JP5399662B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該切削手段が、該切削ブレードを前端に装着した回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードを覆う第1のカバー部材と第2のカバー部材とからなるブレードカバーと、該ブレードカバーを構成する第1のカバー部材と第2のカバー部材にそれぞれ配設され該切削ブレードおよび該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を噴出する切削水噴出ノズルを備えた切削水噴出手段と、を具備している、切削装置において、
該切削水噴出ノズルの該チャックテーブルの切削送り方向下流側において該第1のカバー部材と該第2のカバー部材にそれぞれ配設され該チャックテーブルに保持された被加工物における該切削ブレードによって切削された直後の切削溝を挟む領域に洗浄水と高圧エアーとからなる洗浄流体を噴出する洗浄流体噴出ノズルを備えた洗浄流体噴出手段を具備し、
該洗浄流体噴出ノズルは、該切削水噴出ノズルの該チャックテーブルの切削送り方向下流側端から該切削ブレードの外周におけるチャックテーブルの切削送り方向最下流位置との間に配設されており、
該洗浄流体噴出手段は、該第1のカバー部材と該第2のカバー部材にそれぞれ設けられ洗浄水を供給する洗浄水供給手段に接続された洗浄水供給通路と、高圧エアーを供給する高圧エアー供給手段に接続された高圧エアー供給通路と、該洗浄水供給通路に供給された洗浄水と該高圧エアー供給通路に供給された高圧エアーを混合する混合室と、該混合室によって混合された洗浄流体を該洗浄流体噴出ノズルに流出する洗浄流体供給通路とを具備している、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
また、上記混合室の底壁は、洗浄水供給通路に流入された洗浄水を洗浄流体供給通路の洗浄流体入り口に導く湾曲面に形成されていることが望ましい。
また、本発明による切削装置においては、洗浄流体噴出手段を構成する洗浄水供給通路と、高圧エアー供給通路と、混合室と、洗浄流体供給通路が第1のカバー部材と第2のカバー部材に設けられているので、洗浄水や高圧エアーを送るためのパイプ類や混合室を別途配設する必要がないため、洗浄流体噴出手段をコンパクトに構成することができる。
図示の実施形態における高圧エアー供給手段67は、高圧エアー供給源671と、該高圧エアー供給源671と上記高圧エアー供給通路62とを接続する高圧エアー供給管672と、該高圧エアー供給管672に配設された電磁開閉弁673とからなっている。このように構成された高圧エアー供給手段67は、電磁開閉弁673が除勢(OFF)され閉路している状態では高圧エアー供給源671と高圧エアー供給通路62との連通が遮断されており、電磁開閉弁673が附勢(ON)され開路すると高圧エアー供給源671と上記高圧エアー供給通路62が高圧エアー供給管672を介して連通せしめられる。このように構成された高圧エアー供給手段67は、0.2〜0.3Mpの圧力の高圧エアーを上記高圧エアー供給通路62に供給する。
カセット載置テーブル11上に載置されたカセット12の所定位置に収容されている半導体ウエーハ10(環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持されている状態)は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル13が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出・搬入手段14が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハ10を仮置きテーブル13上に搬出する。仮置きテーブル13に搬出された半導体ウエーハ10は、第1の搬送手段15の旋回動作によって上記チャックテーブル3上に搬送される。
3:チャックテーブ
4:スピンドルユニット
43:切削ブレード
44:ブレードカバー
441:第1のカバー部材
442:第2のカバー部材
5:切削水噴出手段
51:切削水供給通路
52:切削水噴出ノズル
53:切削水供給手段
6:洗浄流体噴出手段
61:洗浄水供給通路
62:高圧エアー供給通路
63:混合室
64:洗浄流体供給通路
65:洗浄流体噴出ノズル
66:洗浄水供給手段
67:高圧エアー供給手段
8:撮像手段
9:表示手段
10:半導体ウエーハ
12:カセット
13:仮置きテーブル
14:搬出・搬入手段
15:第1の搬送手段
16:洗浄手段
17:第2の搬送手段
F:環状の支持フレーム
T:ダイシングテープ
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを該切削手段に対して相対的に切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して相対的に該切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を具備し、
該切削手段が、該切削ブレードを前端に装着した回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの前端部に該切削ブレードを挟んで両側に配設され該切削ブレードを覆う第1のカバー部材と第2のカバー部材とからなるブレードカバーと、該ブレードカバーを構成する第1のカバー部材と第2のカバー部材にそれぞれ配設され該切削ブレードおよび該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を噴出する切削水噴出ノズルを備えた切削水噴出手段と、を具備している、切削装置において、
該切削水噴出ノズルの該チャックテーブルの切削送り方向下流側において該第1のカバー部材と該第2のカバー部材にそれぞれ配設され該チャックテーブルに保持された被加工物における該切削ブレードによって切削された直後の切削溝を挟む領域に洗浄水と高圧エアーとからなる洗浄流体を噴出する洗浄流体噴出ノズルを備えた洗浄流体噴出手段を具備し、
該洗浄流体噴出ノズルは、該切削水噴出ノズルの該チャックテーブルの切削送り方向下流側端から該切削ブレードの外周におけるチャックテーブルの切削送り方向最下流位置との間に配設されており、
該洗浄流体噴出手段は、該第1のカバー部材と該第2のカバー部材にそれぞれ設けられ洗浄水を供給する洗浄水供給手段に接続された洗浄水供給通路と、高圧エアーを供給する高圧エアー供給手段に接続された高圧エアー供給通路と、該洗浄水供給通路に供給された洗浄水と該高圧エアー供給通路に供給された高圧エアーを混合する混合室と、該混合室によって混合された洗浄流体を該洗浄流体噴出ノズルに流出する洗浄流体供給通路とを具備している、
ことを特徴とする切削装置。 - 該洗浄水供給通路の洗浄水出口および該高圧エアー供給通路の高圧エアー出口は該混合室の天井壁に開口されており、該洗浄流体供給通路の洗浄流体入り口は該高圧エアー供給通路の該高圧エアー出口と対向して設けられている、請求項1記載の切削装置。
- 該混合室の底壁は、該洗浄水供給通路に流入された洗浄水を該洗浄流体供給通路の該洗浄流体入り口に導く湾曲面に形成されている、請求項2記載の切削装置。
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