JP6736217B2 - 切削装置 - Google Patents

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本発明は、板状の被加工物を切削する際に用いられる切削装置に関する。
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割する際には、例えば、環状の切削ブレードを備える切削装置が使用される。高速に回転させた切削ブレードを被加工物に対して切り込ませながら、切削ブレードと被加工物とを相対的に移動させることで、この移動の経路に沿って被加工物を切削できる。
ところで、上述した切削ブレードは、通常、ダイヤモンド等の砥粒をビトリファイド等の結合材で固定して形成される。被加工物を切削する前には、切削ブレードをドレスボード(ドレッシングボード)に切り込ませることで、回転軸となるスピンドルと同心状に切削ブレードの形状を整え(真円出し)、また、刃先の目詰まりや目潰れ等を解消しておく(目立て)。
ドレスボードとしては、切削ブレードの種類や調整(以下、ドレッシング)の目的等に応じた適切なものが選択される。そのため、例えば、1種類の切削ブレードに対して、異なる複数のドレスボード(例えば、真円出し用のドレスボードと、目立て用のドレスボード)を用意することも少なくない。
切削ブレードのドレッシングは、通常、被加工物を保持するためのチャックテーブルでドレスボードを保持しながら遂行される。ところが、この方法では、頻繁に行われるドレッシングの度に被加工物とドレスボードとを載せ替えなくてはならない。この問題に対して、近年では、ドレスボードを保持するための専用のチャックテーブルを備える切削装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2011−16175号公報
上述した切削装置は、被加工物を保持するためのチャックテーブルとは別に、ドレスボードを保持するための2組のチャックテーブルを備えている。よって、この切削装置を用いれば、ドレッシングの度に被加工物とドレスボードとを載せ替える必要がなくなる。
しかしながら、この切削装置では、例えば、2種類の切削ブレードのそれぞれに対して異なる2つのドレスボードを用いる場合(すなわち、4つのドレッシングボードを用いる場合)のように、3つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングに対応できなかった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、3つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングに対応できる新たな切削装置を提供することである。
本発明の一態様によれば、被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、該切削ブレードのドレッシングに用いられるドレスボードを保持するドレスボード用チャックテーブルと、を備える切削装置であって、該ドレスボード用チャックテーブルは、それぞれがドレスボードを保持する3つ以上のドレスボード保持面を外周に備え、該ドレスボード保持面に平行な回転軸で回転可能な柱状の回転保持体と、該回転保持体を回転させ、3つ以上の該ドレスボード保持面のいずれか1つを該チャックテーブルの該保持面に平行なドレッシング位置に移動させる回転駆動部と、を有する切削装置が提供される。
本発明の一態様において、該ドレスボード用チャックテーブルは、該ドレスボード保持面毎に該ドレスボードを保持したことを検出する検出部を更に備えることが好ましい。
また、本発明の一態様において、該切削ユニットは、第1切削ブレードを装着する第1切削ユニットと、第2切削ブレードを装着する第2切削ユニットと、を含み、該ドレスボード用チャックテーブルの3つ以上の該ドレスボード保持面は、該第1切削ブレードのドレッシングに用いられる第1ドレスボードを保持する第1ドレスボード保持面と、該第2切削ブレードのドレッシングに用いられる第2ドレスボードを保持する第2ドレスボード保持面と、を含むことが好ましい。
本発明の一態様に係る切削装置は、3つ以上のドレスボード保持面を有する回転保持体と、この回転保持体を回転させる回転駆動部と、を含むドレスボード用チャックテーブルを備えるので、回転駆動部で回転保持体を回転させて、各ドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させることで、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボードを使い分けて切削ブレードのドレッシングを実施できる。つまり、本発明の一態様に係る切削装置によれば、3つ以上のドレスボードを必要とするドレッシングにも適切に対応できる。
切削装置の構成例を模式的に示す図である。 ドレスボード用チャックテーブルの構成例を模式的に示す斜視図である。 図3(A)は、回転保持体等の構成例を模式的に示す図であり、図3(B)は、ドレスボードを固定するための固定具の構成例を模式的に示す斜視図である。 図4(A)は、第1切削ブレード及び第2切削ブレードのドレッシングについて説明するための平面図であり、図4(B)は、第1切削ブレード及び第2切削ブレードで被加工物が切削される様子を説明するための平面図である。
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る切削装置2の構成例を模式的に示す図である。図1に示すように、切削装置2は、各構造を支持する基台4を備えている。
基台4の前方の角部には、矩形の開口4aが形成されており、この開口4a内には、昇降するカセット支持台6が設けられている。カセット支持台6の上面には、複数の被加工物11を収容するカセット8が載せられる。なお、図1では、説明の便宜上、カセット8の輪郭のみを示している。
被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、その表面11a(図4(A)等参照)側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられる。デバイス領域は、格子状に配列された分割予定ライン(ストリート)13(図4(A)等参照)でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、IC、LSI等のデバイス15が形成されている。
被加工物11の裏面側には、被加工物11よりも径の大きいダイシングテープ17が貼付されている。ダイシングテープ17の外周部分は、環状のフレーム19に固定されている。すなわち、被加工物11は、ダイシングテープ17を介してフレーム19に支持されている。
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物11としているが、被加工物11の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる矩形の基板を被加工物11として用いることもできる。デバイス15の種類、数量、配置等にも制限はない。
カセット支持台6の側方には、X軸方向(前後方向、加工送り方向)に長い矩形の開口4bが形成されている。この開口4b内には、X軸移動テーブル10、X軸移動テーブル10をX軸方向に移動させるX軸移動機構(不図示)及びX軸移動機構を覆う防塵防滴カバー12が設けられている。
X軸移動機構は、X軸方向に平行な一対のX軸ガイドレール(不図示)を備えており、X軸ガイドレールには、X軸移動テーブル10がスライド可能に取り付けられている。X軸移動テーブル10の下面側には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、X軸ガイドレールに平行なX軸ボールネジ(不図示)が螺合されている。
X軸ボールネジの一端部には、X軸パルスモータ(不図示)が連結されている。X軸パルスモータでX軸ボールネジを回転させることで、X軸移動テーブル10は、X軸ガイドレールに沿ってX軸方向に移動する。
X軸移動テーブル10の上方には、被加工物11を保持するためのチャックテーブル14が設けられている。チャックテーブル14の周囲には、被加工物11を支持する環状のフレーム19を四方から固定するための4個のクランプ16が配置されている。
チャックテーブル14は、モータ等の回転駆動源(不図示)に連結されており、Z軸方向(鉛直方向)に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル14は、上述のX軸移動機構でX軸方向に加工送りされる。
チャックテーブル14の上面は、被加工物11を保持する保持面14aになっている。この保持面14aは、チャックテーブル14の内部に形成された吸引路等を通じて吸引源(不図示)に接続されている。
開口4bに近接する位置には、上述した被加工物11をチャックテーブル14へと搬送する搬送ユニット(不図示)が設けられている。搬送ユニットで搬送された被加工物11は、例えば、表面11a側が上方に露出するようにチャックテーブル14の保持面14aに載せられる。
基台4の上面には、2組の切削ユニット22(第1切削ユニット22a、第2切削ユニット22b)を支持するための門型の支持構造24が、開口4bを跨ぐように配置されている。支持構造24の前面上部には、各切削ユニット22をY軸方向(左右方向、割り出し送り方向)及びZ軸方向に移動させる2組の切削ユニット移動機構26が設けられている。
各切削ユニット移動機構26は、支持構造24の前面に配置されY軸方向に平行な一対のY軸ガイドレール28を共通に備えている。Y軸ガイドレール28には、各切削ユニット移動機構26を構成するY軸移動プレート30がスライド可能に取り付けられている。
各Y軸移動プレート30の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Y軸ガイドレール28に平行なY軸ボールネジ32がそれぞれ螺合されている。各Y軸ボールネジ32の一端部には、Y軸パルスモータ34が連結されている。Y軸パルスモータ34でY軸ボールネジ32を回転させれば、Y軸移動プレート30は、Y軸ガイドレール28に沿ってY軸方向に移動する。
各Y軸移動プレート30の表面(前面)には、Z軸方向に平行な一対のZ軸ガイドレール36が設けられている。Z軸ガイドレール36には、Z軸移動プレート38がスライド可能に取り付けられている。
各Z軸移動プレート38の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸ガイドレール36に平行なZ軸ボールネジ40がそれぞれ螺合されている。各Z軸ボールネジ40の一端部には、Z軸パルスモータ42が連結されている。Z軸パルスモータ42でZ軸ボールネジ40を回転させれば、Z軸移動プレート38は、Z軸ガイドレール36に沿ってZ軸方向に移動する。
各Z軸移動プレート38の下部には、切削ユニット22が設けられている。この切削ユニット22は、回転軸となるスピンドル(第1スピンドル44a、第2スピンドル44b)(図4(A)等参照)の一端側に装着された円環状の切削ブレード46(第1切削ブレード46a、第2切削ブレード46b)(図4(A)等参照)を備えている。また、切削ユニット22に隣接する位置には、被加工物11等を撮像するカメラ(撮像ユニット)48が設けられている。
各切削ユニット移動機構26でY軸移動プレート30をY軸方向に移動させれば、切削ユニット22及びカメラ48は、Y軸方向に割り出し送りされる。また、各切削ユニット移動機構26でZ軸移動プレート38をZ軸方向に移動させれば、切削ユニット22及びカメラ48は、昇降する。
開口4bに対して開口4aと反対側の位置には、円形の開口4cが形成されている。開口4c内には、切削後の被加工物11等を洗浄するための洗浄ユニット50が設けられている。X軸移動機構、チャックテーブル14、切削ユニット22、切削ユニット移動機構26、カメラ48、洗浄ユニット50等の構成要素には、制御ユニット52が接続されている。各構成要素は、この制御ユニット52によって制御される。
また、本実施形態に係る切削装置2のX軸移動テーブル10には、2組のドレスボード用チャックテーブル54(第1ドレスボード用チャックテーブル54a、第2ドレスボード用チャックテーブル54b)(図2等参照)が設けられている。図2は、ドレスボード用チャックテーブル54の構成例を模式的に示す斜視図である。
図2に示すように、各ドレスボード用チャックテーブル54は、チャックテーブル14の後端側上面に設けられている。第1ドレスボード用チャックテーブル54aは、X軸移動テーブル10の第1切削ユニット22a側に配置されており、主に、第1切削ブレード46aをドレッシングする際に用いられる。これに対して、第2ドレスボード用チャックテーブル54bは、X軸移動テーブル10の第2切削ユニット22b側に配置されており、主に、第2切削ブレード46bをドレッシングする際に用いられる。
第1ドレスボード用チャックテーブル54aは、X軸移動テーブル10から後方に伸びる支持板56aを有している。支持板56aの前端側下面は、X軸移動テーブル10の後端側上面に固定されている。一方、支持板56aの後端側上面には、軸受け構造58aが固定されている。軸受け構造58aは、Y軸方向に長い水平部と、水平部の両端(Y軸方向の両端)から上方に伸びる一対の鉛直部とで構成されており、四角柱状の回転保持体60aを、Y軸方向に平行な回転軸の周りに回転できる態様で支持する。
第2ドレスボード用チャックテーブル54bの構造も、第1ドレスボード用チャックテーブル54aと同様である。すなわち、第2ドレスボード用チャックテーブル54bは、X軸移動テーブル10から後方に伸びる支持板56bと、支持板56bの後端側上面に固定された軸受け構造58bと、を含む。軸受け構造58bには、Y軸方向に平行な回転軸の周りに回転する四角柱状の回転保持体60bが支持される。
なお、チャックテーブル14は、図2に示すように、X軸移動テーブル10の上面に固定されたチャックテーブルベース10aの上端部に装着される。チャックテーブルベース10aの周囲には、4組のクランプ装着具10bが設けられている。各クランプ装着具10bには、上述したクランプ16が装着される。
次に、回転保持体60a,60b等の詳細について説明する。図3(A)は、回転保持体60a,60b等の構成例を模式的に示す図である。図3(A)に示すように、回転保持体60a,60bは、概ね平坦な4つの側面を持つ四角柱状のドレスボード保持部62を有している。ドレスボード21は、このドレスボード保持部62の4つの側面に装着される。
すなわち、ドレスボード保持部62の4つの側面は、それぞれ、ドレスボード21を保持するためのドレスボード保持面(第1ドレスボード保持面62a、第2ドレスボード保持面62b、第3ドレスボード保持面(不図示)、第4ドレスボード保持面(不図示))として機能する。なお、図3(A)では、説明の便宜上、ドレスボード21の輪郭を破線で示している。
ドレスボード保持部62の2つの底面(4つの側面を除いた残り2つの面)には、それぞれ、ドレスボード固定部64が設けられている。ドレスボード固定部64は、ドレスボード保持部62の底面に相当する形状の底面部64aを有している。底面部64aの中央には、Y軸方向に平行且つ外向きに突出する円柱状のシャフト64bが設けられている。
このシャフト64bは、回転保持体60a,60bの回転軸として機能し、上述した軸受け構造58bが備える軸受け部(不図示)に挿入される。また、このシャフト64bには、回転保持体60a,60bを回転させるための回転駆動源(回転駆動部)66が連結されている。回転駆動源66の動作は、上述した制御ユニット52によって制御される。
シャフト64bの周囲には、4個の凹部64cが設けられている。一方、軸受け構造58bの軸受け部の周囲には、凹部64cに対応する凸部(不図示)が設けられている。凹部64cと凸部とは、互いに係合した状態でドレスボード保持面のいずれか1つがチャックテーブル14の保持面14aに対して平行となる位置関係に配置される。
軸受け構造58bの凸部は、ばね等の付勢部材で回転保持体60a,60b(凹部64c)に向けて付勢されていることが望ましい。これにより、回転駆動源66で回転保持体60a,60bをスムーズに回転させて、ドレスボード保持面のいずれか1つをチャックテーブル14の保持面14aに対して平行且つドレッシングに適したドレッシング位置に移動できる。
また、底面部64aの周囲には、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボード21を固定するための第1固定部64d、第2固定部64e、第3固定部64f、第4固定部64gが設けられている。第1固定部64dは、第1ドレスボード保持面62aに対応する位置に配置され、第2固定部64eは、第2ドレスボード保持面62bに対応する位置に配置される。
同様に、第3固定部64fは、第3ドレスボード保持面に対応する位置に配置され、第4固定部64gは、第4ドレスボード保持面に対応する位置に配置される。各ドレスボード保持面と、第1固定部64d、第2固定部64e、第3固定部64f、第4固定部64gとの間には、ドレスボード21を挿入するための隙間が形成されている。
第1固定部64d、第2固定部64e、第3固定部64f、第4固定部64gには、それぞれ、上述した隙間に挿入されるドレスボード21を固定するための固定具68が取り付けられている。図3(B)は、ドレスボード21を固定するための固定具68の構成例を模式的に示す斜視図である。
固定具68は、例えば、ボールプランジャであり、図3(B)に示すような円筒状の筐体70を備える。筐体70の内部には、ばね等の付勢部材(不図示)が内蔵されており、この付勢部材によって、筐体70の一端側に配置されたボール72が外向きに付勢される。このような固定具68を用いることで、回転保持体60a,60bに対してドレスボード21を容易に着脱できるようになる。
なお、本実施形態では、ドレスボード21をボールプランジャ等の固定具68で固定しているが、各ドレスボード保持面に吸引源の負圧を作用させる方法等で、ドレスボード21を各ドレスボード保持面に吸引、保持させることもできる。
また、各ドレスボード用チャックテーブル54は、各ドレスボード保持面にドレスボード21が保持されているか否かを検出できるセンサ(検出部)を更に備えても良い。例えば、センサの検出結果を制御ユニット52に通知しておくことで、ドレスボード21を保持していないドレスボード保持面を誤ってドレッシング位置に移動させてしまうことがなくなる。
同様に、ドレスボード保持面にドレスボード21が保持されているか否かの情報を手動で入力しても良い。なお、この場合には、各ドレスボード保持面に保持されているドレスボード21の種類や、各切削ユニット22に装着されている切削ブレード46の種類等の情報を併せて切削装置2(制御ユニット52)に入力することが望ましい。
これにより、制御ユニット52は、ドレッシングに適したドレスボード21を保持するドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させて、各切削ブレード46のドレッシングを遂行できるようになる。つまり、各切削ブレード46のドレッシングが完全に自動化されるので、ドレッシングを効率良く実施できる。
次に、上述した切削装置2の使用方法の例について説明する。図4(A)は、第1切削ブレード46a及び第2切削ブレード46bのドレッシングについて説明するための平面図であり、図4(B)は、第1切削ブレード46a及び第2切削ブレード46bで被加工物11が切削される様子を説明するための平面図である。なお、本実施形態では、小さな砥粒及びボンドによって形成される厚い第1切削ブレード46aと、大きな砥粒及びボンドによって形成される薄い第2切削ブレード46bとを用いる場合について説明する。
ドレッシングを実施する前には、例えば、第1切削ブレード46aのドレッシングに適した第1ドレスボード21aを、第1ドレスボード用チャックテーブル54aの回転保持体60aに装着しておく。同様に、例えば、第2切削ブレード46bのドレッシングに適した第2ドレスボード21bを、第2ドレスボード用チャックテーブル54bの回転保持体60bに装着しておく。
ドレッシングを実施する際には、まず、回転保持体60aを回転させて、第1切削ブレード46a用の第1ドレスボード21aを保持したドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させる。これにより、第1ドレスボード用チャックテーブル54aの上部には、第1切削ブレード46aのドレッシングに適した第1ドレスボード21aが露出する。
また、回転保持体60bを回転させて、第2切削ブレード46b用の第2ドレスボード21bを保持したドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させる。これにより、第2ドレスボード用チャックテーブル54bの上部には、第2切削ブレード46bのドレッシングに適した第2ドレスボード21bが露出する。なお、回転保持体60a及び回転保持体60bの回転は、制御ユニット52の指示に基づいて自動的に遂行されることが望ましい。もちろん、作業者等の指示等に基づいて手動で行われても良い。
この状態で、図4(A)に示すように、回転させた第1切削ブレード46aを第1ドレスボード21aに切り込ませ、回転させた第2切削ブレード46bを第2ドレスボード21bに切り込ませる。これにより、真円出しや目立て等を目的とする第1切削ブレード46a及び第2切削ブレード46bのドレッシングを実施できる。
なお、使用するドレスボード21を切り替えて(すなわち、回転保持体60a,60bを回転させて)、目的の異なる複数のドレッシングを連続的に又は断続的に実施することもできる。本実施形態に係る切削装置2では、2組のドレスボード用チャックテーブル54のそれぞれに4つのドレスボード21を装着できるので、最大で8種類のドレッシングを効率良く実施できる。
第1切削ブレード46a及び第2切削ブレード46bのドレッシングが完了した後には、図4(B)に示すように、第1切削ブレード46a及び第2切削ブレード46bを用いて被加工物11を切削する。本実施形態では、図4(B)に示すように、第1切削ブレード46aと第2切削ブレード46bとの厚み等を異ならせているので、例えば、砥粒が小さく厚い第1切削ブレード46aで形成した太い溝の内側を砥粒が大きく薄い第2切削ブレード46bで切削するステップカット等を実施できる。
以上のように、本実施形態に係る切削装置2は、4つ(3つ以上)のドレスボード保持面(第1ドレスボード保持面62a、第2ドレスボード保持面62b、第3ドレスボード保持面、第4ドレスボード保持面)を有する回転保持体60a,60bと、この回転保持体60a,60bを回転させる回転駆動源(回転駆動部)66と、を含むドレスボード用チャックテーブル54(第1ドレスボード用チャックテーブル54a、第2ドレスボード用チャックテーブル54b)を備えるので、回転駆動源66で回転保持体60a,60bを回転させて、各ドレスボード保持面をドレッシング位置に移動させることで、各ドレスボード保持面に保持されるドレスボード21を使い分けて切削ブレード46(第1切削ブレード46a、第2切削ブレード46b)のドレッシングを実施できる。
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、2組のドレスボード用チャックテーブル54を備える切削装置2について例示しているが、本発明に係る切削装置が備えるドレスボード用チャックテーブルは、1組又は3組以上でも良い。
切削装置が備えるドレスボード用チャックテーブルが1組の場合には、例えば、第1切削ブレード46aのドレッシングに用いられる第1ドレスボード21aを第1ドレスボード保持面62aに保持させ、第2切削ブレード46bのドレッシングに用いられる第2ドレスボード21bを第2ドレスボード保持面62bに保持させる等して、各切削ブレード46に適したドレッシングを実施する。
また、上記実施形態では、四角柱状の回転保持体60a,60bを用いているが、回転保持体は、ドレスボード保持面として機能する少なくとも3つ以上の側面を備えていれば良い。すなわち、三角柱状、五角柱状、六角柱状といった多角柱状の回転保持体を用いることもできる。
また、各ドレスボード保持面には、必ずしも異なるドレスボード21を保持させなくて良い。各ドレスボード保持面に同じドレスボード21を保持させることで、同じ種類のドレッシングを行う場合にドレスボードの交換作業の頻度を減らすことができる。
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2 切削装置
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
10a チャックテーブルベース
10b クランプ装着具
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
16 クランプ
22 切削ユニット
22a 第1切削ユニット
22b 第2切削ユニット
24 支持構造
26 切削ユニット移動機構
28 Y軸ガイドレール
30 Y軸移動プレート
32 Y軸ボールネジ
34 Y軸パルスモータ
36 Z軸ガイドレール
38 Z軸移動プレート
40 Z軸ボールネジ
42 Z軸パルスモータ
44a 第1スピンドル
44b 第2スピンドル
46 切削ブレード
46a 第1切削ブレード
46b 第2切削ブレード
48 カメラ(撮像ユニット)
50 洗浄ユニット
52 制御ユニット
54 ドレスボード用チャックテーブル
54a 第1ドレスボード用チャックテーブル
54b 第2ドレスボード用チャックテーブル
56a,56b 支持板
58a,58b 軸受け構造
60a,60b 回転保持体
62 ドレスボード保持部
62a 第1ドレスボード保持面
62b 第2ドレスボード保持面
64 ドレスボード固定部
64a 底面部
64b シャフト
64c 凹部
64d 第1固定部
64e 第2固定部
64f 第3固定部
64g 第4固定部
66 回転駆動源(回転駆動部)
68 固定具
70 筐体
72 ボール
11 被加工物
11a 表面
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 ダイシングテープ
19 フレーム
21 ドレスボード
21a 第1ドレスボード
21b 第2ドレスボード

Claims (3)

  1. 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持した被加工物を切削ブレードで切削する切削ユニットと、該切削ブレードのドレッシングに用いられるドレスボードを保持するドレスボード用チャックテーブルと、を備える切削装置であって、
    該ドレスボード用チャックテーブルは、
    それぞれがドレスボードを保持する3つ以上のドレスボード保持面を外周に備え、該ドレスボード保持面に平行な回転軸で回転可能な柱状の回転保持体と、
    該回転保持体を回転させ、3つ以上の該ドレスボード保持面のいずれか1つを該チャックテーブルの該保持面に平行なドレッシング位置に移動させる回転駆動部と、を有することを特徴とする切削装置。
  2. 該ドレスボード用チャックテーブルは、該ドレスボード保持面毎に該ドレスボードを保持したことを検出する検出部を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
  3. 該切削ユニットは、第1切削ブレードを装着する第1切削ユニットと、第2切削ブレードを装着する第2切削ユニットと、を含み、
    該ドレスボード用チャックテーブルの3つ以上の該ドレスボード保持面は、該第1切削ブレードのドレッシングに用いられる第1ドレスボードを保持する第1ドレスボード保持面と、該第2切削ブレードのドレッシングに用いられる第2ドレスボードを保持する第2ドレスボード保持面と、を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の切削装置。
JP2016159980A 2016-08-17 2016-08-17 切削装置 Active JP6736217B2 (ja)

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