JP5117772B2 - 切削装置 - Google Patents
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該チャックテーブルは、上面に設けられ被加工物を吸引保持する吸引保持部と、下面中央部に設けられ該支持基台によって支持される被支持部とを具備し、
該チャックテーブルの下面における該被支持部を囲繞する領域に振動減衰手段が配設されており、
該振動減衰手段は、該チャックテーブルと固有振動数が異なる制振プレートと、該制振プレートを該チャックテーブルの下面に接合する粘弾性接着剤からなっている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
カセット載置テーブル13上に載置されたカセット14の所定位置に収容されているウエーハWは、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル13が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段16が進退作動して搬出位置に位置付けられたウエーハWを仮置きテーブル15上に搬出する。仮置きテーブル15に搬出されたウエーハWは、第1の搬送手段17の旋回動作によって上記チャックテーブル4の吸着チャック413上に搬送される。チャックテーブル4の吸着チャック413上にウエーハ10が載置されたならば、図2に示す吸引手段6の電磁開閉弁64を附勢(ON)する。電磁開閉弁64が附勢(ON)されると、上述したように吸引源61から吸引パイプ62、吸引通路52および連通路43を通してチャックテーブル4の嵌合凹部411に負圧が作用し、無数の吸引孔を備えた吸着チャック413の上面である保持面に負圧が作用せしめられる。この結果、チャックテーブル4の吸着チャック413上に載置されたウエーハWは、吸着チャック413上に吸引保持される。また、ウエーハWを保護テープTを介して支持する環状のフレームFは、上記クランプ7によって固定される。このようにしてウエーハWを保持したチャックテーブル4は、撮像手段11の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル4が撮像手段11の直下に位置付けられると、撮像手段11によってウエーハWに形成されているストリートが検出され、スピンドルユニット9を割り出し方向である矢印Y方向に移動調節してストリートと切削ブレード93との精密位置合わせ作業が行われる。
3:チャックテーブル機構
4:チャックテーブル
41:チャックテーブルの吸引保持部
413:吸着チャック
42:チャックテーブルの被支持部
44:振動減衰手段
441:制振部材
442:粘弾性接着剤
5:支持基台
51:支持基台の支持部
6:吸引手段
61:吸引源
62,63:吸引パイプ
64,65:電磁開閉弁
7:クランプ
8:カバーテーブル
9:スピンドルユニット
91:スピンドルハウジング
92:回転スピンドル
93:切削ブレード
11:撮像手段
12:表示手段
13:カセット載置テーブル
14:カセット
15:仮置きテーブル
16:搬出・搬入手段
17:第1の搬送手段
18:洗浄手段
19:第2の搬送手段
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと該チャックテーブルを支持する支持基台とを有するチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、を具備する切削装置において、
該チャックテーブルは、上面に設けられ被加工物を吸引保持する吸引保持部と、下面中央部に設けられ該支持基台によって支持される被支持部とを具備し、
該チャックテーブルの下面における該被支持部を囲繞する領域に振動減衰手段が配設されており、
該振動減衰手段は、該チャックテーブルと固有振動数が異なる制振プレートと、該制振プレートを該チャックテーブルの下面に接合する粘弾性接着剤からなっている、
ことを特徴とする切削装置。 - 該粘弾性接着剤は、硬度がショア硬度60以下に設定されている、請求項1記載の切削装置。
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JP2007170109A JP5117772B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007170109A JP5117772B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009010160A JP2009010160A (ja) | 2009-01-15 |
JP5117772B2 true JP5117772B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=40324958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007170109A Active JP5117772B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 切削装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP5117772B2 (ja) |
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JPH05318268A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-03 | Murata Mach Ltd | 旋盤におけるタレットの制振装置 |
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2007
- 2007-06-28 JP JP2007170109A patent/JP5117772B2/ja active Active
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