JP2015035444A - 反転装置 - Google Patents

Abstract

【課題】安定して基板を反転させることができる反転装置を提供する。
【解決手段】支持部材４は、第１保持面２１ａと第２保持面２１ｂとが互いに接近及び離反するように第１保持部材２ａ及び第２保持部材２ｂを移動可能に支持する。第１保持部材２ａ及び第２保持部材は、第１保持面が第１方向と反対の第２方向を向くように一体的に回転可能である。
【選択図】図１

Description

本発明は、反転装置に関するものである。

液晶装置は、液晶層を間に介在するように第１基板と第２基板とがシール材によって貼り合わされる貼り合わせ基板によって構成される（例えば特許文献１）。この貼り合わせ基板は、生産性の観点などから一旦大判サイズの状態で作製され、この大判サイズの基板を必要なサイズに分断して複数の貼り合わせ基板を作製することが一般的に行われている。

この貼り合わせ基板を分断する際、一般的に貼り合わせ基板を表裏反転させる工程が必要となる。この貼り合わせ基板の分断方法の一例について説明すると、まず、第１基板が上側となるように貼り合わせ基板を固定し、第１基板にスクライブ溝を形成する。そして、貼り合わせ基板を表裏反転させて第２基板が上側となるように貼り合わせ基板を固定し、第２基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第１基板をスクライブ溝に沿って分断する。次に、第２基板が上側になった状態で、貼り合わせ基板の第２基板にスクライブ溝を形成した後、貼り合わせ基板を表裏反転させて第１基板が上側となるように貼り合わせ基板を固定する。そして、第１基板側から貼り合わせ基板を押圧して撓ませ、第２基板をスクライブ溝に沿って分断する。

特開２０１２−２０３２３５号公報

上述したように、基板を分断する際には、基板を反転させる処理が必要となる。従来の反転装置は次の方法によって基板を反転させる。まず、反転装置は、基板を吸着して反転可能な位置まで水平移動して基板を移動させる。次に、反転装置は反転可能な位置において上下反転することによって、基板の表裏を反転させる。そして、反転装置は、次工程のユニットまで水平移動して、表裏反転された基板を引き渡す。しかしながら、このような反転装置は、予期せぬトラブルなどにより基板を吸着する吸着力が低下してしまう恐れがあり、この結果、基板がずれたり落下したりするおそれがある。なお、貼り合わせ基板ではない他の基板においても、同様の問題を有している。

本発明の課題は、安定して基板を反転させることができる反転装置を提供することにある。

（１）本発明のある側面に係る反転装置は、基板を反転させるための反転装置であって、第１保持部材と、第２保持部材と、支持部材と、第１押さえ部材と、を備える。第１保持部材は、第１方向を向く第１保持面を有する。第２保持部材は、第１保持面と対向する第２保持面を有する。支持部材は、第１保持面と第２保持面とが互いに接近及び離反するように第１保持部材及び第２保持部材の少なくとも一方を移動可能に支持する。第１押さえ部材は、第１保持部材に形成された貫通孔を介して第１保持面に対して進退可能な第１押さえ部を有する。第１保持部材及び第２保持部材は、第１保持面が第１方向と反対の第２方向を向くように一体的に回転可能である。

この構成によれば、第１保持部材の第１保持面と第２保持部材の第２保持面とによって基板を挟んで保持することができる。そして、この基板を保持した状態で第１及び第２保持部材を一体的に回転させることによって、基板を反転させることができる。このように、第１及び第２保持部材によって基板を挟んだ状態で基板を反転させるため、安定して基板を反転させることができる。また、第１保持部材と第２保持部材とによって基板などを挟み込む前に、第２保持面上に載置された基板等を第１押さえ部によって押さえることができるため、基板等の位置ずれを防止することができる。

（２）好ましくは、反転装置は、第２押さえ部材をさらに備える。第２押さえ部材は、第２保持部材に形成された貫通孔を介して第２保持面に対して進退可能な第２押さえ部を有する。この構成によれば、第１保持面上に載置された基板等を第２押さえ部によって押さえることができるため、基板等の位置ずれを防止することができる。

（３）好ましくは、第１押さえ部は、押さえ位置と、解除位置との間で移動可能である。第１押さえ部は、押さえ位置にあるとき、第２保持面上に載置された基板を押さえる。また、第１押さえ部は、解除位置にあるとき、第１押さえ部の先端面が第１保持面と同じ位置又は第１保持面よりも前記第２方向側に位置する。

（４）好ましくは、第１保持部材及び第２保持部材は、第１押さえ部が押さえ位置に移動した後、第１保持面と前記第２保持面とが互いに接近するように移動する。

本発明によれば、安定して基板を反転させる反転装置を提供することができる。

反転装置の斜視図。 反転装置の側面図。 反転装置の正面図。 反転装置の部分斜視図。 図３のＡ−Ａ線断面。 解除姿勢における第１規制部材の斜視図。 規制姿勢における第１規制部材の斜視図。

以下、本発明に係る反転装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は反転装置１の斜視図である。

反転装置１は、基板Ｗを反転させるための装置である。図１に示すように、反転装置１は、第１保持部材２ａ、第２保持部材２ｂ、及び支持部材４を備えている。なお、これら第１保持部材２ａ、第２保持部材２ｂ、及び支持部材４を合わせて、反転ユニット１０と称する。この反転ユニット１０が回転することによって基板Ｗを反転させる。

反転装置１は、ベース部材５と、土台部材６と、第１テーブル部材７、第２テーブル部材８をさらに備えている。ベース部材５は、反転ユニット１０を回転可能に支持する部材である。土台部材６は、ベース部材５を移動可能に支持する部材である。第１及び第２テーブル部材７，８は、基板Ｗを載置するための部材であって、第１テーブル部材７には反転処理前の基板Ｗが載置され、第２テーブル部材８には反転処理後の基板Ｗが載置される。第１テーブル部材７と第２テーブル部材８とは所定間隔をおいて配置されている。なお、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域には、反転ユニット１０が配置されている。以下、各部材について詳細に説明する。

図２は反転装置１の側面図、図３は反転装置１の正面図である。なお、図２では、第１及び第２テーブル部材７，８などの記載を省略している。また、以下の説明において、「前方」とは図２の左側を意味し、「後方」とは図２の右側を意味する。通常、作業者は、反転装置１の前方において作業を行う。

図２及び図３に示すように、第１保持部材２ａ及び第２保持部材２ｂは、基板Ｗを保持するための部材である。具体的には、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとによって基板Ｗを挟持することによって基板Ｗを保持する。

第１保持部材２ａは、平面視が矩形状の部材であり、第１保持面２１ａと裏面２２ａとを有している。第１保持面２１ａは第１方向を向いており、裏面２２ａは第１方向とは反対の第２方向を向いている。具体的には、反転ユニット１０に基板Ｗの供給を待っている待機状態、すなわち反転処理を行っていない状態において、第１保持面２１ａは下方又は上方を向いており、裏面２２ａは上方又は下方を向いている。なお、図２及び図３においては、第１保持面２１ａは下方を向いており、裏面２２ａは上方を向いている。

第１保持面２１ａは、基板Ｗなどを吸着するための吸着面を構成している。具体的には、第１保持面２１ａには複数の穴部が形成されており、各穴部から空気を吸うことによって第１保持面２１ａ上に載置されたものを吸着する。第１保持部材２ａは、対向する一対の端部において、複数の切欠２３ａが形成されている（図４参照）。

第２保持部材２ｂは、第１保持部材２ａを回転軸Ｃを中心に１８０度回転させたものと基本的に同じ構成であるため、その詳細な説明を省略する。なお、第２保持部材２ｂの各部品には、対応する第１保持部材２ａの各部品と同じ符号（末尾のみが異なる）が付されている。なお、第１保持部材２ａの各部品は末尾に「ａ」を有する符号が付されている一方、第２保持部材２ｂの各部品は末尾に「ｂ」を有する符号が付されている。

支持部材４は、第１保持面２１ａと第２保持面２１ｂとが互いに接近及び離反するように第１保持部材２ａ及び第２保持部材２ｂを移動可能に支持している。詳細には、支持部材４は、連結部４１と、第１支持部４２ａと、第２支持部４２ｂとを有する。連結部４１は、正面視が略矩形状である。

第１支持部４２ａは、連結部４１の第２方向側の端部から前方に向かって延びている。また、第２支持部４２ｂは、連結部４１の第１方向側の端部から前方に向かって延びている。第１支持部４２ａは、第１保持部材２ａを移動可能に支持している。第１保持部材２ａは、第１支持部４２ａに対して接近及び離反するように移動する。

図４は、反転装置１の部分斜視図である。図４に示すように、第１支持部４２ａは、一対の側壁部４２１ａ、４２２ａと、前壁部４２３ａと、プレート部４２４ａとを有している。一対の側壁部４２１ａ、４２２ａは、対向して配置されており、連結部４１から前方に延びている。一対の側壁部４２１ａ、４２２ａの前端同士を連結するように前壁部４２３ａが延びている。プレート部４２４ａは、一対の側壁部４２１ａ、４２２ａ間に亘って延びており、一対の側壁部４２１ａ、４２２ａに固定されている。

第１支持部４２ａは、摺動駆動部４２５ａと、複数本（例えば４本）のガイドロッド４２６ａとをさらに有している。摺動駆動部４２５ａは、第１保持部材２ａを駆動し、第１保持部材２ａを第１方向に移動させたり第２方向に移動させたりする。摺動駆動部４２５ａは、プレート部４２４ａに支持されている。具体的には、摺動駆動部４２５ａは、例えばエアシリンダであって、シリンダ本体４２７ａと、ピストンロッド４２８ａとを有している。シリンダ本体４２７ａがプレート部４２４ａに固定されており、ピストンロッド４２８ａの先端が第１保持部材２ａの裏面２２ａに固定されている。ピストンロッド４２８ａが長手方向に往復動することにより、第１保持部材２ａが第１方向又は第２方向に移動する。

各ガイドロッド４２６ａは、第１保持部材２ａの第１方向及び第２方向への移動を安定させるための部材である。詳細には、各ガイドロッド４２６ａは、先端が第１保持部材２ａの裏面２２ａに固定されている。また、各ガイドロッド４２６ａは、プレート部４２４ａに対して摺動可能に支持されている。具体的には、プレート部４２４ａから第２方向へ延びる複数（例えば４つ）の筒状部４２９ａがプレート部４２４ａに固定されている。筒状部４２９ａの内径は、ガイドロッド４２６ａが筒状部４２９ａ内を摺動できる程度に設計される。プレート部４２４ａは、この筒状部４２９ａが固定された場所において貫通孔が形成されており、この貫通孔は筒状部４２９ａの貫通孔と連通している。そして、各ガイドロッド４２６ａは、各筒状部４２９ａ内を貫通することによって、プレート部４２４ａ及び筒状部４２９ａに摺動可能に支持されている。なお、ガイドロッド４２６ａの後端部は、筒状部４２９ａ内を通過不能なストッパー部４２６１ａを有する。プレート部４２４ａと筒状部４２９ａとは一体的に形成されていてもよい。

第２支持部４２ｂは、第１支持部４２ａを回転軸Ｃを中心に１８０度回転させたものと基本的に同じ構成であるため、その詳細な説明を省略する。なお、第２支持部４２ｂは、第２保持部材２ｂを移動可能に支持するものであり、第２保持部材２ｂは、第２支持部４２ｂに対して接近及び離反するように移動する。第２支持部４２ｂの各部品には、対応する第１支持部４２ａの各部品と同じ符号（末尾のみが異なる）が付されている。なお、第１支持部４２ａの各部品は末尾に「ａ」を有する符号が付されている一方、第２支持部４２ｂの各部品は末尾に「ｂ」を有する符号が付されている。

図５は、図３のＡ−Ａ線断面図である。なお、図５では、第１及び第２テーブル部材７，８などの記載を省略している。図５に示すように、支持部材４は、ボス部４３をさらに有している。ボス部４３は、連結部４１から後方に延びる円筒状の部材であり、連結部４１に対してボルトなどにより固定されている。ボス部４３は、軸受を介してベース部材５に回転可能に支持されている。このため、支持部材４は、ベース部材５に対して回転軸Ｃを中心に回転可能である。

ベース部材５は、ベース本体部５１と、減速部５２と、スライド部５３とを備えている。ベース部材５１には、上述したように支持部材４のボス部４３が回転可能に支持されている。また、ベース本体部５１には、ロータリージョイント９が取り付けられており、ロータリージョイント９には回転駆動部１１が取り付けられている。この回転駆動部１１は、反転ユニット１０を回転軸Ｃを中心に回転させるための部材である。回転駆動部１１によって駆動される反転ユニット１０は、時計周りの回転と反時計回りの回転とを交互に行う。なお、反転ユニット１０の回転角度は１８０度である。このため、反転ユニット１０は、第１保持部材２ａが第２保持部材２ｂの上方に配置されたり、第１保持部材２ａが第２保持部材２ｂの下方に配置されたりする。回転駆動部１１は、例えばサーボモータである。

この回転駆動部１１の回転は、ロータリージョイント９を介してモータ減速部５２に伝達され、モータ減速部５２によって回転数が減速される。減速部５２は、ボス部４３に接続されており、減速された回転をボス部４３に伝達する。この結果、回転駆動部１１によって、反転ユニット１０を回転させることができる。なお、連結部４１、ボス部４３、及び減速部５３には、回転軸Ｃに沿って貫通孔が形成されているため、この内部に、チューブを通すことができる。このチューブをロータリージョイントに接続して、エアー源からのエアーをチューブに送ることができる。

スライド部５３は、ベース本体部５１の下端部に設けられている。このスライド部５３は、ベース部材５を前後方向に摺動させるための部材である。詳細には、土台部材６は、前後方向（図５の左右方向）に延びる一対のガイドレール６１を有している。そして、スライド部５３は、一対のガイドレール６１に摺動可能に支持される。この結果、ベース部材５は、土台部材６に対して前後方向に摺動可能となる。

図２に示すように、土台部材６は、駆動機構６２を有している。この駆動機構６２によって、ベース部材５を前後方向（図２の左右方向）に移動させることができる。例えば、駆動機構６２は、ボールネジ装置とすることができ、サーボモータ６３と、ネジ軸６４と、ナット部（図示省略）とを備えている。サーボモータ６３はネジ軸６４を回転駆動する。ネジ軸６４は、前後方向に延びており、複数のボールを介してナット部と螺合している。ナット部は、ベース本体部５１の底面に固定されている。この駆動機構６２は、サーボモータ６３がネジ軸６４を回転駆動することによって、ナット部がネジ軸６４に沿って移動する。この結果、ナット部が固定されたベース部材５もネジ軸６４に沿って移動する。

ベース部材５は、反転ユニット１０を支持しているため、ベース部材５が前後方向に移動することにより、反転ユニット１０も前後方向に移動する。この前後方向の移動によって、反転ユニット１０は、受け取り位置と反転位置との間で移動可能となる。反転ユニット１０が受け取り位置にあるとき、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、図１に示すように第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域に位置している。そして、駆動機構６２が作動することによって、反転ユニット１０は図１の状態より後方へ移動する。この結果、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域から外れる。この位置を反転位置とする。反転ユニット１０は、反転位置において反転処理を実行する。なお、反転ユニット１０が反転位置にあるとき、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域から完全に外れていなくてもよく、例えば第１及び第２保持部材２ａ、２ｂの一部が第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域に位置していてもよい。

図４及び図５に示すように、反転装置１は、第１押さえ部材１２ａと第２押さえ部材１２ｂとをさらに備えている。第１押さえ部材１２ａ及び第２押さえ部材１２ｂは、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとによって基板Ｗを保持する前に、基板Ｗを押さえるための部材である。なお、第２保持部材２ｂの第２保持面２１ｂ上に基板Ｗが載置されたときは第１押さえ部材１２ａによって基板Ｗを押さえる。また、第１保持部材２ａの第１保持面２１ａ上に基板Ｗが載置されたときは第２押さえ部材１２ｂによって基板Ｗを押さえる。

図４に示すように、第１押さえ部材１２ａは、一対の第１押さえ部１２１ａと、連結部１２２ａと、第１駆動部１２３ａとを有する。一対の第１押さえ部１２１ａは、連結部１２２ａによって連結されている。各第１押さえ部１２１ａは、第１保持部材２ａに形成された貫通孔２４ａ（図４参照）を介して第１保持面２１ａに対して進退可能である。すなわち、各第１押さえ部１２１ａは、押さえ位置と解除位置とを取り得る。各第１押さえ部１２１ａが押さえ位置にあるとき、各第１押さえ部１２１ａの先端面は、第１保持面２１ａよりも第１方向側に位置する。すなわち、各第１押さえ部１２１ａの先端面は、第１保持面２１ａから第２保持面２１ｂ側に突出して第２保持面２１ｂ上に載置された基板Ｗなどを押さえる。また、各第１押さえ部１２１ａが解除位置にあるとき、各第１押さえ部１２１ａの先端面は、第１保持面２１ａと同じ位置、又は第１保持面２１ａよりも第２方向側に位置する。

第１駆動部１２３ａは、一対の第１押さえ部１２１ａが押さえ位置と解除位置とを取り得るように、一対の第１押さえ部１２１ａを駆動する。詳細には、第１駆動部１２３ａは、例えばエアシリンダである。この第１駆動部１２３ａは、シリンダ本体１２３１ａと、ピストン１２３２ａと、スライダ１２３３ａとを有する。ピストン１２３２ａは、シリンダ本体１２３１ａ内を摺動する。スライダ１２３３ａは、ピストン１２３２ａと連結されており、ピストン１２３２ａと一緒に摺動する。このスライダ１２３３ａは、シリンダ本体１２３１ａに沿って摺動する。また、スライダ１２３３ａには、連結部１２２ａが固定されている。

第２押さえ部材１２ｂは、第１押さえ部材１２ａを回転軸Ｃを中心に１８０度回転させたものと基本的に同じ構成であるため、その詳細な説明を省略する。なお、第２押さえ部材１２ｂの各部品には、対応する第１押さえ部材１２ａの各部品と同じ符号（末尾のみが異なる）が付されている。なお、第１押さえ部材１２ａの各部品は末尾に「ａ」を有する符号が付されている一方、第２押さえ部材１２ｂの各部品は末尾に「ｂ」を有する符号が付されている。

図６は、解除姿勢における第１規制部材３ａの斜視図である。図６に示すように、第１保持部材２ａの裏面２２ａ上に、第１規制部材３ａが設置されている。より詳細には、第１規制部材３ａは、第１保持部材２ａの裏面２２ａ上の端部に設置されている。なお、第１規制部材３ａが設置される第１保持部材２ａの端部には、上述した複数の切欠２３ａが形成されている。第１規制部材３ａは、複数の取付部３１ａと、連結ロッド３２ａと、複数の規制部３３ａと、回転駆動部３４ａと、を有している。

各取付部３１ａは、第１保持部材２ａの裏面２２ａ上に、ボルトなどによって固定されている。また、各取付部３１ａは、裏面２２ａの端部に沿って所定間隔をあけて配置されている。各取付部３１ａは、本体部３１１ａと、軸受部３１２ａとを有している。本体部３１１ａは貫通孔を有しており、この貫通孔内に軸受部３１２ａが固定されている。

連結ロッド３２ａは、各取付部３１ａに亘って延びている。連結ロッド３２ａは、円柱状であって、各取付部３１ａの軸受部３１２ａによって支持されている。よって、連結ロッド３２ａは、各取付部３１ａに回転可能に支持されている。

各規制部３３ａは、第１保持面２１ａと第２保持面２１ｂとによって基板Ｗを挟んだ状態において、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとに亘って延びる。具体的には、各規制部３３ａは、連結ロッド３２ａに固定されている。すなわち、各規制部３３ａは、連結ロッド３２ａと一体的に回転する。各規制部３３ａは、第１部分３３１ａ及び第２部分３３２ａから構成されており、全体として略Ｌ字状に形成されている。第１部分３３１ａは連結ロッド３２ａに固定されている。第２部分３３２ａは、第１規制部材３ａが後述する規制姿勢となった場合、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとに亘って延びる部分である。

回転駆動部３４ａは、連結ロッド３２ａを回転させるための部材である。回転駆動部３４ａは、エアシリンダ３５ａと、リンク機構３６ａとを有する。エアシリンダ３５ａは、シリンダ本体３５１ａとピストンロッド３５２ａとを有している。シリンダ本体３５１ａは、第１保持部材２ａの裏面２２ａに揺動可能に設置されている。ピストンロッド３５２ａは、シリンダ本体３５１ａ内において摺動するピストンヘッド（図示省略）に連結されている。シリンダ本体３５１ａ内にエアーが供給されることにより、ピストンロッド３５２ａは長手方向に往復動する。エアシリンダ３５ａは、ピストンロッド３５２ａの往復動によって、リンク機構３６ａを駆動する。

リンク機構３６ａは、第１リンク３６１ａと第２リンク３６２ａとを有しており、第１リンク３６１ａと第２リンク３６２ａとは回転可能に連結されている。なお、第１リンク３６１ａと第２リンク３６２ａとを連結する回転軸は、連結ロッド３３ａの長手方向と平行に延びている。第１リンク３６１ａはピストンロッド３５２ａに接続されている。第２リンク３６２ａは、連結ロッド３２ａに固定されており、連結ロッド３２ａから連結ロッド３２ａの径方向に延びている。

図７は、規制姿勢における第１規制部材３ａの斜視図である。第１規制部材３ａは、図６に示す解除姿勢と、図７に示す規制姿勢とを取り得る。第１規制部材３ａは、反転させる基板Ｗを待機しているときは、解除姿勢となる。第１規制部材３ａが解除姿勢となるとき、各規制部３３ａは第１保持部材２ａの第１保持面２１ａよりも第２方向側に位置する。例えば図６に示すように、第１保持部材２ａの第１保持面２１ａが下方を向くような状態では、各規制部３３ａは第１保持面２１ａよりも上方に位置する。これにより、基板Ｗの供給及び取り出しをスムーズに行うことができる。

第１規制部材３ａは、基板Ｗの反転処理を実行する際は、図７に示すような規制姿勢となる。なお、第１規制部材３ａが規制姿勢となる前に、まず、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとが互いに接近して基板Ｗを挟んで保持する状態となる。このように第１及び第２保持部材２ａ、２ｂによって基板Ｗが保持された後に第１規制部材３ａが規制姿勢となると、各規制部３３ａは、第１保持部材２ａの切欠２３ａと第２保持部材２ｂの切欠２３ｂとに亘って延びる。より具体的には、まず、図６に示す状態から、回転駆動部３４ａが作動して連結ロッド３２ａを矢印Ｘの方向に回転させる。これにより、各規制部３３ａが第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとに亘って延びる状態となる。なお、第１保持面２１ａ及び第２保持面２１ｂが水平方向を向いたとき、すなわち、第１保持面２１ａ及び第２保持面２１ｂが垂直方向と平行に延びるとき、各規制部３３ａは、第１保持部材及び第２保持部材の下方となる位置に配置される。

（反転装置の動作）
次に、上述した反転装置１の動作について説明する。まず、反転処理が必要な基板Ｗが第１テーブル部材７上に載置される。この第１テーブル部材７上に載置された基板Ｗを第２保持部材２ｂの第２保持面２１ｂ上に移動させる。基板Ｗは、第１保護シート（図示省略）上に載置されているため、第１保護シートを引きずって基板Ｗを第１テーブル部材７から第２保持面２１ｂ上に移動させることができる。なお、作業者が手作業で基板Ｗを移動させてもよいし、ベルトコンベアなどの移動装置によって基板Ｗを移動させてもよい。また、この段階では、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域に位置している。すなわち、反転ユニット１０は受け取り位置に位置している。

基板Ｗを第２保持部材２ｂの第２保持面２１ｂ上に移動させた後、基板Ｗの上に第２保護シート（図示省略）を載置する。これにより、後述するように基板Ｗを第１保持部材２ａの第１保持面２１ａから第２テーブル部材８に移動させる際に、第２保護シートを引きずることによって基板Ｗを移動させることができる。

次に、第１押さえ部材１２ａの一対の第１押さえ部１２１ａが押さえ位置に移動し、第２保持面２１ｂ上の基板Ｗを、第２保護シートを介して押さえる。これにより、後述するようにベース部材５が後方に移動する際に、第２保持面２１ｂ上の基板Ｗ又は第２保護シートの位置がずれることを防止することができる。なお、第１押さえ部１２１ａが押さえ位置に移動する際に、第２保持部材２ｂが上方に移動してもよい。なお、この段階では、第１保持面２１ａと第２保持面２１ｂとは離れており、基板Ｗは第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとによって保持されていない。

次に、ベース部材５が後方へ移動する。具体的には、駆動機構６２がベース部材５を駆動することにより、ベース部材５は後方へと移動する。この結果、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域から外れる。すなわち、反転ユニット１０は反転位置に移動する。なお、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂの一部が、第１テーブル部材７と第２テーブル部材８との間の領域に位置していてもよい。

次に、第１保持部材２ａが下方へ移動する。これにより、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとによって、基板Ｗを挟み込んで保持する。なお、第１保持部材２ａが下方へ移動する際、一対の第１押さえ部１２１ａは移動しない。すなわち、一対の第１押さえ部１２１ａは、第１保持部材２ａに対して相対的に上方へ移動する。この結果、一対の第１押さえ部１２１ａは、解除位置に移動する。

第１及び第２保持部材２ａ、２ｂによって基板Ｗを挟み込んだ後、第１規制部材３ａは、解除姿勢から規制姿勢となる。具体的には、第１規制部材３ａの各規制部３３ａが、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂの各切欠２３ａ、２３ｂ内において、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとに亘って延びた状態となる。なお、第２規制部材３ｂも、第１規制部材３ａと同様に解除姿勢から規制姿勢となる。

次に、反転ユニット１０が回転軸Ｃを中心に１８０度だけ回転する。例えば、前方から見た状態において、反転ユニット１０は時計周りに１８０度回転する。この結果、第１保持部材２ａは、回転前に下方を向いていた第１保持面２１ａが、上方を向いた状態となる。また、第２保持部材２ｂは、回転前に上方を向いていた第２保持面２１ｂが下方を向いた状態となる。すなわち、第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとの位置が入れ替わる。このように反転ユニット１０が１８０度回転することにより、基板Ｗは表裏が反転した状態となる。

反転ユニット１０の回転が完了すると、ベース部材５が前方へ移動する。すなわち、反転ユニット１０は、受け取り位置に移動する。そして、反転ユニット１０の回転により第２保持部材２ｂの下方に位置するようになった第１保持部材２ａは、下方へ移動する。また、第１保持部材２ａの上方に位置するようになった第２保持部材２ｂは上方へ移動する。また、第１及び第２規制部材３ａ、３ｂは、規制姿勢から解除姿勢となる。この結果、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂによる基板Ｗの保持が解除される。

基板Ｗの保持が解除された後、基板Ｗを第２テーブル部材８に移動させる。具体的には、基板Ｗを覆う第１保護シートを取り除き、第２保護シートを引きずることにより第２保護シート上に載置された基板Ｗも一緒に移動させる。

次に、反転装置１は、上述した動作と同様の動作を繰り返す。なお、上述した動作とは異なり、第１保持部材２ａが第２保持部材２ｂと位置が入れ替わっているため、第１保持部材２ａの動作と第２保持部材２ｂの動作とが入れ替わる。また、これに伴い、第１規制部材３ａの動作と第２規制部材３ｂの動作とが入れ替わり、第１押さえ部材１２ａの動作と第２押さえ部材１２ｂの動作とが入れ替わる。また、基板Ｗを第１保持部材２ａと第２保持部材２ｂとによって挟み込んで保持した後、反転ユニット１０は、前方から見て反時計回りに１８０度回転する。

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

変形例１
上記実施形態では、第２保持部材２ｂよりも上方にある第１保持部材２ａが、第２保持部材２ｂよりも下方に位置するように反転ユニット１０が回転する際、反転ユニット１０は、前方から見て時計周りに回転するが、特にこれに限定されない。例えば、反転ユニット１０は、第１保持部材２ａが第２保持部材２ｂの上方にあるとき、前方から見て反時計回りに１８０度回転してもよい。

変形例２
上記実施形態では、第１保持部材２ａは第１支持部４２ａに支持され、第２保持部材２ｂは第２支持部４２ｂに支持されているが、特にこれに限定されない。例えば、第１及び第２保持部材２ａ、２ｂは、連結部４１に摺動可能に支持されていてもよい。

変形例３
上記実施形態では、第１保持部材２ａ及び第２保持部材２ｂの両方が移動可能に支持されているが、特にこれに限定されない。例えば、第１保持部材２ａのみが移動可能に支持部材４に支持されており、第２保持部材２ｂは移動不能に支持部材４に支持されていてもよい。他にも、第１保持部材２ａが移動不能に支持部材４に支持されており、第２保持部材２ｂは移動可能に支持部材４に支持されていてもよい。

１ 反転装置
２ａ 第１保持部材
２１ａ 第１保持面
２ｂ 第２保持部材
２１ｂ 第２保持面
４ 支持部材
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 基板を反転させるための反転装置であって、
   第１方向を向く第１保持面を有する第１保持部材と、
   前記第１保持面と対向する第２保持面を有する第２保持部材と、
   前記第１保持面と前記第２保持面とが互いに接近及び離反するように前記第１保持部材及び前記第２保持部材の少なくとも一方を移動可能に支持する支持部材と、
   前記第１保持部材に形成された貫通孔を介して前記第１保持面に対して進退可能な第１押さえ部を有する第１押さえ部材と、
   を備え、
   前記第１保持部材及び前記第２保持部材は、前記第１保持面が前記第１方向と反対の第２方向を向くように一体的に回転可能である、
   反転装置。
2. 前記第２保持部材に形成された貫通孔を介して前記第２保持面に対して進退可能な第２押さえ部を有する第２押さえ部材をさらに備える、請求項１に記載の反転装置。
3. 前記第１押さえ部は、前記第２保持面上に載置された基板を押さえる押さえ位置と、前記第１押さえ部の先端面が前記第１保持面と同じ位置又は前記第１保持面よりも前記第２方向側に位置する解除位置との間で移動可能である、請求項１又は２に記載の反転装置。
4. 前記第１保持部材及び前記第２保持部材は、前記第１押さえ部が前記押さえ位置に移動した後、前記第１保持面と前記第２保持面とが互いに接近するように移動する、請求項３に記載の反転装置。

Images