JP5242348B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
10 研削ユニット(研削手段)
36 チャックテーブル
46 枠体
48 吸引プレート
56 柱部
58 外周支持部
60 水溜部
62 ウエーハ
64 真空吸引源
72 切削装置
74 チャックテーブル
86 切削ブレード
Claims (1)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引力を伝達する吸引源と、該チャックテーブルに保持されたウエーハに加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、
該チャックテーブルは、ウエーハを保持する保持面を有する吸引プレートと、該吸引プレートの側面と底面とを囲繞する枠体とを含み、
該枠体は、該吸引プレートの該側面を支持する側壁と、該側壁と一体的に形成された基部とを含み、
該基部は、中央部に形成され該吸引源に連通する吸引孔と、該吸引孔と該吸引プレートの底面との間に吸引間隙を形成するように該基部から立設した柱部と、該柱部の支持面と同一面に支持面を有し該吸引プレートの底面の外周部を支持する該基部から立設した外周支持部と、該基部に形成された水溜部とを含み、
該吸引源の作動により該吸引孔からエアーが吸引された際、該水溜部に溜まっている加工水が蒸発して気化熱を奪い、該吸引プレート及び該枠体を冷却することを特徴とする加工装置。
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