け渡すガラス基板の載置部を、複数の固定部と、昇
降部とを、幅方向に交互に配して構成したことを特徴と
する請求項１、２又は３記載のガラス基板の枚葉搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003292153A true JP2003292153A (ja) | 2003-10-15 |
| JP4158961B2 JP4158961B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=29240381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002098349A Expired - Fee Related JP4158961B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | ガラス基板の枚葉搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4158961B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009018917A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置、基板の受け渡し方法及び塗布方法 |
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