JP2022100501A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレード交換ユニットを備える切削装置において、既に切削ブレードが収容されている切削ブレード収容部に対して別の切削ブレードが搬入されることを防止する。【解決手段】収容判定ユニットによって切削ブレードが収容されていないと判定された切削ブレード収容部に切削ブレードが搬入される。これにより、既に別の切削ブレードが収容されている切削ブレード収容部に対して切削ブレードが搬入されることが防止される。【選択図】図７

Description

本発明は、切削ユニットに装着された切削ブレードを自動的に着脱する切削ブレード交換ユニットを備える切削装置に関する。

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）及びＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等の半導体デバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成である。このようなチップは、一般的に、表面に多数の半導体デバイスが形成されたウェーハを個々の半導体デバイスを含む領域毎に分割することで製造される。

ウェーハ等の被加工物の分割は、例えば、切削装置によって被加工物を切削することによって行われる。このような切削装置は、一般的に、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削ユニットとを備える。そして、回転する切削ブレードの外周縁を半導体デバイスを含む領域の境界に沿って被加工物に接触させることで、被加工物が削られて個々のチップに分割される。

この切削ブレードは、被加工物を削ることによって摩耗する。そのため、このような切削装置においては、切削ブレードを定期的に交換する必要がある。この点に鑑み、切削ブレードの交換を自動的に行う切削ブレード交換ユニット（切削ブレード交換装置）を備える切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

具体的には、この切削ブレード交換ユニットは、切削ブレードを個別に収容する複数の切削ブレード収容部（ブレード収容手段）を有する切削ブレードストッカー（ブレードラック）と、切削ブレードストッカーと切削ユニットとの間で切削ブレードを搬送する切削ブレード搬送機構（案内手段、可動基板、位置付け手段、締結ナット着脱機構及び切削ブレード着脱機構）とを備える。そして、使用済みの切削ブレードの切削ユニットから切削ブレードストッカーへの搬送と、未使用の切削ブレードの切削ブレードストッカーから切削ユニットへの搬送とが切削ブレード搬送機構によって自動で行われる。

特開２００７－１０５８２９号公報

切削装置においては、一般的に、複数の切削ブレード収容部に収容された使用済みの切削ブレードの廃棄及び／又はそれらへの未使用の切削ブレードの補充は、オペレータによって手動で行われる。切削装置は、通常、このようなオペレータの操作を検出して、複数の切削ブレード収容部における使用済みの切削ブレード及び未使用の切削ブレードの収容状況を把握するように構成される。

ただし、何らかのエラーが発生して切削装置が一時停止した状態でオペレータがこのような操作を行った場合には、複数の切削ブレード収容部における切削ブレードの収容状況を切削装置が正確に把握できないおそれがある。そして、このような状況を切削装置が正確に把握できなければ、種々の問題が発生するおそれがある。

例えば、未使用の切削ブレードが収容された切削ブレード収容部に対して、切削ブレード搬送機構が使用済みの切削ブレードを搬入するおそれがある。この場合、両切削ブレードが衝突して、切削ブレード搬送機構又は未使用の切削ブレードの破損等の問題が生じるおそれがある。

以上の点に鑑み、本発明の目的は、切削ブレード交換ユニットを備える切削装置において、既に別の切削ブレードが収容されている切削ブレード収容部に対して切削ブレードが搬入されることを防止することである。

本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削ユニットと、該切削ユニットに装着された該切削ブレードを自動的に着脱する切削ブレード交換ユニットと、を備えた切削装置であって、該切削ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを個別に収容する複数の切削ブレード収容部を有する切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーと該切削ユニットとの間で該切削ブレードを搬送する切削ブレード搬送機構と、を備え、該切削ブレードストッカーは、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されているか否かの判定に用いられる収容判定ユニットを備え、該切削ブレード搬送機構は、該収容判定ユニットを用いて該切削ブレードが収容されていないと判定された該切削ブレード収容部に該切削ブレードを搬入する切削装置が提供される。

好ましくは、該切削装置は、該切削ブレード搬送機構の動作を制御する制御ユニットをさらに含み、該収容判定ユニットは、該切削ブレード収容部に光を照射する照明部と、該照明部から光が照射された状態で光を受光して電気信号に変換する撮像素子と、を含み、該制御ユニットは、該収容判定ユニットの撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分から輝度を算出する輝度算出部と、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されている状態における該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分の輝度と、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されず、かつ、該切削ブレード収容部から所定の距離だけ離れた位置に該切削ブレードが位置づけられた状態における該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分の輝度と、を区別する基準となる閾値を記憶する閾値記憶部と、該輝度算出部で算出された該輝度を該閾値記憶部に記憶された該閾値と比較することで、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されているか否かを判定する判定部と、を含む。

好ましくは、該切削ブレードは、該切削ブレードの種類及び特性の一方又は双方を記録した記録部を備え、該判定部は、該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該記録部に対応する部分に基づいて該切削ブレードの種類及び特性の一方又は双方を判定する。

好ましくは、該照明部は、斜光照明である。

好ましくは、該切削ブレード収容部は、透明な支持部材の表面に設けられ、該収容判定ユニットは、該支持部材の裏面側に配設され、該収容判定ユニットは、該支持部材を介して、該切削ブレードを撮像する。

本発明においては、収容判定ユニットを用いて切削ブレードが収容されていないと判定された切削ブレード収容部に切削ブレードが搬入される。これにより、既に別の切削ブレードが収容されている切削ブレード収容部に対して切削ブレードが搬入されることが防止される。

図１は、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。 図２は、切削ユニットの一例を模式的に示す分解斜視図である。 図３（Ａ）は、切削ブレードの一例の表面側を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、切削ブレードの一例の裏面側を模式的に示す斜視図である。 図４は、切削ブレード交換ユニットの一例を模式的に示す斜視図である。 図５は、切削ブレードストッカーの一例を模式的に示す斜視図である。 図６は、着脱ユニットの一例を模式的に示す斜視図である。 図７（Ａ）は、切削ブレード収容部に別の切削ブレードが収容されている切削ブレードストッカーの一部を模式的に示す側面図であり、図７（Ｂ）は、切削ブレード収容部に別の切削ブレードが収容されていない切削ブレードストッカーの一部を模式的に示す側面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、実施形態に係る切削装置を模式的に示す斜視図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）及びＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）は、水平面上において直交する方向である。また、図１に示されるＺ軸方向（切り込み送り方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向（鉛直方向）である。

図１に示される切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。基台４の前端側の角部には、基台４の上面側で開口する矩形状の開口４ａが設けられている。

開口４ａの側方には、基台４の上面側で開口し、長手方向がＸ軸方向に沿って形成された矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ａの内部には、カセット８が載置されるカセット載置台６が設けられている。カセット８は、切削装置２において切削される複数の被加工物１１を収容可能な直方体状の容器である。

カセット載置台６には昇降ユニット（不図示）が連結されており、この昇降ユニットはカセット載置台６をＺ軸方向に沿って移動（昇降）させる。そして、カセット載置台６の上面には、複数の被加工物１１が収容されたカセット８が載置される。なお、図１では、カセット８の輪郭のみが二点鎖線で示されている。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体からなる円盤状のウェーハであり、概ね平行な表面及び裏面を備える。被加工物１１は、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の矩形状の領域に区画されている。

また、被加工物１１の表面側の分割予定ラインによって区画された領域のそれぞれには、ＩＣ及びＬＳＩ等の半導体デバイスが形成されている。そして、切削装置２によって被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割すると半導体デバイスのチップが得られる。

被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３は、例えば、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着剤（糊層）とを備える。

基材は、例えば、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル又はポリエチレンテレフタラート等の樹脂からなり、粘着剤は、例えば、エポキシ系、アクリル系又はゴム系の接着剤等からなる。また、粘着剤として、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂が用いられてもよい。

テープ１３の外周部は、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属からなる環状のフレーム１５に貼付されている。フレーム１５の中央部には、被加工物１１よりも直径が大きい円状の開口が設けられている。

被加工物１１をフレーム１５の開口の内側に配置し、テープ１３の中央部を被加工物１１の裏面側に貼付するとともにテープ１３の外周部をフレーム１５に貼付すると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。

なお、被加工物１１の種類、材質、形状、構造及び大きさ等に制限はない。被加工物１１は、例えば、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ又はＳｉＣ等）、ガラス、セラミックス、樹脂又は金属等からなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ及び配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。

基台４の開口４ｂの内部には、ボールねじ式のチャックテーブル移動機構１０が設けられている。チャックテーブル移動機構１０は、平板状の移動テーブル１０ａを備えており、移動テーブル１０ａをＸ軸方向に沿って移動させることができる。

また、移動テーブル１０ａのＸ軸方向における一方側及び他方側（前方及び後方）には、チャックテーブル移動機構１０の上側を覆いＸ軸方向に沿って伸縮する蛇腹状の防塵防滴カバー１２が設けられている。

移動テーブル１０ａ上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の上面は、水平面（ＸＹ平面）に概ね平行な面であり、被加工物１１を保持する円状の保持面１４ａを構成している。

保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された流路（不図示）及びバルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持しているフレーム１５を把持して固定する複数のクランプ１６が設けられている。

チャックテーブル移動機構１０は、チャックテーブル１４を移動テーブル１０ａとともにＸ軸方向に沿って移動させることができる。また、チャックテーブル１４はモータ等の回転駆動源（不図示）に接続されており、回転駆動源は保持面１４ａの中心を通るＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りでチャックテーブル１４を回転させることができる。

開口４ｂの前端部の上方には、Ｙ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール１８が設けられている。一対のガイドレール１８の一方は、水平面に概ね平行な底壁と、底壁の、一対のガイドレール１８の他方から遠い側の端部から立設される側壁とを備える。同様に、一対のガイドレール１８の他方は、水平面に概ね平行な底壁と、底壁の、一対のガイドレール１８の一方から遠い側の端部から立設される側壁とを備える。

そして、一対のガイドレール１８のＸ軸方向における間隔は、調整可能である。例えば、各ガイドレール１８の底壁がフレーム１５の下面側を支持した状態で、その側壁がフレーム１５の外周縁と接触するように、一対のガイドレール１８のＸ軸方向における間隔が調整される。これにより、被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせが行われる。

また、基台４の上面には、門型の第１支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２０の前面側（ガイドレール１８側）には、Ｙ軸方向に沿うレール２２が固定されている。レール２２の前面側には、第１搬送ユニット移動機構２４を介して第１搬送ユニット２６が連結されている。

第１搬送ユニット移動機構２４は、レール２２の前面側をスライドできる、すなわち、Ｙ軸方向に沿って移動できる。また、第１搬送ユニット移動機構２４はエアシリンダ等の昇降ユニットを備えており、昇降ユニットはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを有する。

この昇降ユニットのロッドの下端部には、第１搬送ユニット２６が固定されている。そのため、第１搬送ユニット移動機構２４は、レール２２の前面側をスライドすることで第１搬送ユニット２６をＹ軸方向に沿って移動させ、かつ／又は、ロッドを昇降することで第１搬送ユニット２６をＺ軸方向に沿って移動させることができる。

さらに、第１搬送ユニット２６は、フレーム１５を保持する複数の吸引パッドを備える。吸引パッドの下面は、フレーム１５の上面側を吸引保持する保持面を構成している。吸引パッドの保持面は、吸引パッドの内部に形成された流路（不図示）、当該流路に連通する配管（不図示）及び当該配管における気体の流れを制御するバルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

また、第１搬送ユニット２６の開口４ａ側（カセット８側）の端部には、フレーム１５を把持する把持部２６ａが設けられている。第１搬送ユニット移動機構２４は、カセット８に収容されたフレーム１５を把持部２６ａが把持した状態の第１搬送ユニット２６がカセット８から離れるように、Ｙ軸方向に沿って移動する（レール２２の前面側をスライドする）ことができる。この場合、被加工物１１がフレーム１５とともにカセット８から搬出され、一対のガイドレール１８上に配置される。

同様に、第１搬送ユニット移動機構２４は、一対のガイドレール１８上に配置されたフレーム１５を把持部２６ａが把持した状態の第１搬送ユニット２６がカセット８に近づくように、Ｙ軸方向に沿って移動する（レール２２の前面側をスライドする）ことができる。この場合、被加工物１１がフレーム１５とともにカセット８に搬入される。

さらに、第１支持構造２０の前面側には、Ｙ軸方向に沿うレール２８が固定されている。レール２８の前面側には、第２搬送ユニット移動機構３０を介して第２搬送ユニット３２が連結されている。

第２搬送ユニット移動機構３０は、レール２８の前面側をスライドできる、すなわち、Ｙ軸方向に沿って移動できる。また、第２搬送ユニット移動機構３０はエアシリンダ等の昇降ユニットを備えており、昇降ユニットはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを有する。

この昇降ユニットのロッドの下端部には、第２搬送ユニット３２が固定されている。そのため、第２搬送ユニット移動機構３０は、レール２８の前面側をスライドすることで第２搬送ユニット３２をＹ軸方向に沿って移動させ、かつ／又は、ロッドを昇降することで第２搬送ユニット３２をＺ軸方向に沿って移動させることができる。

さらに、第２搬送ユニット３２は、フレーム１５を保持する複数の吸引パッドを備える。吸引パッドの下面は、フレーム１５の上面側を吸引保持する保持面を構成している。吸引パッドの保持面は、吸引パッドの内部に形成された流路（不図示）、当該流路に連通する配管（不図示）及び当該配管における気体の流れを制御するバルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

第１支持構造２０の後方には、門型の第２支持構造３４が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第２支持構造３４の前面側（第１支持構造２０側）のＹ軸方向における両端部には、ボールねじ式の切削ユニット移動機構３６ａ，３６ｂが設けられている。

切削ユニット移動機構３６ａの下部には、被加工物１１を切削する切削ユニット３８ａが固定され、また、切削ユニット移動機構３６ｂの下部には、被加工物１１を切削する切削ユニット３８ｂが固定されている。

そして、切削ユニット移動機構３６ａは切削ユニット３８ａをＹ軸方向及び／又はＺ軸方向に沿って移動させることができ、また、切削ユニット移動機構３６ｂは切削ユニット３８ｂをＹ軸方向及び／又はＺ軸方向に沿って移動させることができる。

図２は、切削ユニット３８ａを模式的に示す分解斜視図である。切削ユニット３８ａは、円筒状のハウジング４０を備える。ハウジング４０には、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状のスピンドル（回転軸）４２が収容されている。

スピンドル４２の先端部はハウジング４０の外部に露出しており、この先端部にはマウント４４が固定されている。また、スピンドル４２の基端部（他端側）には、スピンドル４２を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

マウント４４は、円盤状のフランジ部４６と、フランジ部４６の表面４６ａの中央部から突出する円筒状の支持軸４８とを備える。フランジ部４６の外周部の表面４６ａ側には、表面４６ａから突出する環状の凸部４６ｂが設けられている。凸部４６ｂの先端面４６ｃは、表面４６ａに対して概ね平行に形成されている。

支持軸４８の外周面には、ねじ部４８ａが形成されている。また、支持軸４８の先端面の中央部には凹部４８ｂが形成されている。支持軸４８には、被加工物１１を切削する環状の切削ブレード５０が装着される。

図３（Ａ）は、切削ブレード５０の表面側を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、切削ブレード５０の裏面側を模式的に示す斜視図である。切削ブレード５０は、アルミニウム（Ａｌ）等の金属材料からなる環状の基台５２と、基台５２の外周縁に沿って形成された環状の切刃５４とを備える。

基台５２の中央部には、支持軸４８が挿入可能なように基台５２を厚さ方向に貫通する開口５２ａが設けられている。また、基台５２の開口５２ａの周囲には、基台５２の厚さ方向に沿って表面側に突出する環状の凸部５２ｂが形成されている。

また、基台５２の裏面側には、切削ブレード５０の種類及び特性の一方又は双方を記録した記録部５２ｃが設けられている。記録部５２ｃは、例えば、一次元コード（バーコード）又は二次元コード（ＱＲ（Ｑｕｉｃｋ Ｒｅｓｐｏｎｓｅ）コード（登録商標）等）である。

切刃５４は、例えば、ダイヤモンド等からなる砥粒をニッケルめっき層で固定することにより形成される。ただし、切刃５４の砥粒及び結合材の材質に制限はなく、被加工物１１の材質及び加工目的等に応じて適宜選択される。

図２を再び参照して、切削ユニット３８ａの残りの構成要素について説明する。支持軸４８のねじ部４８ａには、切削ブレード５０を固定するための環状のナット５６が締結される。ナット５６の中央部には、支持軸４８の径に対応する円形の開口５６ａが形成されている。

開口５６ａには、支持軸４８に形成されたねじ部４８ａに対応するねじ溝が形成されている。また、ナット５６には、ナット５６を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔５６ｂが、ナット５６の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

切削ブレード５０は、基台５２の開口５２ａに支持軸４８が挿入されるように、マウント４４に装着される。そして、ナット５６を支持軸４８のねじ部４８ａに螺合して締め付けると、切削ブレード５０がフランジ部４６の先端面４６ｃとナット５６とによって挟持される。これにより、切削ブレード５０がスピンドル４２の先端部に固定される。

なお、ここでは、切削ユニット３８ａについて説明したが、切削ユニット３８ｂも切削ユニット３８ａと同様の構成を有する。そして、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード５０と、切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード５０とは、互いに対面するように配置される。

さらに、図１に示されるように、Ｘ軸方向において切削ユニット３８ａ，３８ｂに隣接する位置にはチャックテーブル１４に保持された被加工物１１等を撮像するカメラ６０が設けられている。

カメラ６０は、例えば、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラ、又は、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成される。

切削装置２においては、例えば、チャックテーブル１４上の被加工物１１をカメラ６０で撮像することによって取得された画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３８ａ，３８ｂとの位置を合わせることができる。

また、開口４ｂからみて開口４ａとは反対側の開口４ｂの側方には、洗浄ユニット６２が配置されている。洗浄ユニット６２は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を保持するスピンナテーブル６２ａを備えている。

スピンナテーブル６２ａには、スピンナテーブル６２ａをＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。スピンナテーブル６２ａの上方には、スピンナテーブル６２ａによって保持された被加工物１１に向かって洗浄用の流体（例えば、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射するノズル６２ｂが配置されている。

切削装置２においては、例えば、被加工物１１を保持するスピンナテーブル６２ａを回転させつつ、ノズル６２ｂから被加工物１１に向かって流体を噴射することによって、被加工物１１を洗浄することができる。

また、第２支持構造３４の裏面側（後方側）には、切削ブレード５０を交換する切削ブレード交換ユニット６４が設けられている。図４は、切削ブレード交換ユニット６４を模式的に示す斜視図である。切削ブレード交換ユニット６４は、複数の切削ブレード５０を保持して保管する一対の切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂを備える。

切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂは、Ｙ軸方向に沿って互いに対向するように配置される。切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂには、被加工物１１の切削に用いられた使用済みの切削ブレード５０及び交換用の切削ブレード５０（未使用の切削ブレード５０）が保管される。

切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂは、Ｚ軸方向に沿って配置された柱状の支持構造７２を備える。支持構造７２は、例えば、第２支持構造３４（図１参照）の後方に設けられ、基台４の上面に固定される。ただし、支持構造７２の設置場所に制限はない。

支持構造７２には、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状のスピンドル７４が収容されている。スピンドル７４の先端部（一端側）は支持構造７２の側面から露出しており、スピンドル７４の基端部（他端側）にはモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

また、スピンドル７４の先端部には、円盤状の支持部材７６が固定されている。支持部材７６は、回転駆動源からスピンドル７４を介して伝達される動力により、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。

図５は、切削ブレードストッカー７０ａを模式的に示す斜視図である。なお、以下では切削ブレードストッカー７０ａについて説明するが、切削ブレードストッカー７０ｂも切削ブレードストッカー７０ａと同様に構成される。

支持部材７６は、互いに概ね平行な表面７６ａ及び裏面７６ｂを有し、スピンドル７４の先端部は支持部材７６の裏面７６ｂ側に固定されている。そして、支持部材７６の表面７６ａ側には、切削ブレード５０を保管する複数の切削ブレード収容部７８が設けられている。

具体的には、支持部材７６には、支持部材７６を厚さ方向（Ｙ軸方向）に貫通する複数の円形の開口７６ｃが設けられる。例えば、複数の開口７６ｃは支持部材７６の周方向に沿って概ね等間隔に形成される。

開口７６ｃには、透明な材質からなり、かつ、切削ブレード５０を支持する円盤状の支持部材８０が嵌め込まれる。そして、支持部材８０は、開口７６ｃの内部で支持部材７６に固定される。

支持部材８０の中央部には、支持部材８０の表面８０ａから突出する円筒状のボス部（支持軸）８２が設けられている。ボス部８２は、例えば、支持部材８０と同一の透明な材質からなり、支持部材８０の中央部に固定される。

ボス部８２は、その径が切削ブレード５０の基台５２に設けられた開口５２ａ（図２参照）の径に対応するように形成されている。すなわち、ボス部８２は、基台５２の開口５２ａに挿入可能となっている。

基台５２の開口５２ａにボス部８２が挿入されると、切削ブレード５０が支持部材８０の表面８０ａとボス部８２とによって支持される。すなわち、切削ブレード収容部７８は、支持部材８０の表面８０ａとボス部８２とによって構成される。

また、支持部材７６の裏面７６ｂ側には、支持構造７２の側面に固定された撮像ユニット（収容判定ユニット）８６が設けられている。撮像ユニット８６は、対物レンズ８６ａと、対物レンズ８６ａを囲むように設けられた環状の照明部８６ｂと、照明部８６ｂから光が照射された状態で対物レンズ８６ａを通過した可視光又は赤外線等の光を受光して電気信号に変換する撮像素子（不図示）とを有する。

照明部８６ｂは、例えば、光が集約されるように支持部材７６の裏面７６ｂ側に向けて斜めに可視光又は赤外線を照射する斜光照明である。また、撮像ユニット８６は、Ｙ軸方向において支持部材７６と重なる位置に配置されており、撮像ユニット８６と対向する位置に位置付けられた切削ブレード収容部７８を撮像する。

そして、切削装置２においては、撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像に基づいて切削ブレード収容部７８に切削ブレード５０が収容されているか否かが判定される。なお、この判定の詳細については後述する。

また、支持部材７６を回転させると、切削ブレード収容部７８が支持部材７６の周方向に沿って移動し、撮像ユニット８６に対向する切削ブレード収容部７８が変更される。これにより、撮像ユニット８６による撮像の対象となる切削ブレード収容部７８が選択される。

支持部材８０の材質は、撮像ユニット８６の撮像に利用される光の種類に応じて適宜選択される。例えば、照明部８６ｂから照射される光が可視光である場合、支持部材８０は可視光が透過する部材によって構成される。支持部材８０は、例えば、プラスチック又はガラス（石英ガラス、ホウケイ酸ガラス等）等からなる。また、ボス部８２にも、支持部材８０と同一の材料を用いることができる。

さらに、支持部材７６に開口７６ｃ及び支持部材８０を設ける代わりに、支持部材７６自体をプラスチック又はガラス等の透明な材料によって構成してもよい。この場合には、支持部材７６の表面７６ａから突出する複数のボス部８２が設けられ、支持部材７６の表面７６ａとボス部８２とによって切削ブレード収容部７８が構成される。

図４に示されるように、切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂは、切削ブレードストッカー７０ａの支持部材７６の表面７６ａと切削ブレードストッカー７０ｂの支持部材７６の表面７６ａとが対面するように、互いに離隔した状態で配置される。そして、正面視で切削ブレードストッカー７０ａ，７０ｂの間には、切削ブレード５０を保持して搬送する切削ブレード搬送機構８８が設けられている。

切削ブレード搬送機構８８は、後述の着脱ユニット（着脱機構）９８を移動させる着脱ユニット移動機構９０を備える。着脱ユニット移動機構９０は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と概ね平行に配置された板状の基台９０ａを備える。基台９０ａは、例えば、第２支持構造３４（図１参照）の後方に配置される。

基台９０ａの下面側には、Ｘ軸方向に沿って配置されたボールねじ９２が固定されている。また、ボールねじ９２には、直方体状の移動ブロック９４が螺合されており、移動ブロック９４の下面側には、側面視でコの字（Ｕ字）型に形成された支持部材９６が固定されている。支持部材９６は、切削ブレード５０及びナット５６（図２参照）の着脱を行う着脱ユニット９８を支持している。

ボールねじ９２の端部には、パルスモータ（不図示）が接続されている。このパルスモータによってボールねじ９２を回転させると、支持部材９６によって支持された着脱ユニット９８がボールねじ９２に沿ってＸ軸方向に移動する。これにより、着脱ユニット９８のＸ軸方向における位置が制御される。

また、着脱ユニット移動機構９０は、基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させるボールねじ式のＹ軸移動機構（不図示）を備える。このＹ軸移動機構により、着脱ユニット９８のＹ軸方向における位置が制御される。

図６は、着脱ユニット９８を模式的に示す斜視図である。着脱ユニット９８を支持する支持部材９６は、移動ブロック９４の下面側に固定された板状の上壁部９６ａと、上壁部９６ａの後方側の端部から下方に向かって突出する柱状の側壁部９６ｂと、側壁部９６ｂの下端部から前方側に突出し、上壁部９６ａと概ね平行に配置された板状の支持部９６ｃとを備える。

着脱ユニット９８は、支持部材９６の支持部９６ｃによって支持されている。着脱ユニット９８は、切削ブレード５０の着脱を行うブレード着脱ユニット１００と、切削ブレード５０を固定するためのナット５６（図２参照）の着脱を行うナット着脱ユニット１３０とを備える。

ブレード着脱ユニット１００及びナット着脱ユニット１３０は、支持部材９６の支持部９６ｃ上に固定されている。ブレード着脱ユニット１００は、回転駆動源を構成するモータ１０２と、モータ１０２に接続された動力伝達機構１０４とを備える。モータ１０２と動力伝達機構１０４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１０２は、中空の立方体状に形成され、ロータ及びステータ等の構成要素を収容する筐体１０２ａと、ロータと接続され、Ｚ軸方向に沿って配置されたスピンドル（不図示）とを備える。モータ１０２のスピンドルの先端部は筐体１０２ａの上面から露出しており、スピンドルの先端部には円盤状の滑車１０２ｂが固定されている。

動力伝達機構１０４は、中空の立方体状に形成された筐体１０４ａと、筐体１０４ａに収容され、Ｚ軸方向に沿って配置されたスピンドル（不図示）とを備える。動力伝達機構１０４のスピンドルの先端部は筐体１０４ａの上面から露出しており、スピンドルの先端部には円盤状の滑車１０４ｂが固定されている。

筐体１０４ａには、筐体１０４ａを左右方向（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１０４ｃが形成されている。この貫通孔１０４ｃには、円筒状のシャフト１０６が筐体１０４ａを貫通するように挿入されており、シャフト１０６の両端部は筐体１０４ａの両側面から露出している。

シャフト１０６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転可能な状態で保持されており、筐体１０４ａの内部で動力伝達機構１０４のスピンドルと連結されている。具体的には、筐体１０４ａの内部には、Ｚ軸方向に沿って配置された動力伝達機構１０４のスピンドルの回転の動力を、Ｙ軸に沿って配置されたシャフト１０６の回転の動力に変換する変換機構が設けられている。

この変換機構は、例えば、かさ歯車（まがりばかさ歯車、すぐばかさ歯車等）又はハイポイドギアによって構成される。モータ１０２と動力伝達機構１０４とは、ベルト又はチェーン等からなる環状の連結部材１０８によって連結されている。

具体的には、連結部材１０８は、モータ１０２の滑車１０２ｂの側面、及び、動力伝達機構１０４の滑車１０４ｂの側面と接触するように、平面視で長円状に滑車１０２ｂ及び滑車１０４ｂに巻き付けられている。

モータ１０２に電力が供給されると、モータ１０２の動力が滑車１０２ｂ、連結部材１０８及び滑車１０４ｂを介して動力伝達機構１０４の回転軸に伝達される。また、筐体１０４ａの内部に設けられた変換機構によって、動力伝達機構１０４のスピンドルの動力がシャフト１０６に伝達され、シャフト１０６が回転する。このようにして、モータ１０２の動力が動力伝達機構１０４によってシャフト１０６に伝達される。

シャフト１０６の一端側には、切削ユニット３８ａ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８ａに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１１０ａが固定されている。

また、シャフト１０６の他端側には、切削ユニット３８ｂ（図１参照）に装着されている切削ブレード５０、及び、切削ユニット３８ｂに新たに装着される切削ブレード５０を保持するブレード保持ユニット１１０ｂが固定されている。

ブレード保持ユニット１１０ａ，１１０ｂのそれぞれは、側面視で長円状に形成され、シャフト１０６の先端部に固定された板状の支持部材１１２と、支持部材１１２の動力伝達機構１０４とは反対側を向く面側に設けられたブレード把持ユニット１１４ａ，１１４ｂとを備える。

ブレード把持ユニット１１４ａは支持部材１１２の一端（前端）側に固定され、ブレード把持ユニット１１４ｂは支持部材１１２の他端（後端）側に固定されている。ブレード把持ユニット１１４ａ，１１４ｂのそれぞれは、支持部材１１２に固定された円筒状の把持部１１６を備える。

把持部１１６は、動力伝達機構１０４とは反対側を向く表面１１６ａを備える。また、把持部１１６には、表面１１６ａから突出する位置決めピン１１８が設けられている。位置決めピン１１８は、その先端部がマウント４４の支持軸４８に形成された凹部４８ｂ（図２参照）の位置及び大きさに対応して形成されており、凹部４８ｂに挿入可能となっている。

把持部１１６の周囲には、切削ブレード５０の凸部５２ｂ（図２参照）を把持する複数の把持部材１２０が、把持部１１６の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。複数の把持部材１２０のそれぞれは柱状に形成されており、把持部材１２０の基端部（一端側）は把持部１１６の外周面に接続されている。

図６には、切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面を四方から把持する４つの把持部材１２０が設けられている例が示されている。把持部材１２０の先端部（他端側）は把持部１１６の表面１１６ａから突出しており、この先端部には、切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面と接触する接触部１２０ａが形成されている。

把持部材１２０の先端部は、例えば、把持部１１６の内部に収容された移動機構（不図示）によって、把持部１１６の半径方向に沿って移動する。この移動機構は、接触部１２０ａが切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面と接触して切削ブレード５０が把持される状態（閉状態）と、接触部１２０ａが閉状態の際よりも把持部１１６の半径方向外側に配置され、切削ブレード５０の把持が解除される状態（開状態）とを切り替える。

切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード５０を交換する際には、ブレード保持ユニット１１０ａ，１１０ｂによって切削ブレード５０の着脱が行われる。なお、切削ブレード５０の交換時におけるブレード保持ユニット１１０ａ，１１０ｂの具体的な動作については後述する。

ブレード着脱ユニット１００の前方には、ナット着脱ユニット１３０が設けられている。ナット着脱ユニット１３０は、回転駆動源を構成するモータ１３２と、モータ１３２に接続された動力伝達機構１３４とを備える。モータ１３２と動力伝達機構１３４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１３２及び動力伝達機構１３４の構成は、ブレード着脱ユニット１００のモータ１０２及び動力伝達機構１０４の構成と同様である。具体的には、モータ１３２は、筐体１３２ａと、モータ１３２のスピンドルの先端部に固定された滑車１３２ｂとを備える。また、動力伝達機構１３４は、筐体１３４ａと、動力伝達機構１３４のスピンドルの先端部に固定された滑車１３４ｂとを備える。

筐体１３４ａには、筐体１３４ａを左右方向（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１３４ｃが形成されている。貫通孔１３４ｃには、円筒状のシャフト１３６が筐体１３４ａを貫通するように挿入されており、シャフト１３６の両端部は筐体１３４ａの両側面から露出している。

シャフト１３６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転可能な状態で保持されており、筐体１３４ａの内部で動力伝達機構１３４の回転軸と連結されている。モータ１３２と動力伝達機構１３４とは、ベルト又はチェーン等からなる環状の連結部材１３８によって連結されている。

具体的には、連結部材１３８は、モータ１３２の滑車１３２ｂの側面、及び、動力伝達機構１３４の滑車１３４ｂの側面と接触するように、平面視で長円状に滑車１３２ｂ及び滑車１３４ｂに巻き付けられている。

モータ１３２に電力が供給されると、モータ１３２の動力が滑車１３２ｂ、連結部材１３８及び滑車１３４ｂを介して動力伝達機構１３４のスピンドルに伝達される。また、筐体１３４ａの内部に設けられた変換機構によって、動力伝達機構１３４のスピンドルの動力がシャフト１３６に伝達され、シャフト１３６が回転する。このようにして、モータ１３２の動力が動力伝達機構１３４によってシャフト１３６に伝達される。

シャフト１３６の一端側には、切削ユニット３８ａのスピンドル４２に切削ブレード５０を固定するためのナット５６（図２参照）を保持して回転するナット保持ユニット１４０ａが固定されている。また、シャフト１３６の他端側には、切削ユニット３８ｂのスピンドル４２に切削ブレード５０を固定するためのナット５６を保持して回転するナット保持ユニット１４０ｂが固定されている。

ナット保持ユニット１４０ａ，１４０ｂのそれぞれは、シャフト１３６の先端部に接続された円筒状の回転部材１４２を備える。回転部材１４２は、ばね等によって動力伝達機構１３４とは反対側に向かって付勢されており、外力の付与によってＹ軸方向に沿って移動可能に構成されている。

回転部材１４２は、動力伝達機構１３４とは反対側を向く表面１４２ａを備える。回転部材１４２には、表面１４２ａから突出する４個の保持ピン１４４が設けられている。保持ピン１４４は、ナット５６（図２参照）の貫通孔５６ｂの位置及び大きさに対応して形成されており、貫通孔５６ｂに挿入可能となっている。

なお、保持ピン１４４の数は、貫通孔５６ｂの数に応じて適宜設定される。また、回転部材１４２の周囲には、ナット５６を把持する複数の把持部材１４６が、回転部材１４２の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。

把持部材１４６は柱状に形成されており、把持部材１４６の基端部（一端側）は回転部材１４２の外周面に接続されている。図６には、ナット５６の外周面を四方から把持する４つの把持部材１４６が設けられている例が示されている。

把持部材１４６の先端部（他端側）は回転部材１４２の表面１４２ａから突出しており、この先端部には、回転部材１４２の中心側に向かって屈曲した爪部１４６ａが形成されている。

また、把持部材１４６は、ばね等によって回転部材１４２の半径方向外側に向かって付勢されており、爪部１４６ａが回転部材１４２の半径方向に沿って移動可能となるように構成されている。

さらに、回転部材１４２の周囲には、中空の円筒状に形成されたカバー１４８が設けられている。回転部材１４２と、把持部材１４６の基端側（動力伝達機構１３４側）とは、カバー１４８の内部に収容されている。

回転部材１４２がカバー１４８の内側に向かって押圧されると、回転部材１４２を付勢しているばねが縮み、回転部材１４２が複数の把持部材１４６とともにカバー１４８の内側に押し込まれる。

回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１４６の先端部（爪部１４６ａ側）がカバー１４８の内壁と接触して押圧され、把持部材１４６を付勢しているばねが縮む。これにより、複数の把持部材１４６の先端部が回転部材１４２の半径方向内側に向かって移動する。

そして、複数の把持部材１４６は、その長さ方向がカバー１４８の内壁に沿うように配置された状態となる。この時、把持部材１４６の爪部１４６ａは、例えば、回転部材１４２の外周縁よりも回転部材１４２の半径方向内側に配置される（閉状態）。

他方、回転部材１４２に対する外力の付与が解除されると、回転部材１４２がカバー１４８の外側に向かって移動し、把持部材１４６の先端部がカバー１４８の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１４６の先端部が回転部材１４２の半径方向外側に向かって移動する。

そして、複数の把持部材１４６の先端部が、閉状態の際よりも回転部材１４２の半径方向外側に配置された状態となる。この時、把持部材１４６の爪部１４６ａは、例えば、回転部材１４２の外周縁よりも回転部材１４２の半径方向外側に配置される（開状態）。

上記のナット保持ユニット１４０ａ，１４０ｂのそれぞれは、ナット５６を保持して回転する。具体的には、まず、ナット５６の貫通孔５６ｂ（図２参照）に回転部材１４２の保持ピン１４４が挿入されるように、ナット５６が回転部材１４２の表面１４２ａと接触する。

この状態で回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１４６が閉状態となって爪部１４６ａがナット５６の外周面と接触し、ナット５６が把持される。

複数の把持部材１４６によってナット５６が保持された状態で、モータ１３２を駆動させると、モータ１３２の動力が動力伝達機構１３４を介してシャフト１３６に伝達され、シャフト１３６が回転する。これにより、回転部材１４２が回転し、把持部材１４６によって保持されたナット５６も回転する。

ナット保持ユニット１４０ａ，１４０ｂでナット５６を保持して回転させることにより、切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード５０の交換を行う際の、ナット５６の締め付け及び取り外しを自動で行うことができる。なお、切削ブレード５０の交換時におけるナット着脱ユニット１３０の具体的な動作については後述する。

切削装置２を構成する各構成要素（チャックテーブル移動機構１０、チャックテーブル１４、クランプ１６、ガイドレール１８、第１搬送ユニット移動機構２４、第１搬送ユニット２６、第２搬送ユニット移動機構３０、第２搬送ユニット３２、切削ユニット移動機構３６ａ，３６ｂ、切削ユニット３８ａ，３８ｂ、カメラ６０、洗浄ユニット６２及び切削ブレード交換ユニット６４等）のそれぞれは、制御ユニット６６に接続されている。

制御ユニット６６は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成し、生成された制御信号を出力する。制御ユニット６６は、例えば、コンピュータによって構成され、切削装置２の各構成要素を動作させるのに必要な各種の処理（演算等）を行う処理部と、処理部による処理に用いられる各種の情報（データ及びプログラム等）が記憶される記憶部とを含む。

処理部は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部は、主記憶装置及び補助記憶装置等を構成する各種のメモリを含んで構成される。

上記の切削装置２によって、被加工物１１の切削加工が行われる。被加工物１１を加工する際は、まず、加工の対象となる被加工物１１がカセット８に収容される。そして、カセット８がカセット載置台６の上面に載置される。

カセット８に収容された被加工物１１は、第１搬送ユニット２６によってカセット８から搬出される。具体的には、第１搬送ユニット２６が把持部２６ａでフレーム１５の端部を把持した状態でカセット８から離れるようにＹ軸方向に沿って移動する。

これにより、被加工物１１がカセット８から引き出され、一対のガイドレール１８上に配置される。そして、被加工物１１が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１の位置合わせが行われる。

次いで、フレーム１５の上面側が第１搬送ユニット２６によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４上に搬送される。被加工物１１は、チャックテーブル１４上にテープ１３を介して配置される。

また、フレーム１５が複数のクランプ１６によって固定される。この状態で、保持面１４ａに吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル１４によって吸引保持される。

そして、切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード５０が回転しながら被加工物１１に切り込み、被加工物１１に切削加工が施される。例えば、被加工物１１は切削ブレード５０によって分割予定ラインに沿って切削され、複数のデバイスチップに分割される。

被加工物１１の加工が完了すると、フレーム１５の上面側が第２搬送ユニット３２によって保持され、被加工物１１がチャックテーブル１４から洗浄ユニット６２に搬送される。そして、洗浄ユニット６２によって被加工物１１の洗浄が行われる。

被加工物１１の洗浄が完了すると、フレーム１５の上面側が第１搬送ユニット２６によって保持され、一対のガイドレール１８上に搬送される。そして、フレーム１５が一対のガイドレール１８によって挟み込まれ、被加工物１１及びフレーム１５の位置合わせが行われる。

その後、第１搬送ユニット２６が把持部２６ａでフレーム１５を把持した状態でカセット８に近づくようにＹ軸方向に沿って移動する。これにより、被加工物１１がカセット８に収容される。このようにして、被加工物１１が切削装置２によって加工される。

なお、制御ユニット６６の記憶部には、上記の切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、切削装置２に被加工物１１の加工を指示する信号が入力されると、制御ユニット６６の処理部は、記憶部からプログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。

ここで、切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード５０は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレード５０の交換は、切削ブレード交換ユニット６４によって自動で実施される。

以下では、切削ブレード５０を交換する際の切削ブレード交換ユニット６４の動作の具体例について説明する。具体的には、切削ユニット３８ａに装着されている使用済みの切削ブレード５０と、切削ブレードストッカー７０ａに保管されている未使用の切削ブレード５０とを交換する場合の動作について説明する。

なお、切削ユニット３８ｂに装着されている使用済みの切削ブレード５０と、切削ブレードストッカー７０ｂに保管されている未使用の切削ブレード５０とを交換する場合の動作も同様である。

まず、ブレード保持ユニット１１０ａのブレード把持ユニット１１４ｂ（図６参照）と切削ブレードストッカー７０ａ（図４参照）とが対向するように、着脱ユニット移動機構９０によって着脱ユニット９８をＸ軸方向に沿って移動させる。

この時、必要であれば、ブレード把持ユニット１１４ｂの把持部１１６と、切削ブレードストッカー７０ａの切削ブレード収容部７８に保持された交換用の切削ブレード５０とが対向するように切削ブレードストッカー７０ａのスピンドル７４を回転させる。

次いで、この把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、ブレード把持ユニット１１４ｂの把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を開状態とする。次いで、この把持部１１６の表面１１６ａから突出する位置決めピン１１８が切削ブレード収容部７８のボス部８２（図５参照）に接近するように、着脱ユニット移動機構９０のＹ軸移動機構によって基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させる。

次いで、ブレード把持ユニット１１４ｂの把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、この把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を閉状態とする。これにより、この把持部材１２０の先端部に形成された接触部１２０ａが切削ブレード５０の凸部５２ｂ（図２参照）の外周面と接触する。すなわち、この把持部材１２０によって交換用の切削ブレード５０が把持される。

次いで、位置決めピン１１８がボス部８２から離隔するように、着脱ユニット移動機構９０のＹ軸移動機構によって基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させる。次いで、着脱ユニット９８のナット保持ユニット１４０ａ（図６参照）が切削ユニット３８ａのマウント４４と対向するように、着脱ユニット移動機構９０によって着脱ユニット９８をＸ軸方向に沿って移動させる。

次いで、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード５０を固定しているナット５６（図２参照）が、ナット保持ユニット１４０ａの回転部材１４２の表面１４２ａに押し付けられるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。

この時、ナット保持ユニット１４０ａの複数の保持ピン１４４が、ナット５６の貫通孔５６ｂに挿入される。回転部材１４２がナット５６によって押圧されると、回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれ、回転部材１４２の周囲に設けられた複数の把持部材１４６が閉状態となる。これにより、ナット５６が複数の把持部材１４６の爪部１４６ａによって把持される。

次いで、モータ１３２（図６参照）の動力によってシャフト１３６を回転させ、ナット保持ユニット１４０ａをナット５６が緩む方向に回転させる。これにより、ナット保持ユニット１４０ａによって把持されたナット５６がマウント４４の支持軸４８から取り外される。

次いで、切削ユニット３８ａとナット保持ユニット１４０ａとを離隔させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。なお、ナット保持ユニット１４０ａは、回転部材１４２がカバー１４８の内側に押し込まれた状態を維持可能に構成されており、ナット５６は支持軸４８から取り外された後もナット保持ユニット１４０ａによって保持される。

次いで、ブレード保持ユニット１１０ａのブレード把持ユニット１１４ａと、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード５０とが対向するように、着脱ユニット移動機構９０によって着脱ユニット９８をＸ軸方向に沿って移動させる。

次いで、ブレード把持ユニット１１４ａの把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、この把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を開状態とする。次いで、この把持部１１６の表面１１６ａから突出する位置決めピン１１８にマウント４４の支持軸４８が接近するように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。

次いで、ブレード把持ユニット１１４ａの把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、この把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を閉状態とする。これにより、この把持部材１２０の先端部に形成された接触部１２０ａが切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面と接触する。すなわち、使用済みの切削ブレード５０が把持部材１２０によって把持される。

次いで、切削ユニット３８ａとナット保持ユニット１４０ａとを離隔させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。これにより、切削ユニット３８ａから使用済みの切削ブレード５０が取り外される。

次いで、モータ１０２（図６参照）の動力によってシャフト１０６を１８０°回転させる。これにより、支持部材１１２が回転し、ブレード把持ユニット１１４ａの位置とブレード把持ユニット１１４ｂの位置とが入れ替わる。その結果、未使用の切削ブレード５０を保持しているブレード把持ユニット１１４ｂが切削ユニット３８ａのマウント４４に対向する。

次いで、切削ユニット３８ａとブレード把持ユニット１１４ｂとを接近させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。これにより、ブレード把持ユニット１１４ｂによって把持された未使用の切削ブレード５０の開口５２ａにマウント４４の支持軸４８が挿入される。

次いで、ブレード把持ユニット１１４ｂの把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、この把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を開状態とする。これにより、未使用の切削ブレード５０がスピンドル４２の先端部に装着される。

次いで、切削ユニット３８ａとブレード把持ユニット１１４ｂとを離隔させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。次いで、ナット５６を保持した状態のナット保持ユニット１４０ａがマウント４４と対向するように、着脱ユニット移動機構９０によって着脱ユニット９８を移動させる。

次いで、切削ユニット３８ａとナット保持ユニット１４０ａとを接近させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。これにより、ナット保持ユニット１４０ａによって保持されたナット５６が、マウント４４の支持軸４８の先端部に位置付けられる。

次いで、モータ１３２の動力によってシャフト１３６を回転させ、ナット保持ユニット１４０ａをナット５６が締まる方向に回転させる。これにより、マウント４４の支持軸４８に形成されたねじ部４８ａにナット５６が締め付けられる。その結果、未使用の切削ブレード５０がマウント４４の凸部４６ｂの先端面４６ｃとナット５６とによって挟持され、切削ユニット３８ａに固定される。

次いで、切削ユニット３８ａとナット保持ユニット１４０ａとを離隔させるように、切削ユニット移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させる。この時、回転部材１４２はカバー１４８の外側に向かって移動し、複数の把持部材１４６が開状態となる。これにより、複数の把持部材１４６によるナット５６の把持が解除される。

次いで、把持部材１２０によって使用済みの切削ブレード５０が把持されているブレード把持ユニット１１４ａと切削ブレードストッカー７０ａとが対向するように、着脱ユニット移動機構９０によって着脱ユニット９８をＸ軸方向に沿って移動させる。

この時、必要であれば、ブレード把持ユニット１１４ａの把持部１１６と、切削ブレードストッカー７０ａの切削ブレード収容部７８とが対向するように切削ブレードストッカー７０ａのスピンドル７４を回転させる。

そして、切削ブレード交換ユニット６４においては、切削ブレードストッカー７０ａに設けられた撮像ユニット（収容判定ユニット）８６（図４参照）を用いて切削ブレード収容部７８に別の切削ブレードが収容されていないことが確認された後に、使用済みの切削ブレード５０が切削ブレード収容部７８に収容される。

以下では、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレードが収容されているか否かの確認動作について、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を参照して説明する。なお、図７（Ａ）は、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレードが収容されている切削ブレードストッカー７０ａの一部を模式的に示す側面図であり、図７（Ｂ）は、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレードが収容されていない切削ブレードストッカー７０ａの一部を模式的に示す側面図である。

この確認を行う際には、まず、支持部材７６の裏面７６ｂ側に設けられた撮像ユニット８６によって、切削ブレード５０のアルミニウム等の金属材料からなる基台５２の裏面側を明確に撮像可能な位置（支持部材７６の表面７６ａから所定の距離ｄだけ離れた位置）に切削ブレード５０を位置付ける。

具体的には、基台５２の裏面によって撮像ユニット８６の照明部８６ｂから照射された光が反射されて対物レンズ８６ａに入射するように、着脱ユニット移動機構９０のＹ軸移動機構によって基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させる。

換言すると、撮像ユニット８６の照明部８６ｂは、支持部材７６の表面７６ａから所定の距離ｄだけ離れた位置に切削ブレード５０が位置付けられた場合に基台５２の裏面側を明確に撮像可能なように（照明部８６ｂから照射された光が基台５２の裏面によって反射されて対物レンズ８６ａに入射されるように）、その光の出射角及び位置が設計される。

次いで、照明部８６ｂから光が照射された状態で撮像ユニット８６が撮像を行う。ここで、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されている場合（図７（Ａ）参照）には、照明部８６ｂから照射される光は、切削ブレード５０に到達することなく、切削ブレード５１の基台５２の裏面によって反射されて対物レンズ８６ａに入射しない。そのため、撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像には、切削ブレード５１の基台５２の裏面に対応する比較的暗い環状の部分が含まれる。

他方、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されていない場合（図７（Ｂ）参照）には、照明部８６ｂから照射される光は、上述のとおり、切削ブレード５０の基台５２の裏面によって反射されて対物レンズ８６ａに入射する。そのため、撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像には、切削ブレード５０の基台５２の裏面に対応する比較的明るい環状の部分が含まれる。

次いで、制御ユニット６６（図１参照）が切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されているかを判定する。なお、制御ユニット６６は、撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像に含まれる切削ブレード５１又は切削ブレード５０に対応する部分から輝度を算出する輝度算出部６６ａを有する。

すなわち、輝度算出部６６ａは、切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されている場合には、当該画像に含まれる切削ブレード５１に対応する部分から輝度を算出し、また、切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されていない場合には、当該画像に含まれる切削ブレード５０に対応する部分から輝度を算出する。

また、制御ユニット６６は、当該画像に含まれる切削ブレード５１に対応する部分の輝度と、当該画像に含まれる切削ブレード５０に対応する部分の輝度と、を区別する基準となる閾値が記憶されている閾値記憶部６６ｂを有する。

また、制御ユニット６６は、輝度算出部６６ａで算出された輝度を閾値記憶部６６ｂに記憶された閾値と比較することで、切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されているか否かを判定する判定部６６ｃを有する。

すなわち、制御ユニット６６においては、撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像に含まれる切削ブレード５１又は切削ブレード５０に対応する部分から輝度算出部６６ａが算出した輝度と、閾値記憶部６６ｂに記憶されている閾値と、を判定部６６ｃが比較することで、切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されているか否かが判定される。

具体的には、輝度が閾値よりも高かった場合に、判定部６６ｃが切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されていないと判定する。また、輝度が閾値よりも低かった場合に、判定部６６ｃが切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されていると判定する。

制御ユニット６６が切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されていないと判定した場合には、ブレード把持ユニット１１４ａによって保持された切削ブレード５０の開口５２ａ（図２参照）に、切削ブレード収容部７８のボス部８２が挿入される。具体的には、切削ブレード５０が支持部材７６の表面７６ａに接触するように、着脱ユニット移動機構９０のＹ軸移動機構によって基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させる。

次いで、ブレード把持ユニット１１４ａの把持部１１６の内部に収容された移動機構によって、この把持部１１６の周囲に設けられた把持部材１２０を開状態とする。これにより、この把持部材１２０の先端部に形成された接触部１２０ａが切削ブレード５０の凸部５２ｂの外周面から離隔する。

次いで、この把持部１１６の表面１１６ａから突出する位置決めピン１１８がボス部８２から離隔するように、着脱ユニット移動機構９０のＹ軸移動機構によって基台９０ａをＹ軸方向に沿って移動させる。これにより、使用済みの切削ブレード５０が切削ブレード収容部７８に搬入される。

他方、制御ユニット６６が切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されていると判定した場合には、ブレード把持ユニット１１４ａの把持部１１６と、別の切削ブレード収容部７８とが対向するように切削ブレードストッカー７０ａのスピンドル７４（図５参照）を回転させる。そして、上述の通り、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されているか否かの確認動作を再度行う。

さらに、制御ユニット６６が切削ブレードストッカー７０ａの複数の切削ブレード収容部７８の全てに切削ブレード５１が収容されていると判定した場合には、切削装置２のディスプレイ（不図示）又はパイロットランプ（不図示）を用いてエラーメッセージが切削装置２のオペレータに報知される。

上述のとおり、切削装置２においては、撮像ユニット（収容判定ユニット）８６を用いて切削ブレード５１が収容されていないと判定された切削ブレード収容部７８に切削ブレード５０が搬入される。これにより、既に別の切削ブレード５１が収容されている切削ブレード収容部７８に対して切削ブレード５０が搬入されることが防止される。

さらに、撮像ユニット８６によって撮像される切削ブレード５０の基台５２の裏面側には、切削ブレード５０の種類及び特性の一方又は双方を記録した記録部５２ｃが設けられている。そのため、制御ユニット６６の判定部６６ｃは、撮像ユニット８６による撮像によって得られる画像に含まれる記録部５２ｃに対応する部分に基づいて切削ブレード５０の種類及び特性の一方又は双方の判定を行うこともできる。

すなわち、切削装置２においては、２つの判定（切削ブレード収容部７８に切削ブレードが収容されているか否かの判定及び切削ブレード５０の種類及び特性の一方又は双方の判定）が単一の撮像ユニット８６によって得られた画像に基づいて行われてもよい。この場合、切削ブレード５０の種類及び特性の一方又は双方の判定を行うための機構を新たに設ける必要がないため、切削装置２の製造コストを低減することができる。

なお、切削装置２は、本発明の一態様に過ぎず、本発明の切削装置は、切削装置２の構成に限定されない。例えば、本発明においては、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されているか否かが判定できればよく、その判定動作は、上述したものに限定されない。

具体的には、撮像ユニット８６は、例えば、可視光又は赤外線等の光を照射する投光部と、被検出物によって反射された光を受光して電気信号を生成する光電センサ等のセンサに置換されてもよい。そして、本発明においては、このセンサにおいて生成された電気信号に基づいて、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されているか否かが判定されてもよい。

また、切削ブレード収容部７８の前面（支持部材７６の表面７６ａ）側には、切削ブレード収容部７８の前面側を覆う閉鎖位置と、切削ブレード収容部７８の前面側を露出する開放位置との間で移動可能であるシャッタが設けられてもよい。

このシャッタは、例えば、閉鎖位置において、支持部材７６の表面７６ａから所定の距離ｄだけ離隔する面を有し、この面が撮像ユニット８６の照明部８６ｂから照射される光を反射できる。

そして、この場合には、このシャッタを閉鎖位置に配置した状態での撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像に基づいて、上述の判定動作と同様に、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されているか否かを判定できる。

すなわち、切削ブレード５０を支持部材７６の表面７６ａから所定の距離ｄだけ離隔する位置に位置付けることなく、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されているか否かを判定できる。

また、撮像ユニット８６の照明部８６ｂは、斜光照明ではなく、同軸照明であってもよい。この場合、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されている状態での撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像には、切削ブレード５１の基台５２の裏面に対応する比較的明るい環状の部分が含まれる。

他方、切削ブレード収容部７８に別の切削ブレード５１が収容されていない状態での撮像ユニット８６による撮像によって得られた画像には、そのような明るい環状の部分が含まれない。

そのため、撮像ユニット８６の照明部８６ｂが同軸照明に置換される場合であっても、上述の判定動作と同様の方法によって、制御ユニット６６が切削ブレード収容部７８に切削ブレード５１が収容されているか否かを判定することができる。

その他、上述した実施形態及び変形例にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ ：被加工物
１３ ：ダイシングテープ
１５ ：フレーム
２ ：切削装置
４ ：基台（４ａ，４ｂ：開口）
６ ：カセット載置台
８ ：カセット
１０ ：チャックテーブル移動機構（１０ａ：移動テーブル）
１２ ：防塵防滴カバー
１４ ：チャックテーブル（１４ａ：保持面）
１６ ：クランプ
１８ ：ガイドレール
２０ ：第１支持構造
２２ ：レール
２４ ：第１搬送ユニット移動機構
２６ ：第１搬送ユニット（２６ａ：把持部）
２８ ：レール
３０ ：第２搬送ユニット移動機構
３２ ：第２搬送ユニット
３４ ：第２支持構造
３６ａ，３６ｂ：切削ユニット移動機構
３８ａ，３８ｂ：切削ユニット
４０ ：ハウジング
４２ ：スピンドル
４４ ：マウント
４６ ：フランジ部（４６ａ：表面、４６ｂ：凸部、４６ｃ：先端面）
４８ ：支持軸（４８ａ：ねじ部、４８ｂ：凹部）
５０，５１：切削ブレード
５２ ：基台（５２ａ：開口、５２ｂ：凸部、５２ｃ：記録部）
５４ ：切刃
５６ ：ナット（５６ａ：開口、５６ｂ：貫通孔）
６０ ：カメラ
６２ ：洗浄ユニット６２（６２ａ：スピンナテーブル、６２ｂ：ノズル）
６４ ：切削ブレード交換ユニット
６６ ：制御ユニット（６６ａ：輝度算出部、６６ｂ：閾値記憶部、６６ｃ：判定部）
７０ａ，７０ｂ：切削ブレードストッカー
７２ ：支持構造
７４ ：スピンドル
７６ ：支持部材（７６ａ：表面、７６ｂ：裏面、７６ｃ：開口）
７８ ：切削ブレード収容部
８０ ：支持部材（８０ａ：表面）
８２ ：ボス部（支持軸）
８６ ：撮像ユニット（収容判定ユニット）
（８６ａ：対物レンズ、８６ｂ：照明部）
８８ ：切削ブレード搬送機構
９０ ：着脱ユニット移動機構（９０ａ：基台）
９２ ：ボールねじ
９４ ：移動ブロック
９６ ：支持部材（９６ａ：上壁部、９６ｂ：側壁部、９６ｃ：支持部）
９８ ：着脱ユニット
１００：ブレード着脱ユニット
１０２：モータ（１０２ａ：筐体、１０２ｂ：滑車）
１０４：動力伝達機構（１０４ａ：筐体、１０４ｂ：滑車、１０４ｃ：貫通孔）
１０６：シャフト
１０８：連結部材
１１０ａ，１１０ｂ：ブレード保持ユニット
１１２：支持部材
１１４ａ，１１４ｂ：ブレード把持ユニット
１１６：把持部（１１６ａ：表面）
１１８：位置決めピン
１２０：把持部材（１２０ａ：接触部）
１３０：ナット着脱ユニット
１３２：モータ（１３２ａ：筐体、１３２ｂ：滑車）
１３４：動力伝達機構（１３４ａ：筐体、１３４ｂ：滑車、１３４ｃ：貫通孔）
１３６：シャフト
１３８：連結部材
１４０ａ，１４０ｂ：ナット保持ユニット
１４２：回転部材（１４２ａ：表面）
１４４：保持ピン
１４６：把持部材（１４６ａ：爪部）
１４８：カバー

Claims (5)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削ユニットと、該切削ユニットに装着された該切削ブレードを自動的に着脱する切削ブレード交換ユニットと、を備えた切削装置であって、
   該切削ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを個別に収容する複数の切削ブレード収容部を有する切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーと該切削ユニットとの間で該切削ブレードを搬送する切削ブレード搬送機構と、を備え、
   該切削ブレードストッカーは、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されているか否かの判定に用いられる収容判定ユニットを備え、
   該切削ブレード搬送機構は、該収容判定ユニットを用いて該切削ブレードが収容されていないと判定された該切削ブレード収容部に該切削ブレードを搬入することを特徴とする切削装置。
2. 該切削ブレード搬送機構の動作を制御する制御ユニットをさらに含み、
   該収容判定ユニットは、該切削ブレード収容部に光を照射する照明部と、該照明部から光が照射された状態で光を受光して電気信号に変換する撮像素子と、を含み、
   該制御ユニットは、
   該収容判定ユニットの撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分から輝度を算出する輝度算出部と、
   該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されている状態における該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分の輝度と、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されず、かつ、該切削ブレード収容部から所定の距離だけ離れた位置に該切削ブレードが位置づけられた状態における該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該切削ブレードに対応する部分の輝度と、を区別する基準となる閾値を記憶する閾値記憶部と、
   該輝度算出部で算出された該輝度を該閾値記憶部に記憶された該閾値と比較することで、該切削ブレード収容部に該切削ブレードが収容されているか否かを判定する判定部と、を含む請求項１に記載の切削装置。
3. 該切削ブレードは、該切削ブレードの種類及び特性の一方又は双方を記録した記録部を備え、
   該判定部は、該収容判定ユニットによる撮像によって得られる画像に含まれる該記録部に対応する部分に基づいて該切削ブレードの種類及び特性の一方又は双方を判定する請求項２に記載の切削装置。
4. 該照明部は、斜光照明である請求項２又は３に記載の切削装置。
5. 該切削ブレード収容部は、透明な支持部材の表面に設けられ、
   該収容判定ユニットは、該支持部材の裏面側に配設され、
   該収容判定ユニットは、該支持部材を介して、該切削ブレードを撮像する請求項２乃至４のいずれかに記載の切削装置。

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