JP6309466B2 - 両頭平面研削装置 - Google Patents

Description

本発明は、両頭平面研削装置に関するものである。

従来より、半導体ウェーハ等の薄板状ワークの両面を研削する両頭平面研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

この両頭平面研削装置は、ワークを挟み込むように配置されて流体の圧力によりワークを非接触支持する一対のワーク保持体と、ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、案内ロッドに沿ってワーク保持体を摺動させるスライド駆動機構とを備えている。

スライド駆動機構は、例えば空気圧式のシリンダで構成されており、シリンダロッドを進退させることで、一対のワーク保持体が互いに近接してワークを非接触支持する「研削時位置」と、一対のワーク保持体が互いに離間してワークを着脱可能な「ワーク着脱時位置」とに移動可能となっている。

特開２００５−２０５５２８号公報

しかしながら、ワーク保持体を摺動させるスライド駆動機構としてシリンダを用いた場合には、シリンダロッドをスムーズに進退させることができないおそれがある。

具体的に、ワーク保持体は、案内ロッドに沿って摺動可能に支持されているから、シリンダの組み付け誤差によって、シリンダがワーク保持体の摺動方向に対して傾いた姿勢となっていた場合には、シリンダロッドをスムーズに進退させることができない。

ここで、組み付け誤差を解消するために、シリンダロッドの芯出し作業等の組み付け調整が行われるが、芯出しを精度良く行おうとすると、その分だけ組立工数が増えてしまう。さらに、シリンダロッドに反り等が生じていた場合には、シリンダロッドを組み付け調整しただけでは、芯出しを精度良く行うことができない。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、案内ロッドに沿ってワーク保持体を摺動させる際に、シリンダのシリンダロッドをスムーズに進退させることが可能な両頭平面研削装置を提供することにある。

本発明は、薄板状のワークを挟み込むように配置されて流体の圧力により該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

すなわち、第１の発明は、シリンダ本体と、該シリンダ本体から進退するシリンダロッドとを有し、該シリンダロッドを進退させることで、前記第１及び第２ワーク保持体を前記案内ロッドに沿って摺動させる第１及び第２シリンダと、
前記第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対して前記シリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構とを備えたことを特徴とするものである。

第１の発明では、第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方は、芯ズレ吸収機構によって揺動可能に支持される。芯ズレ吸収機構は、例えば、球面軸受によって構成される。これにより、シリンダの組み付け誤差やシリンダロッドの反り等に起因して、第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢となっていた場合でも、その傾きを芯ズレ吸収機構によって吸収することができるので、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。

第２の発明は、第１の発明において、
前記第２シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第１ワーク保持体に揺動可能に取り付けられ、
前記第２シリンダのシリンダ本体は、前記第２ワーク保持体に取り付けられていることを特徴とするものである。

第２の発明では、第２シリンダのシリンダロッドを後退させると、第２ワーク保持体が第１ワーク保持体に近接する「研削時位置」に保持される。また、第２シリンダのシリンダロッドを前進させると、第２ワーク保持体が第１ワーク保持体から離間した「ワーク着脱時位置」に保持される。そして、第２シリンダのシリンダロッドの先端部が芯ズレ吸収機構を介して第１ワーク保持体に揺動可能に取り付けられているので、芯ズレ吸収機構によってシリンダロッドが揺動することでシリンダロッドの傾きが吸収され、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。

第３の発明は、第１の発明において、
前記第２シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記第１ワーク保持体に取り付けられ、
前記第２シリンダのシリンダ本体は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第２ワーク保持体に揺動可能に取り付けられていることを特徴とするものである。

第３の発明では、第２シリンダのシリンダロッドを後退させると、第２ワーク保持体が第１ワーク保持体に近接する「研削時位置」に保持される。また、第２シリンダのシリンダロッドを前進させると、第２ワーク保持体が第１ワーク保持体から離間した「ワーク着脱時位置」に保持される。そして、第２シリンダのシリンダ本体が芯ズレ吸収機構を介して第２ワーク保持体に揺動可能に取り付けられているので、芯ズレ吸収機構によってシリンダ本体が揺動することでシリンダロッドの傾きが吸収され、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。

第４の発明は、第１乃至第３の発明のうち何れか１つにおいて、
前記第１及び第２シリンダは、前記ワークの周方向に間隔をあけて複数配設されていることを特徴とするものである。

第４の発明では、ワークの周方向に間隔をあけて複数配設された第１及び第２シリンダによって、第１及び第２ワーク保持体が傾いた姿勢で摺動されてしまうのを抑えつつ、第１及び第２ワーク保持体をスムーズに進退させることができる。

本発明によれば、シリンダの組み付け誤差やシリンダロッドの反り等に起因して、第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢となっていた場合でも、その傾きを芯ズレ吸収機構によって吸収することができるので、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。

本実施形態１に係る両頭平面研削装置の構成を示す平面図である。 ワーク保持体がワーク着脱時位置にあるときの正面断面図である。 両頭平面研削装置の構成を示す正面断面図である。 両頭平面研削装置を右方向から見たときの側面断面図である。 シリンダロッドが揺動した状態を一部拡大して示す断面図である。 本実施形態２に係る両頭平面研削装置の構成を示す正面断面図である。 シリンダ本体が揺動した状態を一部拡大して示す断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。各図には、上下や前後左右の方向を矢印で示してある。特に言及しない限り、上下等の方向についてはこれら矢印で示す方向に従って説明する。

《実施形態１》
図１〜図４に示すように、両頭平面研削装置１は、半導体ウェーハ等の薄板円板状のワークＷを保持して回転駆動するワークドライブ装置２と、ワークドライブ装置２により保持及び回転されるワークＷの両面を研削砥石３により研削する砥石装置４とを備えている。ワークドライブ装置２及び砥石装置４は、水平なベッド５上に着脱自在に固定されている。

ワークドライブ装置２は、ワークＷの両面を研削する際にワークＷを保持して回転駆動するもので、ワークＷをその周縁部及び両面側から保持するワーク保持機構６と、ワーク保持機構６で保持されたワークＷを回転駆動するワーク回転機構７と、ワーク保持機構６を移動可能に支持するとともにその周囲を覆う内部ケース８と、ワーク保持機構６を内部ケース８に対してスライド移動させるスライド駆動機構９と、内部ケース８を支持するとともにその外側を覆う外部ケース１０とを備えている。

内部ケース８は、上方及び下方が開口した略矩形の箱状に形成されており、外部ケース１０内の上部側に配置されている。外部ケース１０は、上方が開口した略矩形の箱状に形成され、その底面がベッド５の上面に固定されている。外部ケース１０の前側及び後側には、内部ケース８の前側及び後側を支持する前側支持部１３及び後側支持部１４が設けられている。

前側支持部１３は、内部ケース８をその前側で揺動可能に支持するもので、外部ケース１０の左右の側壁板の前側上部にそれぞれ設けられた一対の支持ロッド１６と、内部ケース８の前側左右に設けられて支持ロッド１６が摺動可能に挿通された支持ブラケット１７とを備えている。これにより、内部ケース８は、その前側の支持ブラケット１７を介して支持ロッド１６により揺動可能に支持されている。

後側支持部１４は、内部ケース８をその後側で高さ位置調整可能に支持するためのもので、カム２１と、カム軸２２を介してカム２１を回転駆動するカムモータ２３と、内部ケース８の後側に設けられたカムフォロア２４とを備えている。

ここで、カムモータ２３を作動させると、カム軸２２を介してカム２１が回転し、カム２１に摺接しているカムフォロア２４の位置が上下する。すなわち、内部ケース８は、その後側のカムフォロア２４を介してカム２１により高さ位置調整可能に支持されている。

外部ケース１０内の下部には、研削砥石３のドレッシングを行うドレッシング装置２５が配置されている。ドレッシング装置２５は、例えば、ベッド５に着脱自在に固定されている。

ワーク保持機構６は、互いに対向するように配置され且つ内部ケース８により左右方向に移動可能に支持される第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０により構成されている。

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、それぞれ、前後方向の鉛直面に平行に配置された第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１と、第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１の対向面側にそれぞれ設けられた第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２とを備えている。

なお、図４では、第１支持プレート３１及び第１サポートパッド３２の側面のみを図示しているが、第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２は、基本的に略同じ構成であるため、第２支持プレート４１及び第２サポートパッド４２の側面については図示を省略する。

第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２は、水等の流体の圧力によりワークＷを両面側から非接触支持するためのもので、略円板状に形成されている。第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の対向面側には、流体を吐出する流体供給孔６５が複数形成されている。

第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の下部側には、その外縁側から第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の中心位置を若干越えた位置まで研削砥石３に対応する円弧状の砥石用切り欠き部６６が形成されている。

第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１は、上下方向寸法が第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２と略等しく、前後方向寸法が第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２よりも大きい略矩形状に形成されており、その対向面側の略中央位置に、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２が着脱可能に固定されている。第１支持プレート３１及び第２支持プレート４１には、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２側の砥石用切り欠き部６６に対応する切り欠き部６７が形成されている。

第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１には、第２ワーク保持体４０との対向面側であって第１サポートパッド３２の周辺部に、４個の支持ローラ６１が、第１サポートパッド３２の外周に沿って略等ピッチで配置されており、これら４個の支持ローラ６１により、ワークＷを保持するワーク保持キャリア６０が回転自在に支持されている。

ワーク保持キャリア６０は、ワークＷを遊嵌可能なリング状に形成されており、内周側の一部に半径方向内側に向けて形成された図示しない突起部とワークＷ側のノッチとが噛み合っている。これにより、ワーク保持キャリア６０が周方向に回転するのに連動して、ワークＷが回転するようになっている。

ワーク回転機構７は、先端にワーク駆動ギア（図示省略）が取り付けられたワーク回転軸２６を回転させるワーク回転モータ２７を備えている。ワーク回転モータ２７の回転駆動力は、ワーク回転軸２６を介してワーク保持キャリア６０に伝達され、ワーク保持キャリア６０が回転するとともにワークＷも回転する。

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、内部ケース８側に左右方向に延びる複数本、例えば４本の案内ロッド５１により左右方向に摺動自在に支持されている。すなわち、内部ケース８側には、前後上下各１本、計４本の案内ロッド５１が架設されている。

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０上で且つ第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の左右両側の位置に、案内ロッド５１に対応する４個の貫通孔５２が設けられている。第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、内部ケース８側の案内ロッド５１に対して貫通孔５２をブッシュ５３を介して摺動自在に嵌合されることにより、左右方向に摺動可能に支持されている。

ここで、ブッシュ５３は、ワークＷの研削時に案内ロッド５１が撓まないように、ダブルブッシュを用いるのが好ましい。ただし、全てのブッシュ５３をダブルブッシュにすると、装置の全長が大きくなってしまうため、本実施形態では、第１ワーク保持体３０側で上側前部及び下側後部の案内ロッド５１を支持するブッシュ５３と、第２ワーク保持体４０側で下側前部及び上側後部の案内ロッド５１を支持するブッシュ５３とについて、ダブルブッシュを用いることにしている。

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０は、上下の案内ロッド５１の間で且つワークＷを挟んで第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の左右両側に配置されたスライド駆動機構９により、案内ロッド５１に沿ってスライド駆動されるようになっている。

スライド駆動機構９は、第１ワーク保持体３０を摺動させる第１シリンダ３５と、第２ワーク保持体４０を摺動させる第２シリンダ４５とを備えている。第１シリンダ３５及び第２シリンダ４５は、例えば、空気圧式のシリンダで構成されている。

第１シリンダ３５は、第１シリンダ本体３６と、第１シリンダ本体３６から進退する第１シリンダロッド３７とを有する。第１シリンダ本体３６の右端部は、内部ケース８の左側壁に取り付けられている。第１シリンダ本体３６の左端部は、外部ケース１０を貫通して外部ケース１０の左外方に突出している。

第１シリンダロッド３７の先端部は、内部ケース８を貫通して、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受５５の構成については後述する。

第２シリンダ４５は、第２シリンダ本体４６と、第２シリンダ本体４６から進退する第２シリンダロッド４７とを有する。第２シリンダ本体４６の左端部は、第２ワーク保持体４０の第２支持プレート４１に取り付けられている。第２シリンダ本体４６の右端部は、内部ケース８及び外部ケース１０を貫通して外部ケース１０の右外方に突出している。第２シリンダロッド４７の先端部は、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受５５の構成については後述する。

スライド駆動機構９により、ワークＷの研削時には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が、内部ケース８内の左右方向の略中央位置において第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２が互いに近接する「研削時位置」（図１参照）に保持される。

本実施形態では、「研削時位置」において、流体の圧力によってワークＷを非接触支持するために、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の間の距離が非常に重要となる。そこで、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０上の少なくとも１箇所、例えば４つの角部にストッパボルト６２を設けるとともに、内部ケース８側にストッパブロック６３を設けるようにしている。これにより、「研削時位置」において、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０のストッパボルト６２が、内部ケース８側のストッパブロック６３に当接して正確に位置決めされる。ストッパボルト６２はその突出量を調整可能となっている。

また、本実施形態では、第２シリンダ４５の第２シリンダロッド４７が第１ワーク保持体３０に取り付けられ、第２シリンダ本体４６が第２ワーク保持体４０に取り付けられている。つまり、第２シリンダ４５は、内部ケース８には直接取り付けられていない。そのため、「研削時位置」において、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０のストッパボルト６２がストッパブロック６３に当接したときの衝撃力は、内部ケース８側ではなく、ストッパボルト６２を介して第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の間で伝達されることとなる。

これにより、内部ケース８側に振動、撓み、歪み、変形等が生じるのを抑えることができる。その結果、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の間の距離を安定させて、ワークＷを高精度に研削することが可能となる。

第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０には、「研削時位置」において、案内ロッド５１や第２シリンダロッド４７が露出しないように覆う筒状のカバー５４が設けられている。具体的に、上側前部及び下側後部の案内ロッド５１を覆うためのカバー５４は、第２支持プレート４１の対向面側に設けられている。第２シリンダロッド４７を覆うためのカバー５４は、第２支持プレート４１の対向面側に設けられている。下側前部及び上側後部の案内ロッド５１を覆うためのカバー５４は、第１支持プレート３１の対向面側に設けられている。

ワークＷの着脱時には、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が「研削時位置」にある状態から、第２シリンダ４５側のみが第２シリンダロッド４７を突出させる方向に作動され、第２ワーク保持体４０が第１ワーク保持体３０から所定距離だけ離間した「ワーク着脱時位置」（図２参照）に保持される。

また、ドレッシング装置２５により研削砥石３のドレッシングを行う際には、例えば、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が「研削時位置」にある状態から、第２シリンダ４５側が第２シリンダロッド４７を突出させる方向（左方向）に作動され、さらに、第１シリンダ３５側が第１シリンダロッド３７を引き込む方向（左方向）に作動され、これによって第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０が互いに離間する方向に移動し、「ドレッシング作業時位置」（図３参照）に保持される。

ところで、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７は、第１シリンダ３５及び第２シリンダ４５の組み付け誤差や第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７の反り等に起因して、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の摺動方向に対して傾いた姿勢となることがある。この場合には、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７をスムーズに進退させることができないため、好ましくない。

そこで、本実施形態では、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７が傾いた姿勢で進退することを許容するために、芯ズレ吸収機構としての球面軸受５５を設けるようにしている。

具体的に、図５にも示すように、球面軸受５５は、球体の左右両側が平坦となるように加工された形状とされ、左右方向に貫通する孔が形成されている。第１シリンダロッド３７の先端部には、締結ボルト５８によって球面軸受５５が締結固定されている。また、第２シリンダロッド４７の先端部にも同様に、締結ボルト５８によって球面軸受５５が締結固定されている。

第１支持プレート３１の左側面及び右側面には、軸受ブロック５６がそれぞれ埋め込まれている。軸受ブロック５６は、球面軸受５５の湾曲凸面に対応した湾曲凹面を有し、球面軸受５５を摺動可能に支持している。左側の軸受ブロック５６の左方には、挟持板５７が配設されている。右側の軸受ブロック５６の右方にも同様に、挟持板５７が配設されている。左右の挟持板５７は、第１支持プレート３１を左右方向に貫通する締結ボルト５８によって共締めされることで、左右の軸受ブロック５６及び第１支持プレート３１を挟持している。

このように、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７の先端部を、球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に揺動可能に取り付けることで、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７が第１ワーク保持体３０の摺動方向に対して傾いた姿勢となっていた場合でも、その傾きを球面軸受５５によって吸収することができる。これにより、第１シリンダロッド３７及び第２シリンダロッド４７をスムーズに進退させることができる。

砥石装置４は、カップ型の研削砥石３と、研削砥石３を回転駆動する駆動モータ（図示省略）とを備え、ワークドライブ装置２の左右両側にそれぞれ１台ずつ配置されている。砥石装置４の研削砥石３は、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０の切り欠き部６７及び第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２の砥石用切り欠き部６６を介して、ワーク保持キャリア６０で保持されたワークＷの両面側に対向するように配置されている。

なお、砥石装置４は、研削砥石３を軸方向（左右方向）に移動可能に構成されており、ワークＷの着脱時には、研削砥石３を、「研削位置」から所定の「待機位置」まで移動させるようになっている。

以上のような構成を有する両頭平面研削装置１において、ワークＷの研削を行う際には、研削砥石３を「待機位置」に、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０を「ワーク着脱時位置」にそれぞれ保持した状態で、ワークＷが、図示しないローダにより、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０間を経てワーク保持キャリア６０に装着される（図２参照）。

ワークＷがワーク保持キャリア６０に装着されると、第２シリンダ４５が第２シリンダロッド４７を引き込む方向に作動されて第２ワーク保持体４０が第１ワーク保持体３０に向かって移動し、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２がワークＷの両面側に近接する「ワーク研削時位置」に保持される。そして、第１サポートパッド３２及び第２サポートパッド４２側の流体供給孔６５から空気や水等の流体が吐出され、ワークＷは、研削砥石３による研削位置よりも外側の領域において、その両面側からこの流体の圧力を受けることにより非接触状態で保持される。

この状態で、ワーク回転モータ２７の駆動によりワーク保持キャリア６０が回転を開始し、それによってワークＷも回転を開始し、また左右の研削砥石３も回転を開始する。ワークＷが回転を開始すると、左右の研削砥石３が回転を開始するとともに、「待機位置」から徐々にワークＷの被研削面に接近し、やがて左右の研削砥石３によりワークＷが研削位置において両側から挟まれた状態となり、ワークＷの研削が始まる。

ワークＷの研削が終了すると、研削砥石３が「研削位置」から「待機位置」まで移動され、第２ワーク保持体４０が「研削時位置」から「ワーク着脱時位置」まで移動され、図示しないローダにより研削後のワークＷがワーク保持キャリア６０から取り出され、搬出される。

《実施形態２》
図６は、本実施形態２に係る両頭平面研削装置の構成を示す正面断面図である。以下、前記実施形態１と同じ部分については同じ符号を付し、相違点についてのみ説明する。

図６に示すように、第２シリンダ４５は、第２シリンダ本体４６と、第２シリンダ本体４６から進退する第２シリンダロッド４７とを有する。第２シリンダ本体４６の左端部は、球面軸受５５を介して第２ワーク保持体４０の第２支持プレート４１に揺動可能に取り付けられている。具体的に、第２シリンダ本体４６は、球面軸受５５の孔に挿通されており、球面軸受５５は、第２支持プレート４１の右側面に埋め込まれた軸受ブロック５６に摺動可能に支持されている。

軸受ブロック５６の右方には、挟持板５７が配設されている。挟持板５７は、締結ボルト５８によって第２支持プレート４１に締結されることで、軸受ブロック５６を挟持している。

第２シリンダ本体４６の右端部は、内部ケース８及び外部ケース１０を貫通して外部ケース１０の右外方に突出している。第２シリンダロッド４７の先端部は、第１ワーク保持体３０の第１支持プレート３１に取り付けられている。

このように、第２シリンダ本体４６を、球面軸受５５を介して第２ワーク保持体４０の第２支持プレート４１に揺動可能に取り付けることで、第２シリンダロッド４７が第２ワーク保持体４０の摺動方向に対して傾いた姿勢となっていた場合でも、その傾きを球面軸受５５によって吸収することができる（図７参照）。これにより、第２シリンダロッド４７をスムーズに進退させることができる。

《その他の実施形態》
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。

本実施形態では、研削砥石３を左右方向に対向させて配置した両頭平面研削装置の例を示したが、その他の両頭平面研削装置、例えば研削砥石３を上下方向に対向させるように構成したもの等にも同様に適用可能である。

また、本実施形態では、第２シリンダロッド４７の先端部を球面軸受５５を介して第１ワーク保持体３０に揺動可能に取り付ける一方、第２シリンダ本体４６を第２ワーク保持体４０に取り付けるようにしたが、この形態に限定するものではない。例えば、第２シリンダロッド４７の先端部を球面軸受５５を介して第２ワーク保持体４０に揺動可能に取り付けてもよい。

また、本実施形態では、第１ワーク保持体３０及び第２ワーク保持体４０を進退させるスライド駆動機構９として、空気圧式等のシリンダを用いた構成について説明したが、例えば、モータとボールネジとを組み合わせた構成としてもよい。

また、本実施形態では、第１シリンダ３５及び第２シリンダ４５をワークＷを挟んで左右両側に２つずつ配設する構成としたが、ワークＷの周方向に間隔をあけて複数配設してもよい。

また、本実施形態では、各図に前後左右の方向を矢印で示し、これら矢印で示す方向に従って装置構成を説明するようにしたが、工場内に設置される両頭平面研削装置１の実際の前後左右の方向は、各図に矢印で示す方向とは逆向きであってもよい。

以上説明したように、本発明は、案内ロッドに沿ってワーク保持体を摺動させる際に、シリンダのシリンダロッドをスムーズに進退させることができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。

１ 両頭平面研削装置
３ 研削砥石
３０ 第１ワーク保持体
３５ 第１シリンダ
３６ 第１シリンダ本体
３７ 第１シリンダロッド
４０ 第２ワーク保持体
４５ 第２シリンダ
４６ 第２シリンダ本体
４７ 第２シリンダロッド
５１ 案内ロッド
５５ 球面軸受（芯ズレ吸収機構）
Ｗ ワーク

Claims (4)

1. 薄板状のワークを挟み込むように配置されて流体の圧力により該ワークを非接触支持する第１及び第２ワーク保持体と、該第１及び第２ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、該第１及び第２ワーク保持体に支持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置であって、
   シリンダ本体と、該シリンダ本体から進退するシリンダロッドとを有し、該シリンダロッドを進退させることで、前記第１及び第２ワーク保持体を前記案内ロッドに沿って摺動させる第１及び第２シリンダと、
   前記第１及び第２シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第１及び第２ワーク保持体の摺動方向に対して前記シリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構とを備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。
2. 請求項１において、
   前記第２シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第１ワーク保持体に揺動可能に取り付けられ、
   前記第２シリンダのシリンダ本体は、前記第２ワーク保持体に取り付けられていることを特徴とする両頭平面研削装置。
3. 請求項１において、
   前記第２シリンダのシリンダロッドの先端部は、前記第１ワーク保持体に取り付けられ、
   前記第２シリンダのシリンダ本体は、前記芯ズレ吸収機構を介して前記第２ワーク保持体に揺動可能に取り付けられていることを特徴とする両頭平面研削装置。
4. 請求項１乃至３のうち何れか１つにおいて、
   前記第１及び第２シリンダは、前記ワークの周方向に間隔をあけて複数配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。

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