JP2009043771A - チャックテーブル機構および被加工物の保持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を収容する開口を備えた環状のフレームに装着されているダイシングテープの表面に貼着された被加工物をダイシングテープを介して吸引保持する被加工物保持部を上面に備えたチャックテーブルと、被加工物保持部に保持される被加工物をダイシングテープを介して支持する環状のフレームを固定するためのクランプを備えたチャックテーブル機構であって、チャックテーブルの上面には被加工物保持部を囲繞して形成されダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と環状のフレームの内周面との間の領域を吸引する保持するテープ保持部が設けられており、被加工物保持部と被加工物保持部が吸引手段に連通されている。
【選択図】図4
Description
また、レーザー加工装置等の精密加工装置に装備されるチャックテーブル機構においても、上述した問題が生ずる。
該チャックテーブルの上面には該被加工物保持部を囲繞して形成され該ダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と該環状のフレームの内周面との間の領域を吸引する保持するテープ保持部が設けられており、該被加工物保持部と該被加工物保持部が吸引手段に連通されている、
ことを特徴とするチャックテーブル機構が提供される。
また、上記吸引手段は、上記被加工物保持部と環状の吸引溝をそれぞれ開閉弁を介して吸引源に連通するように構成されている。
該被加工物の該ダイシングテープ側を該チャックテーブルの該被加工物保持部上に載置する被加工物載置工程と、
該チャックテーブルの該被加工物保持部上に載置された被加工物を該ダイシングテープを介して支持する該環状のフレームを該クランプによって固定するフレーム固定工程と、
該フレーム固定工程を実施した後に、該被加工物保持部に負圧を作用して該被加工物保持部上に被加工物を該ダイシングテープを介して吸引保持する被加工物吸引保持工程と、
該テープ保持部に負圧を作用して該ダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と該環状のフレームの内周面との間の領域を吸引保持するテープ吸引保持工程と、を含む、
ことを特徴とする被加工物の保持方法が提供される。
図1に示された切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物を保持するチャックテーブル機構3が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル機構3について、図2および図3を参照して説明する。
カセット載置テーブル13上に載置されたカセット14の所定位置に収容されているウエーハWは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル13が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段16が進退作動して搬出位置に位置付けられたウエーハWを仮置きテーブル15上に搬出する。仮置きテーブル15に搬出されたウエーハWは、第1の搬送手段17の旋回動作によって上記チャックテーブル4の吸着チャック413上に搬送される。このとき、ウエーハWのダイシングテープT側をチャックテーブル4の吸着チャック413上に載置する(被加工物載置工程)。なお、被加工物載置工程を実施する前に、図4に示すように吸引手段6の電磁開閉弁67を附勢(ON)して開路する。この結果、吸引源61から吸引パイプ64、吸引通路54および環状の溝511を通して支持部51に負圧が作用し、チャックテーブル4は支持基台5の支持部51上に吸引保持されている。上記被加工物載置工程を実施することにより、チャックテーブル4の吸着チャック413上にウエーハWが載置されたならば、ウエーハWをダイシングテープTを介して支持する環状のフレームFを上記クランプ7によって固定する(フレーム固定工程)。このように、チャックテーブル4の吸着チャック413上にウエーハ10が載置されたならば、最初にウエーハWをダイシングテープTを介して支持する環状のフレームFをクランプ7によって固定するので、クランプ7によって固定する際にダイシングテープTに作用する張力にアンバランスが生じても、ダイシングテープTに貼着されているウエーハWはダイシングテープTに作用する張力が安定した状態で静止する。従って、環状のフレームFがクランプ7によって固定された後は、ウエーハWはダイシングテープTに作用する張力が安定した状態で静止することになる。
3:チャックテーブル機構
4:チャックテーブル
41:チャックテーブルの吸引保持部
413:吸着チャック
42:チャックテーブルの被支持部
44:環状の吸引溝
5:支持基台
51:支持基台の支持部
6:吸引手段
61:吸引源
62,63,64:吸引パイプ
65,66,67:電磁開閉弁
7:クランプ
9:スピンドルユニット
91:スピンドルハウジング
92:回転スピンドル
93:切削ブレード
11:撮像手段
12:表示手段
14:カセット
15:仮置きテーブル
16:搬出・搬入手段
17:第1の搬送手段
18:洗浄手段
19:第2の搬送手段
Claims (4)
- 被加工物を収容する開口を備えた環状のフレームに装着されているダイシングテープの表面に貼着された被加工物を該ダイシングテープを介して吸引保持する被加工物保持部を上面に備えたチャックテーブルと、該被加工物保持部に保持される被加工物を該ダイシングテープを介して支持する該環状のフレームを固定するためのクランプを備えたチャックテーブル機構であって、
該チャックテーブルの上面には該被加工物保持部を囲繞して形成され該ダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と該環状のフレームの内周面との間の領域を吸引する保持するテープ保持部が設けられており、該被加工物保持部と該被加工物保持部が吸引手段に連通されている、
ことを特徴とするチャックテーブル機構。 - 該テープ保持部は、該チャックテーブルの上面に該被加工物保持部を囲繞して形成され環状の吸引溝からなっている、請求項1記載のチャックテーブル機構。
- 該吸引手段は、該環状の吸引溝と該被加工物保持部をそれぞれ開閉弁を介して吸引源に連通するように構成されている、請求項2記載のチャックテーブル機構。
- 請求項1から3のいずれかに記載のチャックテーブル機構を用いて被加工物を収容する開口を備えた環状のフレームに装着されているダイシングテープの表面に貼着された被加工物を該チャックテーブルに吸引保持する被加工物の保持方法であって、
該被加工物の該ダイシングテープ側を該チャックテーブルの該被加工物保持部上に載置する被加工物載置工程と、
該チャックテーブルの該被加工物保持部上に載置された被加工物を該ダイシングテープを介して支持する該環状のフレームを該クランプによって固定するフレーム固定工程と、
該フレーム固定工程を実施した後に、該被加工物保持部に負圧を作用して該被加工物保持部上に被加工物を該ダイシングテープを介して吸引保持する被加工物吸引保持工程と、
該テープ保持部に負圧を作用して該ダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と該環状のフレームの内周面との間の領域を吸引保持するテープ吸引保持工程と、を含む、
ことを特徴とする被加工物の保持方法。
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