JP4856593B2 - マウント装置及びマウント方法 - Google Patents
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Description
特許文献1には、ウエハをテーブル上に移載し、このウエハを裏面研削した後に搬送手段を介して当該ウエハをウエハストッカに収納する構成が開示されている。
また、特許文献2には、研削済みのウエハを搬送手段を介してウエハストッカから取り出し、当該ウエハを、接着シートを介してリングフレームにマウントする構成が開示されている。
また、特許文献1、2に示されるような搬送若しくは移載によるマウント方法では、ウエハの直径が大型化している現状に対応することが困難となる。すなわち、ウエハを吸着保持した際に、吸着力に起因したウエハの割れを防止し得たとしても、ウエハ外周側の垂れ下がり(反り)に起因した割れを生じる不都合は依然として解消されない。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、搬送手段等によって直接ウエハに接触することなくリングフレームと一体化することによって、当該ウエハに割れ等の損傷を生じさせることのないマウント装置及びマウント方法を提供することにある。
前記被加工物から保護シートを剥離する剥離手段と、前記外部の処理手段の領域内にアクセス可能な搬送手段とを含み、当該搬送手段は、前記フレームの保持手段と、前記接着シートを被加工物に押圧する押圧手段とを備えているとともに、前記外部の処理手段の領域内で被加工物に接着シートを貼付してフレームに一体化する、という構成を採っている。
前記接着シートが接着されたフレームを保持して前記外部の処理手段の領域内にアクセスするステップと、
前記接着シートを被加工物に押圧するステップと、
前記接着シートに被加工物を転着して前記フレームに一体化するステップと、
一体化された被加工物から前記保護シートを剥離するステップとを含む、という方法を採っている。
なお、外部の処理手段の領域内とは、本発明のマウント装置以外の装置若しくは処理手段が占有する設置面を基準にしてその上方空間を含む領域を意味する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 研削装置(外部の処理手段)
12 搬送手段
13 貼付手段
15 剥離手段
16 回転テーブル
17 砥石(研削手段)
23A 吸着パッド(保持手段)
23 吸着アーム(保持手段)
25 プレスローラ(押圧手段)
P1、P2 加工位置
P3 非加工位置
PS保護シート
RF リングフレーム
S 接着シート
W 半導体ウエハ
Claims (4)
- 外部の処理手段で所定の加工が施されるとともに、一方の面に保護シートが貼付された被加工物を、接着シートを介してフレームに一体化するマウント装置において、
前記被加工物から保護シートを剥離する剥離手段と、前記外部の処理手段の領域内にアクセス可能な搬送手段とを含み、当該搬送手段は、前記フレームの保持手段と、前記接着シートを被加工物に押圧する押圧手段とを備えているとともに、前記外部の処理手段の領域内で被加工物に接着シートを貼付してフレームに一体化することを特徴とするマウント装置。 - 前記フレームに接着シートを貼付する貼付手段を含み、前記接着シートが貼付されたフレームと前記被加工物とを一体化することを特徴とする請求項1記載のマウント装置。
- 外部の処理手段で所定の加工が施されるとともに、一方の面に保護シートが貼付された被加工物を、接着シートを介してフレームに一体化するマウント方法において、
前記接着シートが接着されたフレームを保持して前記外部の処理手段の領域内にアクセスするステップと、
前記接着シートを被加工物に押圧するステップと、
前記接着シートに被加工物を転着して前記フレームに一体化するステップと、
一体化された被加工物から前記保護シートを剥離するステップとを含むことを特徴とするマウント方法。 - 前記外部の処理手段の領域内にアクセスする前の段階で、前記フレームに接着シートを
貼付するステップを含むことを特徴とする請求項3記載のマウント方法。
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JP2007176076A JP4856593B2 (ja) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | マウント装置及びマウント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007176076A JP4856593B2 (ja) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | マウント装置及びマウント方法 |
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JP2009016528A JP2009016528A (ja) | 2009-01-22 |
JP4856593B2 true JP4856593B2 (ja) | 2012-01-18 |
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2007
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