JP5758111B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該切削ブレードを挟んで両側に該チャックテーブルに保持された被加工物の上面との間に切削水の層を形成する隙間を設けて配設された振動プレートと、該振動プレートに超音波振動を付与する超音波振動子とを備えた超音波生成手段を具備し、
該切削ブレードによる被加工物の切削加工中に、超音波生成手段を作動させて被加工物の上面と該振動プレートとの間に形成された切削水の層に超音波振動を付与する、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
上記切削水供給手段は切削ブレードの両側から切削水を供給する第1のノズルおよび第2のノズルを備えており、上記超音波生成手段を構成する該振動プレートは第1のノズルと被加工物の上面および該第2のノズルと被加工物の上面との間にそれぞれ配設される。
カセット載置テーブル9上に載置されたカセット11の所定位置に収容されている半導体ウエーハ10(環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持されている状態)は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル9が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段13が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハ10を仮置きテーブル12上に搬出する。仮置きテーブル12に搬出された半導体ウエーハ10は、第1の搬送手段14の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。
図6に示す超音波生成手段6aは、切削ブレード43の環状の切刃432を挟んで両側に配設された振動プレート61a、61aと、該振動プレート61a、61aに接続部材64a、64aを介して装着された超音波振動子62、62と、該超音波振動子62、62を支持する取り付け部材63、63とからなっている。振動プレート61a、61aは、それぞれ断面が三角形状に形成され、下端部には底面611a、611aから水平に延びる薄板部611b、611bを備えている。このように形成された振動プレート61a、61aは、底面611a、611aがチャックテーブル3の保持面〈上面〉と平行に配設され、チャックテーブル3にダイシングテープTを介して保持される被加工物としての半導体ウエーハ10の上面との間に切削水の層を形成する隙間Sが設けられる。このように断面が三角形状に形成された振動プレート61a、61aは、傾斜面611c、611cの断面が三角形状に形成された接続部材64a、64aを介して超音波振動子62、62に装着される。このように構成された超音波生成手段6aの超音波振動子62、62が高周波交流電力を供給する図示しない電力供給手段に接続される。従って、超音波振動子62、62に図示しない電力供給手段から高周波交流電力を印加することにより、超音波振動子62、62を超音波振動させ、該超音波振動子62、62が接続部材64a、64aを介して接合されている振動プレート61a、61aを矢印Bで示す方向に振動させることができる。この結果、被加工物Wと振動プレート61a、61aとの隙間Sに形成された切削水の層が超音波振動し、この超音波振動が切削ブレード43の環状の切刃432による切削加工部Aに供給された洗浄水に伝播するため、切削ブレード43の環状の切刃432によって切削された切削溝の内部に侵入した切削水の流動性も良好となり、上述した超音波生成手段6と同様の作用効果が得られる。
図6に示す超音波生成手段6aは、切削ブレード43の環状の切刃432を挟んで両側に配設された振動プレート61a、61aと、該振動プレート61a、61aに接続部材64a、64aを介して装着された超音波振動子62、62と、該超音波振動子62、62を支持する取り付け部材63、63とからなっている。振動プレート61a、61aは、それぞれ断面が三角形状に形成され、下端部には底面611a、611aから水平に延びる薄板部611b、611bを備えている。このように形成された振動プレート61a、61aは、は底面611a、611aがチャックテーブル3の保持面〈上面〉と平行に配設され、チャックテーブル3にダイシングテープTを介して保持される被加工物としての半導体ウエーハ10の上面との間に切削水の層を形成する隙間Sが設けられる。このように断面が三角形状に形成された振動プレート61a、61aは、傾斜面611c、611cが断面が三角形状に形成された接続部材64a、64aを介して超音波振動子62、62に装着される。このように構成された超音波生成手段6aの超音波振動子62、62が高周波交流電力を供給する図示しない電力供給手段に接続される。従って、超音波振動子62、62に図示しない電力供給手段から高周波交流電力を印加することにより、超音波振動子62、62を超音波振動させ、該超音波振動子62、62が接続部材64a、64aを介して接合されている振動プレート61a、61aを矢印Bで示す方向に振動させることができる。この結果、被加工物Wと振動プレート61a、61aとの隙間Sに形成された切削水の層が超音波振動し、この超音波振動が切削ブレード43の環状の切刃432による切削加工部Aに供給された洗浄水に伝播するため、切削ブレード43の環状の切刃432によって切削された切削溝の内部に侵入した切削水の流動性も良好となり、上述した超音波生成手段6と同様の作用効果が得られる。
3:チャックテーブル
4:スピンドルユニット
43:切削ブレード
432:環状の切刃
44:ブレードカバー
5:切削水供給手段
511:第1の切削水供給管
512:第2の切削水供給管
52:切削水送給手段
531:第1のノズル
532:第2のノズル
6:超音波生成手段
61:振動プレート
62:超音波振動子
7:撮像手段
8:表示手段
10:半導体ウエーハ
11:カセット
12:仮置きテーブル
13:搬出・搬入手段
14:第1の搬送手段
15:洗浄手段
16:第2の搬送手段
F:環状の支持フレーム
T:ダイシングテープ
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、該切削ブレードによる切削加工部に切削水を供給する切削水供給手段と、を具備する切削装置において、
該切削ブレードを挟んで両側に該チャックテーブルに保持された被加工物の上面との間に切削水の層を形成する隙間を設けて配設された振動プレートと、該振動プレートに超音波振動を付与する超音波振動子とを備えた超音波生成手段を具備し、
該切削ブレードによる被加工物の切削加工中に、超音波生成手段を作動させて被加工物の上面と該振動プレートとの間に形成された切削水の層に超音波振動を付与する、
ことを特徴とする切削装置。 - 該切削水供給手段は、該切削ブレードの両側から切削水を供給する第1のノズルおよび第2のノズルを備えており、
該超音波生成手段を構成する該振動プレートは、該第1のノズルと被加工物の上面および該第2のノズルと被加工物の上面との間にそれぞれ配設される、請求項1記載の切削装置。
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