JP2011023686A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して相対的に切り込み方向に移動する切り込み送り手段と、該チャックテーブルの枠体の表面部に該切削ブレードを接触させて電気的導通により切り込み方向の基準位置を検出するセットアップ手段とを備えた切削装置であって、該チャックテーブルは被加工物を吸引保持する吸着面を有する吸着部と、該吸着部を囲繞し該吸着部の吸着面と同一高さの表面部を有する枠体とを含み、該枠体の少なくとも表面部はシリコンで形成されていることを特徴とする。
【選択図】図6
Description
28 切削ブレード
30 チャックテーブルアセンブリ
32 支持基台
48 吸着部
48a 吸着面
50,56,58 枠体
54 表面部(Si膜)
60 Si膜
62 多孔質セラミック板
72 Si膜
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して相対的に切り込み方向に移動する切り込み送り手段と、該チャックテーブルの枠体の表面部に該切削ブレードを接触させて電気的導通により切り込み方向の基準位置を検出するセットアップ手段とを備えた切削装置であって、
該チャックテーブルは被加工物を吸引保持する吸着面を有する吸着部と、該吸着部を囲繞し該吸着部の吸着面と同一高さの表面部を有する枠体とを含み、
該枠体の少なくとも表面部はシリコンで形成されていることを特徴とする切削装置。 - 該枠体の表面部はシリコンの溶射によって形成されている請求項1記載の切削装置。
- シリコンの純度は99%以下である請求項1又は2記載の切削装置。
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