KR101730658B1

KR101730658B1 - 연삭 가공 툴

Info

Publication number: KR101730658B1
Application number: KR1020110046356A
Authority: KR
Inventors: 오사무 나가이; 가즈타카 구와나; 히로토시 호시카와; 히데키 하야사카
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2010-06-28
Filing date: 2011-05-17
Publication date: 2017-04-26
Also published as: CN102294637B; CN102294637A; JP2012006126A; KR20120001600A; JP5632215B2

Abstract

본 발명은 관리의 부담 경감 및 비용의 저감이 도모되는 연삭 가공 툴로 하는 것을 목적으로 한다.
복수의 지석(419)이 배치되고 연삭액 공급용 노즐(422)이 형성되는 베이스부(40)를, 지석(419)이 배치된 제1 부위(41)와, 제1 부위(41)로부터 분리 가능하며 노즐(422)이 형성된 제2 부위(42)로 이루어지는 구성으로 하고, 소모되는 지석(419)이 배치된 제1 부위(41)만이 소모품으로서 취급되며, 노즐(422)이 형성되어 있는 제2 부위(42)는 교환하지 않고 사용할 수 있는 것으로 한다.

Description

연삭 가공 툴{GRINDING PROCESSING TOOL}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 판형물을 연삭하는 연삭 장치에 구비되는 연삭 가공 툴에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼와 같은 판형의 워크(work)를 연삭하는 연삭 장치는, 척 테이블 위에 흡착 유지된 판형물을 연삭하는 연삭 가공 수단을 구비하고 있다. 이러한 종류의 연삭 가공 수단으로서는, 회전 가능하게 배치되어 수직 방향으로 연장되는 스핀들과, 스핀들 하단에 장착된 휠 마운트와, 휠 마운트에 착탈 가능하게 장착되는 연삭휠(연삭 가공 툴)로 구성된 것이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).

상기 특허문헌 1에 개시되는 연삭휠은, 원환형상의 베이스부와, 이 베이스부 하면에 고착된 지석(砥石)으로 구성되어 있다. 그리고, 베이스부에는 상면으로부터 하면으로 관통하는 복수의 노즐(연삭액이 분출하는 관통 구멍)이 형성되어 있고, 이러한 노즐은, 휠 마운트에 형성되어 있는 연삭액 공급로를 통해 연삭액원(硏削液源)에 연통되어 있다. 이 구성에 의해, 연삭시에는 연삭액 공급로 및 복수의 노즐을 통해 연삭액이 지석의 내주측에 공급되고, 이것에 의해 지석이 냉각되어 연삭 부스러기가 배출되도록 되어 있다.

일본 특허 공개 제2003-068690호 공보

그런데, 상기 연삭휠은, 베이스부에 형성되는 연삭액 분출구인 노즐의 형태(형상, 길이, 형성 위치 등)와, 지석의 종류(거칠기, 형상 등)와의 조합으로, 다양한 연삭 조건에 대응한 것이 준비되지만, 그 수는 방대하고, 관리가 번거롭다는 문제가 있었다. 또한, 사용에 의해 소모되는 것은 지석뿐임에도 불구하고, 베이스부를 포함한 연삭휠 전체를 소모품으로서 취급하게 되기 때문에, 연삭휠에 높은 비용이 들었다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술적 과제는, 관리의 부담 경감 및 비용의 저감을 도모할 수 있는 연삭 가공 툴을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 연삭 가공 툴은, 원환형의 베이스부와, 상기 베이스부 위에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크의 노출면에 접촉하는 지석과, 상기 베이스부에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크와 상기 지석의 접촉부에 가공액을 유도하는 노즐을 포함하고, 워크를 연삭 가공할 때에 이용되는 연삭 가공 툴로서, 상기 베이스부는 상기 지석이 배치된 제1 부위와, 상기 노즐이 형성된 제2 부위로 구성되며, 상기 제1 부위와 상기 제2 부위는 분리 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 연삭 가공 툴에 의하면, 지석이 배치된 제1 부위와 노즐이 형성된 제2 부위를 조합하는 것에 의해, 하나의 연삭 가공 툴로서 이용된다. 지석의 종류에 따라 복수의 제1 부위가 준비되고, 노즐의 종류에 따라 제2 부위가 준비되며, 연삭 조건에 적합한 제1 부위와 제2 부위를 선택하고 조합하여, 사용된다. 이 때문에, 관리해야 하는 개체 수는 제1 부위와 제2 부위의 총 수이며, 연삭 조건에 따른 지석과 노즐 쌍방을 베이스부에 조합하여 설치하고 있는 일체물인 종래 구성과 비교하면, 관리해야 하는 수는 현저히 적어져, 관리를 위한 부담이 경감한다. 또한 소모되는 지석이 배치된 제1 부위만이 소모품으로서 취급되고, 노즐이 형성되어 있는 제2 부위는 교환하지 않고 사용할 수 있기 때문에, 종래보다 비용이 저감한다.

본 발명에서는, 상기 제1 부위와 상기 제2 부위가 고정구에 의해 고정부에 일괄 고정되는 형태를 포함한다.

또한, 본 발명에서 말하는 워크는 특별히 한정되지 않지만, 예컨대 실리콘, 갈륨비소(GaAs), 실리콘 카바이드(SiC) 등으로 이루어지는 반도체 웨이퍼, 세라믹, 유리, 사파이어(Al₂O₃)계의 무기 재료 기판, 판형 금속이나 수지의 연성 재료, 미크론 오더(order)로부터 서브 미크론 오더의 평탄도(TTV: total thickness variation-워크의 피연삭면을 기준으로 하여 두께 방향으로 측정한 높이의 워크 피연삭면 전체면에서의 최대값과 최소값의 차)가 요구되는 각종 가공 재료 등을 들 수 있다.

본 발명에 의하면, 관리의 부담 경감 및 비용의 저감을 도모할 수 있는 연삭 가공 툴이 제공된다고 하는 효과를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 연삭휠(연삭 가공 툴)이 적용된 연삭 장치의 사시도.
도 2는 도 1의 장치에서 가공 위치에 위치된 워크와 연삭 가공 수단의 위치관계를 도시하는 평면도.
도 3은 일 실시형태의 연삭휠이 스핀들 샤프트에 부착되어 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 4는 도 3의 IV부 확대도.
도 5는 본 발명의 다른 실시형태의 연삭휠이 스핀들 샤프트에 부착되어 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 6은 도 5의 VI부 확대도.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시형태를 설명한다.

(1) 연삭 장치

도 1을 참조하며, 일 실시형태에 따른 연삭휠(연삭 가공 툴)이 적용된 연삭 장치를 설명한다. 이 연삭 장치(10)는, 예컨대 두께가 700 ㎛ 정도인 원판형의 반도체 웨이퍼 등을 워크로 하는 것으로, 이와 같은 워크를 진공척식의 척 테이블(20)에 수평으로 유지하여 워크의 피가공면을 위쪽으로 노출시키고, 그 피가공면을 연삭 가공 수단(30)에 의해 연삭하여 워크를 정해진 두께로 가공하는 것이다.

연삭 장치(10)는, X 방향으로 긴 직사각형의 장치대(11)를 갖고 있다. 장치대(11)에는, 직사각형상의 테이블 베이스(25)가 X 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있고, 이 테이블 베이스(25)에, 상기 척 테이블(20)이 Z 방향(수직 방향)을 회전축 방향으로 하여 회전할 수 있게 지지되어 있다. 척 테이블(20)은, 다공질 세라믹으로 이루어지는 유지부(21)를 표면측에 갖고 있고, 진공 운전된 상태로 유지부(21)의 표면인 유지면(211)에 워크가 부압(負壓) 작용으로 흡착 유지된다.

척 테이블(20)은, 도 1에서 테이블 베이스(25)가 X 방향으로 이동하는 것에 의해, 앞쪽(X1측) 단부의 반입출 위치로부터 안쪽(X2측)의 가공 위치 사이를 왕복 이동시킨다. 장치대(11)에는 테이블 베이스(25)를 X 방향으로 이동시키는 이동 기구가 설치되어 있고, 테이블 베이스(25)에는 척 테이블(20)을 회전시키는 회전 구동 기구가 설치되어 있다(모두 도시 생략). 테이블 베이스(25)의 이동 방향의 양측에는, 테이블 베이스(25)의 이동로를 덮어 연삭 부스러기 등이 장치대(11) 안에 낙하하는 것을 막는 신축 가능한 벨로즈형 커버(12)가 설치되어 있다.

척 테이블(20)은, 처음은 반입출 위치에 위치되어 있고, 이 척 테이블(20) 유지부(21)의 유지면(211)에, 오퍼레이터에 의해 워크를 배치한다. 그리고 척 테이블(20)을 진공 운전하여, 유지면(211)에 발생하는 부압 작용에 의해 유지면(211)에 워크를 흡착 유지한다. 워크는 유지부(21)와 같은 정도의 직경을 갖는 것이 되고, 유지면(211)에 동심(同心)형으로 배치된다.

척 테이블(20)의 유지부(21)에 워크를 흡착 유지시켰다면, 테이블 베이스(25)를 도 1에서 X2 방향으로 이동시켜, 워크를 가공 위치에 위치시키고 위쪽의 연삭 가공 수단(30)에 대향 배치시킨다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 연삭 가공 수단(30)은, 장치대(11)의 후단부(X2측의 단부)에 세워 설치된 칼럼(13)의 전면측에 배치되어 있다. 칼럼(13)의 전면에는, 한 쌍의 Z축 가이드(14)를 통해 슬라이더(15)가 Z 방향을 따라 승강 가능하게 부착되어 있고, 이 슬라이더(15)에, 연삭 가공 수단(30)이 고정되어 있다.

연삭 가공 수단(30)은, 축방향이 Z 방향으로 연장되는 원통형의 스핀들 하우징(31) 안에 스핀들 샤프트(32)가 동축적이며, 회전 가능하게 삽입되고, 상기 스핀들 샤프트(32)의 하단에 설치된 플랜지형의 휠 마운트(33)에 연삭휠(34)이 착탈 가능하게 고정된 구성의 것이다. 스핀들 하우징(31)의 상단부에는 모터부(35)가 설치되어 있고, 이 모터부(35)에 의해 스핀들 샤프트(32)가 회전 구동된다.

연삭휠(34)은, 휠 마운트(33)의 하면에 착탈 가능하게 고정되는 원환형의 베이스부(40)와, 베이스부(40) 하면의 외주부에 원환형으로 나열되어 고착된 다수의 지석(419)을 갖고 있다. 지석(419)은 워크에 대응하는 것이 이용되고, 예컨대 다이아몬드 지립을 메탈본드나 레진본드 등의 결합제로 굳혀 성형한 다이아몬드 지석 등이 이용된다. 연삭휠(34)은, 모터부(35)에 의해 스핀들 샤프트(32)와 일체로 회전 구동된다. 연삭휠(34)은 본 발명에 관한 것이며, 구성 및 작용 등을 나중에 상술한다.

연삭 가공 수단(30)은, 휠 마운트(33)를 아래쪽으로 배치하여 축 방향을 Z 방향과 평행하게 한 상태에서, 스핀들 하우징(31)이 홀더(36)를 통해 슬라이더(15)에 고정되어 있다. 슬라이더(15)는, 한 쌍의 Z축 가이드(14) 사이에 배치되어 슬라이더(15)에 나사 결합된 상태로 연결된 Z 방향으로 연장되는 볼 나사(371)와, 볼 나사(371)를 회전 구동하는 서보 모터(372)를 구비한 가공 이송 수단(37)에 의해 승강 구동된다. 따라서, 연삭 가공 수단(30)은 가공 이송 수단(37)에 의해 슬라이더(15)와 일체로 승강한다.

상기 가공 위치에 위치된 워크는, 위쪽으로 노출된 피가공면이 연삭 가공 수단(30)에 의해 연삭되어, 원하는 두께로 박화된다. 연삭 가공 수단(30)에 의한 연삭 가공은, 모터부(35)를 작동시켜 연삭휠(34)을 회전시키면서, 또한 척 테이블(20)을 일방향으로 회전시켜 워크를 자전시키면서, 가공 이송 수단(37)에 의해 슬라이더(15)와 함께 연삭 가공 수단(30)을 하강시켜, 회전하는 연삭휠(34)의 지석(419)을 워크의 피가공면에 접촉시키는 것에 의해 이루어진다.

도 2는 가공 위치에 위치된 척 테이블(20) 위의 워크(1)와 연삭휠(34)의 수평 방향에서의 위치 관계를 도시하고 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 연삭휠(34)의 연삭 외경[지석(419)의 회전 궤적의 최외측 지름]은, 워크(1)의 직경과 같은 정도로 설정된다. 또한, 워크(1)의 가공 위치는, 지석(419)의 하면인 날끝이, 자전하는 워크(1)의 회전 중심을 통과하는 위치에 설정된다. 그리고, 척 테이블(20)을 일방향으로 회전시켜 워크(1)를 자전시키면서 연삭휠(34)의 지석(419)을 워크(1)의 피가공면에 접촉시키는 것에 의해, 피가공면의 전체면이 연삭된다.

연삭 가공중 워크의 두께는, 도시하지 않는 두께 측정 수단으로 측정된다. 가공 이송 수단(37)에 의한 연삭 가공 수단(30)의 가공 이송 동작은, 상기 두께 측정 수단으로 차례대로 측정되는 두께 측정값에 기초하여 제어한다. 그리고, 두께 측정값이 목적값이 되면 연삭 가공 수단(30)을 상승시켜 지석(419)을 워크로부터 분리시켜, 연삭 가공을 종료한다. 연삭 가공 종료 후는, 테이블 베이스(25)를 도 1의 X1 방향으로 이동시켜 워크를 반입출 위치까지 복귀시키고 척 테이블(20)의 회전을 정지시킨다. 그리고, 척 테이블(20)에 의한 워크의 흡착 유지를 해제하고, 연삭 가공이 완료된 워크를 척 테이블(20) 위로부터 반출하여 다음 공정으로 옮긴다.

이상이 연삭 장치(10)의 구성 및 동작이며, 다음에 본 발명에 따른 상기 연삭휠(34)에 대해서 설명한다.

(2) 연삭휠

도 3에 도시하는 바와 같이, 연삭휠(34)은, 전술한 바와 같이 휠 마운트(33)의 하면에 착탈 가능하게 고정되는 원환형의 베이스부(40)를 갖고 있다. 베이스부(40)는 휠 마운트(33)와 직경이 동일하고, 원환형인 제1 부위(41)와, 이 제1 부위(41)의 내측에 배치되는 원환형인 제2 부위(42)의 조합으로 구성되어 있다.

제1 부위(41)는 단면 직사각형상으로, 외경이 휠 마운트(33)의 직경과 동일하고, 하면에 복수의 상기 지석(419)이 둘레 방향을 따라 등간격을 두고 배치되어 있다. 지석(419)은 제1 부위(41)의 하면에 일부가 끼워 넣어지고, 접착제에 의한 접착 등의 수단으로 제1 부위(41)에 고착되어 있다.

제2 부위(42)는, 내주면이 아래쪽으로 향함에 따라 테이퍼형으로 넓어지고, 외주면은 원통형으로 형성된 단면이 대략 사다리꼴 형상이며, 외주면의 상단부에, 휠 마운트(33)의 직경과 외경이 동일한 플랜지부(421)가 형성되어 있다. 제2 부위(42)의 내부에는, 상면으로부터 하면으로 관통하는 복수의 노즐(422)이 형성되어 있다. 이들 노즐(422)은, 아래쪽으로 향함에 따라 외주측으로 비스듬하게 연장되어 있고, 둘레 방향을 따라 등간격을 두고 배치되어 있다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 제1 부위(41)는, 제2 부위(42)에서의 플랜지부(421) 아래쪽 단부(423)에 끼워 맞춰져 삽입되고, 육각 구멍 볼트 등의 제1 나사(51)에 의해 제2 부위(42)에 착탈 가능하게 고정된다. 제1 부위(41)의 상면에는 복수의 나사 구멍(414)이 둘레 방향을 따라 등간격을 두고 형성되어 있고, 한편 제2 부위(42)의 플랜지부(421)에는, 나사 구멍(414)에 대응하는 복수의 나사 삽입 관통 구멍(424)이 형성되어 있다.

제1 부위(41)는, 제2 부위(42)의 단부(423)에 끼워 맞춰 나사 구멍(414)을 나사 삽입 관통 구멍(424)에 일치시키고, 나사 삽입 관통 구멍(424)을 통과시킨 제1 나사(51)를 나사 구멍(414)에 넣어 체결하는 것에 의해 고정되며, 이것에 의해 베이스부(40)가 조립된 상태가 된다. 베이스부(40)에 조립된 상태에서, 제1 부위(41)와 제2 부위(42)의 하면은 동일면이 되고, 지석(419)이 돌출된 상태가 된다. 제1 나사(51)를 풀면, 제1 부위(41)와 제2 부위(42)는 분리될 수 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 부위(41)와 제2 부위(42)로 이루어지는 베이스부(40)는, 제2 부위(42)의 내주 가장자리가 휠 마운트(33)의 하면에 형성된 위치 결정용 볼록부(331)의 외주 가장자리에 끼워 맞춰져 삽입되고, 육각 구멍 볼트 등의 제2 나사(52)에 의해 휠 마운트(33)에 착탈 가능하게 고정된다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 제2 부위(42)의 상면에는 복수의 나사 구멍(425)이 둘레 방향을 따라 등간격을 두고 형성되어 있고, 한편 휠 마운트(33)에는, 나사 구멍(425)에 대응하는 복수의 나사 삽입 관통 구멍(335)이 형성되어 있다. 베이스부(40)는, 제2 부위(42)를 휠 마운트(33)의 볼록부(331)에 끼워 맞춰 나사 구멍(425)을 나사 삽입 관통 구멍(335)에 일치시키고, 나사 삽입 관통 구멍(335)을 통과시킨 제2 나사(52)를 나사 구멍에 넣어 체결하는 것에 의해, 휠 마운트(33)에 수평인 상태로 고정된다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 스핀들 샤프트(32)의 내부에는, 연삭액원(60)에 연통하는 연삭액 공급로(321)가 형성되어 있다. 이 연삭액 공급로(321)는, 스핀들 샤프트(32)의 중심을 통과하여 휠 마운트(33)를 향해 연장되고, 휠 마운트(33)의 내부에서 방사형으로 분기되어 있다. 휠 마운트(33) 안에서의 분기 수는 제2 부위(42)의 노즐(422)의 수에 대응하고 있고, 휠 마운트(33)에 고정된 제2 부위(42)의 각 노즐(422)은, 방사형의 각 연삭액 공급로(321)에 연통한 상태가 된다.

이러한 구성의 연삭휠(34)에서는, 스핀들 샤프트(32)와 함께 회전하는 연삭휠(34)의 지석(419)이 워크의 피가공면에 접촉되어 상기 피가공면이 연삭 가공된다. 그리고 이 연삭 가공시에는, 연삭액원(60)으로부터 연삭액 공급로(321)에 순수 등의 연삭액이 공급된다. 연삭액 공급로(321)에 공급된 연삭액은 베이스부(40)의 제2 부위(42)의 각 노즐(422)에 유입되고, 이들 노즐(422)로부터 분출하는 것에 의해 지석(419)의 내주측에 공급된다. 이것에 의해, 지석(419)에 의한 워크의 가공점이 냉각되고, 워크의 연삭 부스러기나 지석 부스러기 등이 연삭액에 의해 흘러, 배출된다.

본 실시형태의 연삭휠(34)에 의하면, 지석(419)을 갖는 제1 부위(41)와 노즐(422)을 갖는 제2 부위(42)를 조합하여 사용한다. 도시한 지석(419)의 종류(형상, 길이, 형성 위치 등)와 노즐(422)의 종류(거칠기, 형상 등)는 연삭 조건에 따른 임의의 것이 제1 부위(41) 및 제2 부위(42)에 각각 설치된다. 따라서 제1 부위(41)는 지석(419)의 종류에 따라 복수개가 준비되고, 제2 부위(42)는 노즐(422)의 종류에 따라 복수개가 준비된다. 그리고, 연삭 조건에 적합한 지석(419)을 갖는 제1 부위(41)와 연삭 조건에 적합한 노즐(422)을 갖는 제2 부위(42)가 선택되고 조합되어, 연삭휠(34)로서 사용된다.

이러한 연삭휠(34)에서, 관리해야 하는 개체수는 제1 부위(41)와 제2 부위(42)의 총 수이다. 이 수는, 베이스부(40)에 종류에 따른 지석(419)과 노즐(422) 쌍방을 조합하여 설치하고 있는 일체물인 종래 구성의 경우와 비교하면 현저히 적다. 따라서 연삭휠(34)을 관리하기 위한 부담이 경감한다. 또한, 소모되는 지석(419)이 배치된 제1 부위(41)만이 소모품으로서 취급되고, 노즐(422)이 형성되어 있는 제2 부위(42)는 교환하지 않고 사용할 수 있기 때문에, 종래보다 비용이 저감한다.

(3) 연삭휠의 다른 실시형태

도 5 및 도 6은, 본 발명의 다른 실시형태의 연삭휠(34)이 휠 마운트(33)에 고정된 상태를 도시하고 있다. 이 실시형태의 연삭휠(34)도, 베이스부(40)가 분리될 수 있는 제1 부위(41)와 제2 부위(42)로 구성되어 있고, 이들 제1 부위(41)와 제2 부위(42)는, 복수의 육각 구멍 볼트 등의 나사(고정구)(53)에 의해 휠 마운트(33)에 일괄 고정되어 있다.

제1 부위(41)는, 내주면이 아래쪽으로 향함에 따라 테이퍼형으로 넓어지고, 외주면은 원통형으로 형성된 단면이 대략 사다리꼴 형상이며, 하면에 복수의 지석(419)이 원환형으로 나열되어 고착되어 있다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 제1 부위(41)의 상면에는, 복수의 나사 구멍(416)이 둘레 방향을 따라 등간격을 두고 형성되어 있다. 제2 부위(42)는 평판형으로서 내주측에 휠 마운트(33)의 방사형의 연삭액 공급로(321)에 연통하는 복수의 노즐(422)이 형성되어 있고, 이들 노즐(422)의 외주측에, 나사 구멍(416)에 대응하는 복수의 나사 삽입 관통 구멍(426)이 형성되어 있다. 제2 부위(42)의 노즐(422)이 형성된 부분에는, 아래쪽으로 돌출하는 볼록부(427)가 형성되어 있다.

이 경우의 연삭휠(34)은, 제2 부위(42)의 내주 가장자리를 휠 마운트(33)의 위치 결정용 볼록부(331)의 외주 가장자리에 끼워 맞추고, 제1 부위(41)의 내주 가장자리를 제2 부위(42)의 볼록부(427)의 외주면에 끼워 맞추며, 또한 나사 삽입 관통 구멍(426) 및 나사 구멍(416)을 휠 마운트(33)의 나사 삽입 관통 구멍(335)에 일치시키고, 이 상태로부터 나사 삽입 관통 구멍(335, 426)을 통과시킨 나사(53)를 나사 구멍(416)에 넣어 체결하는 것에 의해, 휠 마운트(33)에 수평인 상태로 고정된다.

이 실시형태에서는, 나사(53)에 의해 제1 부위(41)와 제2 부위(42)가 휠 마운트(33)에 같이 체결되어 고정되고, 고정과 동시에 이들 부위(41, 42)가 조합되어 연삭휠(34)로 구성된다. 따라서 휠 마운트(33)에 고정되기 전에는, 제1 부위(41)와 제2 부위(42)는 각각의 상태로 관리된다. 또한 1종류의 나사(53)로 제1 부위(41)와 제2 부위(42)를 서로 고정 상태로 할 수 있기 때문에, 부품 종류의 수가 감소하고 나사 체결 작업의 부담이 경감한다. 이것에 대하여 상기 일 실시형태에서는, 제1 나사(51)에 의해 제1 부위(41)와 제2 부위(42)를 조합한 상태로 휠 마운트(33)에 고정할 수 있다.

1: 워크, 10: 연삭 장치, 33: 휠 마운트(고정부), 34: 연삭휠(연삭 가공 툴), 40: 베이스부, 41: 제1 부위, 419: 지석, 42: 제2 부위, 422: 노즐, 53: 나사(고정구)

Claims

원환형의 베이스부와,
상기 베이스부 위에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크의 노출면에 접촉하는 지석과,
상기 베이스부에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크와 상기 지석의 접촉부에 가공액을 유도하는 노즐을 포함하고,
워크를 연삭 가공할 때에 이용되는 연삭휠로서,
상기 베이스부는 상기 지석이 배치된 제1 부위와, 상기 노즐이 형성된 제2 부위로 구성되며,
상기 제1 부위와 상기 제2 부위와는 분리 가능하고,
상기 제1 부위와 상기 제2 부위가 상방에서 삽입되는 나사에 의해 고정되고, 상기 제2 부위가 추가적으로 상방에서 삽입되는 나사에 의해 고정부에 고정되는 것을 특징으로 하는 연삭휠.
원환형의 베이스부와,
상기 베이스부 위에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크의 노출면에 접촉하는 지석과,
상기 베이스부에 원환형으로 나열되어 복수 배치되고, 워크와 상기 지석의 접촉부에 가공액을 유도하는 노즐을 포함하고,
워크를 연삭 가공할 때에 이용되는 연삭휠로서,
상기 베이스부는 상기 지석이 배치된 제1 부위와, 상기 노즐이 형성된 제2 부위로 구성되며,
상기 제1 부위와 상기 제2 부위와는 분리 가능하고,
상기 제1 부위와 상기 제2 부위는 상방에서 삽입되는 나사에 의해 고정부에 일괄 고정되는 것을 특징으로 하는 연삭휠.