JP6395593B2 - チャックテーブル - Google Patents
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Description
4 基台
4a 開口
6 支持柱
8 X軸移動テーブル
10 防塵防滴カバー
12 チャックテーブル
14 Z軸移動機構
16 Z軸ガイドレール
18 Z軸移動プレート
20 Z軸ボールネジ
22 Z軸パルスモータ
24 旋削ユニット
26 スピンドルハウジング
28 スピンドル
30 ホイールマウント
32 旋削ホイール
34 バイト
40 基台
42 保持台(保持部)
44 枠体
44a 上面
44b 開口部
44c 外周面
44d 段差部
46 吸引板
46a 保持面
48 吸引経路
50 吸引源
52 シール部材
11 被加工物
11a 被保持面
11b 外周縁
G 隙間
Claims (3)
- 板状の被加工物を加工する加工装置に配設され被加工物を保持するチャックテーブルであって、
被加工物を保持する保持面となる上面を有する吸引板と、該吸引板を囲繞し上面が該保持面と面一に形成された枠体と、を含む保持部と、
該保持部を支持する基台と、
吸引源に接続し該保持面に吸引源の吸引力を伝える吸引経路と、を備え、
該枠体の外周縁部には、該枠体の上面側及び外周面側を全周において切り欠いた段差部が形成され、
該吸引板の上面と該枠体の上面とでなる該保持部の上面は、被加工物の被保持面よりも小さく形成され、
該段差部には、該段差部の全周に対応したシール部材が、該枠体の上面よりも下方に上端を位置付けた状態で配設され、
被加工物の外周縁が該枠体の外周縁部よりも外側に位置付けられ該保持部の上面全体が被加工物によって覆われた状態で被加工物を吸引保持する際に、被加工物の被保持面と該枠体の上面との間でリークが生じると、該リークが生じた領域に作用する吸引力によって該シール部材が吸引されて上方に移動し、該領域を塞ぐことを特徴とするチャックテーブル。 - 該シール部材は、アスカーC型の硬度計により測定される硬度の値が15以下であることを特徴とする請求項1に記載のチャックテーブル。
- 該シール部材の上端は、該リークが生じていない状態で該保持部の上面から1mm〜3mm下方に位置付けられることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のチャックテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014258306A JP6395593B2 (ja) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014258306A JP6395593B2 (ja) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | チャックテーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016117129A JP2016117129A (ja) | 2016-06-30 |
JP6395593B2 true JP6395593B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=56242652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014258306A Active JP6395593B2 (ja) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | チャックテーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6395593B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5294257A (en) * | 1991-10-28 | 1994-03-15 | International Business Machines Corporation | Edge masking spin tool |
SE501689C2 (sv) * | 1993-09-15 | 1995-04-24 | Jan Staffan Aasander | Tätnings- och fasthållningslist |
JPH11104958A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-04-20 | Sony Corp | 研磨装置 |
JP2000005060A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-11 | Hisaka Works Ltd | 蒸煮釜等に用いる蓋シール装置及びこの装置を備えた圧力又は真空容器 |
JP2013212472A (ja) * | 2012-04-03 | 2013-10-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 液滴塗布装置 |
-
2014
- 2014-12-22 JP JP2014258306A patent/JP6395593B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2016117129A (ja) | 2016-06-30 |
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