JP2018060957A - チャックテーブル機構 - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 43
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 abstract 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
Description
11 基台
16 昇降部
20 研削手段
23 研削ホイール
24 研削砥石
30 チャックテーブル機構
31 ウォーターカバー
35 チャックテーブル
36 チャックテーブルベース
37 回転駆動部
38 弾性部材
40 枠体
41 保持部
42 保持面
43 チャックテーブルの底面(裏面)
44 環状フランジ
45 チャックテーブルの外周側面
50 チャックテーブルベースの上面
51 チャックテーブルベースの外周側面
52 ネジ
55 外側カバー
56 内側カバー
W ウェーハ
Claims (1)
- 回転駆動部と、該回転駆動部上に搭載されたチャックテーブルベースと、該チャックテーブルベース上に搭載されウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、を備えたチャックテーブル機構であって、
該チャックテーブルベース上面に該チャックテーブル裏面を当接させてネジ固定又は吸引固定し、該チャックテーブル外周側面及び該チャックテーブルベース外周側面の界面を覆い該外周側面を囲繞して配設され該界面へのコンタミネーションの侵入を防止する弾性部材を備えていることを特徴とするチャックテーブル機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016198613A JP6800689B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | チャックテーブル機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016198613A JP6800689B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | チャックテーブル機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018060957A true JP2018060957A (ja) | 2018-04-12 |
JP6800689B2 JP6800689B2 (ja) | 2020-12-16 |
Family
ID=61908639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016198613A Active JP6800689B2 (ja) | 2016-10-07 | 2016-10-07 | チャックテーブル機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6800689B2 (ja) |
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-
2016
- 2016-10-07 JP JP2016198613A patent/JP6800689B2/ja active Active
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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