JP7486893B2 - ブレード交換装置及びブレード交換装置の調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、切削装置に装着された切削ブレードを交換するブレード交換装置、及び、該ブレード交換装置の調整方法に関する。

デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域にそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたウェーハが用いられる。このウェーハを分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。デバイスチップは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に搭載される。

上記のウェーハに代表される被加工物の分割には、切削装置が用いられる。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、ウェーハを切削する環状の切削ブレードが固定されるスピンドルを備えており、切削ブレードはナットによってスピンドルの先端部に固定される。切削ユニットに装着された切削ブレードを回転させて被加工物に切り込ませることにより、被加工物が切削され、分割される。

切削ブレードは、被加工物の切削によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定しているナットを緩めて取り外し、使用済みの切削ブレードを取り外す。その後、交換用の切削ブレードをスピンドルの先端部に装着し、ナットで交換用の切削ブレードを固定する。この切削ブレードの交換作業は、手動で行うと手間がかかり、また、作業中に切削ブレードやナットが誤って落下する恐れがある。そこで、切削ブレードの交換を自動で行う試みがなされている。

特許文献１には、切削ブレードの交換を自動で行うブレード交換装置が開示されている。このブレード交換装置は、切削ブレードの着脱を行う機構（ブレード着脱手段）と、切削ブレードをスピンドルに固定するためのナットの着脱を行う機構（ナット着脱手段）とを備えている。また、特許文献２には、ブレード交換装置とスピンドルとの位置合わせを行うための位置調整治具が開示されている。

特開平６－３２６１８６号公報 特開２０１６－１４４８３８号公報

ブレード交換装置は、スピンドルの先端部に固定された使用済みの切削ブレードや、所定のブレード保管部に保管されている交換用の切削ブレード（未使用の切削ブレード）を保持するブレード保持部を備える。例えばブレード保持部は、複数の把持部材（把持爪）で切削ブレードを挟み込むことにより、切削ブレードを保持する。

切削ブレードの交換を実施する際は、まず、ブレード保管部に保管されている交換用の切削ブレードがブレード保持部によって保持される。このとき、ブレード保持部とブレード保管部との位置合わせが正確に行われないと、ブレード保持部によって交換用の切削ブレードが適切に保持されにくくなる。

また、複数の把持部材で切削ブレードを把持するブレード保持部に代えて、切削ブレードを吸引保持する機構を備えるブレード保持部が用いられることがある。このブレード保持部は切削ブレードの任意の位置を吸引できるため、ブレード保持部とブレード保管部との位置合わせに多少の誤差があっても、交換用の切削ブレードを吸引保持できる。一方で、ブレード保持部によって交換用の切削ブレードが吸引保持された状態において、交換用の切削ブレードとブレード保持部との位置関係にばらつきが生じやすい。

ブレード保持部に対する交換用の切削ブレードの位置にばらつきがあると、交換用の切削ブレードをスピンドルに装着する際に、交換用の切削ブレードとスピンドルとの位置関係にもばらつきが生じる。その結果、交換用の切削ブレードをスピンドルに近づけた際、切削ブレードがスピンドルに不適切に接触して、切削ブレードやスピンドルが傷ついたり、切削ブレードの破片がスピンドルに付着したりして、切削ブレードの交換作業が阻害されることがある。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、切削ブレードを適切に保持可能なブレード交換装置、及び、該ブレード交換装置の調整方法の提供を目的とする。

本発明の一態様によれば、切削装置に備えられたスピンドルの先端部に固定され被加工物を切削する切削ブレードを交換するブレード交換装置の調整方法であって、該ブレード交換装置は、透明な支持部材の表面側で該切削ブレードを保管する移動可能な保管部を有するブレード保管部と、該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該保管部と該スピンドルとの間で移動させる移動機構と、を有し、該切削ブレードを搬送する搬送ユニットと、該支持部材の裏面側に設けられ、該支持部材を介して該支持部材の表面側に位置付けられた該保持部を撮影するカメラと、該ブレード保管部と該搬送ユニットとの動作を制御する動作制御部と、該ブレード保管部に該切削ブレードを着脱する際の該保管部及び該保持部の位置が登録される位置登録部と、を有する制御ユニットと、を備え、該保管部は、該カメラで撮影可能な第１の目印部を備え、該保持部は、該カメラで撮影可能な第２の目印部を備え、該カメラで該第１の目印部を撮影するとともに該支持部材を介して該第２の目印部を撮影することにより、該第１の目印部及び該第２の目印部を含む画像を取得し、該画像に基づいて該第１の目印部と該第２の目印部とが所定の位置関係で配置された際の該保管部及び該保持部の位置を、指定位置として該位置登録部に登録する登録ステップと、該保管部と該保持部とを該位置登録部に登録された該指定位置に配置されるように該ブレード保管部及び該移動機構によって移動させ、該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の位置関係で配置されているか否かを判定する判定ステップと、該判定ステップで該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の位置関係で配置されていないと判定された場合、該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の関係で配置されるように該保管部又は該保持部の位置を調整した後、該保管部及び該保持部の位置を該指定位置として該位置登録部に上書きする上書きステップと、を備えるブレード交換装置の調整方法が提供される。

なお、好ましくは、該保持部は、該切削ブレードを吸引保持する吸引保持部又は該切削ブレードを把持する把持部である。

また、本発明の他の一態様によれば、切削装置に備えられたスピンドルの先端部に固定され被加工物を切削する切削ブレードを交換するブレード交換装置であって、透明な支持部材の表面側で該切削ブレードを保管する移動可能な保管部を有するブレード保管部と、該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該保管部と該スピンドルとの間で移動させる移動機構と、を有し、該切削ブレードを搬送する搬送ユニットと、該支持部材の裏面側に設けられ、該支持部材を介して該支持部材の表面側に位置付けられた該保持部を撮影するカメラと、該ブレード保管部と該搬送ユニットとの動作を制御する動作制御部と、該ブレード保管部に該切削ブレードを着脱する際の該保管部及び該保持部の位置が登録される位置登録部と、を有する制御ユニットと、を備え、該保管部は、該カメラで撮影可能な第１の目印部を備え、該保持部は、該カメラで撮影可能な第２の目印部を備えるブレード交換装置が提供される。

なお、好ましくは、該保持部は、該切削ブレードを吸引保持する吸引保持部又は該切削ブレードを把持する把持部である。

本発明の一態様に係るブレード交換装置は、カメラで撮影可能な第１の目印部が設けられた保管部と、カメラで撮影可能な第２の目印部が設けられた保持部とを備える。これにより、カメラによって取得された画像に基づいて第１の目印部と第２の目印部とが所定の位置関係で配置されているか否かを判定し、保管部と保持部との位置関係の適否を確認することが可能となる。

そして、第１の目印部と第２の目印部とが所定の位置関係で配置されていないと判定された場合には、保管部と保持部との位置関係を調整し、その際の保管部及び保持部の位置を指定位置として登録部に上書きできる。これにより、保管部と保持部との適切な位置関係が定期的に更新され、保管部に保管されている切削ブレードを保持部によって適切に保持可能な状態が維持される。

切削装置を示す斜視図である。 切削ユニットを示す斜視図である。 ブレード交換装置を示す斜視図である。 ブレード保管部を示す斜視図である。 搬送ユニットを示す斜視図である。 ブレード保管部とブレード吸引ユニットとが対向した状態のブレード交換装置を示す斜視図である。 登録ステップにおけるブレード交換装置を示す正面図である。 図８（Ａ）は登録ステップにおいて取得された画像を示す画像図であり、図８（Ｂ）は互いに重ならない第１の目印部と第２の目印部とを含む画像を示す画像図である。 図９（Ａ）は判定ステップにおいて取得された画像を示す画像図であり、図９（Ｂ）は所定の位置関係で配置された第１の目印部と第２の目印部とを含む画像を示す画像図である。 ブレード着脱ユニットを示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る切削装置の構成例を説明する。図１は、切削装置２を示す斜視図である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。

切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。基台４の前方側の角部には開口４ａが形成されており、この開口４ａの内部には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台６が設けられている。カセット保持台６の上面上には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット８が配置される。なお、図１ではカセット８の輪郭を二点鎖線で示している。

被加工物１１は、例えばシリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。被加工物１１の表面側は、互いに交差するように格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。切削装置２によって被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割すると、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。

被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３としては、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを備えるシート等を用いることができる。例えば、基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。

また、テープ１３の外周部は、金属等でなり中央部に円形の開口を備える環状のフレーム１５に貼付される。フレーム１５の開口の直径は被加工物１１の直径よりも大きく、被加工物１１はフレーム１５の開口の内側に配置される。被加工物１１及びフレーム１５にテープ１３が貼付されると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。そして、フレーム１５によって支持された被加工物１１が、カセット８に収容される。

なお、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。

開口４ａの側方には、長手方向がＸ軸方向に沿う矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂの内部には、ボールねじ式の移動機構１０と、移動機構１０の上部を覆いＸ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー１２とが配置されている。移動機構１０は、平板状の移動テーブル１０ａを備えており、移動テーブル１０ａをＸ軸方向に沿って移動させる。

移動テーブル１０ａ上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１４が設けられている。チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に接続されており、Ｚ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。また、チャックテーブル１４は、移動機構１０によって移動テーブル１０ａとともにＸ軸方向に沿って移動する（加工送り）。

チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａを構成する。保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を把持して固定する複数のクランプ１６が設けられている。

開口４ｂの上方には、Ｙ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール１８が設けられている。一対のガイドレール１８は、被加工物１１を支持するフレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備えており、Ｙ軸方向と概ね平行な状態を維持しつつ互いに接近及び離隔するように移動する。一対のガイドレール１８は、フレーム１５を側面で挟み込むことにより、被加工物１１及びフレーム１５を所定の位置に配置する（位置合わせ）。

基台４の上方には、門型の第１支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２０の前面側（ガイドレール１８側）には、レール２２がＹ軸方向に沿って固定されている。このレール２２には、被加工物１１を保持する保持ユニット２６が移動機構２４を介して連結されている。

移動機構２４は、保持ユニット２６をレール２２に沿ってＹ軸方向に移動させる。また、移動機構２４はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。このエアシリンダのロッドの下端部に、保持ユニット２６が固定されている。

保持ユニット２６は、一対のガイドレール１８によって位置合わせが行われたフレーム１５を保持して、チャックテーブル１４上に搬送する。例えば保持ユニット２６は、被加工物１１を支持するフレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。吸引パットでフレーム１５を吸引することにより、被加工物１１が保持ユニット２６によって保持される。

また、保持ユニット２６の開口４ａ側（カセット保持台６側）の端部には、フレーム１５の端部を把持する把持機構２６ａが設けられている。カセット８に収容されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に沿ってカセット８から離れる方向に移動させることにより、フレーム１５がカセット８から一対のガイドレール１８上に引き出される。また、一対のガイドレール１８上に配置されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に沿ってカセット８側に移動させることにより、フレーム１５がカセット８に収容される。

さらに、第１支持構造２０の前面側には、レール２８がＹ軸方向に沿って固定されている。このレール２８には、被加工物１１を保持する保持ユニット３２が移動機構３０を介して連結されている。

移動機構３０は、保持ユニット３２をレール２８に沿ってＹ軸方向に移動させる。また、移動機構３０はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。このエアシリンダのロッドの下端部に、保持ユニット３２が固定されている。

例えば保持ユニット３２は、被加工物１１を支持するフレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。吸引パットでフレーム１５を吸引することにより、被加工物１１が保持ユニット３２によって保持される。

第１支持構造２０の後方には、門型の第２支持構造３４が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第２支持構造３４の前面側（第１支持構造２０側）の両側端部には、一対の移動機構３６Ａ，３６Ｂが固定されている。移動機構３６Ａの下部には切削ユニット３８Ａが固定されており、移動機構３６Ｂの下部には切削ユニット３８Ｂが固定されている。

移動機構３６Ａは、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるボールねじ式の移動機構である。移動機構３６Ａにより、切削ユニット３８ＡのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が制御される。また、移動機構３６Ｂは、切削ユニット３８ＢをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるボールねじ式の移動機構である。移動機構３６Ｂにより、切削ユニット３８ＢのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が制御される。

図２は、切削ユニット３８Ａを示す斜視図である。切削ユニット３８Ａは円筒状のハウジング４０を備え、ハウジング４０にはＹ軸方向に沿って配置された円筒状のスピンドル（回転軸）４２が収容されている。スピンドル４２の先端部（一端側）はハウジング４０の外部に露出しており、この先端部にはマウント４４が固定されている。また、スピンドル４２の基端部（他端側）には、スピンドル４２を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

マウント４４は、円盤状のフランジ部４６と、フランジ部４６の表面４６ａの中央部から突出する円筒状の支持軸４８とを備える。フランジ部４６の外周部の表面４６ａ側には、表面４６ａから突出する環状の凸部４６ｂが設けられている。凸部４６ｂの先端面４６ｃは、表面４６ａに対して概ね平行に形成されている。

支持軸４８の外周面には、ねじ部４８ａが形成されている。また、支持軸４８の先端面の中央部には凹部４８ｂが形成されている。この支持軸４８に、被加工物１１を切削する環状の切削ブレード５０が装着される。

切削ブレード５０は、金属等でなる環状の基台５２と、基台５２の外縁部に沿って形成された環状の切刃５４とを備える。基台５２の中央部には、基台５２を厚さ方向に貫通する円柱状の開口５２ａが設けられている。また、基台５２の開口５２ａの周囲には、基台５２の厚さ方向に突出する環状の凸部５２ｂが形成されている。

切刃５４は、例えば、ダイヤモンド等でなる砥粒をニッケルめっき層で固定することにより形成される。ただし、切刃５４の砥粒及び結合材の材質に制限はなく、被加工物１１の材質や加工目的等に応じて適宜選択される。

支持軸４８のねじ部４８ａには、切削ブレード５０を固定するための環状のナット５６が締結される。ナット５６の中央部には、支持軸４８の径に対応する円形の開口５６ａが形成されている。この開口５６ａには、支持軸４８に形成されたねじ部４８ａに対応するねじ溝が形成されている。また、ナット５６には、ナット５６を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔５６ｂが、ナット５６の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

切削ブレード５０は、基台５２の開口５２ａに支持軸４８が挿入されるように、マウント４４に装着される。そして、切削ブレード５０がマウント４４に装着された状態で、ナット５６を支持軸４８のねじ部４８ａに螺合して締め付けると、切削ブレード５０がフランジ部４６の先端面４６ｃとナット５６とによって挟持される。これにより、切削ブレード５０がスピンドル４２の先端部に固定される。

なお、ここでは切削ユニット３８Ａの構成について説明したが、切削ユニット３８Ｂの構成も切削ユニット３８Ａと同様である。そして、切削ユニット３８Ａに装着された切削ブレード５０と、切削ユニット３８Ｂに装着された切削ブレード５０とは、互いに対面するように配置される。

図１に示すように、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに隣接する位置にはそれぞれ、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１等を撮像するカメラ（撮像ユニット）６０が設けられている。例えばカメラ６０は、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成される。例えば、チャックテーブル１４上の被加工物１１をカメラ６０で撮像することによって取得された画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３８Ａ，３８Ｂとの位置合わせが行われる。

開口４ｂの側方（開口４ａとは反対側）には、洗浄ユニット６２が配置されている。洗浄ユニット６２は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を保持するスピンナテーブル６２ａを備えている。また、スピンナテーブル６２ａには、スピンナテーブル６２ａをＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル６２ａの上方には、スピンナテーブル６２ａによって保持された被加工物１１に向かって洗浄用の流体（例えば、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射するノズル６２ｂが配置されている。被加工物１１を保持するスピンナテーブル６２ａを回転させつつ、ノズル６２ｂから被加工物１１に向かって流体を噴射することにより、被加工物１１が洗浄される。

第２支持構造３４の裏面側（後方側）には、切削ブレード５０を交換するブレード交換装置（ブレード交換機構）６４が設けられている。ブレード交換装置６４は、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された使用済みの切削ブレード５０と、交換用の切削ブレード５０（未使用の切削ブレード５０）との交換を行うとともに、切削ブレード５０をスピンドル４２の先端部に固定するためのナット５６（図２参照）の着脱を行う。なお、ブレード交換装置６４の構成の詳細については後述する。

切削装置２を構成する各構成要素（移動機構１０、チャックテーブル１４、クランプ１６、ガイドレール１８、移動機構２４、保持ユニット２６、移動機構３０、保持ユニット３２、移動機構３６Ａ，３６Ｂ、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂ、カメラ６０、洗浄ユニット６２、ブレード交換装置６４等）はそれぞれ、制御ユニット（制御部）６６に接続されている。制御ユニット６６は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成し、切削装置２の稼働を制御する。

例えば制御ユニット６６は、コンピュータによって構成され、切削装置２の稼働に必要な各種の処理（演算等）を行う処理部と、処理部による処理に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）が記憶される記憶部とを含む。処理部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部は、主記憶装置、補助記憶装置等を構成する各種のメモリを含んで構成される。

上記の切削装置２によって、被加工物１１の切削加工が行われる。被加工物１１を加工する際は、まず、加工の対象となる被加工物１１がカセット８に収容される。そして、カセット８がカセット保持台６の上面上に載置される。

カセット８に収容された被加工物１１は、保持ユニット２６によってカセット８から搬出される。具体的には、保持ユニット２６は把持機構２６ａでフレーム１５の端部を把持した状態で、カセット８から離れるようにＸ軸方向に沿って移動する。これにより、被加工物１１がカセット８から引き出され、一対のガイドレール１８上に配置される。そして、被加工物１１が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１の位置合わせが行われる。

次に、フレーム１５の上面側が保持ユニット２６によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４上に搬送される。被加工物１１は、チャックテーブル１４上にテープ１３を介して配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ１６によって固定される。この状態で、保持面１４ａに吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル１４によって吸引保持される。

そして、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード５０が回転しながら被加工物１１に切り込み、被加工物１１に切削加工が施される。例えば、被加工物１１は切削ブレード５０によって分割予定ラインに沿って切削され、複数のデバイスチップに分割される。

被加工物１１の加工が完了すると、フレーム１５の上面側が保持ユニット３２によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４から洗浄ユニット６２に搬送される。そして、洗浄ユニット６２によって被加工物１１の洗浄が行われる。

被加工物１１の洗浄が完了すると、フレーム１５の上面側が保持ユニット２６によって保持され、一対のガイドレール１８上に搬送される。そして、フレーム１５が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせが行われる。その後、保持ユニット２６は把持機構２６ａでフレーム１５を把持した状態でカセット８側に向かって移動し、被加工物１１をカセット８に収容する。

このようにして、被加工物１１が切削装置２によって加工される。なお、制御ユニット６６の記憶部には、上記の切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、オペレーターが切削装置２に被加工物１１の加工を指示すると、制御ユニット６６の処理部は記憶部からプログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。

ここで、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂ装着された切削ブレード５０は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレード５０の交換は、ブレード交換装置６４によって自動で実施される。

図３は、ブレード交換装置６４を示す斜視図である。ブレード交換装置６４は、複数の切削ブレード５０を保持して保管する一対のブレード保管部（ブレードラック）７０Ａ，７０Ｂを備える。ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂは、Ｙ軸方向に沿って互いに対向するように配置される。ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂにはそれぞれ、被加工物１１の切削に用いられた使用済みの切削ブレード５０や、交換用の切削ブレード５０（未使用の切削ブレード５０）が保管される。

ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂはそれぞれ、Ｚ軸方向に沿って配置された柱状の支持構造７２を備える。例えば支持構造７２は、第２支持構造３４（図１参照）の後方に設けられ、基台４の上面に固定される。ただし、支持構造７２の設置場所に制限はない。

支持構造７２には、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状の回転軸７４が収容されている。回転軸７４の先端部（一端側）は支持構造７２の側面から露出しており、回転軸７４の基端部（他端側）にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。また、回転軸７４の先端部には、円盤状の支持部材７６が固定されている。支持部材７６は、回転駆動源から回転軸７４を介して伝達される動力により、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。

図４は、ブレード保管部７０Ａを示す斜視図である。なお、以下ではブレード保管部７０Ａの構成について説明するが、ブレード保管部７０Ｂもブレード保管部７０Ａと同様に構成される。

支持部材７６は、互いに概ね平行な表面７６ａ及び裏面７６ｂを有し、回転軸７４の先端部は支持部材７６の裏面７６ｂ側に固定されている。そして、支持部材７６の表面７６ａ側には、切削ブレード５０を保管する複数の移動可能な保管部７８が設けられている。

具体的には、支持部材７６には、支持部材７６を厚さ方向に貫通する複数の円形の開口７６ｃが設けられる。例えば、複数の開口７６ｃは支持部材７６の周方向に沿って概ね等間隔に形成される。そして、開口７６ｃには、透明な材質でなり切削ブレード５０を支持する円盤状の支持部材８０が嵌め込まれ、開口７６ｃの内部で支持部材７６に固定される。

支持部材８０の中央部には、支持部材８０の表面８０ａから突出する円筒状のボス部（支持軸）８２が設けられている。例えばボス部８２は、支持部材８０と同一の透明な材質でなり、支持部材８０の中央部に固定される。ボス部８２は、その径が切削ブレード５０の基台５２に設けられた開口５２ａ（図２参照）の径に対応するように形成されており、基台５２の開口５２ａに挿入可能となっている。

基台５２の開口５２ａにボス部８２が挿入されると、切削ブレード５０が支持部材８０の表面８０ａとボス部８２とによって支持される。このように、支持部材８０の表面８０ａとボス部８２とによって保管部７８が構成される。

また、保管部７８にはそれぞれ、保管部７８の位置を示す第１の目印部８４が設けられている。例えば第１の目印部８４は、支持部材８０の表面８０ａ側のうち、ボス部８２と重なる領域（ボス部８２の底面部）に付されたマーカーである。図４には、第１の目印部８４として十字型の印が付された保管部７８を示している。

また、支持部材７６の裏面７６ｂ側には、第１の目印部８４を撮影可能なカメラ（撮像ユニット）８６が設けられている。例えばカメラ８６は、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成され、支持構造７２の側面に固定されている。

カメラ８６は、Ｙ軸方向において支持部材７６と重なる位置に配置されており、カメラ８６と対向する位置に位置付けられた保管部７８を撮影する。カメラ８６によって保管部７８が撮影されると、透明な支持部材８０を介して第１の目印部８４も撮影され、第１の目印部８４が表示された画像が取得される。

また、支持部材７６を回転させると、保管部７８が支持部材７６の周方向に沿って移動し、カメラ８６に対向する保管部７８が変更される。これにより、カメラ８６による撮影の対象となる保管部７８が選択される。

支持部材８０の材質は、カメラ８６の種類に応じて適宜選択される。例えば、カメラ８６が可視光カメラである場合、支持部材８０は可視光が透過する部材によって構成される。支持部材８０の材質の具体例としては、プラスチック、ガラス（石英ガラス、ホウケイ酸ガラス等）等が挙げられる。また、ボス部８２にも、支持部材８０と同一の材料を用いることができる。

なお、カメラ８６によって第１の目印部８４を撮影可能であれば、第１の目印部８４の種類や形状に制限はない。例えば、支持部材８０の表面８０ａ側を着色又は加工することにより、第１の目印部８４が付される。また、第１の目印部８４を新たに設ける代わりに、保管部７８自体の構造（例えば、開口７６ｃの輪郭、支持部材８０の輪郭、ボス部８２の輪郭等）を、第１の目印部８４として用いてもよい。

また、カメラ８６によって第１の目印部８４を撮影可能であれば、第１の目印部８４の位置にも制限はない。例えば、第１の目印部８４は支持部材８０の裏面側（カメラ８６側）に設けられていてもよい。ただし、第１の目印部８４を支持部材８０の表面８０ａ側（ボス部８２の底面部）に設けると、第１の目印部８４に異物が付着しにくく、また、第１の目印部８４が除去されにくくなるため、好ましい。

さらに、支持部材７６に開口７６ｃ及び支持部材８０を設ける代わりに、支持部材７６自体をプラスチック、ガラス等でなる透明な部材によって構成してもよい。この場合には、支持部材７６の表面７６ａから突出する複数のボス部８２が設けられ、支持部材７６の表面７６ａとボス部８２とによって保管部７８が構成される。そして、支持部材７６の表面７６ａ側又は裏面７６ｂ側に、第１の目印部８４が設けられる。

図３に示すように、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂは、ブレード保管部７０Ａの支持部材７６の表面７６ａとブレード保管部７０Ｂの支持部材７６の表面７６ａとが対面するように、互いに離隔した状態で配置される。そして、正面視でブレード保管部７０Ａ，７０Ｂの間には、切削ブレード５０を保持して搬送する搬送ユニット（搬送機構）８８が設けられている。

搬送ユニット８８は、後述の着脱ユニット（着脱機構）９８を移動させる移動機構９０を備える。移動機構９０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と概ね平行に配置された板状の基台９０ａを備える。基台９０ａは、例えば第２支持構造３４（図１参照）の後方に配置される。

基台９０ａの下面側には、Ｘ軸方向に沿って配置されたボールねじ９２が固定されている。また、ボールねじ９２には、直方体状の移動ブロック９４が螺合されており、移動ブロック９４の下面側には、側面視でコの字型に形成された支持部材９６が固定されている。支持部材９６は、切削ブレード５０及びナット５６（図２参照）の着脱を行う着脱ユニット９８を支持している。

移動機構９０は、ボールねじ９２の端部には、パルスモータ（不図示）が接続されている。このパルスモータによってボールねじ９２を回転させると、支持部材９６によって支持された着脱ユニット９８がボールねじ９２に沿ってＸ軸方向に移動する。これにより、着脱ユニット９８のＸ軸方向における位置が制御される。また、移動機構９０は、基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させるボールねじ式のＹ軸移動機構（不図示）を備える。このＹ軸移動機構により、着脱ユニット９８のＹ軸方向における位置が制御される。

図５は、着脱ユニット９８を示す斜視図である。着脱ユニット９８を支持する支持部材９６は、移動ブロック９４の下面側に固定された板状の上壁部９６ａと、上壁部９６ａの後方側の端部から下方に向かって突出する柱状の側壁部９６ｂと、側壁部９６ｂの下端部から前方側に突出し、上壁部９６ａと概ね平行に配置された板状の支持部９６ｃとを備える。着脱ユニット９８は、支持部材９６の支持部９６ｃによって支持されている。

着脱ユニット９８は、切削ブレード５０の着脱を行うブレード着脱ユニット１００と、切削ブレード５０を固定するためのナット５６（図２参照）の着脱を行うナット着脱ユニット１３０とを備える。ブレード着脱ユニット１００及びナット着脱ユニット１３０は、支持部材９６の支持部９６ｃ上に固定されている。

ブレード着脱ユニット１００は、回転駆動源を構成するモータ１０２と、モータ１０２に接続された動力伝達機構１０４とを備える。モータ１０２と動力伝達機構１０４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１０２は、中空の立方体状に形成され、ロータ、ステータ等の構成要素を収容する筐体１０２ａと、ロータと接続されＺ軸方向に沿って配置された回転軸とを備える。モータ１０２の回転軸の先端部は筐体１０２ａの上面から露出しており、回転軸の先端部には円盤状の滑車１０２ｂが固定されている。

動力伝達機構１０４は、中空の立方体状に形成された筐体１０４ａと、筐体１０４ａに収容されＺ軸方向に沿って配置された回転軸とを備える。動力伝達機構１０４の回転軸の先端部は筐体１０４ａの上面から露出しており、回転軸の先端部には円盤状の滑車１０４ｂが固定されている。

筐体１０４ａには、筐体１０４ａを左右方向（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１０４ｃが形成されている。この貫通孔１０４ｃには、円筒状のシャフト１０６が筐体１０４ａを貫通するように挿入されており、シャフト１０６の両端部は筐体１０４ａの両側面から露出している。シャフト１０６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転可能な状態で保持されており、筐体１０４ａの内部で動力伝達機構１０４の回転軸と連結されている。

具体的には、筐体１０４ａの内部には、Ｚ軸方向に沿って配置された動力伝達機構１０４の回転軸の回転の動力を、Ｙ軸に沿って配置されたシャフト１０６の回転の動力に変換する変換機構が設けられている。この変換機構は、例えば、かさ歯車（まがりばかさ歯車、すぐばかさ歯車等）やハイポイドギアによって構成される。

モータ１０２と動力伝達機構１０４とは、ベルト、チェーン等でなる環状の連結部材１０８によって連結されている。具体的には、連結部材１０８は、モータ１０２の滑車１０２ｂの側面、及び、動力伝達機構１０４の滑車１０４ｂの側面と接触するように、平面視で長円状に巻き付けられている。

モータ１０２に電力が供給されると、モータ１０２の動力が滑車１０２ｂ、連結部材１０８、及び滑車１０４ｂ介して動力伝達機構１０４の回転軸に伝達される。また、筐体１０４ａの内部に設けられた変換機構によって、動力伝達機構１０４の回転軸の動力がシャフト１０６に伝達され、シャフト１０６が回転する。このようにして、モータ１０２の動力が動力伝達機構１０４によってシャフト１０６に伝達される。

シャフト１０６の一端側には、切削ユニット３８Ａ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８Ａに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１１０Ａが固定されている。また、シャフト１０６の他端側には、切削ユニット３８Ｂ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８Ｂに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１１０Ｂが固定されている。

ブレード保持ユニット１１０Ａ，１１０Ｂはそれぞれ、側面視で長円状に形成されシャフト１０６の先端部に固定された板状の支持部材１１２と、支持部材１１２の動力伝達機構１０４とは反対側を向く面側に設けられたブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂとを備える。ブレード吸引ユニット１１４Ａは支持部材１１２の一端側に固定され、ブレード吸引ユニット１１４Ｂは支持部材１１２の他端側に固定されている。

ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂはそれぞれ、支持部材１１２に固定された円筒状の保持部（吸引保持部）１１６を備える。保持部１１６の動力伝達機構１０４とは反対側を向く面は、切削ブレード５０を保持する円形の保持面１１６ａを構成する。

保持部１１６の外周部の保持面１１６ａ側には、環状の溝（凹部）１１６ｂが保持部１１６の外周縁に沿って形成されている。この溝１１６ｂは、保持部１１６の内部に形成された流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。保持部１１６の保持面１１６ａを、切削ブレード５０の基台５２の凸部５２ｂ（図２参照）に接触させた状態で、溝１１６ｂに吸引源の負圧を作用させると、切削ブレード５０が保持部１１６によって吸引保持される。

また、保持部１１６には、保持部１１６の位置を示す第２の目印部１１８が設けられている。例えば第２の目印部１１８は、保持部１１６の保持面１１６ａ側の中央に付され、カメラ８６（図４参照）によって撮影可能なマーカーである。図５には、第２の目印部１１８として十字型の印が付された保持部１１６を示している。

なお、カメラ８６によって第２の目印部１１８を撮影可能であれば、第２の目印部１１８の種類、形状、位置等に制限はない。例えば、保持部１１６の保持面１１６ａ側を着色又は加工することによって、第２の目印部１１８が付される。また、第２の目印部１１８を新たに設ける代わりに、保持部１１６自体の構造（例えば溝１１６ｂ等）を、第２の目印部１１８として用いてもよい。さらに、第２の目印部１１８は、保持部１１６の保持面１１６ａ側の中央から所定の距離分ずれた位置に付されていてもよい。

切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード５０を交換する際には、ブレード保持ユニット１１０Ａ，１１０Ｂによって切削ブレード５０の着脱が行われる。なお、切削ブレード５０の交換時におけるブレード保持ユニット１１０Ａ，１１０Ｂの具体的な動作については後述する。

ブレード着脱ユニット１００の前方には、ナット着脱ユニット１３０が設けられている。ナット着脱ユニット１３０は、回転駆動源を構成するモータ１３２と、モータ１３２に接続された動力伝達機構１３４とを備える。モータ１３２と動力伝達機構１３４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１３２、動力伝達機構１３４の構成はそれぞれ、ブレード着脱ユニット１００のモータ１０２、動力伝達機構１０４と同様である。具体的には、モータ１３２は、筐体１３２ａと、モータ１３２の回転軸の先端部に固定された滑車１３２ｂとを備える。また、動力伝達機構１３４は、筐体１３４ａと、動力伝達機構１３４の回転軸の先端部に固定された滑車１３４ｂとを備える。

筐体１３４ａには、筐体１３４ａを左右方向（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１３４ｃが形成されている。この貫通孔１３４ｃには、円筒状のシャフト１３６が筐体１３４ａを貫通するように挿入されており、シャフト１３６の両端部は筐体１３４ａの両側面から露出している。シャフト１３６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転可能な状態で保持されており、筐体１３４ａの内部で動力伝達機構１３４の回転軸と連結されている。

モータ１３２と動力伝達機構１３４とは、ベルト、チェーン等でなる環状の連結部材１３８によって連結されている。具体的には、連結部材１３８は、モータ１３２の滑車１３２ｂの側面、及び、動力伝達機構１３４の滑車１３４ｂの側面と接触するように、平面視で長円状に巻き付けられている。

モータ１３２に電力が供給されると、モータ１３２の動力が滑車１３２ｂ、連結部材１３８、及び滑車１３４ｂ介して動力伝達機構１３４の回転軸に伝達される。また、筐体１３４ａの内部に設けられた変換機構によって、動力伝達機構１３４の回転軸の動力がシャフト１３６に伝達され、シャフト１３６が回転する。このようにして、モータ１３２の動力が動力伝達機構１３４によってシャフト１３６に伝達される。

シャフト１３６の一端側には、切削ユニット３８Ａのスピンドル４２に切削ブレード５０を固定するためのナット５６（図２参照）を保持して回転するナット保持ユニット１４０Ａが固定されている。また、シャフト１３６の他端側には、切削ユニット３８Ｂのスピンドル４２に切削ブレード５０を固定するためのナット５６を保持して回転するナット保持ユニット１４０Ｂが固定されている。

ナット保持ユニット１４０Ａ，１４０Ｂはそれぞれ、シャフト１３６の先端部に固定された円筒状の回転部材１４２を備える。回転部材１４２は、ばね等によって動力伝達機構１３４とは反対側に向かって付勢されており、外力の付与によってＹ軸方向に沿って移動可能に構成されている。また、回転部材１４２は、動力伝達機構１３４とは反対側を向く表面１４２ａを備える。

回転部材１４２には、表面１４２ａから突出する４個の保持ピン１４４が設けられている。保持ピン１４４は、ナット５６（図２参照）の貫通孔５６ｂの位置及び大きさに対応して形成されており、貫通孔５６ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１４４の数は、貫通孔５６ｂの数に応じて適宜設定される。

また、回転部材１４２の周囲には、ナット５６を把持する複数の把持部材１４６が、回転部材１４２の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１４６はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１４６の基端部（一端側）は回転部材１４２の外周面に固定されている。図５には、ナット５６の外周面を四方から把持する４つの把持部材１４６が設けられている例を示している。

把持部材１４６の先端部（他端側）は回転部材１４２の表面１４２ａから突出しており、この先端部には、回転部材１４２の中心側に向かって屈曲した爪部１４６ａが形成されている。また、把持部材１４６は、ばね等によって回転部材１４２の半径方向外側に向かって付勢されており、爪部１４６ａが回転部材１４２の半径方向に沿って移動可能となるように構成されている。

さらに、回転部材１４２の周囲には、中空の円筒状に形成されたカバー１４８が設けられている。回転部材１４２と、把持部材１４６の基端側（動力伝達機構１３４側）とは、カバー１４８の内部に収容されている。回転部材１４２がカバー１４８の内側に向かって押圧されると、回転部材１４２を付勢しているばねが縮み、回転部材１４２が複数の把持部材１４６とともにカバー１４８の内側に押し込まれる。

回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１４６の先端側（爪部１４６ａ側）がカバー１４８の内壁と接触して押圧され、把持部材１４６を付勢しているばねが縮む。これにより、複数の把持部材１４６の先端側が回転部材１４２の半径方向内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１４６は、その長さ方向がカバー１４８の内壁に沿うように配置された状態となる。このとき、把持部材１４６の爪部１４６ａは、例えば回転部材１４２の外周縁よりも回転部材１４２の半径方向内側に配置される（閉状態）。

一方、回転部材１４２に対する外力の付与が解除されると、回転部材１４２がカバー１４８の外側に向かって移動し、把持部材１４６の先端側がカバー１４８の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１４６の先端側が回転部材１４２の半径方向外側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１４６の先端側が、閉状態の際よりも回転部材１４２の半径方向外側に配置された状態となる。このとき、把持部材１４６の爪部１４６ａは、例えば回転部材１４２の外周縁よりも回転部材１４２の半径方向外側に配置される（開状態）。

上記のナット保持ユニット１４０Ａ，１４０Ｂはそれぞれ、ナット５６を保持して回転する。具体的には、まず、ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）に回転部材１４２の保持ピン１４４が挿入されるように、ナット５６が回転部材１４２の表面１４２ａと接触する。この状態で回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１４６が閉状態となって爪部１４６ａがナット５６の外周面と接触し、ナット５６が把持される。

複数の把持部材１４６によってナット５６が保持された状態で、モータ１３２を駆動させると、モータ１３２の動力が動力伝達機構１３４を介してシャフト１３６に伝達され、シャフト１３６が回転する。これにより、回転部材１４２が回転し、把持部材１４６によって保持されたナット５６も回転する。

ナット保持ユニット１４０Ａ，１４０Ｂでナット５６を保持して回転させることにより、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂに装着された切削ブレード５０の交換を行う際の、ナット５６の締め付け及び取り外しを自動で行うことができる。なお、切削ブレード５０の交換時におけるナット着脱ユニット１３０の具体的な動作については後述する。

上記のブレード交換装置６４を用いることにより、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂ（図１参照）に装着された切削ブレード５０の交換を自動で行うことができる。以下、切削ブレード５０の交換時におけるブレード交換装置６４の動作の具体例について説明する。

なお、以下では特に、切削ユニット３８Ａに装着されている使用済みの切削ブレード５０と、ブレード保管部７０Ａに保管されている交換用の切削ブレード５０とを交換する場合の動作について説明する。ただし、切削ユニット３８Ｂに装着されている使用済みの切削ブレード５０と、ブレード保管部７０Ｂに保管されている交換用の切削ブレード５０とを交換する場合の動作も同様である。

まず、移動機構９０（図３参照）によって着脱ユニット９８を移動させ、ブレード保持ユニット１１０Ａが備えるブレード吸引ユニット１１４Ｂを、ブレード保管部７０Ａの保管部７８で保持されている交換用の切削ブレード５０と対向させる。

図６は、ブレード保管部７０Ａとブレード吸引ユニット１１４Ｂとが対向した状態のブレード交換装置６４を示す斜視図である。このとき、ブレード保管部７０Ａの保管部７８と、ブレード吸引ユニット１１４Ｂの保持部１１６との位置合わせが実施される。保管部７８と保持部１１６との位置合わせは、ブレード保管部７０Ａの回転軸７４を回転させて保管部７８の位置を調整するとともに、移動機構９０（図３参照）によって着脱ユニット９８の位置（ブレード吸引ユニット１１４Ｂの位置）を調整することによって行われる。

ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂの保管部７８の位置と、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの保持部１１６の位置とは、制御ユニット６６（図１参照）によって制御される。例えば制御ユニット６６は、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂの保管部７８の位置と、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの保持部１１６の位置とが登録（記憶）される位置登録部（位置記憶部）６６ａを備える。また、制御ユニット６６は、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂ及び搬送ユニット８８の動作を制御する動作制御部６６ｂを備える。位置登録部６６ａ及び動作制御部６６ｂの機能は、制御ユニット６６が備えるプロセッサ及びメモリを用いて実現される。

位置登録部６６ａには、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂに切削ブレード５０を着脱する際の、保管部７８及び保持部１１６の位置（指定位置）が登録される。例えば、切削ブレード５０が保管されている保管部７８の中心位置と保持部１１６の中心位置とがＹ軸方向において重なる際の保管部７８及び保持部１１６の位置が、指定位置として位置登録部６６ａに登録される。

動作制御部６６ｂは、位置登録部６６ａに登録されている指定位置を読み出し、保管部７８と保持部１１６とをそれぞれ指定位置に配置するための制御信号を生成する。この制御信号により、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂ及び搬送ユニット８８の動作が制御され、保管部７８及び保持部１１６が指定位置に配置される。その結果、保管部７８と保持部１１６との位置合わせが行われる。

その後、移動機構９０によってブレード吸引ユニット１１４ＢをＹ軸方向に沿って移動させることにより、保持部１１６を保管部７８に接近させ、保持部１１６の保持面１１６ａを保管部７８に保管されている交換用の切削ブレード５０の基台５２の凸部５２ｂ（図２参照）に接触させる。この状態で、保持部１１６の溝１１６ｂに吸引源の負圧を作用させると、交換用の切削ブレード５０がブレード吸引ユニット１１４Ｂによって吸引保持される。

次に、移動機構９０によって着脱ユニット９８をＸ軸方向に沿って移動させ、第１支持構造２０及び第２支持構造３４（図１参照）の下側を介して、着脱ユニット９８を切削ユニット３８Ａに対向する位置に配置する。まず、着脱ユニット９８は、ナット保持ユニット１４０Ａが切削ユニット３８Ａのマウント４４（図２参照）と対向するように位置付けられる。なお、切削ユニット３８Ａとナット保持ユニット１４０Ａとの位置関係は、移動機構３６Ａ及び移動機構９０（図１参照）によって調節される。

その後、移動機構３６Ａによって切削ユニット３８Ａをナット保持ユニット１４０Ａに向かって移動させる。これにより、切削ユニット３８Ａに装着された切削ブレード５０を固定しているナット５６（図２参照）が、ナット保持ユニット１４０Ａが備える回転部材１４２の表面１４２ａに押し付けられる。このとき、ナット保持ユニット１４０Ａが備える複数の保持ピン１４４が、ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）に挿入される。

回転部材１４２がナット５６によって押圧されると、回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれ、複数の把持部材１４６が閉状態となる。これにより、ナット５６が複数の把持部材１４６の爪部１４６ａによって把持される。

次に、モータ１３２の動力によってシャフト１３６を回転させ、ナット保持ユニット１４０Ａを第１の方向（例えば、矢印Ａで示す方向）に回転させる。これにより、ナット保持ユニット１４０Ａによって把持されたナット５６が回転して緩み、マウント４４（図２参照）の支持軸４８から取り外される。

その後、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向に沿って移動させ、切削ユニット３８Ａとナット保持ユニット１４０Ａとを離隔させる。なお、ナット保持ユニット１４０Ａは、回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれた状態を維持可能に構成されており、ナット５６は支持軸４８から取り外された後もナット保持ユニット１４０Ａによって保持される。

次に、移動機構９０によって着脱ユニット９８を移動させ、ブレード保持ユニット１１０Ａのブレード吸引ユニット１１４Ａと、切削ユニット３８Ａに装着された使用済みの切削ブレード５０とを対向させる。そして、移動機構３６Ａによって切削ユニット３８Ａをブレード吸引ユニット１１４Ａに向かって移動させ、ブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６の保持面１１６ａを、使用済みの切削ブレード５０の基台５２の凸部５２ｂ（図２参照）に接触させる。

この状態で、保持部１１６の溝１１６ｂに吸引源の負圧を作用させると、使用済みの切削ブレード５０がブレード吸引ユニット１１４Ａによって吸引保持される。その後、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向に沿って移動させ、切削ユニット３８Ａとブレード吸引ユニット１１４Ａとを離隔させる。これにより、切削ユニット３８Ａから使用済みの切削ブレード５０が取り外される。

次に、モータ１０２の動力によってシャフト１０６を１８０°回転させる。これにより、支持部材１１２が回転し、ブレード吸引ユニット１１４Ａの位置とブレード吸引ユニット１１４Ｂの位置とが入れ替わる。その結果、交換用の切削ブレード５０を保持しているブレード吸引ユニット１１４Ｂが、切削ユニット３８Ａのマウント４４に対向する。

その後、移動機構３６Ａによって切削ユニット３８Ａをブレード吸引ユニット１１４Ｂに向かって移動させ、切削ユニット３８Ａとブレード吸引ユニット１１４Ｂとを接近させる。これにより、ブレード吸引ユニット１１４Ｂによって保持された交換用の切削ブレード５０の開口５２ａ（図２参照）に、マウント４４の支持軸４８（図２参照）が挿入される。

この状態で、ブレード吸引ユニット１１４Ｂによる交換用の切削ブレード５０の吸引を解除すると、交換用の切削ブレード５０がスピンドル４２の先端部に装着される。そして、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向に沿って移動させ、切削ユニット３８Ａとブレード吸引ユニット１１４Ｂとを離隔させる。

次に、移動機構９０によって着脱ユニット９８を移動させ、ナット５６（図２参照）を保持した状態のナット保持ユニット１４０Ａを、切削ユニット３８Ａのマウント４４（図２参照）と対向するように位置付ける。そして、移動機構３６Ａによって切削ユニット３８Ａをナット保持ユニット１４０Ａに向かって移動させる。これにより、ナット保持ユニット１４０Ａによって保持されたナット５６が、マウント４４の支持軸４８の先端部に位置付けられる。

この状態で、モータ１３２の動力によってシャフト１３６を回転させ、ナット保持ユニット１４０Ａを第１の方向とは逆の第２の方向（例えば、矢印Ｂで示す方向）に回転させる。これにより、ナット５６が回転してマウント４４（図２参照）の支持軸４８に形成されたねじ部４８ａに締め付けられる。その結果、交換用の切削ブレード５０がマウント４４の凸部４６ｂの先端面４６ｃ（図２参照）とナット５６とによって挟持され、切削ユニット３８Ａに固定される。

その後、切削ユニット３８ＡをＹ軸方向に沿って移動させ、切削ユニット３８Ａとナット保持ユニット１４０Ａとを離隔させる。このとき、回転部材１４２はカバー１４８の外側に向かって移動し、複数の把持部材１４６が開状態となる。これにより、複数の把持部材１４６によるナット５６の把持が解除される。

次に、着脱ユニット９８を移動機構９０によってＹ軸方向に沿って移動させ、交換用の切削ブレード５０を保持しているブレード吸引ユニット１１４Ａを、ブレード保管部７０Ａの保管部７８と対向させる。このとき、ブレード保管部７０Ａの保管部７８とブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６との位置合わせが実施される。なお、位置合わせの方法は、前述したブレード保管部７０Ａの保管部７８とブレード吸引ユニット１１４Ｂの保持部１１６との位置合わせの方法と同様である。

そして、ブレード吸引ユニット１１４Ａによって保持された使用済みの切削ブレード５０の開口５２ａ（図２参照）に、保管部７８のボス部８２が挿入される。これにより、使用済みの切削ブレード５０が保管部７８で保持され、保管される。このようにして、切削ブレード５０を保持するブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの保持部１１６が、移動機構９０によってブレード保管部７０Ａの保管部７８とスピンドル４２との間で移動し、ブレード交換装置６４による切削ブレード５０の交換が行われる。

上記の切削ブレード５０の交換方法においては、制御ユニット６６の位置登録部６６ａ（図１参照）に予め登録された指定位置に基づいて、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂとブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂとの位置合わせが行われる。しかしながら、様々な理由（例えば、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂ、移動機構９０、着脱ユニット９８の経年劣化等）により、ブレード保管部７０Ａ，Ｂの保管部７８とブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの保持部１１６とをそれぞれ指定位置に配置しても、保管部７８と保持部１１６との位置関係にずれが生じることがある。

そこで、本実施形態においては、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂの保管部７８に設けられた第１の目印部８４と、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの保持部１１６に設けられた第２の目印部１１８とを用いて、保管部７８と保持部１１６との位置関係を確認し、位置登録部６６ａに登録されている指定位置を更新する。この工程を所定のタイミング（例えば、ブレード交換装置６４のメンテナンス時）で定期的に実施することにより、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂとブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂとの位置合わせの正確性を維持できる。

以下、本実施形態に係るブレード交換装置の調整方法の具体例について説明する。なお、以下では一例として、ブレード保管部７０Ａの保管部７８と、ブレード保持ユニット１１０Ａが備えるブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６との位置関係を調整する場合の手順について説明する。ただし、以下の手順は、任意の保管部７８と任意の保持部１１６との位置合わせに適用できる。

まず、ブレード保管部７０Ａの保管部７８とブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６とが所定の位置関係で配置された際の、保管部７８及び保持部１１６の位置を、指定位置として制御ユニット６６の位置登録部６６ａに登録する（登録ステップ）。図７は、登録ステップにおけるブレード交換装置６４を示す正面図である。

登録ステップでは、まず、移動機構９０（図３参照）によって着脱ユニット９８を移動させ、ブレード保持ユニット１１０Ａのブレード吸引ユニット１１４Ａを、ブレード保管部７０Ａの保管部７８に対向させる。このときブレード吸引ユニット１１４Ａは、ブレード吸引ユニット１１４Ａと対向する保管部７８に切削ブレード５０が保管されている場合に、その切削ブレード５０がブレード吸引ユニット１１４Ａによって適切に保持されるために望ましい位置に配置される。例えばブレード吸引ユニット１１４Ａは、保持部１１６の中心位置が保管部７８の中心位置とＹ軸方向において重なるように配置される。

次に、カメラ８６によって保管部７８を撮影する。カメラ８６によって保管部７８を支持部材７６の裏面７６ｂ側から撮影すると、透明な支持部材８０（図６参照）及び透明なボス部８２を介して、ブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６も同時に撮影される。その結果、支持部材８０の表面８０ａ側（ボス部８２の底面部）に付された第１の目印部８４と、保持部１１６に付された第２の目印部１１８とを含む画像が取得される。

図８（Ａ）は、登録ステップにおいて取得された画像１６０を示す画像図である。保管部７８の中心位置と保持部１１６の中心位置とがＹ軸方向において重なった状態でカメラ８６による撮影が行われると、図８（Ａ）に示すように、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが重なった状態の画像１６０が得られる。

そして、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが重なった状態における保管部７８及び保持部１１６の位置（指定位置）を、制御ユニット６６の位置登録部６６ａ（図１参照）に登録する。保管部７８の指定位置としては、例えば、回転軸７４の回転角度（支持部材７６，８０の回転角度）、ボス部８２の中心座標等が登録される。また、保持部１１６の指定位置としては、例えば、保持部１１６の中心座標、移動機構９０（図３参照）の状態（移動ブロック９４の座標、ボールねじ９２の回転数等）等が登録される。

なお、第１の目印部８４は保管部７８の中心からずれた位置に設けられることもあり、第２の目印部１１８は保持部１１６の中心からずれた位置に設けられることもある。例えば、ボス部８２の透光性が低く、カメラ８６がボス部８２を介して保持部１１６を撮影しにくい場合には、第２の目印部１１８が保持部１１６の中心から所定の距離（ボス部８２の半径以上）離れた位置に付される。この場合、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが重なっていない状態の画像１６０が取得される。

図８（Ｂ）は、互いに重ならない第１の目印部８４と第２の目印部１１８とを含む画像１６０を示す画像図である。第２の目印部１１８の位置が保持部１１６の中心からずれている場合は、画像１６０において第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の距離だけ離れた位置に表示される。

上記のように、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置された際の保管部７８及び保持部１１６の位置が、指定位置として位置登録部６６ａに登録される。そして、この指定位置を用いて、ブレード交換装置６４による切削ブレード５０の交換が行われる。

切削ブレード５０の交換時には、保管部７８及び保持部１１６が位置登録部６６ａに登録された指定位置に配置されることにより、保管部７８と保持部１１６との位置合わせが行われる。なお、切削ブレード５０の交換時におけるブレード交換装置６４の具体的な動作は前述の通りである。

そして、ブレード交換装置６４が一定期間使用された後、ブレード交換装置６４のメンテナンスが実施される。このとき、保管部７８と保持部１１６とを位置登録部６６ａに登録された指定位置に配置されるように移動させ、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置されているか否かを判定する（判定ステップ）。

判定ステップでは、まず、ブレード保管部７０Ａの保管部７８とブレード吸引ユニット１１４Ａの保持部１１６とが位置登録部６６ａに登録された指定位置に配置されるように、ブレード保管部７０Ａ及び移動機構９０（図３参照）の動作が動作制御部６６ｂによって制御される。そして、登録ステップと同様に、カメラ８６によって保管部７８を撮影する。これにより、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とを含む画像が取得される。

ここで、保管部７８と保持部１１６とが位置登録部６６ａに登録された指定位置に配置されるように制御されても、経年劣化等の理由により、保管部７８と保持部１１６との位置関係、すなわち、第１の目印部８４と第２の目印部１１８との位置関係にずれが生じることがある。そこで、判定ステップでは、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係（登録ステップにおける第１の目印部８４と第２の目印部１１８との位置関係）で配置されているか否かが判定される。

図９（Ａ）は、判定ステップにおいて取得された画像１６２を示す画像図である。画像１６２には、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが異なる位置に表示されている。この場合には、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置されておらず、第１の目印部８４と第２の目印部１１８との位置関係にずれが生じていると判定される。

上記の判定は、例えば、パターンマッチング等の画像処理によって行われる。具体的には、制御ユニット１６６には、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所望の位置関係にある状態（図８（Ａ）及び図８（Ｂ）参照）の参照用画像が予め取得され、制御ユニット１６６に記憶される。そして、制御ユニット１６６は、判定ステップでカメラ８６によって取得された画像１６２と、参照用画像とを比較して、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係にあるか否かを判定する。

ただし、判定の方法に制限はない。例えば、カメラ８６による撮影によって取得された画像１６２を、切削装置２に設けられたタッチパネル（不図示）に表示させ、オペレーターがタッチパネルに表示された画像１６２を参照して第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係に配置されているか否かを判定してもよい。

判定ステップにおいて、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係に配置されていないと判定された場合は、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置されるように、保管部７８及び保持部１１６の位置を調整する。

例えば、保管部７８及び保持部１１６の位置の調整は、オペレーターがタッチパネル（不図示）に表示された画像１６２を参照しつつ、タッチパネルを操作して保管部７８又は保持部１１６の位置を変更することによって行う。そして、保管部７８及び保持部１１６の位置が調整された後、再度カメラ８６によって撮影を行うと、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置された状態の画像１６２が取得される。図９（Ｂ）は、所定の位置関係で配置された第１の目印部８４と第２の目印部１１８とを含む画像１６２を示す画像図である。

そして、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置された状態における保管部７８及び保持部１１６の位置が、指定位置として位置登録部６６ａに登録される。これにより、登録ステップで位置登録部６６ａに登録された指定位置が、新たに取得された指定位置によって上書きされる（上書きステップ）。

上書きステップを実施すると、保管部７８と保持部１１６とを所望の位置関係で配置するための指定位置が更新される。その後、ブレード交換装置６４が再稼働し、保管部７８と保持部１１６とが正しく配置された状態での切削ブレード５０の交換が再開される。

以上の通り、本実施形態に係るブレード交換装置６４は、カメラ８６で撮影可能な第１の目印部８４が設けられた保管部７８と、カメラ８６で撮影可能な第２の目印部１１８が設けられた保持部１１６とを備える。これにより、カメラ８６によって取得された画像１６２に基づいて第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置されているか否かを判定し、保管部７８と保持部１１６との位置関係の適否を確認することが可能となる。

そして、第１の目印部８４と第２の目印部１１８とが所定の位置関係で配置されていないと判定された場合には、保管部７８と保持部１１６との位置関係を調整し、その際の保管部７８及び保持部１１６の位置を指定位置として位置登録部６６ａに上書きできる。これにより、保管部７８と保持部１１６との適切な位置関係が定期的に更新され、保管部７８に保管されている切削ブレード５０を保持部１１６によって適切に保持可能な状態が維持される。

なお、ブレード交換装置６４の構成は、切削ブレード５０の交換が可能な範囲内で適宜変更できる。例えばブレード交換装置６４に搭載されるブレード着脱ユニット１００は、切削ブレード５０を把持する一対のブレード保持ユニットを備えていてもよい。

図１０は、ブレード着脱ユニット１００を示す斜視図である。図１０に示すブレード着脱ユニット１００は、図５に示すブレード保持ユニット１１０Ａ，１１０Ｂに代えて、ブレード保持ユニット１７０Ａ，１７０Ｂを備える。

シャフト１０６の一端側には、切削ユニット３８Ａ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８Ａに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１７０Ａが固定されている。また、シャフト１０６の他端側には、切削ユニット３８Ｂ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８Ｂに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１７０Ｂが固定されている。

ブレード保持ユニット１７０Ａ，１７０Ｂはそれぞれ、側面視で長円状に形成されシャフト１０６の先端部に固定された板状の支持部材１７２と、支持部材１７２の動力伝達機構１０４とは反対側を向く面側に設けられたブレード把持ユニット１７４Ａ，１７４Ｂとを備える。ブレード把持ユニット１７４Ａは支持部材１１２の一端側に固定され、ブレード把持ユニット１７４Ｂは支持部材１１２の他端側に固定されている。

ブレード把持ユニット１７４Ａ，１７４Ｂはそれぞれ、支持部材１１２に固定された円筒状の保持部（把持部）１７６を備える。保持部１７６は、動力伝達機構１０４とは反対側を向く表面１７６ａを備える。また、保持部１７６には、表面１７６ａから突出する位置決めピン１７８が設けられている。位置決めピン１７８は、その先端部がマウント４４の支持軸４８に形成された凹部４８ｂ（図２参照）の位置及び大きさに対応して形成されており、凹部４８ｂに挿入可能となっている。

保持部１７６の周囲には、切削ブレード５０の凸部５２ｂ（図２参照）を把持する複数の把持部材１８０が、保持部１７６の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１８０はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１８０の基端部（一端側）は保持部１７６の外周面に固定されている。

図１０には、切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面を四方から把持する４つの把持部材１８０が設けられている例を示している。把持部材１８０の先端部（他端側）は保持部１７６の表面１７６ａから突出しており、この先端部には、切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面と接触する接触部１８０ａが形成されている。

把持部材１８０の先端側は、例えば保持部１７６の内部に収容された移動機構（不図示）によって、保持部１７６の半径方向に沿って移動する。この移動機構は、接触部１８０ａが切削ブレード５０の凸部５２ｂ（図２参照）の外周面と接触して切削ブレード５０が把持される状態（閉状態）と、接触部１８０ａが閉状態の際よりも保持部１７６の半径方向外側に配置され切削ブレード５０の把持が解除される状態（開状態）とを切り替える。

ブレード保持ユニット１７０Ａは、切削ユニット３８Ａに装着された切削ブレード５０の交換を行う。具体的には、ブレード保持ユニット１７０Ａのブレード把持ユニット１７４Ａは、切削ユニット３８Ａに装着された使用済みの切削ブレード５０を把持して保持する。また、ブレード保持ユニット１７０Ａのブレード把持ユニット１７４Ｂは、ブレード保管部７０Ａ（図３参照）に保管されている交換用の切削ブレード５０を把持して保持する。

同様に、ブレード保持ユニット１７０Ｂは、切削ユニット３８Ｂに装着された切削ブレード５０の交換を行う。具体的には、ブレード保持ユニット１７０Ｂのブレード把持ユニット１７４Ａは、切削ユニット３８Ｂに装着された使用済みの切削ブレード５０を把持して保持する。また、ブレード保持ユニット１７０Ｂのブレード把持ユニット１７４Ｂは、ブレード保管部７０Ｂ（図３参照）に保管されている交換用の切削ブレード５０を把持して保持する。

複数の把持部材１８０によって切削ブレード５０の凸部５２ｂが四方から把持されると、切削ブレード５０は、その中心位置が保持部１７６の中心位置とＹ軸方向において重なるように保持される。そのため、切削ブレード５０が保持部１７６によって保持される直前に、切削ブレード５０と保持部１７６との位置関係に僅かなずれがあっても、切削ブレード５０が複数の把持部材１８０で把持されることにより、切削ブレード５０と保持部１７６との位置合わせが自動的に行われる。

また、保持部１７６には、保持部１７６の位置を示す第２の目印部１８２が設けられている。例えば第２の目印部１８２は、位置決めピン１７８の先端部の中央に付され、カメラ８６（図４参照）によって撮影可能なマーカーである。図１０には、第２の目印部１８２として十字型の印が付された保持部１７６を示している。

第２の目印部１８２は、図５等に示す第２の目印部１１８と同様に、ブレード保管部７０Ａ，７０Ｂの保管部７８とブレード把持ユニット１７４Ａ，１７４Ｂの保持部１７６との位置合わせに用いられる。第２の目印部１８２を用いた位置合わせの方法は、第２の目印部１１８を用いた位置合わせの方法と同様である。また、第２の目印部１８２の種類、形状、位置等も、第２の目印部１１８と同様に適宜変更できる。

また、上記の実施形態では、切削ブレード５０がナット５６によって固定される切削ユニット３８Ａ，３８Ｂについて説明した。ただし、切削ユニット３８Ａ，３８Ｂは、切削ブレード５０を吸引保持する機構を備えていてもよい。この場合には、切削ブレード５０を固定するためのナット５６が不要となる。これにより、着脱ユニット９８のナット着脱ユニット１３０を省略することが可能となり、着脱ユニット９８の軽量化を図ることができる。

また、上記の実施形態では、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂがブレード着脱ユニット１００の側方を向くように構成されている例について説明した（図５等参照）。ただし、ブレード着脱ユニット１００は、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂがブレード着脱ユニット１００の下方を向くように移動可能（回転可能）に構成されていてもよい。この場合、回転軸７４（図４等参照）をＺ軸方向に沿って配置し、支持部材７６の表面７６ａ（支持部材８０の表面８０ａ）をＸ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向に沿って配置してもよい。

上記のようにブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂと支持部材７６の表面７６ａとをＺ軸方向において対向させる場合、支持部材７６は、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂの移動経路の直下に設けられる。また、着脱ユニット９８には、ブレード吸引ユニット１１４Ａ，１１４Ｂを任意の位置に移動させる移動機構（ロボットアーム等）が接続されていてもよい。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
２ 切削装置
４ 基台
４ａ 開口
４ｂ 開口
６ カセット保持台
８ カセット
１０ 移動機構
１０ａ 移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル（保持テーブル）
１４ａ 保持面
１６ クランプ
１８ ガイドレール
２０ 第１支持構造
２２ レール
２４ 移動機構
２６ 保持ユニット
２６ａ 把持機構
２８ レール
３０ 移動機構
３２ 保持ユニット
３４ 第２支持構造
３６Ａ，３６Ｂ 移動機構
３８Ａ，３８Ａ 切削ユニット
４０ ハウジング
４２ スピンドル（回転軸）
４４ マウント
４６ フランジ部
４６ａ 表面
４６ｂ 凸部
４６ｃ 先端面
４８ 支持軸
４８ａ ねじ部
４８ｂ 凹部
５０ 切削ブレード
５２ 基台
５２ａ 開口
５２ｂ 凸部
５４ 切刃
５６ ナット
５６ａ 開口
５６ｂ 貫通孔
６０ カメラ（撮像ユニット）
６２ 洗浄ユニット
６２ａ スピンナテーブル
６２ｂ ノズル
６４ ブレード交換装置（ブレード交換機構）
６６ 制御ユニット（制御部）
６６ａ 位置登録部（位置記憶部）
６６ｂ 動作制御部
７０Ａ，７０Ｂ ブレード保管部（ブレードラック）
７２ 支持構造
７４ 回転軸
７６ 支持部材
７６ａ 表面
７６ｂ 裏面
７６ｃ 開口
７８ 保管部
８０ 支持部材
８０ａ 表面
８２ ボス部（支持軸）
８４ 第１の目印部
８６ カメラ（撮像ユニット）
８８ 搬送ユニット（搬送機構）
９０ 移動機構
９０ａ 基台
９２ ボールねじ
９４ 移動ブロック
９６ 支持部材
９６ａ 上壁部
９６ｂ 側壁部
９６ｃ 支持部
９８ 着脱ユニット（着脱機構）
１００ ブレード着脱ユニット
１０２ モータ
１０２ａ 筐体
１０２ｂ 滑車
１０４ 動力伝達機構
１０４ａ 筐体
１０４ｂ 滑車
１０４ｃ 貫通孔
１０６ シャフト
１０８ 連結部材
１１０Ａ，１１０Ｂ ブレード保持ユニット
１１２ 支持部材
１１４Ａ，１１４Ｂ ブレード吸引ユニット
１１６ 保持部（吸引保持部）
１１６ａ 保持面
１１６ｂ 溝（凹部）
１１８ 第２の目印部
１３０ ナット着脱ユニット
１３２ モータ
１３２ａ 筐体
１３２ｂ 滑車
１３４ 動力伝達機構
１３４ａ 筐体
１３４ｂ 滑車
１３４ｃ 貫通孔
１３６ シャフト
１３８ 連結部材
１４０Ａ，１４０Ｂ ナット保持ユニット
１４２ 回転部材
１４２ａ 表面
１４４ 保持ピン
１４６ 把持部材
１４６ａ 爪部
１４８ カバー
１６０ 画像
１６２ 画像
１７０Ａ，１７０Ｂ ブレード保持ユニット
１７２ 支持部材
１７４Ａ，１７４Ｂ ブレード把持ユニット
１７６ 保持部（把持部）
１７６ａ 表面
１７８ 位置決めピン
１８０ 把持部材
１８０ａ 接触部
１８２ 第２の目印部

Claims (4)

1. 切削装置に備えられたスピンドルの先端部に固定され被加工物を切削する切削ブレードを交換するブレード交換装置の調整方法であって、
   該ブレード交換装置は、
   透明な支持部材の表面側で該切削ブレードを保管する移動可能な保管部を有するブレード保管部と、
   該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該保管部と該スピンドルとの間で移動させる移動機構と、を有し、該切削ブレードを搬送する搬送ユニットと、
   該支持部材の裏面側に設けられ、該支持部材を介して該支持部材の表面側に位置付けられた該保持部を撮影するカメラと、
   該ブレード保管部と該搬送ユニットとの動作を制御する動作制御部と、該ブレード保管部に該切削ブレードを着脱する際の該保管部及び該保持部の位置が登録される位置登録部と、を有する制御ユニットと、を備え、
   該保管部は、該カメラで撮影可能な第１の目印部を備え、
   該保持部は、該カメラで撮影可能な第２の目印部を備え、
   該カメラで該第１の目印部を撮影するとともに該支持部材を介して該第２の目印部を撮影することにより、該第１の目印部及び該第２の目印部を含む画像を取得し、該画像に基づいて該第１の目印部と該第２の目印部とが所定の位置関係で配置された際の該保管部及び該保持部の位置を、指定位置として該位置登録部に登録する登録ステップと、
   該保管部と該保持部とを該位置登録部に登録された該指定位置に配置されるように該ブレード保管部及び該移動機構によって移動させ、該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の位置関係で配置されているか否かを判定する判定ステップと、
   該判定ステップで該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の位置関係で配置されていないと判定された場合、該第１の目印部と該第２の目印部とが該所定の関係で配置されるように該保管部又は該保持部の位置を調整した後、該保管部及び該保持部の位置を該指定位置として該位置登録部に上書きする上書きステップと、を備えることを特徴とするブレード交換装置の調整方法。
2. 該保持部は、該切削ブレードを吸引保持する吸引保持部又は該切削ブレードを把持する把持部であることを特徴とする請求項１に記載のブレード交換装置の調整方法。
3. 切削装置に備えられたスピンドルの先端部に固定され被加工物を切削する切削ブレードを交換するブレード交換装置であって、
   透明な支持部材の表面側で該切削ブレードを保管する移動可能な保管部を有するブレード保管部と、
   該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を該保管部と該スピンドルとの間で移動させる移動機構と、を有し、該切削ブレードを搬送する搬送ユニットと、
   該支持部材の裏面側に設けられ、該支持部材を介して該支持部材の表面側に位置付けられた該保持部を撮影するカメラと、
   該ブレード保管部と該搬送ユニットとの動作を制御する動作制御部と、該ブレード保管部に該切削ブレードを着脱する際の該保管部及び該保持部の位置が登録される位置登録部と、を有する制御ユニットと、を備え、
   該保管部は、該カメラで撮影可能な第１の目印部を備え、
   該保持部は、該カメラで撮影可能な第２の目印部を備えることを特徴とするブレード交換装置。
4. 該保持部は、該切削ブレードを吸引保持する吸引保持部又は該切削ブレードを把持する把持部であることを特徴とする請求項３に記載のブレード交換装置。

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