JP2008192746A - 物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】搬送具本体と、前記搬送具本体に設けられ、物品を保持する保持手段と、前記搬送具本体の前記保持手段が設けられた面以外の面に設けられ、搬送装置と接続される接続部と、を備えたことを特徴とする物品の搬送具が提供される。
【選択図】図１

Description

本発明は、物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法に関する。

フラットパネルディスプレイの製造工程、回路基板上に電子部品などを実装する工程、パチンコ機などの遊技基板の加工工程、立体形状を有する物品への絵付けやマーキングを行うの工程などでは、製造の対象となる物品の表裏を加工または処理するために、物品を反転する必要がある（例えば、特許文献１、２を参照）。

ここで、特許文献１、２などに開示されている技術においては、反転時における物品の位置ズレが考慮されておらず、その後の加工や処理時に再度位置出しを行わなければならなかった。また、反転時における物品の保護が考慮されておらず、例えば、液晶表示装置などに用いられるガラス基板のように、破損しやすいものを搬送、反転させる場合においては、物品を破損させるおそれもあった。

そこで、製造の対象となる物品を一対の保持板で挟持して、これを反転させる技術が提案されている（例えば、特許文献３を参照）。

しかしながら、特許文献３に開示されている技術においては、反転装置の前後の搬送における物品の位置ズレや保持板自体の位置ズレが考慮されていなかった。そのため、保持板で挟まれた基板（製造の対象となる物品）が搬送中にズレて位置が変わってしまったり、破損したりするおそれがあった。また、搬送中にズレた保持板の位置を再度位置決めしなければ、正確な基板（製造の対象となる物品）の位置を出すことも困難であった。
特開平１１−２８６３２５号公報 特開２００５−２４６０９１号公報 特開２００２−３０２２４８号公報

本発明は、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法を提供する。

本発明の一態様によれば、搬送具本体と、前記搬送具本体に設けられ、物品を保持する保持手段と、前記搬送具本体の前記保持手段が設けられた面以外の面に設けられ、搬送装置と接続される接続部と、を備えたことを特徴とする物品の搬送具が提供される。

また、本発明の他の一態様によれば、物品を挟持した一対の搬送具を握持し、これを回転させて前記一対の搬送具を反転させる物品の反転装置であって、前記搬送具は、上記のいずれかの物品の搬送具であること、を特徴とする物品の反転装置が提供される。

また、本発明の他の一態様によれば、上記のいずれかの物品の搬送具を略水平に支持し、
支持された前記物品の搬送具上に、物品を保持した前記物品の搬送具を載置し、前記物品を挟持した前記物品の搬送具を握持し、これを回転させて前記物品を挟持した前記物品の搬送具を反転させること、を特徴とする物品の反転方法が提供される。

また、本発明の他の一態様によれば、上記の物品の反転装置を備えたこと、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置が提供される。

さらにまた、本発明の他の一態様によれば、上記の物品の反転方法を用いること、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法が提供される。

本発明によれば、反転時のみならず搬送時においても製造の対象となる物品の位置ズレの防止や保護を図ることができる物品の搬送具、物品の反転装置、物品の反転方法、フラットパネルディスプレイの製造装置、及びフラットパネルディスプレイの製造方法が提供される。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をする。
図１は、本発明の実施の形態に係る搬送具１を説明するための模式図である。
また、図１（ａ）は、後述する搬送装置に設けられている接続手段８と搬送具１とが分離した状態、図（ｂ）は、接続手段８と搬送具１とが接続された状態を示している。
尚、説明の便宜上、製造の対象となる物品を矩形形状を有する基板Ｇとして説明する。

図１に示すように、搬送具１には、搬送具本体２が設けられている。搬送具本体２は、その平面形状が例えば略矩形となっており、また、その外径寸法が基板Ｇの外径寸法よりも大きくなっている。そのため、後述する保持手段により基板Ｇが保持されると、平面内においては、基板Ｇは搬送具本体２より外へは出ないので、外力などから保護されることになる。この場合、搬送具本体２の外径寸法は、基板Ｇの外径寸法と略同一とすることもできる。ただし、基板Ｇの保護を重視する観点からは、搬送具本体２の外径寸法を基板Ｇの外径寸法を超えるものとすることが好ましい。

基板Ｇとしては、例えば、フラットパネルディスプレイを製造するためのガラス基板、電子部品を製造するための半導体や誘電体などのウェーハ、パチンコ機などの遊技基板をはじめとする各種の物品を挙げることができる。また、説明の便宜上、搬送具本体２の平面形状を略矩形としているが、これに限定されるわけではなく、任意の形状を選択することができる。また、図１では、搬送具本体２を板状体としているが、これに限定されるわけではなく、任意の形状を選択することができる。

搬送具本体２の一方の主面には、主面と略垂直な方向に突出するように、円環状の接続部２ａが設けられている。そして、この接続部２ａの内周面２ｂと、接続手段８の先端に設けられた把持部８ａの外周面とが嵌り合うようになっている。尚、把持部８ａの外周面寸法（外径寸法）より、内周面２ｂの寸法（内径寸法）の方がわずかに大きくなっており、挿入が容易となっている。
尚、接続部２ａは、必ずしも主面に設ける必要はなく、後述する保持手段９が設けられる面以外の面に設けるようにすればよい。

把持部８ａには、例えば、コレットチャックのような機械的保持手段が設けられており、把持部８ａにより接続部２ａの内周面２ｂを保持可能となっている。尚、保持手段は、機械的なものに限定されるわけではなく、例えば、電磁力を利用したもの（例えば、電磁石など）、圧力流体を利用したもの（例えば、弾性体を空気圧で膨らませるようなもの）、真空吸着を利用したものなどを、適宜選択することができる。
また、接続時における接続手段８と搬送具１との相対的な位置精度は、把持部８ａの外周面寸法（外径寸法）と、接続部２ａの内周面寸法（内径寸法）との差の範囲内で決まるが、前述のコレットチャックのような調芯機能を有するものを保持手段として設ければ、接続時における相対的な位置精度をさらに向上させることができる。

本実施の形態においては、搬送時において、搬送装置と搬送具１とが接続手段８を介して接続されるので、基板Ｇの搬送精度を高めることができる。そのため、搬送後の再位置出しなどを省略することができ、生産性を向上させることができる。

搬送具本体２の基板Ｇと接する側の面には、基板Ｇの保持手段９が設けられている。保持手段９を設けるものとすれば、搬送具１で基板Ｇを保持することができ、搬送中における基板Ｇの位置ズレを防止することができる。
また、基板Ｇの一方の面を覆うようにして搬送させることができるので、基板に付くゴミを低減させることもできる。

図２は、保持手段９を例示するための模式断面図である。
図２に示すように、保持手段９には、平面形状が略矩形の空間であるバッファ部９ｂが設けられている。バッファ部９ｂの一方の面は、接続部２ａの内周部分と連通しており、これと対向する側には吸着部９ａが設けられている。吸着部９ａは、多孔質材料で形成されており、多孔質材料の孔を介してバッファ部９ｂと外気とが連通するようになっている。そして、吸着部９ａの吸着面（基板Ｇが吸着される面）は平坦となっている。

また、保持手段としてこのような構成を採用する場合には、前述の接続手段８と接続部２ａとが気密に接続されるようにすることが好ましい。そのようなものとしては、例えば、接続部２ａの上端面２ｃにＯリングなどの部材を設けて、接続手段８と接続部２ａとが気密に接続されるものなどを例示することができる。

一方、接続手段８には図示しない流路が設けられている。そして、接続手段８と接続部２ａとが接続されると、図示しない流路が接続部２ａの内周部分を介してバッファ部９ｂと連通するようになっている。

また、接続手段８に設けられた図示しない流路には、図示しない排気手段（例えば、排気ポンプ、真空エジェクタなど）が接続されている。そのため、接続手段８と接続部２ａとが接続された状態においては、図示しない排気手段とバッファ部９ｂとが接続されることになり、吸着部９ａを介して基板Ｇを吸着できるようになっている。
また、図２では、単一の吸着部９ａを設ける場合を例示したが、小さな吸着部９ａを複数設けるようにすることもできる。

保持する物品が基板Ｇのような板状体であり、平坦度を保ったまま保持することを考慮すれば、前述のような多孔質材料で形成される吸着部９ａとすることが好ましい。ただし、これに限定されるわけではなく、例えば、吸着部に弾性部材からなる吸着手段（例えば、吸盤など）を設けて対象となる物品を吸着させるようにすることもできる。吸着部に弾性部材からなる吸着手段を設けるものとすれば、物品側の吸着面に凹凸や曲面部分が有る場合であっても対応が容易となる。

また、保持手段自体もいわゆる真空吸着を利用するものに限定されるわけではなく、例えば、物品の外周面を機械的に保持したり、静電チャックのようなものを設けて吸着させるようにすることもできる。尚、ガラス製の基板を吸着可能な静電チャックとしては、グラジエント力を利用したものを例示することができる。

尚、保持手段の作用に圧縮空気を用いる場合（例えば、機械的保持を行うエアチャックなど）は、前述の流路に圧縮空気を流して、それを保持手段に導く手段を設けるようにすればよい。また、保持手段の作用に電気を用いる場合（例えば、静電チャックなど）は、接続手段８と接続部２ａとが接続されることで、双方に設けられた電気配線が接続されるようにすればよい。

また、接続手段８と接続部２ａとが接続されることで、保持手段９の保持力が発生可能となるが、接続手段８と接続部２ａとが分離された場合においても、保持力が維持できるように、搬送具本体２側の図示しない配管に閉止弁を設けたり、図示しない配線に電池などの電源を接続することもできる。

次に、本発明の実施の形態にかかる物品の搬送反転装置について説明をする。
尚、説明の便宜上、液晶表示パネルの基板分断工程における搬送反転装置１０を例にとり説明をする。
図３は、本発明の実施の形態にかかる搬送反転装置１０について説明をするための模式図である。
また、図４は、反転装置１２について説明をするための模式図である。

図３に示すように、搬送反転装置１０には搬送装置１１と反転装置１２とが設けられている。また、搬送装置１１の左側にはスクライブ装置１５が、右側にはブレーク装置１６が設けられている。スクライブ装置１５、ブレーク装置１６の反転装置１２側の面には、搬送具１が載置可能なテーブル１５ａ、テーブル１６ａがそれぞれ設けられている。

スクライブ装置１５は、レーザやダイヤモンドカッタを用いて基板Ｇにハーフカットのスクライブラインを入れるための装置である。また、ブレーク装置１６は、スクライブラインを入れた面とは反対側の面から工具を押しつけて、基板Ｇを分断させるための装置である。また、テーブル１５ａ、テーブル１６ａ上に載置された基板Ｇを装置内に搬入し、装置内から基板Ｇを搬出して、テーブル１５ａ、テーブル１６ａ上に載置可能な搬送装置がそれぞれに設けられている。尚、スクライブ装置１５、ブレーク装置１６には既知の装置を適用させることができるので、その説明は省略する。
搬送装置１１は、例えば、４軸制御可能なスカラ型ロボットとすることができる。搬送装置１１は、本体１１ａにその一端を回転可能に設けた第１のアーム１１ｂと、第１のアーム１１ｂの他端にその一端を回転可能に設けた第２のアーム１１ｃと、第２のアーム１１ｃの他端に設けた接続手段８と、を備えている。また、接続手段８は回転動作および上下動作が可能となっている。尚、搬送装置は、スカラ型ロボットに限定されるわけではなく、搬送機能を有する装置（例えば、直行型ロボットやガイド機能付きコンベアなど）を適宜選択することができる。

図４に示すように、反転装置１２には、反転手段１３と支持手段１４とが設けられている。反転手段１３には、基板Ｇを挟んだ一対の搬送具１を握持可能な握持手段１３ａが設けられている。握持手段１３ａの爪部１３ｂは、例えば、エアシリンダ等で矢印Ｚ１の方向に開閉可能とされており、基板Ｇを挟んだ一対の搬送具１を握持可能となっている。また、ボールネジ１３ｃをモータ１３ｄで回転させることにより、握持手段１３ａを矢印Ｘの方向に移動可能としている。そのため、後述するように搬送装置１１により、搬送具１を反転装置１２に搬入、搬出する際には、邪魔にならないように退避させることができる。そして、モータ１３ｅにより矢印Ｒ１の方向に回転させることで基板Ｇを挟んだ一対の搬送具１を反転可能としている。

支持手段１４には、先端に設けられた接続手段８を矢印Ｚ２の方向に移動可能な移動手段が設けられている。移動手段は、例えば、エアシリンダを用いたものとすることができる。ただし、これに限定されるわけではなく、例えば、モータを用いたもの、油圧シリンダを用いたものなどを適宜選択することができる。そのため、接続手段８を所定の位置まで上昇させて、搬送具１の接続部２ａと接続、支持させることで、搬送具１を水平に支持可能となっている。尚、支持手段１４に設けられる接続手段８は、前述した搬送装置に設けられる接続手段８と同様のため、その説明は省略する。

また、搬送具を略水平に支持可能であればよく、支持する部位は接続部２ａに限定されるわけではない。その場合は、支持手段１４の先端に、支持する部位に適合した部材を設けるようにすればよい。
また、搬送具を略水平に支持可能であれば、支持手段１４を別途設ける必要はない。例えば、握持手段１３ａの爪部１３ｂのうち、下方の爪部で搬送具を略水平に支持するようにしてもよい。その場合は、握持手段１３ａの爪部１３ｂのうち上方の爪部を解放し、搬送具を上方に搬出可能としたり、また、搬送具を水平方向に搬出したりすればよい。

前述した搬送装置１１の第２のアーム１１ｃには、接続手段８が設けられている。そして、接続手段８が矢印Ｒ２の方向に回転可能となっているとともに、矢印Ｚ３の方向に上下動可能となっている。そのため、搬送具１の搬送時に、第１のアーム１１ｂ、第２のアーム１１ｃが回転することで、搬送具１の回転方向の位置が変わっても、接続手段８を矢印Ｒ２の方向に回転させて、搬送具１の回転方向の位置を所定の位置に維持可能となっている。また、接続手段８を矢印Ｚ３の方向に上下動可能とすることで、反転装置１２側と搬送具１の授受が可能となっている。

次に、本実施の形態にかかる搬送具１を用いた液晶表示パネルの基板分断工程を説明する。
図５は、液晶表示パネルの集合体である基板を説明するための模式断面図である。 図５に示すように、基板Ｇは、アレイ１７とカラーフィルタ１８とを貼り合わせることで形成されている。アレイ１７は、清浄な無アルカリガラスからなるガラス基板の表面に、複数の画素を備えた画素配列を形成させたものである。また、カラーフィルタ１８は、ＲＧＢ（赤・緑・青）の３原色の微細な画素をガラス基板上に形成させたものである。

図６は、基板分断工程を説明するためのフロー図面である。
生産効率の観点から、単個の液晶パネルの集合体である基板Ｇを作成し、それを分断することで、単個の液晶パネルを製造することが行われている。

例えば、まず、図６の左側の図のように、スクライブ装置１５で所定の位置にスクライブラインＬを入れる。その後、図６の中央の図のように、スクライブラインＬに沿って、ブレーク装置１６で基板Ｇを短冊状に分断する。以後同様にして、図６の右側の図のように、短冊状の基板を単個の液晶パネルに分断する。この際、ブレーク装置１６においては、スクライブラインＬが入った面とは反対側の面から工具を押しつけて基板を分断させている。ここで、通常、スクライブ装置１５、ブレーク装置１６とも基板Ｇの上側から加工を行うので、スクライブ装置１５とブレーク装置１６との間の搬送途中で基板Ｇを反転させる必要がある。

尚、説明の便宜上、一回のスクライブ加工とブレーク加工とで基板Ｇが分断されることにしているが、実際は、２枚のガラス基板（アレイ１７、カラーフィルタ１８）が貼り合わされているため、分断には計２回のスクライブ加工とブレーク加工とが必要となる。

図７は、基板Ｇを短冊状に分断する手順を説明するためのフロー図である。
図７に示すように、まず、スクライブ装置１５に搬入された基板Ｇのアレイ１７側の面にスクライブ加工がされる。そして、ブレーク加工を行うブレーク装置１６に搬送される間に前述の反転装置１２により反転がされる。ブレーク加工によりアレイ１７が分断された基板Ｇは、スクライブ装置１５に搬送され、今度はカラーフィルタ１８側の面にスクライブ加工がされる。そして、ブレーク加工を行うブレーク装置１６に搬送される間に前述の反転装置１２により反転がされる。その後、ブレーク装置１６でブレーク加工を行い基板Ｇが短冊状に分断される。

図８は、搬送具１による搬送を説明するための模式図である。
まず、図８（ａ）に示すように、スクライブ加工が終了した基板Ｇが、スクライブ装置１５から搬出され、テーブル１５ａ上に載置される。
次に、図８（ｂ）に示すように、搬送装置１１により搬送具１ａを基板Ｇ上に移動させ、搬送具１ａを下降させることで搬送具１ａと基板Ｇとを当接させる。そして、図示しない排気手段を動作させて、吸着部９ａに基板Ｇを吸着させる。その後、搬送装置１１により搬送具１ａを上昇させ、反転装置１２の上方に移動させる。

次に、図８（ｃ）、（ｄ）に示すように、搬送具１ａを下降させて、搬送具１ａを搬送具１ｂ上に載置させる。載置させた搬送具１ａと、搬送具１ｂとは反転装置１２により一体的に１８０°回転（反転）させられる。

反転装置１２における反転動作に関しては、図４に戻ってさらに説明をする。
搬送具１ａを反転装置１２に搬入する際には、邪魔にならないように握持手段１３ａはモータ１３ｅ側に位置している。また、支持手段１４の接続手段８には搬送具１ｂが接続されており、また、その位置も上昇端（握持手段１３ａに受け渡し可能な位置）にある。

このような状態で、基板Ｇが吸着した搬送装置１１側の搬送具１ａが下降し、搬送具１ａが搬送具１ｂ上に載置される。
次に、搬送具１ａと接続手段８とが分離され、接続手段８が反転装置１２の回転半径外に退避する。尚、この際、排気手段の動作は停止されている。また、握持手段１３ａを搬送具１ａ、１ｂ側に移動させ、爪部１３ｂを閉じることで、基板Ｇを挟んだ状態で搬送具１ａ、１ｂを一体的に握持する。
次に、支持手段１４の接続手段８と搬送具１ｂとが分離され、接続手段８が反転装置１２の回転半径外に退避する。
次に、モータ１３ｅを動作させて、基板Ｇを挟んだ状態で搬送具１ａ、１ｂを一体的に１８０°回転（反転）させる。
次に、支持手段１４の接続手段８が上昇し、搬送具１ａと接続させることで搬送具１ａを支持する。その後、爪部１３ｂを開き、握持手段１３ａをモータ１３ｅ側に移動させる。 次に、搬送装置１１の接続手段８を下降させて、接続手段８と搬送具１ｂとを接続させる。そして、排気手段を動作させて搬送具１ｂの吸着部９ａに基板Ｇを吸着させる。
次に、接続手段８を上昇、移動させて、基板Ｇが吸着した搬送具１ｂをテーブル１６ａ上に移動させる。
次に、図８（ｅ）、（ｆ）に示すように、搬送具１ｂを下降させ、排気手段の動作を停止させて、基板Ｇをテーブル１６ａ上に載置させる。載置された基板Ｇは、ブレーク装置１６内に搬入され、ブレーク加工が行われる。これにより、アレイ１７側の面の分断が終了する。

次に、ブレーク加工が終了した基板Ｇをテーブル１６ａ上に搬出させる。そして、テーブル１６ａ上に搬出された基板Ｇは、搬送具１ｂにより吸着され、テーブル１５ａ上に移動、載置される。その後、前述の手順によりカラーフィルタ１８側の面の分断が行われ基板Ｇが分断される。以後必要があればこれを繰り返すことにより、所望の大きさの液晶表示パネルを得ることができる。

このように、液晶表示パネルの基板分断工程においては、スクライブ加工がされたもの、または、一方のガラス基板が分断されたものが搬送や反転されることになる。そのため、破損が起こりやすく搬送中、反転中の基板Ｇの保護が重要となる。

以上説明したように、本実施の形態によれば、基板Ｇを搬送具１からでないようにして保持することができるので、外力が基板Ｇに加わり基板Ｇが破損したり、位置がずれたりすることを防止することができる。特に、多孔質材料を用いて基板Ｇを吸着することにより、平坦度を保ったまま搬送と反転をさせることができれば、破損と位置ズレの防止効果を大幅に向上させることができる。その結果、生産効率や製品の歩留まりを大幅に改善することもできる。

また、搬送装置１１と反転装置１２との間で、搬送具を受け渡すことで搬送具の共用化を図り、その数の低減と装置の簡素化を図ることができる。
また、基板Ｇの一方の面を覆うようにして搬送させることができるので、基板に付くゴミを低減させることもできる。
また、基板Ｇを保持した状態で搬送、反転を行うことができるので基板Ｇの位置ズレ自体も少なくすることができる。

次に、本発明の実施の形態に係るフラットパネルディスプレイの製造方法について説明をする。
尚、説明の便宜上、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）カラー液晶表示パネルの製造工程について説明をする。

ＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造工程は、ＴＦＴアレイ形成工程、カラーフィルター形成工程、配向膜形成工程、基板貼り合わせ工程、液晶注入工程、基板分断工程からなる。

まず、ＴＦＴアレイ形成工程において、清浄な無アルカリガラスからなるガラス基板の表面に、複数の画素を備えた画素配列を形成させる。この画素配列を構成する画素は、ＴＦＴトランジスタ、表示電極、蓄積容量を有し、リソグラフィー技術を用いて形成させることができる。尚、ＴＦＴトランジスタ、表示電極、蓄積容量などの形成については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。

次に、カラーフィルター形成工程において、前述の画素が形成されたガラス基板と対を成すガラス基板の表面にカラーフィルターを形成させる。尚、カラーフィルターの形成法には、印刷法、電着法、パターニング法等があるが、これらの方法には既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。
次に、配向膜形成工程において、前述の画素とカラーフィルターの上にＣＶＤ (Chemical Vapor Deposition)法などを用いてポリイミド膜（透明電極）を積層させ、ラビングローラなどを用いてポリイミド膜を所定の方向に配向させて配向膜を形成させる。尚、薄膜形成やラビングなどに用いられる技術については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。

次に、基板貼り合わせ工程において、前述の配向膜上にシール剤を塗布して、画素が形成されたガラスとカラーフィルターが形成されたガラス基板とを貼り合わせる。このとき配向膜の配向方向が平行になるように貼り合わせ、ノーマリホワイトとなるようにする。尚、この基板貼り合わせに用いられる技術については、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。

次に、液晶注入工程において、前述の基板貼り合わせ工程において形成された２枚のガラス基板の間隙に液晶を注入する。尚、液晶の注入法には真空注入法などがあるが、既知の技術を適用することができるので、その説明は省略する。

以上の工程により、画素とカラーフィルターとが液晶を挟んで対向した液晶表示パネルの集合体が形成される。これが図５で説明をした基板Ｇとなる。
次に、前述した基板分断工程において、液晶表示パネルの集合体を所望の大きさの液晶表示パネルに分断する。
以上によりＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造が終了する。
本実施の形態によれば、前述したように基板分断工程における基板Ｇの破損と位置ズレを大幅に抑制することができる。その結果、生産効率や製品の歩留まりを大幅に改善することができる。

また、基板Ｇの一方の面を覆うようにして搬送させることができるので、基板に付くゴミを低減させることもできる。
尚、説明の便宜上、ＴＦＴカラー液晶表示パネルの製造方法について説明をしたが、本実施の形態に係る発明はこれに限定されるわけではなく、他のフラットパネルディスプレイ（例えば、プラズマディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなど）の製造方法にも適用させることができる。

また、本実施の形態に係る発明はウェーハの製造工程（例えば、露光工程やエッチング工程など）において、ウェーハの両面にマスクを形成させたりや加工をする場合などにも適用させることができる。
また、回路基板の両面に電子部品などを実装する工程、パチンコ機などの遊技基板の両面に絵付けをする工程、立体形状を有する物品の表面と裏面へ絵付けやマーキングをするの工程など、種々の物品の製造にも広く適用させることができる。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明をした。しかし、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
前述の具体例に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。

例えば、搬送具１、搬送反転装置１０などが備える各要素の形状、寸法、材質、配置などは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
また、基板Ｇの搬送は、略一直線であることを図示したが、これに限定されるものではなく、Ｕ字状やクランク状など適宜変更することができる。
また、前述した各具体例が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の要旨を含む限り本発明の範囲に包含される。

本発明の実施の形態に係る搬送具を説明するための模式図である。 保持手段を例示するための模式断面図である。 本発明の実施の形態にかかる搬送反転装置について説明をするための模式図である。 反転装置について説明をするための模式図である。 液晶表示パネルの集合体である基板を説明するための模式断面図である。 基板分断工程を説明するためのフロー図面である。 基板を短冊状に分断する手順を説明するためのフロー図である。 搬送具による搬送を説明するための模式図である。

符号の説明

１ 搬送具、２ 保持部、２ａ 接続部、２ｂ 内周面、８ 接続手段、８ａ 把持部、９ 保持手段、９ａ 吸着部、１０ 搬送反転装置、１１ 搬送装置、１２ 反転装置、１３ 反転部、１４ 支持部、１５ スクライブ装置、１６ ブレーク装置、Ｇ 基板

Claims (12)

1. 搬送具本体と、
   前記搬送具本体に設けられ、物品を保持する保持手段と、
   前記搬送具本体の前記保持手段が設けられた面以外の面に設けられ、搬送装置と接続される接続部と、
   を備えたことを特徴とする物品の搬送具。
2. 前記搬送具本体の外径寸法は、前記物品の外径寸法よりも大きいこと、を特徴とする請求項１記載の物品の搬送具。
3. 前記保持手段には、前記物品を吸着する吸着部が設けられ、前記吸着部は前記接続部と連通していること、を特徴とする請求項１または２に記載の物品の搬送具。
4. 前記吸着部の吸着面は平坦であること、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の物品の搬送具。
5. 前記吸着部は多孔質材料で形成されていること、を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の物品の搬送具。
6. 前記接続部と前記搬送装置とが接続されることで、前記保持手段による前記物品の保持が可能となること、を特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の物品の搬送具。
7. 物品を挟持した一対の搬送具を握持し、これを回転させて前記一対の搬送具を反転させる物品の反転装置であって、
   前記搬送具は、請求項１〜６のいずれか１つに記載の物品の搬送具であること、を特徴とする物品の反転装置。
8. さらに支持手段を備え、前記支持手段は、前記物品の搬送具に設けられた接続部を支持可能とすること、を特徴とする請求項７記載の物品の反転装置。
9. 請求項１〜６のいずれか１つに記載の物品の搬送具を略水平に支持し、
   支持された前記物品の搬送具上に、物品を保持した前記物品の搬送具を載置し、
   前記物品を挟持した前記物品の搬送具を握持し、これを回転させて前記物品を挟持した前記物品の搬送具を反転させること、を特徴とする物品の反転方法。
10. 支持手段で、前記物品の搬送具に設けられた接続部を支持すること、を特徴とする請求項９記載の物品の反転方法。
11. 請求項７または８に記載の物品の反転装置を備えたこと、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造装置。
12. 請求項９または１０に記載の物品の反転方法を用いること、を特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。

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