KR102250030B1 - 반전 장치 - Google Patents

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히로아키 요시무라
시노부 후지카와
히로시 기타하라
미츠히코 나카이시
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

과제
안정적으로 기판을 반전시킬 수 있는 반전 장치를 제공한다.
해결 수단
지지 부재 (4) 는, 제 1 유지면 (21a) 과 제 2 유지면 (21b) 이 서로 접근 및 이반하도록 제 1 유지 부재 (2a) 및 제 2 유지 부재 (2b) 를 이동할 수 있게 지지한다. 제 1 유지 부재 (2a) 및 제 2 유지 부재 (2b) 는, 제 1 유지면이 제 1 방향과 반대인 제 2 방향을 향하도록 일체적으로 회전할 수 있다.

Description

반전 장치{INVERTING APPARATUS}
본 발명은 반전 장치에 관한 것이다.
액정 장치는 액정층을 사이에 개재하도록 제 1 기판과 제 2 기판이 시일재에 의해 첩합 (貼合) 되는 첩합 기판에 의해 구성된다 (예를 들어, 특허문헌 1). 이 첩합 기판은, 생산성 등의 관점에서 일단 대형 사이즈 상태로 제작되고, 이 대형 사이즈의 기판을 필요한 사이즈로 분단하여 복수의 첩합 기판을 제작하는 것이 일반적으로 행해지고 있다.
이 첩합 기판을 분단시킬 때, 일반적으로 첩합 기판을 표리 반전시키는 공정이 필요해진다. 이 첩합 기판의 분단 방법의 일례에 대하여 설명하면, 먼저, 제 1 기판이 상측이 되도록 첩합 기판을 고정시키고, 제 1 기판에 스크라이브홈을 형성한다. 그리고, 첩합 기판을 표리 반전시켜 제 2 기판이 상측이 되도록 첩합 기판을 고정시키고, 제 2 기판측으로부터 첩합 기판을 가압하여 휘게 하여, 제 1 기판을 스크라이브홈을 따라 분단시킨다. 다음으로, 제 2 기판이 상측이 된 상태에서, 첩합 기판의 제 2 기판에 스크라이브홈을 형성한 후, 첩합 기판을 표리 반전시켜 제 1 기판이 상측이 되도록 첩합 기판을 고정시킨다. 그리고, 제 1 기판측으로부터 첩합 기판을 가압하여 휘게 하여, 제 2 기판을 스크라이브홈을 따라 분단시킨다.
일본 공개특허공보 2012-203235호
상기 서술한 바와 같이, 기판을 분단시킬 때에는, 기판을 반전시키는 처리가 필요해진다. 종래의 반전 장치는, 다음의 방법에 의해 기판을 반전시킨다. 먼저, 반전 장치는, 기판을 흡착하여 반전할 수 있는 위치까지 수평 이동하여 기판을 이동시킨다. 다음으로, 반전 장치는 반전할 수 있는 위치에 있어서 상하 반전시킴으로써 기판의 표리를 반전시킨다. 그리고, 반전 장치는, 다음 공정의 유닛까지 수평 이동하여 표리 반전된 기판을 넘겨준다. 그러나, 이와 같은 반전 장치는, 예기치 못한 트러블 등에 의해 기판을 흡착하는 흡착력이 저하되어 버릴 우려가 있고, 이 결과, 기판이 어긋나거나 낙하하거나 할 우려가 있다. 또한, 첩합 기판이 아닌 다른 기판에서도 동일한 문제를 갖고 있다.
본 발명의 과제는, 안정적으로 기판을 반전시킬 수 있는 반전 장치를 제공하는 것에 있다.
(1) 본 발명의 어느 측면에 관련된 반전 장치는, 기판을 반전시키기 위한 반전 장치로서, 제 1 유지 부재와 제 2 유지 부재와 지지 부재와 베이스 부재를 구비한다. 제 1 유지 부재는, 제 1 방향을 향하는 제 1 유지면을 갖는다. 제 2 유지 부재는, 제 1 유지면과 대향하는 제 2 유지면을 갖는다. 지지 부재는, 제 1 유지면과 제 2 유지면이 서로 접근 및 이반하도록 제 1 유지 부재 및 제 2 유지 부재 중 적어도 일방을 이동할 수 있게 지지한다. 베이스 부재는, 제 1 유지면이 제 1 방향과 반대인 제 2 방향을 향하도록 지지 부재를 회전할 수 있게 지지한다.
이 구성에 의하면, 제 1 유지 부재의 제 1 유지면과 제 2 유지 부재의 제 2 유지면에 의해 기판을 사이에 두고 유지할 수 있다. 그리고, 이 기판을 유지 한 상태에서 제 1 및 제 2 유지 부재를 일체적으로 회전시킴으로써 기판을 반전시킬 수 있다. 이와 같이, 제 1 및 제 2 유지 부재에 의해 기판을 사이에 둔 상태에서 기판을 반전시키기 때문에, 안정적으로 기판을 반전시킬 수 있다.
(2) 바람직하게는, 지지 부재는 제 1 회전 방향으로의 회전과, 상기 제 1 회전 방향과는 반대인 제 2 회전 방향으로의 회전을 교대로 실시한다. 이 구성에 의하면, 지지 부재 등에 튜브 등이 접속되어 있는 경우라 하더라도, 지지 부재의 회전에 의해 튜브가 꼬이는 것을 방지할 수 있다.
(3) 바람직하게는, 제 1 유지면 및 제 2 유지면 중 적어도 일방은, 기판을 흡착하는 흡착부를 갖는다. 이 구성에 의하면, 흡착부에 의해, 제 1 유지면 또는 제 2 유지면 상에 재치 (載置) 된 기판 등을 보다 안정적으로 유지할 수 있다.
(4) 바람직하게는, 지지 부재는, 연결부와 제 1 및 제 2 지지부를 갖는다. 제 1 지지부는, 연결부의 제 2 방향측 단부 (端部) 로부터 연장되고, 제 1 유지 부재를 지지한다. 제 2 지지부는, 연결부의 제 1 방향측 단부로부터 연장되고, 제 2 유지 부재를 지지한다.
본 발명에 의하면, 안정적으로 기판을 반전시키는 반전 장치를 제공할 수 있다.
도 1 은 반전 장치의 사시도이다.
도 2 는 반전 장치의 측면도이다.
도 3 은 반전 장치의 정면도이다.
도 4 는 반전 장치의 부분 사시도이다.
도 5 는 도 3 의 A-A 선 단면이다.
도 6 은 해제 자세에 있어서의 제 1 규제 부재의 사시도이다.
도 7 은 규제 자세에 있어서의 제 1 규제 부재의 사시도이다.
이하, 본 발명에 관련된 반전 장치의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1 은 반전 장치 (1) 의 사시도이다.
반전 장치 (1) 는, 기판 (W) 을 반전시키기 위한 장치이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 반전 장치 (1) 는 제 1 유지 부재 (2a), 제 2 유지 부재 (2b) 및 지지 부재 (4) 를 구비하고 있다. 또한, 이들 제 1 유지 부재 (2a), 제 2 유지 부재 (2b) 및 지지 부재 (4) 를 합쳐 반전 유닛 (10) 이라고 한다. 이 반전 유닛 (10) 이 회전함으로써 기판 (W) 을 반전시킨다.
반전 장치 (1) 는, 베이스 부재 (5) 와 토대 부재 (6) 와 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 를 추가로 구비하고 있다. 베이스 부재 (5) 는, 반전 유닛 (10) 을 회전할 수 있게 지지하는 부재이다. 토대 부재 (6) 는, 베이스 부재 (5) 를 이동할 수 있게 지지하는 부재이다. 제 1 및 제 2 테이블 부재 (7, 8) 는 기판 (W) 을 재치하기 위한 부재로서, 제 1 테이블 부재 (7) 에는 반전 처리 전의 기판 (W) 이 재치되고, 제 2 테이블 부재 (8) 에는 반전 처리 후의 기판 (W) 이 재치된다. 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 는 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에는, 반전 유닛 (10) 이 배치되어 있다. 이하, 각 부재에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2 는 반전 장치 (1) 의 측면도, 도 3 은 반전 장치 (1) 의 정면도이다. 또한, 도 2 에서는 제 1 및 제 2 테이블 부재 (7, 8) 등의 기재를 생략하고 있다. 또, 이하의 설명에 있어서,「전방」이란 도 2 의 좌측을 의미하고,「후방」이란 도 2 의 우측을 의미한다. 통상적으로, 작업자는 반전 장치 (1) 의 전방에서 작업을 실시한다.
도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유지 부재 (2a) 및 제 2 유지 부재 (2b) 는, 기판 (W) 을 유지하기 위한 부재이다. 구체적으로는, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 의해 기판 (W) 을 협지함으로써 기판 (W) 을 유지한다.
제 1 유지 부재 (2a) 는, 평면에서 볼 때 사각형상의 부재로, 제 1 유지면 (21a) 과 이면 (22a) 을 갖고 있다. 제 1 유지면 (21a) 은 제 1 방향을 향하고 있고, 이면 (22a) 은 제 1 방향과는 반대인 제 2 방향을 향하고 있다. 구체적으로는, 반전 유닛 (10) 에 기판 (W) 의 공급을 기다리고 있는 대기 상태, 즉 반전 처리를 실시하고 있지 않은 상태에 있어서, 제 1 유지면 (21a) 은 하방 또는 상방을 향하고 있고, 이면 (22a) 은 상방 또는 하방을 향하고 있다. 또한, 도 2 및 도 3 에 있어서는, 제 1 유지면 (21a) 은 하방을 향하고 있고, 이면 (22a) 은 상방을 향하고 있다.
제 1 유지면 (21a) 은, 기판 (W) 등을 흡착하기 위한 흡착면을 구성하고 있다. 구체적으로는, 제 1 유지면 (21a) 에는 복수의 구멍부가 형성되어 있고, 각 구멍부로부터 공기를 빨아들임으로써 제 1 유지면 (21a) 상에 재치된 것을 흡착한다. 제 1 유지 부재 (2a) 는, 대향하는 1 쌍의 단부에 있어서, 복수의 절결 (23a) 이 형성되어 있다 (도 4 참조).
제 2 유지 부재 (2b) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 를 회전축 (C) 을 중심으로 180 도 회전시킨 것과 기본적으로 동일한 구성이기 때문에, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 제 2 유지 부재 (2b) 의 각 부품에는, 대응하는 제 1 유지 부재 (2a) 의 각 부품과 동일한 부호 (말미만이 상이) 가 부여되어 있다. 또한, 제 1 유지 부재 (2a) 의 각 부품은 말미에「a」를 갖는 부호가 부여되어 있는 한편, 제 2 유지 부재 (2b) 의 각 부품은 말미에「b」를 갖는 부호가 부여되어 있다.
지지 부재 (4) 는, 제 1 유지면 (21a) 과 제 2 유지면 (21b) 이 서로 접근 및 이반하도록 제 1 유지 부재 (2a) 및 제 2 유지 부재 (2b) 를 이동할 수 있게 지지하고 있다. 상세하게는, 지지 부재 (4) 는, 연결부 (41) 와 제 1 지지부 (42a) 와 제 2 지지부 (42b) 를 갖는다. 연결부 (41) 는, 정면에서 볼 때 대략 사각형상이다.
제 1 지지부 (42a) 는, 연결부 (41) 의 제 2 방향 측의 단부로부터 전방을 향하여 연장되어 있다. 또, 제 2 지지부 (42b) 는, 연결부 (41) 의 제 1 방향 측의 단부로부터 전방을 향하여 연장되어 있다. 제 1 지지부 (42a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 를 이동할 수 있게 지지하고 있다. 제 1 유지 부재 (2a) 는, 제 1 지지부 (42a) 에 대해 접근 및 이반하도록 이동한다.
도 4 는, 반전 장치 (1) 의 부분 사시도이다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 지지부 (42a) 는, 1 쌍의 측벽부 (421a, 422a) 와 전벽부 (423a) 와 플레이트부 (424a) 를 갖고 있다. 1 쌍의 측벽부 (421a, 422a) 는 대향하여 배치되어 있고, 연결부 (41) 로부터 전방으로 연장되어 있다. 1 쌍의 측벽부 (421a, 422a) 의 전단끼리를 연결하도록 전벽부 (423a) 가 연장되어 있다. 플레이트부 (424a) 는, 1 쌍의 측벽부 (421a, 422a) 사이에 걸쳐 연장되어 있고, 1 쌍의 측벽부 (421a, 422a) 에 고정되어 있다.
제 1 지지부 (42a) 는, 슬라이딩 구동부 (425a) 와 복수 개 (예를 들어, 4 개) 의 가이드 로드 (426a) 를 추가로 갖고 있다. 슬라이딩 구동부 (425a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 를 구동시켜, 제 1 유지 부재 (2a) 를 제 1 방향으로 이동시키거나 제 2 방향으로 이동시키거나 한다. 슬라이딩 구동부 (425a) 는, 플레이트부 (424a) 에 지지되어 있다. 구체적으로는, 슬라이딩 구동부 (425a) 는, 예를 들어 에어 실린더로서, 실린더 본체 (427a) 와 피스톤 로드 (428a) 를 갖고 있다. 실린더 본체 (427a) 가 플레이트부 (424a) 에 고정되어 있고, 피스톤 로드 (428a) 의 선단이 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 에 고정되어 있다. 피스톤 로드 (428a) 가 길이 방향으로 왕복동함으로써, 제 1 유지 부재 (2a) 가 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동한다.
각 가이드 로드 (426a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 의 제 1 방향 및 제 2 방향으로의 이동을 안정시키기 위한 부재이다. 상세하게는, 각 가이드 로드 (426a) 는, 선단이 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 에 고정되어 있다. 또, 각 가이드 로드 (426a) 는, 플레이트부 (424a) 에 대해 슬라이딩할 수 있게 지지되어 있다. 구체적으로는, 플레이트부 (424a) 로부터 제 2 방향으로 연장되는 복수 (예를 들어, 4 개) 의 통상부 (429a) 가 플레이트부 (424a) 에 고정되어 있다. 통상부 (429a) 의 내경은, 가이드 로드 (426a) 가 통상부 (429a) 내를 슬라이딩할 수 있을 정도로 설계된다. 플레이트부 (424a) 는, 이 통상부 (429a) 가 고정된 장소에서 관통공이 형성되어 있고, 이 관통공은 통상부 (429a) 의 관통공과 연통되어 있다. 그리고, 각 가이드 로드 (426a) 는, 각 통상부 (429a) 내를 관통함으로써, 플레이트부 (424a) 및 통상부 (429a) 에 슬라이딩할 수 있게 지지되어 있다. 또한, 가이드 로드 (426a) 의 후단부는, 통상부 (429a) 내를 통과할 수 없는 스토퍼부 (4261a) 를 갖는다. 플레이트부 (424a) 와 통상부 (429a) 는 일체적으로 형성되어 있어도 된다.
제 2 지지부 (42b) 는, 제 1 지지부 (42a) 를 회전축 (C) 을 중심으로 180 도 회전시킨 것과 기본적으로 동일한 구성이기 때문에, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 제 2 지지부 (42b) 는, 제 2 유지 부재 (2b) 를 이동할 수 있게 지지하는 것으로, 제 2 유지 부재 (2b) 는, 제 2 지지부 (42b) 에 대해 접근 및 이반하도록 이동한다. 제 2 지지부 (42b) 의 각 부품에는, 대응하는 제 1 지지부 (42a) 의 각 부품과 동일한 부호 (말미만이 상이) 가 부여되어 있다. 또한, 제 1 지지부 (42a) 의 각 부품은 말미에「a」를 갖는 부호가 부여되어 있는 한편, 제 2 지지부 (42b) 의 각 부품은 말미에「b」를 갖는 부호가 부여되어 있다.
도 5 는, 도 3 의 A-A 선 단면도이다. 또한, 도 5 에서는, 제 1 및 제 2 테이블 부재 (7, 8) 등의 기재를 생략하고 있다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 지지 부재 (4) 는, 보스부 (43) 를 추가로 갖고 있다. 보스부 (43) 는, 연결부 (41) 로부터 후방으로 연장되는 원통상의 부재로, 연결부 (41) 에 대해 볼트 등에 의해 고정되어 있다. 보스부 (43) 는, 베어링을 통해 베이스 부재 (5) 에 회전할 수 있게 지지되어 있다. 이 때문에, 지지 부재 (4) 는, 베이스 부재 (5) 에 대해 회전축 (C) 을 중심으로 회전할 수 있다.
베이스 부재 (5) 는, 베이스 본체부 (51) 와 감속부 (52) 와 슬라이드부 (53) 를 구비하고 있다. 베이스 본체부 (51) 에는, 상기 서술한 바와 같이 지지 부재 (4) 의 보스부 (43) 가 회전할 수 있게 지지되어 있다. 또, 베이스 본체부 (51) 에는, 로터리 조인트 (9) 가 장착되어 있고, 로터리 조인트 (9) 에는 회전 구동부 (11) 가 장착되어 있다. 이 회전 구동부 (11) 는, 반전 유닛 (10) 을 회전축 (C) 을 중심으로 회전시키기 위한 부재이다. 회전 구동부 (11) 에 의해 구동되는 반전 유닛 (10) 은, 시계 방향의 회전과 반시계 방향의 회전을 교대로 실시한다. 또한, 반전 유닛 (10) 의 회전 각도는 180 도이다. 이 때문에, 반전 유닛 (10) 은, 제 1 유지 부재 (2a) 가 제 2 유지 부재 (2b) 의 상방에 배치되거나, 제 1 유지 부재 (2a) 가 제 2 유지 부재 (2b) 의 하방에 배치되거나 한다. 회전 구동부 (11) 는, 예를 들어 서보 모터이다.
이 회전 구동부 (11) 의 회전은, 로터리 조인트 (9) 를 통해 감속부 (52) 에 전달되고, 감속부 (52) 에 의해 회전수가 감속된다. 감속부 (52) 는, 보스부 (43) 에 접속되어 있어, 감속된 회전을 보스부 (43) 에 전달한다. 이 결과, 회전 구동부 (11) 에 의해, 반전 유닛 (10) 을 회전시킬 수 있다. 또한, 연결부 (41), 보스부 (43) 및 감속부 (52) 에는, 회전축 (C) 을 따라 관통공이 형성되어 있기 때문에, 이 내부에 튜브를 통과시킬 수 있다. 이 튜브를 로터리 조인트에 접속하여 에어원으로부터의 에어를 튜브에 보낼 수 있다.
슬라이드부 (53) 는, 베이스 본체부 (51) 의 하단부에 형성되어 있다. 이 슬라이드부 (53) 는, 베이스 부재 (5) 를 전후 방향으로 슬라이딩시키기 위한 부재이다. 상세하게는, 토대 부재 (6) 는, 전후 방향 (도 5 의 좌우 방향) 으로 연장되는 1 쌍의 가이드 레일 (61) 을 갖고 있다. 그리고, 슬라이드부 (53) 는, 1 쌍의 가이드 레일 (61) 에 슬라이딩할 수 있게 지지된다. 이 결과, 베이스 부재 (5) 는, 토대 부재 (6) 에 대해 전후 방향으로 슬라이딩할 수 있게 된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 토대 부재 (6) 는, 구동 기구 (62) 를 갖고 있다. 이 구동 기구 (62) 에 의해, 베이스 부재 (5) 를 전후 방향 (도 2 의 좌우 방향) 으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 구동 기구 (62) 는, 볼 나사 장치로 할 수 있으며, 서보 모터 (63) 와 나사축 (64) 과 너트부 (도시 생략) 를 구비하고 있다. 서보 모터 (63) 는 나사축 (64) 을 회전 구동시킨다. 나사축 (64) 은 전후 방향으로 연장되어 있고, 복수의 볼을 통해 너트부와 나사 결합되어 있다. 너트부는, 베이스 본체부 (51) 의 바닥면에 고정되어 있다. 이 구동 기구 (62) 는, 서보 모터 (63) 가 나사축 (64) 을 회전 구동시킴으로써, 너트부가 나사축 (64) 을 따라 이동한다. 이 결과, 너트부가 고정된 베이스 부재 (5) 도 나사축 (64) 을 따라 이동한다.
베이스 부재 (5) 는, 반전 유닛 (10) 을 지지하고 있기 때문에, 베이스 부재 (5) 가 전후 방향으로 이동함으로써, 반전 유닛 (10) 도 전후 방향으로 이동한다. 이 전후 방향의 이동에 의해, 반전 유닛 (10) 은, 수취 위치와 반전 위치 사이에서 이동할 수 있게 된다. 반전 유닛 (10) 이 수취 위치에 있을 때, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에 위치하고 있다. 그리고, 구동 기구 (62) 가 작동함으로써, 반전 유닛 (10) 은 도 1 의 상태보다 후방으로 이동한다. 이 결과, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에서 벗어난다. 이 위치를 반전 위치로 한다. 반전 유닛 (10) 은, 반전 위치에서 반전 처리를 실행한다. 또한, 반전 유닛 (10) 이 반전 위치에 있을 때, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에서 완전히 벗어나 있지 않아도 되고, 예를 들어 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 의 일부가 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에 위치하고 있어도 된다.
도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 반전 장치 (1) 는, 제 1 누름 부재 (12a) 와 제 2 누름 부재 (12b) 를 추가로 구비하고 있다. 제 1 누름 부재 (12a) 및 제 2 누름 부재 (12b) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 의해 기판 (W) 을 유지하기 전에 기판 (W) 을 누르기 위한 부재이다. 또한, 제 2 유지 부재 (2b) 의 제 2 유지면 (21b) 상에 기판 (W) 이 재치되었을 때에는, 제 1 누름 부재 (12a) 에 의해 기판 (W) 을 누른다. 또, 제 1 유지 부재 (2a) 의 제 1 유지면 (21a) 상에 기판 (W) 이 재치되었을 때에는, 제 2 누름 부재 (12b) 에 의해 기판 (W) 을 누른다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 제 1 누름 부재 (12a) 는, 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 와 연결부 (122a) 와 제 1 구동부 (123a) 를 갖는다. 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 는, 연결부 (122a) 에 의해 연결되어 있다. 각 제 1 누름부 (121a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 에 형성된 관통공 (24a) (도 4 참조) 을 통해 제 1 유지면 (21a) 에 대해 진퇴할 수 있다. 즉, 각 제 1 누름부 (121a) 는, 누름 위치와 해제 위치를 취할 수 있다. 각 제 1 누름부 (121a) 가 누름 위치에 있을 때, 각 제 1 누름부 (121a) 의 선단면은, 제 1 유지면 (21a) 보다 제 1 방향측에 위치한다. 즉, 각 제 1 누름부 (121a) 의 선단면은, 제 1 유지면 (21a) 으로부터 제 2 유지면 (21b) 측으로 돌출되어 제 2 유지면 (21b) 상에 재치된 기판 (W) 등을 누른다. 또, 각 제 1 누름부 (121a) 가 해제 위치에 있을 때, 각 제 1 누름부 (121a) 의 선단면은, 제 1 유지면 (21a) 과 동일한 위치 또는 제 1 유지면 (21a) 보다 제 2 방향측에 위치한다.
제 1 구동부 (123a) 는, 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 가 누름 위치와 해제 위치를 취할 수 있도록 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 를 구동시킨다. 상세하게는, 제 1 구동부 (123a) 는, 예를 들어 에어 실린더이다. 이 제 1 구동부 (123a) 는, 실린더 본체 (1231a) 와 피스톤 (1232a) 과 슬라이더 (1233a) 를 갖는다. 피스톤 (1232a) 은, 실린더 본체 (1231a) 내를 슬라이딩한다. 슬라이더 (1233a) 는, 피스톤 (1232a) 과 연결되어 있어, 피스톤 (1232a) 과 함께 슬라이딩한다. 이 슬라이더 (1233a) 는, 실린더 본체 (1231a) 를 따라 슬라이딩한다. 또, 슬라이더 (1233a) 에는 연결부 (122a) 가 고정되어 있다.
제 2 누름 부재 (12b) 는, 제 1 누름 부재 (12a) 를 회전축 (C) 을 중심으로 180 도 회전시킨 것과 기본적으로 동일한 구성이기 때문에, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 제 2 누름 부재 (12b) 의 각 부품에는, 대응하는 제 1 누름 부재 (12a) 의 각 부품과 동일한 부호 (말미만이 상이) 가 부여되어 있다. 또한, 제 1 누름 부재 (12a) 의 각 부품은 말미에「a」를 갖는 부호가 부여되어 있는 한편, 제 2 누름 부재 (12b) 의 각 부품은 말미에「b」를 갖는 부호가 부여되어 있다.
도 6 은, 해제 자세에 있어서의 제 1 규제 부재 (3a) 의 사시도이다. 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 상에, 제 1 규제 부재 (3a) 가 설치되어 있다. 보다 상세하게는, 제 1 규제 부재 (3a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 상의 단부에 설치되어 있다. 또한, 제 1 규제 부재 (3a) 가 설치되는 제 1 유지 부재 (2a) 의 단부에는, 상기 서술한 복수의 절결 (23a) 이 형성되어 있다. 제 1 규제 부재 (3a) 는, 복수의 장착부 (31a) 와 연결 로드 (32a) 와 복수의 규제부 (33a) 와 회전 구동부 (34a) 를 갖고 있다.
각 장착부 (31a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 상에 볼트 등에 의해 고정되어 있다. 또, 각 장착부 (31a) 는, 이면 (22a) 의 단부를 따라 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 각 장착부 (31a) 는, 본체부 (311a) 와 베어링부 (312a) 를 갖고 있다. 본체부 (311a) 는 관통공을 갖고 있으며, 이 관통공 내에 베어링부 (312a) 가 고정되어 있다.
연결 로드 (32a) 는, 각 장착부 (31a) 에 걸쳐 연장되어 있다. 연결 로드 (32a) 는 원기둥상으로서, 각 장착부 (31a) 의 베어링부 (312a) 에 의해 지지되어 있다. 따라서, 연결 로드 (32a) 는, 각 장착부 (31a) 에 회전할 수 있게 지지되어 있다.
각 규제부 (33a) 는, 제 1 유지면 (21a) 과 제 2 유지면 (21b) 에 의해 기판 (W) 을 사이에 둔 상태에 있어서, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 걸쳐 연장된다. 구체적으로는, 각 규제부 (33a) 는, 연결 로드 (32a) 에 고정되어 있다. 즉, 각 규제부 (33a) 는, 연결 로드 (32a) 와 일체적으로 회전한다. 각 규제부 (33a) 는, 제 1 부분 (331a) 및 제 2 부분 (332a) 으로 구성되어 있으며, 전체적으로 대략 L 자 형상으로 형성되어 있다. 제 1 부분 (331a) 은 연결 로드 (32a) 에 고정되어 있다. 제 2 부분 (332a) 은, 제 1 규제 부재 (3a) 가 후술하는 규제 자세가 된 경우, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 걸쳐 연장되는 부분이다.
회전 구동부 (34a) 는, 연결 로드 (32a) 를 회전시키기 위한 부재이다. 회전 구동부 (34a) 는, 에어 실린더 (35a) 와 링크 기구 (36a) 를 갖는다. 에어 실린더 (35a) 는, 실린더 본체 (351a) 와 피스톤 로드 (352a) 를 갖고 있다. 실린더 본체 (351a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 의 이면 (22a) 에 요동할 수 있게 설치되어 있다. 피스톤 로드 (352a) 는, 실린더 본체 (351a) 내에서 슬라이딩하는 피스톤 헤드 (도시 생략) 에 연결되어 있다. 실린더 본체 (351a) 내에 에어가 공급됨으로써, 피스톤 로드 (352a) 는 길이 방향으로 왕복동한다. 에어 실린더 (35a) 는, 피스톤 로드 (352a) 의 왕복동에 의해, 링크 기구 (36a) 를 구동시킨다.
링크 기구 (36a) 는, 제 1 링크 (361a) 와 제 2 링크 (362a) 를 갖고 있으며, 제 1 링크 (361a) 와 제 2 링크 (362a) 는 회전할 수 있게 연결되어 있다. 또한, 제 1 링크 (361a) 와 제 2 링크 (362a) 를 연결하는 회전축은, 연결 로드 (32a) 의 길이 방향과 평행하게 연장되어 있다. 제 1 링크 (361a) 는 피스톤 로드 (352a) 에 접속되어 있다. 제 2 링크 (362a) 는, 연결 로드 (32a) 에 고정되어 있으며, 연결 로드 (32a) 로부터 연결 로드 (32a) 의 직경 방향으로 연장되어 있다.
도 7 은, 규제 자세에 있어서의 제 1 규제 부재 (3a) 의 사시도이다. 제 1 규제 부재 (3a) 는, 도 6 에 나타내는 해제 자세와 도 7 에 나타내는 규제 자세를 취할 수 있다. 제 1 규제 부재 (3a) 는, 반전시키는 기판 (W) 을 대기하고 있는 때에는, 해제 자세가 된다. 제 1 규제 부재 (3a) 가 해제 자세가 될 때, 각 규제부 (33a) 는 제 1 유지 부재 (2a) 의 제 1 유지면 (21a) 보다 제 2 방향측에 위치한다. 예를 들어, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유지 부재 (2a) 의 제 1 유지면 (21a) 이 하방을 향하는 상태에서는, 각 규제부 (33a) 는 제 1 유지면 (21a) 보다 상방에 위치한다. 이로써, 기판 (W) 의 공급 및 취출을 스무스하게 실시할 수 있다.
제 1 규제 부재 (3a) 는, 기판 (W) 의 반전 처리를 실행할 때에는, 도 7 에 나타내는 바와 같은 규제 자세가 된다. 또한, 제 1 규제 부재 (3a) 가 규제 자세가 되기 전에, 먼저, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 가 서로 접근하여 기판 (W) 을 사이에 두고 유지하는 상태가 된다. 이와 같이 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 에 의해 기판 (W) 이 유지된 후에 제 1 규제 부재 (3a) 가 규제 자세가 되면, 각 규제부 (33a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 의 절결 (23a) 과 제 2 유지 부재 (2b) 의 절결 (23b) 에 걸쳐 연장된다. 보다 구체적으로는, 먼저, 도 6 에 나타내는 상태로부터, 회전 구동부 (34a) 가 작동하여 연결 로드 (32a) 를 화살표 X 의 방향으로 회전시킨다. 이로써, 각 규제부 (33a) 가 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 걸쳐 연장되는 상태가 된다. 또한, 제 1 유지면 (21a) 및 제 2 유지면 (21b) 이 수평 방향을 향했을 때, 즉, 제 1 유지면 (21a) 및 제 2 유지면 (21b) 이 수직 방향과 평행하게 연장될 때, 각 규제부 (33a) 는, 제 1 유지 부재 및 제 2 유지 부재의 하방이 되는 위치에 배치된다.
(반전 장치의 동작)
다음으로, 상기 서술한 반전 장치 (1) 의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 반전 처리가 필요한 기판 (W) 이 제 1 테이블 부재 (7) 상에 재치된다. 이 제 1 테이블 부재 (7) 상에 재치된 기판 (W) 을 제 2 유지 부재 (2b) 의 제 2 유지면 (21b) 상에 이동시킨다. 기판 (W) 은, 제 1 보호 시트 (도시 생략) 상에 재치되어 있기 때문에, 제 1 보호 시트를 끌어 기판 (W) 을 제 1 테이블 부재 (7) 로부터 제 2 유지면 (21b) 상으로 이동시킬 수 있다. 또한, 작업자가 수작업으로 기판 (W) 을 이동시켜도 되고, 벨트 컨베이어 등의 이동 장치에 의해 기판 (W) 을 이동시켜도 된다. 또, 이 단계에서는, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에 위치하고 있다. 즉, 반전 유닛 (10) 은 수취 위치에 위치하고 있다.
기판 (W) 을 제 2 유지 부재 (2b) 의 제 2 유지면 (21b) 상으로 이동시킨 후, 기판 (W) 상에 제 2 보호 시트 (도시 생략) 를 재치한다. 이로써, 후술하는 바와 같이 기판 (W) 을 제 1 유지 부재 (2a) 의 제 1 유지면 (21a) 으로부터 제 2 테이블 부재 (8) 로 이동시킬 때에, 제 2 보호 시트를 끎으로써 기판 (W) 을 이동시킬 수 있다.
다음으로, 제 1 누름 부재 (12a) 의 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 가 누름 위치로 이동하고, 제 2 유지면 (21b) 상의 기판 (W) 을 제 2 보호 시트를 개재하여 누른다. 이로써, 후술하는 바와 같이 베이스 부재 (5) 가 후방으로 이동할 때에, 제 2 유지면 (21b) 상의 기판 (W) 또는 제 2 보호 시트의 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제 1 누름부 (121a) 가 누름 위치로 이동할 때에, 제 2 유지 부재 (2b) 가 상방으로 이동해도 된다. 또한, 이 단계에서는, 제 1 유지면 (21a) 과 제 2 유지면 (21b) 은 떨어져 있어, 기판 (W) 은 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 의해 유지되어 있지 않다.
다음으로, 베이스 부재 (5) 가 후방으로 이동한다. 구체적으로는, 구동 기구 (62) 가 베이스 부재 (5) 를 구동시킴으로써, 베이스 부재 (5) 는 후방으로 이동한다. 이 결과, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에서 벗어난다. 즉, 반전 유닛 (10) 은 반전 위치로 이동한다. 또한, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 의 일부가, 제 1 테이블 부재 (7) 와 제 2 테이블 부재 (8) 사이의 영역에 위치하고 있어도 된다.
다음으로, 제 1 유지 부재 (2a) 가 하방으로 이동한다. 이로써, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 의해 기판 (W) 을 사이에 두고 유지한다. 또한, 제 1 유지 부재 (2a) 가 하방으로 이동할 때, 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 는 이동하지 않는다. 즉, 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 는, 제 1 유지 부재 (2a) 에 대해 상대적으로 상방으로 이동한다. 이 결과, 1 쌍의 제 1 누름부 (121a) 는, 해제 위치로 이동한다.
제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 에 의해 기판 (W) 을 사이에 둔 후, 제 1 규제 부재 (3a) 는, 해제 자세에서 규제 자세가 된다. 구체적으로는, 제 1 규제 부재 (3a) 의 각 규제부 (33a) 가, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 의 각 절결 (23a, 23b) 내에 있어서, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 걸쳐 연장된 상태가 된다. 또한, 제 2 규제 부재 (3b) 도 제 1 규제 부재 (3a) 와 마찬가지로 해제 자세에서 규제 자세가 된다.
다음으로, 반전 유닛 (10) 이 회전축 (C) 을 중심으로 180 도만큼 회전한다. 예를 들어, 전방에서 본 상태에 있어서, 반전 유닛 (10) 은 시계 방향으로 180 도 회전한다. 이 결과, 제 1 유지 부재 (2a) 는, 회전 전에 하방을 향하고 있던 제 1 유지면 (21a) 이, 상방을 향한 상태가 된다. 또, 제 2 유지 부재 (2b) 는, 회전 전에 상방을 향하고 있던 제 2 유지면 (21b) 이, 하방을 향한 상태가 된다. 즉, 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 의 위치가 바뀐다. 이와 같이 반전 유닛 (10) 이 180 도 회전함으로써, 기판 (W) 은 표리가 반전된 상태가 된다.
반전 유닛 (10) 의 회전이 완료되면, 베이스 부재 (5) 가 전방으로 이동한다. 즉, 반전 유닛 (10) 은 수취 위치로 이동한다. 그리고, 반전 유닛 (10) 의 회전에 의해 제 2 유지 부재 (2b) 의 하방에 위치하게 된 제 1 유지 부재 (2a) 는 하방으로 이동한다. 또, 제 1 유지 부재 (2a) 의 상방에 위치하게 된 제 2 유지 부재 (2b) 는 상방으로 이동한다. 또, 제 1 및 제 2 규제 부재 (3a, 3b) 는, 규제 자세에서 해제 자세가 된다. 이 결과, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 에 의한 기판 (W) 의 유지가 해제된다.
기판 (W) 의 유지가 해제된 후, 기판 (W) 을 제 2 테이블 부재 (8) 로 이동시킨다. 구체적으로는, 기판 (W) 을 덮는 제 1 보호 시트를 제거하고, 제 2 보호 시트를 끎으로써 제 2 보호 시트 상에 재치된 기판 (W) 도 함께 이동시킨다.
다음으로, 반전 장치 (1) 는 상기 서술한 동작과 동일한 동작을 반복한다. 또한, 상기 서술한 동작과는 달리, 제 1 유지 부재 (2a) 가 제 2 유지 부재 (2b) 와 위치가 바뀌어 있기 때문에, 제 1 유지 부재 (2a) 의 동작과 제 2 유지 부재 (2b) 의 동작이 바뀐다. 또, 이에 수반하여, 제 1 규제 부재 (3a) 의 동작과 제 2 규제 부재 (3b) 의 동작이 바뀌고, 제 1 누름 부재 (12a) 의 동작과 제 2 누름 부재 (12b) 의 동작이 바뀐다. 또, 기판 (W) 을 제 1 유지 부재 (2a) 와 제 2 유지 부재 (2b) 에 의해 사이에 두고 유지한 후, 반전 유닛 (10) 은, 전방에서 볼 때 반시계 방향으로 180 도 회전한다.
[변형예]
이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한 여러 가지의 변경이 가능하다.
변형예 1
상기 실시형태에서는, 제 2 유지 부재 (2b) 보다 상방에 있는 제 1 유지 부재 (2a) 가, 제 2 유지 부재 (2b) 보다 하방에 위치하도록 반전 유닛 (10) 이 회전할 때, 반전 유닛 (10) 은, 전방에서 볼 때 시계 방향으로 회전하지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 반전 유닛 (10) 은, 제 1 유지 부재 (2a) 가 제 2 유지 부재 (2b) 의 상방에 있을 때, 전방에서 볼 때 반시계 방향으로 180 도 회전해도 된다.
변형예 2
상기 실시형태에서는, 제 1 유지 부재 (2a) 는 제 1 지지부 (42a) 에 지지되고, 제 2 유지 부재 (2b) 는 제 2 지지부 (42b) 에 지지되어 있지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 유지 부재 (2a, 2b) 는, 연결부 (41) 에 슬라이딩할 수 있게 지지되어 있어도 된다.
변형예 3
상기 실시형태에서는, 제 1 유지 부재 (2a) 및 제 2 유지 부재 (2b) 의 양방이 이동할 수 있게 지지되어 있지만, 특별히 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제 1 유지 부재 (2a) 만이 이동할 수 있게 지지 부재 (4) 에 지지되어 있고, 제 2 유지 부재 (2b) 는 이동할 수 없게 지지 부재 (4) 에 지지되어 있어도 된다. 이 밖에도, 제 1 유지 부재 (2a) 가 이동할 수 없게 지지 부재 (4) 에 지지되어 있고, 제 2 유지 부재 (2b) 는 이동할 수 있게 지지 부재 (4) 에 지지되어 있어도 된다.
1 : 반전 장치
2a : 제 1 유지 부재
21a : 제 1 유지면
2b : 제 2 유지 부재
21b : 제 2 유지면
4 : 지지 부재
5 : 베이스 부재
W : 기판

Claims (4)

  1. 기판을 반전시키기 위한 반전 장치로서,
    제 1 방향을 향하는 제 1 유지면, 및 대향하는 1 쌍의 단부에 형성된 절결을 갖는 제 1 유지 부재와,
    상기 제 1 유지면과 대향하는 제 2 유지면, 및 대향하는 1 쌍의 단부에 형성된 절결을 갖는 제 2 유지 부재와,
    상기 제 1 유지면과 상기 제 2 유지면이 서로 접근 및 이반하도록 상기 제 1 유지 부재 및 상기 제 2 유지 부재 중 적어도 일방을 이동할 수 있게 지지하는 지지 부재와,
    상기 제 1 유지면이 상기 제 1 방향과 반대인 제 2 방향을 향하도록 상기 지지 부재를 회전할 수 있게 지지하는 베이스 부재와,
    상기 제 1 유지 부재의 상기 제 1 유지면의 이면 상에 고정되는 복수의 장착부와, 상기 복수의 장착부 사이에서 회전할 수 있게 지지되는 연결 로드와, 상기 연결 로드와 일체적으로 회전하도록 상기 연결 로드에 고정되며 상기 제 1 유지 부재의 절결과 상기 제 2 유지 부재의 절결에 걸쳐서 연장되는 복수의 규제부와, 상기 연결 로드를 회전시키기 위한 회전 구동부를 포함하는, 규제 부재를 구비하고,
    상기 규제부는, 상기 연결 로드에 고정되는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분으로부터 연장하는 제 2 부분이 L 자 형상을 이루도록 형성되어 있고,
    상기 규제 부재의 해제 자세에서, 상기 규제부는 상기 제 1 유지 부재의 상기 제 1 유지면보다 상기 제 2 방향 측에 위치하는, 반전 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 제 1 회전 방향으로의 회전과, 상기 제 1 회전 방향과는 반대인 제 2 회전 방향으로의 회전을 교대로 실시하는 반전 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 유지면 및 상기 제 2 유지면 중 적어도 일방은, 상기 기판을 흡착하는 흡착부를 갖는 반전 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지 부재는,
    연결부와,
    상기 연결부의 상기 제 2 방향 측의 단부로부터 연장되고, 상기 제 1 유지 부재를 지지하는 제 1 지지부와,
    상기 연결부의 상기 제 1 방향 측의 단부로부터 연장되고, 상기 제 2 유지 부재를 지지하는 제 2 지지부를 갖는 반전 장치.
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