JP6556040B2 - バイト切削装置 - Google Patents
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Description
10 バイト切削ユニット
11 被加工物
13 デバイス領域
15A,15B 端材領域
19 分割予定ライン
21 デバイス搭載部
23,25 貫通孔
24 バイトホイール
28 切り刃
38 チャックテーブル
40 デバイス保持部
46 チャックテーブルベース
48 支持基台部
50A,50A´,50B 端材保持部
52(52a〜52e) 負圧開閉弁
56 吸引源
70 突き当て部
Claims (4)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面と直交して回転するスピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を旋回切削する切り刃を有するバイト切削手段と、を備え、中央のデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する端材領域とを備える板状の被加工物を旋回切削するバイト切削装置であって、
該チャックテーブルは、
被加工物の該デバイス領域を吸引保持するデバイス保持部と、
該デバイス保持部の周囲に形成され、該端材領域を吸引保持する端材保持部と、
該デバイス保持部と該端材保持部とを支持する支持基台部と、を備え、
該端材保持部は、該支持基台部に着脱自在に固定され、被加工物の該端材領域の形状に応じて交換可能なことを特徴とするバイト切削装置。 - 該デバイス保持部と該端材保持部は、該切り刃で切削可能な材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載のバイト切削装置。
- 該端材保持部の保持面は、該デバイス保持部に隣接する内周側から外周縁側に向かって、該バイト切削手段の該切り刃から離間する方向へ傾斜する傾斜面に形成されている請求項1又は2記載のバイト切削装置。
- 該端材保持部の外周に、該デバイス保持部の該保持面より上面が低く設定された突き当て部を更に備え、
該突き当て部は、該端材保持部の該傾斜面に沿って保持される被加工物の外周が突き当たることにより、該チャックテーブルの所定の位置に被加工物を位置付ける請求項3記載のバイト切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015238491A JP6556040B2 (ja) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | バイト切削装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015238491A JP6556040B2 (ja) | 2015-12-07 | 2015-12-07 | バイト切削装置 |
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JP (1) | JP6556040B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7138321B2 (ja) | 2019-09-26 | 2022-09-16 | Shoda株式会社 | 加工システム及びその制御方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4268318B2 (ja) * | 2000-06-29 | 2009-05-27 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
JP4449299B2 (ja) * | 2002-09-17 | 2010-04-14 | 株式会社ニコン | 基板ホルダ、基板トレイ、ステージ装置、露光装置 |
JP4959958B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2012-06-27 | パナソニック株式会社 | パネル保持台、パネル組立装置 |
JP5959188B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2016-08-02 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2017107906A (ja) | 2017-06-15 |
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