JP2004253629A - ウェーハ研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ研削装置のスピンドル側は、主にスピンドル1、固定研削工具2、ツールホルダ3、研削工具4、工具交換アーム(ATC)5および加工液供給ノズル6から構成される。ウェーハ研削装置の被加工物側は、主に支持テーブル7および回転テーブル8から構成される。ツールホルダ3は、スピンドル側より順に、プルスタッド3a、シャンク部3b、フランジ部3cおよびボス3dから構成される。ここで、フランジ部3cの径は、スピンドル1の下端面1cの径より大きく、かつ仕上砥石部2bの内径より小さく形成される。このことにより、仕上砥石台(台金部)2aの下面2eとフランジ部3cの上面3gとが当接可能となる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハの研削装置に関し、特にカップ状の研削工具を用いて片面研削を行うウェーハ研削装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ウェーハを研削する装置として、自動工具交換装置(Automatic Tool Changer、以下ATCと略して記載する。)を利用したウェーハ研削装置がある。その中に、本発明と同一の出願人により開示された、スピンドルに固定された研削工具および交換可能な研削工具を備えた片面研削装置がある(例えば、特許文献1を参照。)。以下、特許文献1に記載の片面研削装置について説明する。
【0003】
図5は、特許文献1に記載の片面研削装置の主要部を示す概略断面図である。図5に示すように、片面研削装置は、主にスピンドル51、固定研削工具52、ツールホルダ53、研削工具54、工具交換アーム55、ノズル56(固定研削工具用ノズル56a・研削工具用ノズル56b)、支持テーブル57、回転テーブル58および被加工物であるウェーハ59から構成される。
【0004】
スピンドル51は、鉛直軸を回転軸として回転運動を行う主軸であり、下側にクランプ機構51aおよびテーパ穴51bが形成されている。
固定研削工具52は、台金部をなすカップ状の仕上砥石台52aおよびその下側周縁に取り付けられ、研削砥粒層をなす仕上砥石52bから構成されており、スピンドル51の下側に、下方のウェーハ59を研削可能に固定されている。また、主軸方向に貫通する複数の加工液供給孔52cを有する。
着脱可能なツールホルダ53は、上側から順に、プルスタッド53a、シャンク部53bおよび周縁に把持溝を形成したフランジ部53cから構成される。フランジ部53cの下側には、研削工具54が固定されている。
研削工具54は、台金部をなすカップ状の粗砥石台54aおよびその下側周縁に取り付けられ、研削砥粒層をなす粗砥石54bから構成されており、フランジ部53cの下側に、下方のウェーハ59を研削可能に固定されている。
工具交換アーム(ATC)55は、複数のツールホルダを収納するマガジン(図示せず)から、使用する研削工具54を有するツールホルダ53を選び出し、スピンドル51に装着したり、使用後のツールホルダ53を取り外し、マガジンに収納したりすることができる。
ノズル56は、研削部位に加工液(例えば、冷却水)を供給するためのノズルであり、固定研削工具用ノズル56aおよび研削工具用ノズル56bがある。
【0005】
上述したように、固定研削工具52に仕上砥石52b、研削工具54に粗砥石54bを使用した理由を以下に示す。
(1) 一般的には、粗砥石54bは、被加工物の種類等により、使い分けられる。そのため工具交換アーム55を用いて適宜交換可能とするため、研削工具54を粗砥石54bとする。
(2) 仕上砥石52bは、被加工物の種類等に関係なく、仕上加工工程(後述する)で使用される(したがって使用頻度が高い。)。また、粗砥石54bと比較して砥粒が細かいので、砥石の磨耗が少なく、交換が少なくて済む。また、仕上加工工程では粗加工工程よりも高い研削精度が求められる。したがって、スピンドル51に直接固定することにより、交換による精度のばらつきを少なくして、高い繰り返し精度を確保することが望ましい。そのため、固定研削工具52を仕上砥石52bとする。
【0006】
続いて、片面研削装置による研削動作について説明する。図6は特許文献1に記載の片面研削装置の動作を示す図であり、(a)は粗加工工程を示す概略断面図であり、(b)は仕上加工工程を示す概略断面図である。
【0007】
(粗加工工程)
まず、工具交換アーム55(図5参照)により、使用する研削工具54を有するツールホルダ53を選び出し、スピンドル51に装着する。装着後、図6(a)に示すように、研削工具54により、ウェーハ59の粗研削を行う。この際、研削工具用ノズル56bにより加工液を研削部位に供給する。これらの動作を仕上加工可能な状態となるまで繰り返す。
【0008】
(仕上加工工程)
粗加工工程終了後、工具交換アーム55により、ツールホルダ53をマガジンに収納し、カバー部材63をスピンドル51に装着する。その後、図6(b)に示すように、固定研削工具52により、ウェーハ59の仕上研削を行う。この際、固定研削工具用ノズル56aにより加工液供給孔52cを通じて、加工液を研削部位に供給する。
【0009】
しかしながら、特許文献1に記載の片面研削装置には、以下に示す問題があった。
(1) スピンドル51とツールホルダ53の装着部分の支持剛性が十分でないため、研削工具54の変形が大きく、研削の形状精度を保つのが困難である。
(2) 加工液を供給するためには、固定研削工具用ノズル56aと研削工具用ノズル56bとを別に設置する必要があり、そのためのスペースを確保することが困難である。
【0010】
ここで、問題点(1)についてさらに説明を加える。図7は従来のウェーハ研削装置の二面拘束を説明する概略断面図である。図7に示すように、スピンドル71は、クランプ機構71aおよびテーパ穴71bを有する。ツールホルダ73は、プルスタッド73a、シャンク部73bおよびフランジ部73cから構成され、カップ状の研削工具74を固定されている。装着時には、クランプ機構71aがプルスタッド73aを引っ張り上げてクランプする。また、スピンドルのテーパ穴71bにシャンク部73bが挿入されて当接し、スピンドル71の下面71cとフランジ部73cの上面73d(テノンともいう)とが当接することにより固定される。
近年、一度に大量のウェーハを研削するため、ウェーハおよび研削工具の径の大型化が行われている。しかし、スピンドル71とツールホルダ73との当接部位の径は、スピンドル71の下端面71cの径の範囲内であり、カップ状の研削工具74の径と比べて小さい。したがって、スピンドル71は、研削部位から離れた位置でフランジ部73cを当接・支持することになり、十分な支持剛性が得られないという問題がある。
【0011】
【特許文献1】
特開2001−246557号公報([0032]〜[0046]、第2図、第3図、第4図)
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、研削工具の支持剛性を高めることにより研削の精度を向上し、ノズルの設置が容易なウェーハ研削装置を提供することを課題とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1に記載のウェーハ研削装置は、スピンドルに固定されるカップ状の固定研削工具と、前記スピンドルに着脱可能に装着されるツールホルダと、前記ツールホルダに固定されるカップ状の研削工具と、を備えるウェーハ研削装置であって、前記ツールホルダを前記スピンドルに装着したときに、前記固定研削工具の台金部と前記ツールホルダのフランジ部とが当接する構成とした。
【0014】
ここでいう「固定研削工具」とは、「スピンドルに対して固定されている研削工具」という意味であり、「研削工具」とは、「スピンドルに対して交換される研削工具」という意味である。交換は手動でもよいし、ATCによるものでもよい。また、各構成要件の「径」とは、使用状態における主軸まわりの径のことを指す。
【0015】
フランジ部の径は、スピンドルの下端面の径より大きく、かつ固定研削工具の径より小さくなるように形成される。したがって、ツールホルダを装着したときに、固定研削工具の台金部の下面と、フランジ部の上面(テノンともいう)とが当接する構成となる。したがって、フランジ部の当接部位を、スピンドルの下端面の径よりも大きくとることが可能となり、固定研削工具による研削部位により近い位置で当接・支持することができる。したがって、より支持剛性の高いウェーハ研削装置を提供できる。
【0016】
また、請求項2に記載のウェーハ研削装置は、請求項1に記載のウェーハ研削装置であって、前記固定研削工具、前記ツールホルダおよび前記研削工具はそれぞれ、主軸方向に貫通する加工液供給孔を有し、前記加工液供給孔は、前記ツールホルダを前記スピンドルに装着したときに、前記固定研削工具、前記ツールホルダおよび前記研削工具を連通するように形成されている構成とした。
【0017】
このように構成することにより、研削工具による研削(粗加工)時において、スピンドル側に設けられたノズルから供給された加工液は、固定研削工具、ツールホルダおよび研削工具を連通した加工液供給孔を通って研削部位に到達する。また、固定研削工具による研削(仕上加工)時には、スピンドル側に設けられたノズルから供給された加工液は、固定研削工具の加工液供給孔を通って研削部位に到達する。したがって、交換研削工具用、研削工具用に別のノズルを設置する必要がなくなる。
【0018】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について適宜図面を参照しながら説明する。本実施形態は鉛直軸を主軸としたインフィード研削を例にとって説明するが、これに限定されるものではない。また、以下の説明における位置・方向を特定する用語(上下等)は、ウェーハ研削装置に設置された状態を基準としている。
図1は、本発明の実施形態に係るウェーハ研削装置の主要部を示す概略断面図である。図1に示すように、ウェーハ研削装置の上(スピンドル)側は、主にスピンドル1、固定研削工具2、ツールホルダ3、研削工具4、工具交換アーム(ATC)5およびノズル6から構成される。ウェーハ研削装置の下(被加工物)側は、主に支持テーブル7および回転テーブル8から構成される。また、ウェーハ9は、被加工物である。
【0019】
スピンドル1は、鉛直軸を回転軸として回転運動を行う主軸であり、下側に、クランプ機構1aおよびテーパ穴1bを有する。ドローバーおよびボールからなるクランプ機構1aは、鉛直方向に移動可能であり、プルスタッド3a(後述する)を引っ張り上げてクランプする。テーパ穴1bには、シャンク3b(後述する)が嵌合される。また、スピンドル1の被加工物側は固定研削工具2を固定可能な形状に形成されている。
【0020】
固定研削工具2は、台金部をなすカップ状の仕上砥石台2aおよび研削砥粒層をなす仕上砥石2bから構成される。仕上砥石台2aは、その主軸中央に穴部2cを有し、スピンドル1を嵌め込んでいる。そしてスピンドル1の下側に、複数のボルト2dにより固定される。仕上加工工程時には、スピンドル1により主軸まわりに回転する。また、主軸方向に貫通する複数の加工液供給孔2fを有する。仕上砥石2bは、仕上加工のための砥石であり、仕上砥石台2aの下側外縁に周設され、スピンドル1の回転によりウェーハ9を研削する。仕上砥石2bには、メッシュサイズ#2000程度の細かい砥石が好適である。
【0021】
ツールホルダ3は、上側より順に、プルスタッド3a、シャンク部3b、フランジ部3cおよびボス3dから構成される。プルスタッド3aは、クランプ機構1aにより引っ張り上げられクランプされる。シャンク部3bは、テーパ面を有し、テーパ穴1bに挿入される。フランジ部3cは、その周方向に形成された把持溝3eを有する。把持溝3eの形状は、工具交換アーム5の把持部5a・5b(後述する)により把持可能に形成される。また、主軸方向に貫通する複数の加工液供給孔3fを有する。ボス3dは、フランジ部3cの下側に形成された凸部であり、穴部4c(後述する)に嵌め込まれる。
【0022】
ここで、フランジ部3cの径は、スピンドル1の下端面1cの径より大きく、かつ仕上砥石2bの内径より小さく形成される。このことにより、仕上砥石台2aの下面2eとフランジ部3cの上面3gとが当接可能となる。
【0023】
研削工具4は、台金部をなすカップ状の粗砥石台4aおよび研削砥粒層をなす粗砥石4bから構成される。粗砥石台4aは、主軸中央に穴部4cを有し、ボス3dを嵌め込んでいる。そして、フランジ部3cの下面に、複数のボルト4dにより固定される。粗加工工程時には、スピンドル1により主軸まわりに回転する。また、主軸方向に貫通する複数の加工液供給孔4fを有する。粗砥石4bは、粗加工のための砥石であり、粗砥石台4aの下側外縁に周設され、スピンドル1の回転によりウェーハ9を研削する。粗砥石4bには、仕上砥石2bより砥粒の粗い砥石が用いられる。
【0024】
ウェーハ研削装置は、異なる研削工具を固定したツールホルダを複数有しており、これらはマガジン(図示せず)の中に収納されている。そして、使用時にはプログラムによる指令によって、工具交換アーム5によりスピンドル1に装着される。
【0025】
工具交換アーム5は、第一把持部5a、第二把持部5b(図中省略)および回転軸5cから構成される。把持部5a・5bはツールホルダ4の把持溝4dおよびカバー部材13(後述する)の把持溝を把持可能な形状に形成される。本実施形態では、フランジ部3cの径は従来のものより大きくなっているため、把持部5a・5bもそれにあわせて大きくなる。把持部5a・5bはツールホルダ3(の把持溝4d)を把持し、スピンドル1に装着したり、マガジンに収納したりするための搬送を行う。
【0026】
ノズル6は、加工液供給孔を通じて加工液を研削部位に供給する。加工液は、例えば冷却水であり、研削部位の熱を取り除いたり、砥石の目詰まりを防止したりする。
【0027】
支持テーブル7は、回転テーブル8を回転可能に支持する。
【0028】
回転テーブル8は、ウェーハ9を真空チャック(図示せず)により吸着・固定し、主軸まわりに回転運動を行いながら主軸と直交する方向に移動する。なお、通常のインフィード研削において、スピンドル1の回転数には回転テーブル8の回転数より一桁以上大きい値が用いられる。
【0029】
被加工物であるウェーハ9は、回転テーブル8に、その片面(上面)を研削可能な状態で吸着・固定される。
【0030】
ここで、ツールホルダの装着時における当接部位の状態について説明する。図2は、ツールホルダの装着時における当接部位の状態の例を示す概略断面図である。図2(a)では、テーパ穴1bにシャンク部3bが挿入されて当接するのに加え、仕上砥石台2aの下面2eとフランジ部3cの上面3gとが当接する。スピンドル1の下端面1cは仕上砥石台2aの下面2eに対して逃がした状態となっており、フランジ部3cの上面3gと当接していない(この当接状態をAと呼ぶ。)。
【0031】
また、ツールホルダの装着時における当接部位の状態の別の例を図2(b)に示す。スピンドル1の下端面1cと仕上砥石台2aの下面2eとが連続面を形成している。図2(b)では、テーパ穴1bにシャンク部3bが挿入されて当接するのに加え、前記連続面とフランジ部3cの上面3gとが当接する(この当接状態をBと呼ぶ。)。
【0032】
A・Bともに、従来よりも当接部位の径を大きくとることが可能となり、より研削部位に近い位置で当接・支持することができる。したがって、研削部位である粗砥石4bに生じる研削応力に対する支持剛性を高めている。ここではBの方が当接部位の面積が大きいため、より大きい支持剛性を得ることができるが、その一方で連続面を形成するための当り作業が必要となる。また、A・Bともに、仕上砥石台2aの下面2eを滑らかにする加工等を施すことが望ましい(仕上砥石台2aとフランジ部3cの接触状態を良くし、支持剛性を高めるため。)。
【0033】
図3は、加工液供給孔の連通状態を示す概略斜視図である。図3に示すように、各加工液供給孔2f・3f・4fのそれぞれは、主軸中心から同一距離・等間隔・同一形状に形成されている(図3ではそれぞれ6個であるが、これに限定されない。)。加工液供給孔4fの上側開口と、加工液供給孔3fの下側開口とは、ボルト4d(図1参照)により粗砥石台4aをツールホルダ2に固定する際に連通するように設計されている。また、加工液供給孔3fの上側開口と、加工液供給孔2fの下側開口とは、ツールホルダ3をスピンドル2に装着する際に、図示しないキーによる位置合せが行われることにより、連通するように設計されている。
【0034】
また、加工液供給孔2f・4fのそれぞれは、下側に向かって拡がるように勾配を有する。これは、加工液供給孔を通った加工液が、研削部位(砥石2b・4b方向)へ向かうようにするためである。この場合には、研削工具4の径を固定研削工具2の径よりも大きくすることが望ましい。
【0035】
続いて、本発明の実施形態に係る片面研削装置の動作について説明する。図4は片面研削装置の動作を示す図であり、(a)は粗加工工程を示す概略断面図、(b)は仕上加工工程を示す概略断面図である。
【0036】
(粗加工工程)
工具交換アーム5(図1参照)により、マガジン(図示せず)に収納された複数のツールホルダの中から、使用する研削工具4を有するツールホルダ3を選び出し、スピンドル1に装着する。
装着後、スピンドル1および回転テーブル8を回転させながら、図4(a)に示すように、粗砥石4bによりウェーハ9にインフィード研削(粗研削)を行う。ノズル6から供給された加工液の一部は、連通した加工液供給孔2f・3f・4fを通って研削部位に到達する。
ここで、粗加工工程をウェーハ9が仕上加工可能な状態となるまで適宜繰り返す。すなわち、ウェーハ9の研削面の状態に適した研削工具4を有するツールホルダ3を適宜交換・装着し研削を行う。
【0037】
(仕上加工工程)
粗加工工程終了後、工具交換アーム5により、ツールホルダ3を取り外し、カバー部材13をスピンドル1に装着する。カバー部材13は、加工液供給孔2fを塞がない様、ツールホルダ3より小さい径に形成されており、仕上加工工程において、切りくず等がスピンドル1のテーパ穴1bに付着するのを防ぐ。
装着後、スピンドル1および回転テーブル8を回転させながら、図4(b)に示すように、仕上砥石2bによりウェーハ9にインフィード研削(仕上研削)を行う。ノズル6から供給された加工液の一部は、加工液供給孔2fを通って研削部位に到達する。
【0038】
上述したように、フランジ部3cの当接部位の径が大きくなり、より研削部位に近い位置で当接・支持することになるので、粗砥石4bに生じる研削応力に対する支持剛性が高まる。したがって、粗加工工程において、研削精度を向上できる。
また、粗加工工程において、連通した加工液供給孔2f・3f・4fを通じて加工液を供給するので、ノズル6を固定研削工具用、研削工具用と用途別に設置する必要がなくなる。
【0039】
上述した実施形態は、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、主軸は水平軸であってもよいし、ウェーハは回転せず、砥石との間で相対直線移動させて研削するようにしてもよい。また、インフィード研削でなくてもよい。
【0040】
【発明の効果】
本発明の請求項1に記載のウェーハ研削装置によれば、研削工具を装着したときの支持剛性を高めることにより、研削工具による研削作業の精度を高めることのできるウェーハ研削装置を提供できる。
【0041】
また、本発明の請求項2に記載のウェーハ研削装置によれば、固定研削工具、ツールホルダのフランジ部および研削工具を連通する加工液供給孔を有することにより、ノズルの設置が容易なウェーハ研削装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るウェーハ研削装置の主要部を示す概略断面図である。
【図2】ツールホルダの装着時における当接部位の状態の例を示す概略断面図である。
【図3】加工液供給孔の連通状態を示す概略斜視図である。
【図4】本発明の実施形態に係るウェーハ研削装置の動作を示す図であり、(a)は粗加工工程を示す概略断面図、(b)は仕上加工工程を示す概略断面図である。
【図5】特許文献1に記載の片面研削装置の主要部を示す概略断面図である。
【図6】特許文献1に記載の片面研削装置の動作を示す図であり、(a)は粗加工工程を示す概略断面図、(b)は仕上加工工程を示す概略断面図である。
【図7】従来のウェーハ研削装置の二面拘束を説明する図である。
【符号の説明】
1 スピンドル
1a クランプ機構
1b テーパ穴
1c 下端面
2 固定研削工具
2a 仕上砥石台(台金部)
2b 仕上砥石
2c 穴部
2d ボルト
2e 下面
2f 加工液供給孔
3 ツールホルダ
3a プルスタッド
3b シャンク部
3c フランジ部
3d ボス
3e 把持溝
3f 加工液供給孔
3g 上面
4 研削工具
4a 粗砥石台(台金部)
4b 粗砥石
4c 穴部
4d ボルト
4f 加工液供給孔
5 工具交換アーム
5a 第一把持部
5b 第二把持部
5c 回転軸
6 ノズル
7 支持テーブル
8 回転テーブル
9 ウェーハ(被加工物)
13 カバー部材
Claims (2)
- スピンドルに固定されるカップ状の固定研削工具と、前記スピンドルに着脱可能に装着されるツールホルダと、前記ツールホルダに固定されるカップ状の研削工具と、を備えるウェーハ研削装置であって、
前記ツールホルダを前記スピンドルに装着したときに、前記固定研削工具の台金部と前記ツールホルダのフランジ部とが当接することを特徴とするウェーハ研削装置。 - 前記固定研削工具、前記ツールホルダおよび前記研削工具はそれぞれ、主軸方向に貫通する加工液供給孔を有し、
前記加工液供給孔は、前記ツールホルダを前記スピンドルに装着したときに、前記固定研削工具、前記ツールホルダおよび前記研削工具を連通するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ研削装置。
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