JP6855123B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削ブレードを支持するマウントフランジの切削ブレードに接触する端面を修正できる切削装置に関する。

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削する切削装置では、例えば、マウントフランジと呼ばれる装着具を介して回転軸となるスピンドルの先端部に切削ブレードが装着される。マウントフランジは、スピンドルの軸心方向に対して垂直な端面を有しており、この端面で切削ブレードを支持する。

よって、マウントフランジの端面がスピンドルの軸心方向に対して垂直かつ平坦になっていないと、スピンドルを回転させた際に切削ブレードが振動してしまう。そこで、スピンドルの軸心方向に対して端面が垂直かつ平坦になるように、端面の形状を修正する端面修正と呼ばれる処理が行われている（例えば、特許文献１，２参照）。

特開平８−３３９９７７号公報 特開２０１７−１３１５４号公報 特開２０１１−２５５４５８号公報

ところが、これまでの端面修正では、被加工物を保持するためのチャックテーブルを端面修正用のテーブルに交換したり、研磨用の砥石（研磨砥石）が装着された治具をチャックテーブルの上面に配置した上で更に研磨砥石の位置を調整したりする必要があり、事前の作業が煩雑であった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、マウントフランジの端面を修正する際に煩雑な作業を必要としない切削装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、環状のフレームの開口に張られた粘着テープによって被加工物が支持されてなる被加工物ユニットを保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジに切削ブレードが装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該チャックテーブルと該切削ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、を備える切削装置であって、該チャックテーブルは、該粘着テープを介して被加工物を保持する保持面を備える本体部と、該本体部の外周縁より外側で該フレームを固定するフレーム固定部と、該フレーム固定部に設けられ、該マウントフランジの該切削ブレードに接触する端面を研磨するための研摩砥石を着脱可能に固定する端面修正部と、を備える切削装置が提供される。

本発明の一態様において、該端面修正部は、該フレーム固定部に固定された基台部と、該研摩砥石を支持する砥石支持部と、該基台部に対して該砥石支持部を上下動又は回動させて、該研磨砥石を該保持面より低い退避位置と該保持面より高い端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニットと、を備えても良い。

また、本発明の一態様において、該マウントフランジ、該端面修正部の一部、及び該研磨砥石は導電性を有し、該マウントフランジと該端面修正部の一部との間を流れる電流に基づいて該マウントフランジの該端面と該研摩砥石との接触を検知する接触検知器を更に備えても良い。

本発明の一態様に係る切削装置のチャックテーブルには、マウントフランジの切削ブレードに接触する端面を研磨するための研摩砥石を着脱可能に固定する端面修正部が設けられている。よって、この端面修正部に固定された研磨砥石を用いてマウントフランジの端面を修正できる。

つまり、端面の修正を行う際に、被加工物を保持するためのチャックテーブルを端面修正用のテーブルに交換したり、研磨砥石が装着された治具をチャックテーブルの上面に配置した上で更に研磨砥石の位置を調整したりする必要がない。このように、本発明によれば、マウントフランジの端面を修正する際に煩雑な作業を必要としない切削装置が提供される。

切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。 切削ユニットの構成例を模式的に示す斜視図である。 チャックテーブルの構成例を模式的に示す斜視図である。 端面修正部の構成例を模式的に示す正面図（側面図）である。 マウントフランジの端面の修正について説明するための部分断面図である。 図６（Ａ）は、第１変形例に係る端面修正部の構成例を模式的に示す正面図（側面図）であり、図６（Ｂ）は、第１変形例に係る端面修正部を用いたマウントフランジの端面の修正について説明するための部分断面図である。 図７（Ａ）は、第２変形例に係る端面修正部の構成例を模式的に示す正面図（側面図）であり、図７（Ｂ）は、第２変形例に係る端面修正部を用いたマウントフランジの端面の修正について説明するための部分断面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２の構成例を模式的に示す斜視図である。なお、図１では、切削装置２の一部の構成要素を機能ブロックで示している。

図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の前方の角部には、開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセットエレベータ６が設けられている。カセットエレベータ６の上面には、複数の被加工物１１を収容するためのカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きい粘着テープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。粘着テープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。このように、フレーム１５の開口に張られた粘着テープ１３によって被加工物１１が支持されることで、被加工物ユニット１７が形成されている。カセット８には、この被加工物ユニット１７が収容される。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる被加工物を用いることもできる。また、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。

カセットエレベータ６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールネジ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）１０と、Ｘ軸移動機構１０の上部を覆う防塵防滴カバー１２とが配置されている。Ｘ軸移動機構１０は、Ｘ軸移動テーブル１０ａを備えており、このＸ軸移動テーブル１０ａをＸ軸方向に移動させる。

Ｘ軸移動テーブル１０ａ上には、被加工物ユニット１７を保持するためのチャックテーブル１４が配置されている。また、チャックテーブル１４に隣接する位置には、ドレッシングボード（不図示）を保持するためのサブチャックテーブル１６が配置されている。チャックテーブル１４及びサブチャックテーブル１６は、Ｘ軸移動機構１０によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。チャックテーブル１４の詳細については、後述する。

開口４ｂの上方には、上述した被加工物ユニット１７をチャックテーブル１４等へと搬送するための搬送ユニット（不図示）が配置されている。搬送ユニットで搬送された被加工物ユニット１７は、例えば、被加工物１１の表面側が上方に露出するようにチャックテーブル１４に載せられる。

開口４ｂに隣接する位置には、被加工物１１を切削するための切削ユニット１８を支持するための片持ち梁状の支持構造２０が配置されている。支持構造２０の前面上部には、切削ユニット１８をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構（割り出し送りユニット）２２が設けられている。

切削ユニット移動機構２２は、支持構造２０の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２４を備えている。Ｙ軸ガイドレール２４には、切削ユニット移動機構２２を構成するＹ軸移動プレート２６がスライド可能に取り付けられている。

Ｙ軸移動プレート２６の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２４に平行なＹ軸ボールネジ２８が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２８の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２８を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２６は、Ｙ軸ガイドレール２４に沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動プレート２６の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３０が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３０には、Ｚ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３０に平行なＺ軸ボールネジ３４が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３４の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３６でＺ軸ボールネジ３４を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３２は、Ｚ軸ガイドレール３０に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート３２の下部には、切削ユニット１８が設けられている。図２は、切削ユニット１８の構成例を模式的に示す斜視図である。切削ユニット１８は、Ｚ軸移動プレート３２の下部に固定された筒状のスピンドルハウジング３８を備えている。スピンドルハウジング３８の内部には、Ｙ軸方向に平行な回転軸となるスピンドル４０が収容されている。このスピンドル４０は、例えば、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で形成される。

スピンドル４０の先端部（一端部）は、スピンドルハウジング３８の一端部から外部に露出しており、このスピンドル４０の一端部には、マウントフランジ４２が装着される。また、スピンドル４０の他端側には、モータを含む回転駆動源（不図示）が連結されている。

マウントフランジ４２は、例えば、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で形成されており、円盤状のフランジ部４４と、フランジ部４４の表裏面中央からそれぞれ突き出た第１ボス部４６及び第２ボス部４８とを含む。マウントフランジ４２の中央には、第１ボス部４６、フランジ部４４及び第２ボス部４８を貫通する開口４２ａが形成されている。

マウントフランジ４２の開口４２ａには、裏面側（スピンドルハウジング３８側）からスピンドル４０の一端部が嵌め込まれる。この状態で、開口４２ａ内にワッシャー５０を配置し、このワッシャー５０を介して固定用のボルト５２をスピンドル４０のボルト穴４０ａに締め込めば、マウントフランジ４２はスピンドル４０に固定される。

フランジ部４４の外周側の表面は、切削ブレード５４の裏面に接する端面（接触面）４４ａである。この端面４４ａは、Ｙ軸方向（スピンドル４０の軸心方向）から見て円環状に形成されている。

第１ボス部４６は円筒状に形成されており、その先端側の外周面４６ａには、ネジ山が設けられている。切削ブレード５４の中央には、円形の開口５４ａが形成されている。この開口５４ａに第１ボス部４６を通すことで、切削ブレード５４は、マウントフランジ４２に装着される。

切削ブレード５４は、いわゆるハブ型ブレードであり、円盤状の支持基台５６の外周に、被加工物１１を切削するための円環状の切り刃５８が固定されている。切り刃５８は、例えば、金属や樹脂等の結合材に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を分散させて所定の厚みに形成される。なお、切削ブレード５４として、切り刃のみで構成されたワッシャー型ブレード等を用いてもよい。

この切削ブレード５４をマウントフランジ４２に装着した状態で、切削ブレード５４の表面側には、円環状の固定プレート６０が配置される。固定プレート６０の中央部には、円形の開口６０ａが形成されており、この開口６０ａの内壁面には、第１ボス部４６の外周面４６ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が設けられている。

固定プレート６０の外周側の裏面は、切削ブレード５４の表面に接する接触面（不図示）である。この接触面は、例えば、マウントフランジ４２の端面４４ａに対応する位置に設けられている。固定プレート６０の開口６０ａに、第１ボス部４６の先端を締め込むことで、切削ブレード５４は、マウントフランジ４２と固定プレート６０とで挟持される。

図１に示すように、チャックテーブル１４と切削ユニット１８との間には、マウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際等に使用される接触検知器６２が電気的に接続されている。また、切削ユニット１８に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット（カメラ）６４が設けられている。

切削ユニット移動機構２２でＹ軸移動プレート２６をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット６４は、Ｙ軸方向に移動する（割り出し送り）。また、切削ユニット移動機構２２でＺ軸移動プレート３２をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット１８及び撮像ユニット６４は、Ｚ軸方向に移動する。

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット６６が配置されている。カセットエレベータ６、Ｘ軸移動機構１０、チャックテーブル１４、切削ユニット１８、切削ユニット移動機構２２、接触検知器６２、撮像ユニット６４、洗浄ユニット６６等の構成要素は、制御ユニット６８に接続されている。

制御ユニット６８は、被加工物１１の切削に必要な一連の工程に合わせて、上述した各構成要素を制御する。また、制御ユニット６８には、ユーザインタフェースとなるタッチパネル式のモニタ（報知ユニット）７０が接続されている。

図３は、チャックテーブル１４の構成例を模式的に示す斜視図である。図３に示すように、チャックテーブル１４は、円盤状のテーブル本体（本体部）７２を有している。テーブル本体７２は、例えば、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料でなる円盤状の枠体７４を含む。枠体７４の上面中央部分には、円形の開口７４ａが形成されており、この開口７４ａには、開口７４ａの形状に合致する保持板７６が嵌め込まれている。

保持板７６は、例えば、多孔質材料によって形成されており、その上面は、被加工物ユニット１７の被加工物１１に相当する部分を吸引、保持するための保持面７６ａになっている。開口７４ａは、枠体７４の内部に形成された流路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。吸引源の負圧を保持板７６に作用させると、保持面７６ａには、被加工物ユニット１７を吸引、保持するための吸引力が発生する。

テーブル本体７２（枠体７４）の外周縁より外側の位置には、被加工物ユニット１７を構成するフレーム１５を四方から固定するための４個のクランプ（フレーム固定部）７８が配置されている。各クランプ７８は、枠体７４から外向きに延びるアーム７４ｂに装着されたクランプベース７８ａと、クランプベース７８ａに対して回転するクランプ爪７８ｂとを含む。

クランプベース７８ａにフレーム１５を載せた上で、クランプ爪７８ｂを回転させてフレーム１５に接触させることで、フレーム１５はクランプ７８に固定される。アーム７４ｂやクランプベース７８ａ等は、例えば、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で構成されている。

４個のクランプ７８の一つには、マウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際に用いられる端面修正部８０が設けられている。図４は、端面修正部８０の構成例を模式的に示す正面図（側面図）である。図３及び図４に示すように、端面修正部８０は、クランプ７８のクランプベース７８ａと一体に構成された砥石支持部８０ａを有している。すなわち、砥石支持部８０ａも、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で構成されている。

砥石支持部８０ａの上部には、砥石固定部８０ｂがネジ８０ｃで取り付けられている。砥石支持部８０ａと砥石固定部８０ｂとの間には、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨するための研磨砥石８２が配置されている。すなわち、研磨砥石８２は、砥石支持部８０ａと砥石固定部８０ｂとによって着脱可能に固定されている。

この研磨砥石８２の一部は、砥石支持部８０ａ及び砥石固定部８０ｂの外部に露出している。砥石支持部８０ａ及び砥石固定部８０ｂから露出した研磨砥石８２の一部に、回転させたマウントフランジ４２の端面４４ａを接触させることで、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨できる。本実施形態では、導電性を有する研磨砥石８２が使用される。

次に、上述した切削装置２で行われるマウントフランジ４２の端面４４ａの修正について簡単に説明する。図５は、マウントフランジ４２の端面４４ａの修正について説明するための部分断面図である。図５に示すように、マウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際には、まず、チャックテーブル１４を回転させるとともに、切削ユニット１８の高さを調整して、端面修正部８０に固定されている研磨砥石８２をマウントフランジ４２の端面４４ａに対面させる。

そして、切削ユニット１８をＹ軸方向に移動させてマウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２に接触させた後に、スピンドル４０を回転させる。これにより、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２で研磨して、スピンドル４０の軸心方向に対して垂直かつ平坦に修正できる。

マウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２との接触は、接触検知器６２によって検知される。接触検知器６２は、例えば、チャックテーブル１４の枠体７４と、切削ユニット１８のスピンドル４０とに電気的に接続されており、枠体７４とスピンドル４０との間に電圧を印加する。

上述のように、枠体７４、アーム７４ｂ、クランプベース７８ａ、砥石支持部８０ａ、研磨砥石８２、マウントフランジ４２、スピンドル４０は、ある程度の高い導電性を有している。よって、枠体７４とスピンドル４０との間に電圧を印加した状態で、端面４４ａと研磨砥石８２とが接触すると、枠体７４、アーム７４ｂ、クランプベース７８ａ、砥石支持部８０ａ、研磨砥石８２、マウントフランジ４２、スピンドル４０を含む閉回路に電流が流れる。

接触検知器６２は、この閉回路を流れる電流の値を測定する。すなわち、接触検知器６２は、砥石支持部８０ａとマウントフランジ４２との間を流れる電流の値を測定する。そして、この電流の値に基づいて、マウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２とが接触しているか否かを判定する。例えば、電流の値が所定の閾値を超えた場合には、接触検知器６２は、マウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２とが接触していると判定し、その旨を制御ユニット６８に通知する。

一方で、電流の値が所定の閾値を超えない場合には、接触検知器６２は、マウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２とが接触していないと判定し、その旨を制御ユニット６８に通知する。制御ユニット６８は、接触検知器６２で行われた判定の結果を、例えば、モニタ７０に表示させる。なお、制御ユニット６８は、接触検知器６２で行われた判定の結果に基づいて、表示灯（不図示）を発光（点滅）等させるようにしても良い。

以上のように、本実施形態に係る切削装置２のチャックテーブル１４には、マウントフランジ４２の切削ブレード５４に接触する端面４４ａを研磨するための研摩砥石８２を着脱可能に固定する端面修正部８０が設けられている。よって、この端面修正部８０に固定された研磨砥石８２を用いてマウントフランジ４２の端面４４ａを修正できる。

つまり、端面４４ａの修正を行う際に、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１４を端面修正用のテーブルに交換したり、研磨砥石が装着された治具をチャックテーブル１４の上面に配置した上で更に研磨砥石の位置を調整したりする必要がない。このように、本実施形態によれば、マウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際に煩雑な作業を必要としない切削装置２が提供される。

よって、本実施形態の切削装置２では、被加工物１１を切削している途中で切削ブレード５４が破損した場合等、被加工物１１をチャックテーブル１４等で保持したまま端面４４ａの修正を行いたい状況にも容易に対応できる。

更に、本実施形態の切削装置２は、端面修正部８０とともに、ドレッシングボードを保持するためのサブチャックテーブル１６を備えている。よって、端面４４ａを修正した後には、切削ブレード５４の装着、切削ブレード５４のドレッシング、及び被加工物１１の切削を連続的に行うことができる。

なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。図６（Ａ）は、第１変形例に係る端面修正部８４の構成例を模式的に示す正面図（側面図）であり、図６（Ｂ）は、端面修正部８４を用いたマウントフランジ４２の端面４４ａの修正について説明するための部分断面図である。

図６（Ａ）に示すように、第１変形例に係る端面修正部８４は、クランプ７８のクランプベース７８ａに固定された軸（基台部）８４ａを有している。この軸８４ａには、砥石支持部８４ｂが回転できる態様で連結されている。砥石支持部８４ｂの一端側には、砥石固定部８４ｃがネジ８４ｄによって取り付けられている。

砥石支持部８４ｂと砥石固定部８４ｃとの間には、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨するための研磨砥石８２が配置されている。研磨砥石８２は、砥石支持部８４ｂと砥石固定部８４ｃとによって着脱可能に固定されている。研磨砥石８２の一部は、砥石支持部８４ｂ及び砥石固定部８４ｃの外部に露出している。

なお、この第１変形例でも、上述した接触検知器６２によってマウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２との接触を検知できるように、端面修正部８４の少なくとも一部は、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で構成される。

また、この端面修正部８４には、軸８４ａに対して砥石支持部８４ｂを回転（回動）させて、研磨砥石８２を保持面７６ａより低い退避位置と保持面７６ａより高い端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニット（不図示）が設けられている。

端面修正部８４を用いてマウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際には、図６（Ｂ）に示すように、まず、研磨砥石８２を保持面７６ａより高い端面修正実施位置に位置付ける。また、チャックテーブル１４を回転させるとともに、切削ユニット１８の高さを調整して、端面修正部８４に固定されている研磨砥石８２をマウントフランジ４２の端面４４ａに対面させる。

そして、切削ユニット１８をＹ軸方向に移動させてマウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２に接触させた後に、スピンドル４０を回転させる。これにより、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２で研磨して、スピンドル４０の軸心方向に対して垂直かつ平坦に修正できる。

このように、第１変形例に係る端面修正部８４は、砥石支持部８４ｂを回転させて、研磨砥石８２を退避位置と端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニットを有するので、端面４４ａを修正する際に、マウントフランジ４２を保持面７６ａより低い位置まで移動させる必要がない。

図７（Ａ）は、第２変形例に係る端面修正部８６の構成例を模式的に示す正面図（側面図）であり、図７（Ｂ）は、端面修正部８６を用いたマウントフランジ４２の端面４４ａの修正について説明するための部分断面図である。

図７（Ａ）に示すように、第２変形例に係る端面修正部８６は、クランプ７８のクランプベース７８ａに固定された基台部８６ａを有している。この基台部８６ａの上面には、上下方向に移動するロッド部８６ｂの下端側が挿入されている。ロッド部８６ｂの上端側には、砥石支持部８６ｃの下端部が連結されている。砥石支持部８６ｃの上部には、砥石固定部８６ｄが螺子８６ｅによって取り付けられている。

砥石支持部８６ｃと砥石固定部８６ｄとの間には、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨するための研磨砥石８２が配置されている。研磨砥石８２は、砥石支持部８６ｃと砥石固定部８６ｄとによって着脱可能に固定されている。研磨砥石８２の一部は、砥石支持部８６ｃ及び砥石固定部８６ｄの外部に露出している。

なお、この第２変形例でも、上述した接触検知器６２によってマウントフランジ４２の端面４４ａと研磨砥石８２との接触を検知できるように、端面修正部８６の少なくとも一部が、ステンレス、アルミニウム等の導電性を持つ金属材料で構成される。

また、この端面修正部８６の基台部８６ａには、基台部８６ａに対してロッド部８６ｂ（砥石支持部８６ｃ）を上下動させて、研磨砥石８２を保持面７６ａより低い退避位置と保持面７６ａより高い端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニット（不図示）が設けられている。

マウントフランジ４２の端面４４ａを修正する際には、図７（Ｂ）に示すように、まず、研磨砥石８２を保持面７６ａより高い端面修正実施位置に位置付ける。また、チャックテーブル１４を回転させるとともに、切削ユニット１８の高さを調整して、端面修正部８６に固定されている研磨砥石８２をマウントフランジ４２の端面４４ａに対面させる。

そして、切削ユニット１８をＹ軸方向に移動させてマウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２に接触させた後に、スピンドル４０を回転させる。これにより、マウントフランジ４２の端面４４ａを研磨砥石８２で研磨して、スピンドル４０の軸心方向に対して垂直かつ平坦に修正できる。

このように、第２変形例に係る端面修正部８６は、基台部８６ａに対してロッド部８６ｂ（砥石支持部８６ｃ）を上下動させて、研磨砥石８２を退避位置と端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニットを有するので、端面４４ａを修正する際に、マウントフランジ４２を保持面７６ａより低い位置まで移動させる必要がない。

なお、上記実施形態及び変形例では、１組の切削ユニット１８を備える切削装置２について説明しているが、本発明の切削装置は、２組以上の切削ユニットを備えても良い。例えば、Ｙ軸方向に平行な１本の直線上に２組の切削ユニットが配置され、２個の切削ブレードが対面する、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置の場合には、チャックテーブルのテーブル本体（本体部）を挟んで配置される２個のクランプに端面修正部を設けることで、２組の切削ユニットがそれぞれ備えるマウントフランジ（２個のマウントフランジ）の端面を同様のタイミングで修正することもできる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ カセットエレベータ
８ カセット
１０ Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
１０ａ Ｘ軸移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル
１４ａ 保持面
１６ クランプ
１８ 切削ユニット（加工ユニット）
２０ 支持構造
２２ 切削ユニット移動機構（割り出し送りユニット）
２４ Ｙ軸ガイドレール
２６ Ｙ軸移動プレート
２８ Ｙ軸ボールネジ
３０ Ｚ軸ガイドレール
３２ Ｚ軸移動プレート
３４ Ｚ軸ボールネジ
３６ Ｚ軸パルスモータ
３８ スピンドルハウジング
４０ スピンドル
４０ａ ボルト穴
４２ マウントフランジ
４２ａ 開口
４４ フランジ部
４４ａ 端面（接触面）
４６ 第１ボス部
４６ａ 外周面
４８ 第２ボス部
５０ ワッシャー
５２ ボルト
５４ 切削ブレード
５４ａ 開口
５６ 支持基台
５８ 切り刃
６０ 固定プレート
６０ａ 開口
６２ 接触検知器
６４ 撮像ユニット（カメラ）
６６ 洗浄ユニット
６８ 制御ユニット
７０ モニタ（報知ユニット）
７２ テーブル本体（本体部）
７４ 枠体
７４ａ 開口
７６ 保持板
７６ａ 保持面
７８ クランプ（フレーム固定部）
７８ａ クランプベース
７８ｂ クランプ爪
８０ 端面修正部
８０ａ 砥石支持部
８０ｂ 砥石固定部
８０ｃ 螺子
８２ 研磨砥石
８４ 端面修正部
８４ａ 軸（基台部）
８４ｂ 砥石支持部
８４ｃ 砥石固定部
８４ｄ 螺子
８６ 端面修正部
８６ａ 基台部
８６ｂ ロッド部
８６ｃ 砥石支持部
８６ｄ 砥石固定部
８６ｅ 螺子
１１ 被加工物
１３ 粘着テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
１７ 被加工物ユニット

Claims (3)

1. 環状のフレームの開口に張られた粘着テープによって被加工物が支持されてなる被加工物ユニットを保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に固定されたマウントフランジに切削ブレードが装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該チャックテーブルと該切削ユニットとを相対的に移動させる移動ユニットと、を備える切削装置であって、
   該チャックテーブルは、
   該粘着テープを介して被加工物を保持する保持面を備える本体部と、
   該本体部の外周縁より外側で該フレームを固定するフレーム固定部と、
   該フレーム固定部に設けられ、該マウントフランジの該切削ブレードに接触する端面を研磨するための研摩砥石を着脱可能に固定する端面修正部と、を備えることを特徴とする切削装置。
2. 該端面修正部は、
   該フレーム固定部に固定された基台部と、
   該研摩砥石を支持する砥石支持部と、
   該基台部に対して該砥石支持部を上下動又は回動させて、該研磨砥石を該保持面より低い退避位置と該保持面より高い端面修正実施位置とに選択的に位置付ける位置付けユニットと、を備えることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
3. 該マウントフランジ、該端面修正部の一部、及び該研磨砥石は導電性を有し、
   該マウントフランジと該端面修正部の一部との間を流れる電流に基づいて該マウントフランジの該端面と該研摩砥石との接触を検知する接触検知器を更に備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切削装置。

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