JP6736217B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、板状の被加工物を切削する際に用いられる切削装置に関する。

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、環状の切削ブレードを備える切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードを被加工物に対して切り込ませながら、切削ブレードと被加工物とを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物を切削できる。

ところで、上述した切削ブレードは、通常、ダイヤモンド等の砥粒をビトリファイド等の結合材で固定して形成される。被加工物を切削する前には、切削ブレードをドレスボード（ドレッシングボード）に切り込ませることで、回転軸となるスピンドルと同心状に切削ブレードの形状を整え（真円出し）、また、刃先の目詰まりや目潰れ等を解消しておく（目立て）。

ドレスボードとしては、切削ブレードの種類や調整（以下、ドレッシング）の目的等に応じた適切なものが選択される。そのため、例えば、１種類の切削ブレードに対して、異なる複数のドレスボード（例えば、真円出し用のドレスボードと、目立て用のドレスボード）を用意することも少なくない。

切削ブレードのドレッシングは、通常、被加工物を保持するためのチャックテーブルでドレスボードを保持しながら遂行される。ところが、この方法では、頻繁に行われるドレッシングの度に被加工物とドレスボードとを載せ替えなくてはならない。この問題に対して、近年では、ドレスボードを保持するための専用のチャックテーブルを備える切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１６１７５号公報

上述した切削装置は、被加工物を保持するためのチャックテーブルとは別に、ドレスボードを保持するための２組のチャックテーブルを備えている。よって、この切削装置を用いれば、ドレッシングの度に被加工物とドレスボードとを載せ替える必要がなくなる。

しかしながら、この切削装置では、例えば、２種類の切削ブレードのそれぞれに対して異なる２つのドレスボードを用いる場合（すなわち、４つのドレッシングボードを用いる場合）のように、３つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングに対応できなかった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、３つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングに対応できる新たな切削装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、該切削ブレードのドレッシングに用いられるドレスボードを保持するドレスボード用チャックテーブルと、を備える切削装置であって、該ドレスボード用チャックテーブルは、それぞれがドレスボードを保持する３つ以上のドレスボード保持面を外周に備え、該ドレスボード保持面に平行な回転軸で回転可能な柱状の回転保持体と、該回転保持体を回転させ、３つ以上の該ドレスボード保持面のいずれか１つを該チャックテーブルの該保持面に平行なドレッシング位置に移動させる回転駆動部と、を有する切削装置が提供される。

本発明の一態様において、該ドレスボード用チャックテーブルは、該ドレスボード保持面毎に該ドレスボードを保持したことを検出する検出部を更に備えることが好ましい。

また、本発明の一態様において、該切削ユニットは、第１切削ブレードを装着する第１切削ユニットと、第２切削ブレードを装着する第２切削ユニットと、を含み、該ドレスボード用チャックテーブルの３つ以上の該ドレスボード保持面は、該第１切削ブレードのドレッシングに用いられる第１ドレスボードを保持する第１ドレスボード保持面と、該第２切削ブレードのドレッシングに用いられる第２ドレスボードを保持する第２ドレスボード保持面と、を含むことが好ましい。

本発明の一態様に係る切削装置は、３つ以上のドレスボード保持面を有する回転保持体と、この回転保持体を回転させる回転駆動部と、を含むドレスボード用チャックテーブルを備えるので、回転駆動部で回転保持体を回転させて、各ドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させることで、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボードを使い分けて切削ブレードのドレッシングを実施できる。つまり、本発明の一態様に係る切削装置によれば、３つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングにも適切に対応できる。

切削装置の構成例を模式的に示す図である。 ドレスボード用チャックテーブルの構成例を模式的に示す斜視図である。 図３（Ａ）は、回転保持体等の構成例を模式的に示す図であり、図３（Ｂ）は、ドレスボードを固定するための固定具の構成例を模式的に示す斜視図である。 図４（Ａ）は、第１切削ブレード及び第２切削ブレードのドレッシングについて説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、第１切削ブレード及び第２切削ブレードで被加工物が切削される様子を説明するための平面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。

基台４の前方の角部には、矩形の開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降するカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容するカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、その表面１１ａ（図４（Ａ）等参照）側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられる。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３（図４（Ａ）等参照）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいダイシングテープ１７が貼付されている。ダイシングテープ１７の外周部分は、環状のフレーム１９に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１７を介してフレーム１９に支持されている。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる矩形の基板を被加工物１１として用いることもできる。デバイス１５の種類、数量、配置等にも制限はない。

カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１９を四方から固定するための４個のクランプ１６が配置されている。

チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に加工送りされる。

チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａになっている。この保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。

開口４ｂに近接する位置には、上述した被加工物１１をチャックテーブル１４へと搬送する搬送ユニット（不図示）が設けられている。搬送ユニットで搬送された被加工物１１は、例えば、表面１１ａ側が上方に露出するようにチャックテーブル１４の保持面１４ａに載せられる。

基台４の上面には、２組の切削ユニット２２（第１切削ユニット２２ａ、第２切削ユニット２２ｂ）を支持するための門型の支持構造２４が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２４の前面上部には、各切削ユニット２２をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構２６が設けられている。

各切削ユニット移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２８には、各切削ユニット移動機構２６を構成するＹ軸移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。

各Ｙ軸移動プレート３０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２８に平行なＹ軸ボールネジ３２がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３４が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３４でＹ軸ボールネジ３２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。

各Ｙ軸移動プレート３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。

各Ｚ軸移動プレート３８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６に平行なＺ軸ボールネジ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４２でＺ軸ボールネジ４０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。

各Ｚ軸移動プレート３８の下部には、切削ユニット２２が設けられている。この切削ユニット２２は、回転軸となるスピンドル（第１スピンドル４４ａ、第２スピンドル４４ｂ）（図４（Ａ）等参照）の一端側に装着された円環状の切削ブレード４６（第１切削ブレード４６ａ、第２切削ブレード４６ｂ）（図４（Ａ）等参照）を備えている。また、切削ユニット２２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するカメラ（撮像ユニット）４８が設けられている。

各切削ユニット移動機構２６でＹ軸移動プレート３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、Ｙ軸方向に割り出し送りされる。また、各切削ユニット移動機構２６でＺ軸移動プレート３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、昇降する。

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、円形の開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット５０が設けられている。Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１４、切削ユニット２２、切削ユニット移動機構２６、カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素には、制御ユニット５２が接続されている。各構成要素は、この制御ユニット５２によって制御される。

また、本実施形態に係る切削装置２のＸ軸移動テーブル１０には、２組のドレスボード用チャックテーブル５４（第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａ、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂ）（図２等参照）が設けられている。図２は、ドレスボード用チャックテーブル５４の構成例を模式的に示す斜視図である。

図２に示すように、各ドレスボード用チャックテーブル５４は、チャックテーブル１４の後端側上面に設けられている。第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａは、Ｘ軸移動テーブル１０の第１切削ユニット２２ａ側に配置されており、主に、第１切削ブレード４６ａをドレッシングする際に用いられる。これに対して、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂは、Ｘ軸移動テーブル１０の第２切削ユニット２２ｂ側に配置されており、主に、第２切削ブレード４６ｂをドレッシングする際に用いられる。

第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａは、Ｘ軸移動テーブル１０から後方に伸びる支持板５６ａを有している。支持板５６ａの前端側下面は、Ｘ軸移動テーブル１０の後端側上面に固定されている。一方、支持板５６ａの後端側上面には、軸受け構造５８ａが固定されている。軸受け構造５８ａは、Ｙ軸方向に長い水平部と、水平部の両端（Ｙ軸方向の両端）から上方に伸びる一対の鉛直部とで構成されており、四角柱状の回転保持体６０ａを、Ｙ軸方向に平行な回転軸の周りに回転できる態様で支持する。

第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂの構造も、第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａと同様である。すなわち、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂは、Ｘ軸移動テーブル１０から後方に伸びる支持板５６ｂと、支持板５６ｂの後端側上面に固定された軸受け構造５８ｂと、を含む。軸受け構造５８ｂには、Ｙ軸方向に平行な回転軸の周りに回転する四角柱状の回転保持体６０ｂが支持される。

なお、チャックテーブル１４は、図２に示すように、Ｘ軸移動テーブル１０の上面に固定されたチャックテーブルベース１０ａの上端部に装着される。チャックテーブルベース１０ａの周囲には、４組のクランプ装着具１０ｂが設けられている。各クランプ装着具１０ｂには、上述したクランプ１６が装着される。

次に、回転保持体６０ａ，６０ｂ等の詳細について説明する。図３（Ａ）は、回転保持体６０ａ，６０ｂ等の構成例を模式的に示す図である。図３（Ａ）に示すように、回転保持体６０ａ，６０ｂは、概ね平坦な４つの側面を持つ四角柱状のドレスボード保持部６２を有している。ドレスボード２１は、このドレスボード保持部６２の４つの側面に装着される。

すなわち、ドレスボード保持部６２の４つの側面は、それぞれ、ドレスボード２１を保持するためのドレスボード保持面（第１ドレスボード保持面６２ａ、第２ドレスボード保持面６２ｂ、第３ドレスボード保持面（不図示）、第４ドレスボード保持面（不図示））として機能する。なお、図３（Ａ）では、説明の便宜上、ドレスボード２１の輪郭を破線で示している。

ドレスボード保持部６２の２つの底面（４つの側面を除いた残り２つの面）には、それぞれ、ドレスボード固定部６４が設けられている。ドレスボード固定部６４は、ドレスボード保持部６２の底面に相当する形状の底面部６４ａを有している。底面部６４ａの中央には、Ｙ軸方向に平行且つ外向きに突出する円柱状のシャフト６４ｂが設けられている。

このシャフト６４ｂは、回転保持体６０ａ，６０ｂの回転軸として機能し、上述した軸受け構造５８ｂが備える軸受け部（不図示）に挿入される。また、このシャフト６４ｂには、回転保持体６０ａ，６０ｂを回転させるための回転駆動源（回転駆動部）６６が連結されている。回転駆動源６６の動作は、上述した制御ユニット５２によって制御される。

シャフト６４ｂの周囲には、４個の凹部６４ｃが設けられている。一方、軸受け構造５８ｂの軸受け部の周囲には、凹部６４ｃに対応する凸部（不図示）が設けられている。凹部６４ｃと凸部とは、互いに係合した状態でドレスボード保持面のいずれか１つがチャックテーブル１４の保持面１４ａに対して平行となる位置関係に配置される。

軸受け構造５８ｂの凸部は、ばね等の付勢部材で回転保持体６０ａ，６０ｂ（凹部６４ｃ）に向けて付勢されていることが望ましい。これにより、回転駆動源６６で回転保持体６０ａ，６０ｂをスムーズに回転させて、ドレスボード保持面のいずれか１つをチャックテーブル１４の保持面１４ａに対して平行且つドレッシングに適したドレッシング位置に移動できる。

また、底面部６４ａの周囲には、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボード２１を固定するための第１固定部６４ｄ、第２固定部６４ｅ、第３固定部６４ｆ、第４固定部６４ｇが設けられている。第１固定部６４ｄは、第１ドレスボード保持面６２ａに対応する位置に配置され、第２固定部６４ｅは、第２ドレスボード保持面６２ｂに対応する位置に配置される。

同様に、第３固定部６４ｆは、第３ドレスボード保持面に対応する位置に配置され、第４固定部６４ｇは、第４ドレスボード保持面に対応する位置に配置される。各ドレスボード保持面と、第１固定部６４ｄ、第２固定部６４ｅ、第３固定部６４ｆ、第４固定部６４ｇとの間には、ドレスボード２１を挿入するための隙間が形成されている。

第１固定部６４ｄ、第２固定部６４ｅ、第３固定部６４ｆ、第４固定部６４ｇには、それぞれ、上述した隙間に挿入されるドレスボード２１を固定するための固定具６８が取り付けられている。図３（Ｂ）は、ドレスボード２１を固定するための固定具６８の構成例を模式的に示す斜視図である。

固定具６８は、例えば、ボールプランジャであり、図３（Ｂ）に示すような円筒状の筐体７０を備える。筐体７０の内部には、ばね等の付勢部材（不図示）が内蔵されており、この付勢部材によって、筐体７０の一端側に配置されたボール７２が外向きに付勢される。このような固定具６８を用いることで、回転保持体６０ａ，６０ｂに対してドレスボード２１を容易に着脱できるようになる。

なお、本実施形態では、ドレスボード２１をボールプランジャ等の固定具６８で固定しているが、各ドレスボード保持面に吸引源の負圧を作用させる方法等で、ドレスボード２１を各ドレスボード保持面に吸引、保持させることもできる。

また、各ドレスボード用チャックテーブル５４は、各ドレスボード保持面にドレスボード２１が保持されているか否かを検出できるセンサ（検出部）を更に備えても良い。例えば、センサの検出結果を制御ユニット５２に通知しておくことで、ドレスボード２１を保持していないドレスボード保持面を誤ってドレッシング位置に移動させてしまうことがなくなる。

同様に、ドレスボード保持面にドレスボード２１が保持されているか否かの情報を手動で入力しても良い。なお、この場合には、各ドレスボード保持面に保持されているドレスボード２１の種類や、各切削ユニット２２に装着されている切削ブレード４６の種類等の情報を併せて切削装置２（制御ユニット５２）に入力することが望ましい。

これにより、制御ユニット５２は、ドレッシングに適したドレスボード２１を保持するドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させて、各切削ブレード４６のドレッシングを遂行できるようになる。つまり、各切削ブレード４６のドレッシングが完全に自動化されるので、ドレッシングを効率良く実施できる。

次に、上述した切削装置２の使用方法の例について説明する。図４（Ａ）は、第１切削ブレード４６ａ及び第２切削ブレード４６ｂのドレッシングについて説明するための平面図であり、図４（Ｂ）は、第１切削ブレード４６ａ及び第２切削ブレード４６ｂで被加工物１１が切削される様子を説明するための平面図である。なお、本実施形態では、小さな砥粒及びボンドによって形成される厚い第１切削ブレード４６ａと、大きな砥粒及びボンドによって形成される薄い第２切削ブレード４６ｂとを用いる場合について説明する。

ドレッシングを実施する前には、例えば、第１切削ブレード４６ａのドレッシングに適した第１ドレスボード２１ａを、第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａの回転保持体６０ａに装着しておく。同様に、例えば、第２切削ブレード４６ｂのドレッシングに適した第２ドレスボード２１ｂを、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂの回転保持体６０ｂに装着しておく。

ドレッシングを実施する際には、まず、回転保持体６０ａを回転させて、第１切削ブレード４６ａ用の第１ドレスボード２１ａを保持したドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させる。これにより、第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａの上部には、第１切削ブレード４６ａのドレッシングに適した第１ドレスボード２１ａが露出する。

また、回転保持体６０ｂを回転させて、第２切削ブレード４６ｂ用の第２ドレスボード２１ｂを保持したドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させる。これにより、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂの上部には、第２切削ブレード４６ｂのドレッシングに適した第２ドレスボード２１ｂが露出する。なお、回転保持体６０ａ及び回転保持体６０ｂの回転は、制御ユニット５２の指示に基づいて自動的に遂行されることが望ましい。もちろん、作業者等の指示等に基づいて手動で行われても良い。

この状態で、図４（Ａ）に示すように、回転させた第１切削ブレード４６ａを第１ドレスボード２１ａに切り込ませ、回転させた第２切削ブレード４６ｂを第２ドレスボード２１ｂに切り込ませる。これにより、真円出しや目立て等を目的とする第１切削ブレード４６ａ及び第２切削ブレード４６ｂのドレッシングを実施できる。

なお、使用するドレスボード２１を切り替えて（すなわち、回転保持体６０ａ，６０ｂを回転させて）、目的の異なる複数のドレッシングを連続的に又は断続的に実施することもできる。本実施形態に係る切削装置２では、２組のドレスボード用チャックテーブル５４のそれぞれに４つのドレスボード２１を装着できるので、最大で８種類のドレッシングを効率良く実施できる。

第１切削ブレード４６ａ及び第２切削ブレード４６ｂのドレッシングが完了した後には、図４（Ｂ）に示すように、第１切削ブレード４６ａ及び第２切削ブレード４６ｂを用いて被加工物１１を切削する。本実施形態では、図４（Ｂ）に示すように、第１切削ブレード４６ａと第２切削ブレード４６ｂとの厚み等を異ならせているので、例えば、砥粒が小さく厚い第１切削ブレード４６ａで形成した太い溝の内側を砥粒が大きく薄い第２切削ブレード４６ｂで切削するステップカット等を実施できる。

以上のように、本実施形態に係る切削装置２は、４つ（３つ以上）のドレスボード保持面（第１ドレスボード保持面６２ａ、第２ドレスボード保持面６２ｂ、第３ドレスボード保持面、第４ドレスボード保持面）を有する回転保持体６０ａ，６０ｂと、この回転保持体６０ａ，６０ｂを回転させる回転駆動源（回転駆動部）６６と、を含むドレスボード用チャックテーブル５４（第１ドレスボード用チャックテーブル５４ａ、第２ドレスボード用チャックテーブル５４ｂ）を備えるので、回転駆動源６６で回転保持体６０ａ，６０ｂを回転させて、各ドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させることで、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボード２１を使い分けて切削ブレード４６（第１切削ブレード４６ａ、第２切削ブレード４６ｂ）のドレッシングを実施できる。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、２組のドレスボード用チャックテーブル５４を備える切削装置２について例示しているが、本発明に係る切削装置が備えるドレスボード用チャックテーブルは、１組又は３組以上でも良い。

切削装置が備えるドレスボード用チャックテーブルが１組の場合には、例えば、第１切削ブレード４６ａのドレッシングに用いられる第１ドレスボード２１ａを第１ドレスボード保持面６２ａに保持させ、第２切削ブレード４６ｂのドレッシングに用いられる第２ドレスボード２１ｂを第２ドレスボード保持面６２ｂに保持させる等して、各切削ブレード４６に適したドレッシングを実施する。

また、上記実施形態では、四角柱状の回転保持体６０ａ，６０ｂを用いているが、回転保持体は、ドレスボード保持面として機能する少なくとも３つ以上の側面を備えていれば良い。すなわち、三角柱状、五角柱状、六角柱状といった多角柱状の回転保持体を用いることもできる。

また、各ドレスボード保持面には、必ずしも異なるドレスボード２１を保持させなくて良い。各ドレスボード保持面に同じドレスボード２１を保持させることで、同じ種類のドレッシングを行う場合にドレスボードの交換作業の頻度を減らすことができる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセット支持台
８ カセット
１０ Ｘ軸移動テーブル
１０ａ チャックテーブルベース
１０ｂ クランプ装着具
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル
１４ａ 保持面
１６ クランプ
２２ 切削ユニット
２２ａ 第１切削ユニット
２２ｂ 第２切削ユニット
２４ 支持構造
２６ 切削ユニット移動機構
２８ Ｙ軸ガイドレール
３０ Ｙ軸移動プレート
３２ Ｙ軸ボールネジ
３４ Ｙ軸パルスモータ
３６ Ｚ軸ガイドレール
３８ Ｚ軸移動プレート
４０ Ｚ軸ボールネジ
４２ Ｚ軸パルスモータ
４４ａ 第１スピンドル
４４ｂ 第２スピンドル
４６ 切削ブレード
４６ａ 第１切削ブレード
４６ｂ 第２切削ブレード
４８ カメラ（撮像ユニット）
５０ 洗浄ユニット
５２ 制御ユニット
５４ ドレスボード用チャックテーブル
５４ａ 第１ドレスボード用チャックテーブル
５４ｂ 第２ドレスボード用チャックテーブル
５６ａ，５６ｂ 支持板
５８ａ，５８ｂ 軸受け構造
６０ａ，６０ｂ 回転保持体
６２ ドレスボード保持部
６２ａ 第１ドレスボード保持面
６２ｂ 第２ドレスボード保持面
６４ ドレスボード固定部
６４ａ 底面部
６４ｂ シャフト
６４ｃ 凹部
６４ｄ 第１固定部
６４ｅ 第２固定部
６４ｆ 第３固定部
６４ｇ 第４固定部
６６ 回転駆動源（回転駆動部）
６８ 固定具
７０ 筐体
７２ ボール
１１ 被加工物
１１ａ 表面
１３ 分割予定ライン（ストリート）
１５ デバイス
１７ ダイシングテープ
１９ フレーム
２１ ドレスボード
２１ａ 第１ドレスボード
２１ｂ 第２ドレスボード

Claims (3)

1. 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、該切削ブレードのドレッシングに用いられるドレスボードを保持するドレスボード用チャックテーブルと、を備える切削装置であって、
   該ドレスボード用チャックテーブルは、
   それぞれがドレスボードを保持する３つ以上のドレスボード保持面を外周に備え、該ドレスボード保持面に平行な回転軸で回転可能な柱状の回転保持体と、
   該回転保持体を回転させ、３つ以上の該ドレスボード保持面のいずれか１つを該チャックテーブルの該保持面に平行なドレッシング位置に移動させる回転駆動部と、を有することを特徴とする切削装置。
2. 該ドレスボード用チャックテーブルは、該ドレスボード保持面毎に該ドレスボードを保持したことを検出する検出部を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
3. 該切削ユニットは、第１切削ブレードを装着する第１切削ユニットと、第２切削ブレードを装着する第２切削ユニットと、を含み、
   該ドレスボード用チャックテーブルの３つ以上の該ドレスボード保持面は、該第１切削ブレードのドレッシングに用いられる第１ドレスボードを保持する第１ドレスボード保持面と、該第２切削ブレードのドレッシングに用いられる第２ドレスボードを保持する第２ドレスボード保持面と、を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切削装置。