JP2009107040A - 加工装置 - Google Patents
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- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 39
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000009545 invasion Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 33
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段の所要箇所に連通路を介してエアを供給するエア供給源とを備えた加工装置であって、前記連通路には水の浸入を検出する検出器が配設されていることを特徴とする。例えば、加工手段はスピンドルをエアで回転自在に支持するエアベアリングを含んでおり、所要箇所はエアベアリングから構成される。
【選択図】図6
Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
26 スピンドル
26a スラストプレート
28 切削ブレード
30 スピンドルユニット
32 スピンドルハウジング
76 サーボモータ
82 エア供給源
84,88 連通路
86 水検出器
90 エア供給路
92,96 ラジアルエアベアリング
94 スラストエアベアリング
98 収容器
102,104 電極
106 電源
108 報知手段
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段の所要箇所に連通路を介してエアを供給するエア供給源とを備えた加工装置であって、
前記連通路には水の浸入を検出する検出器が配設されていることを特徴とする加工装置。 - 前記加工手段は、ハウジングと、該ハウジング内に一部が挿入され先端部に工具が装着されるマウントを有する回転軸と、該回転軸を駆動する駆動手段と、該回転軸をエアで回転自在に支持するエアベアリングとから構成され、
前記所要箇所は前記エアベアリングであり、
前記エアベアリングと前記エア供給源との間の連通路に前記検出器が配設されていることを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 前記検出器は、前記連通路に所定の隙間をもって配設された第1及び第2電極と、該第1及び第2電極に接続された電源と、前記第1及び第2電極の一方と前記電源との間に直列に接続され、該第1及び第2電極の隙間に水が介在した際に水の浸入を報知する報知手段とから構成されることを特徴とする請求項1又は2記載の加工装置。
- 前記検出器は前記第1及び第2電極を収容する絶縁性収容器を備え、該収容器の上部にはエアを受け入れる受入口とエアを送り出す送出口が形成されており、前記第1及び第2電極は該収容器の底部に配設されていることを特徴とする請求項3記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007279958A JP2009107040A (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007279958A JP2009107040A (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | 加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009107040A true JP2009107040A (ja) | 2009-05-21 |
Family
ID=40776125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007279958A Pending JP2009107040A (ja) | 2007-10-29 | 2007-10-29 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009107040A (ja) |
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