KR20180037116A - 절삭 장치 - Google Patents

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KR20180037116A
KR20180037116A KR1020170125035A KR20170125035A KR20180037116A KR 20180037116 A KR20180037116 A KR 20180037116A KR 1020170125035 A KR1020170125035 A KR 1020170125035A KR 20170125035 A KR20170125035 A KR 20170125035A KR 20180037116 A KR20180037116 A KR 20180037116A
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은, 드레싱의 조건에 맞는 드레싱 보드인지를 확인하는 것을 목적으로 한다.
제어 유닛은, 지정부와, 식별부와, 판정부와, 출력부를 가지며, 상기 지정부는, 드레싱 보드의 종류를 지정하는 기능을 가지며, 상기 식별부는, 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 제1 드레싱 보드의 식별 마크를 촬상 카메라로 촬상하여 얻어진 촬상 화상으로부터, 상기 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제1 드레싱 보드의 종류를 식별하는 기능을 가지며, 상기 판정부는, 상기 식별부에 의해 식별된 상기 제1 드레싱 보드의 종류가, 상기 지정부에 의해 지정된 드레싱 보드의 종류와 일치하는지 여부를 판정하는 기능을 가지며, 상기 출력부는, 상기 판정부의 판정 결과를 출력하는 기능을 갖는다.

Description

절삭 장치{CUTTING DEVICE}
본 발명은, 피가공물을 절삭 가공하는 절삭 장치에 관한 것이다.
디바이스 칩의 제조 프로세스에 있어서는, 실리콘이나 화합물 반도체로 이루어진 웨이퍼의 표면에 스트리트라고 불리는 격자형의 분할 예정 라인이 설정되고, 상기 분할 예정 라인에 의해 구획되는 각 영역에 IC, LSI 등의 디바이스가 형성된다. 이들 웨이퍼는 분할 예정 라인을 따라 절삭되어, 개개의 디바이스 칩으로 분할된다.
절삭은, 예컨대, 절삭 블레이드를 구비하는 절삭 유닛을 갖는 절삭 장치에 의해 실시된다. 절삭 블레이드는, 중앙에 구멍을 갖는 원환 형상이며, 피가공물의 종별이나 가공 내용에 따라 적절한 것이 선택되어 절삭 유닛에 장착된다. 절삭 유닛은, 회전의 축이 되는 원주형의 스핀들을 가지며, 절삭 블레이드는, 상기 구멍에 상기 스핀들이 삽입되어 상기 스핀들에 장착된다.
절삭 가공시에는, 상기 스핀들의 회전에 따라 절삭 블레이드가 회전한다. 회전하는 절삭 블레이드가 피가공물에 접촉하면 피가공물이 절삭된다. 그리고, 절삭이 진행함에 따라 절삭 블레이드는 소모되어 절삭 능력이 저하되어 간다.
원환 형상의 절삭 블레이드는, 지립과, 상기 지립을 유지하는 본드재로 이루어진다. 상기 본드재로부터 알맞게 지립이 노출되고 있는 상태에서는, 피가공물에 지립이 접촉되기 때문에, 적절하게 피가공물을 절삭할 수 있다. 그러나, 미사용의 절삭 블레이드나, 소모되어 절삭 능력이 저하된 절삭 블레이드에서는, 본드재에 지립이 매립되어 있거나 또는 지립이 본드재로부터 탈락 등을 하고 있어, 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태는 아니다.
그래서, 미사용의 절삭 블레이드나 절삭력이 저하된 절삭 블레이드를 절삭 가능한 상태로 하기 위해, 상기 절삭 블레이드를 드레싱한다. 드레싱은, 대상이 되는 절삭 블레이드를 절삭 유닛에 장착하고, 절삭 블레이드를 회전시킨 상태에서 드레싱 보드를 절삭시켜 실시한다. 드레싱 보드를 절삭하면 절삭 블레이드는 적절히 소모되고, 지립이 본드재로부터 알맞게 노출되어, 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 된다.
또한, 미사용의 절삭 블레이드를 절삭 유닛에 장착하면 회전축으로부터 절삭 블레이드의 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일하게 되지 않는 경우가 있다. 이러한 절삭 블레이드로 드레싱 보드를 절삭하면, 회전축으로부터의 거리가 비교적 큰 부분의 외주가 심하게 소모되어, 회전축으로부터 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일해지고, 절삭 블레이드가 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 된다.
이와 같이, 본드재로부터 알맞게 지립을 노출시켜(날 세움이라고도 불림), 또한, 회전축으로부터 외주까지의 거리를 균일하게 하는(진원 형성이라고도 불림) 목적을 위해, 절삭 블레이드의 드레싱이 실시된다.
여기서, 드레싱 보드는, 수지나 세라믹스 등의 본드재에, 알루미나를 베이스로 한 WA(화이트 알런덤)나 탄화규소계의 GC(그린 카보런덤) 등의 지립이 혼입되어 형성되어 있다. 그리고, 드레싱의 대상이 되는 절삭 블레이드의 종류나 드레싱의 목적에 따라 적절한 종류의 드레싱 보드가 구분되어 사용된다.
특허문헌 1에는, 드레싱에 이용되는 드레싱 보드의 일례가 개시되어 있다. 상기 드레싱 보드는, 날 세움에 사용되는 부분과, 진원 형성에 사용되는 부분을 가지며, 드레싱의 목적에 따라 각각의 부분을 사용할 수 있는 드레싱 보드이다.
또한, 특허문헌 2에는, 드레싱 보드를 유지하는 드레싱 보드용 척 테이블을 2개 가지며, 드레싱의 목적에 따라 어느 쪽의 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 드레싱 보드를 이용할지 선택할 수 있는 절삭 장치가 개시되어 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2006-218571호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2011-16175호 공보
드레싱 보드에는, 본드재와 지립의 종류나, 그 배합 비율 등이 상이한 복수의 종류가 존재한다. 그리고, 드레싱하는 절삭 블레이드의 종류나, 드레싱의 목적에 따라, 드레싱 보드는 적절히 구분되어 사용되지 않으면 안된다. 사용하는 드레싱 보드의 선택을 잘못하면, 진원 형성이나 날 세움이 적절히 되지 않아, 드레싱 보드나 절삭 블레이드의 상태를 악화시키는 경우도 있다. 그러나, 절삭 블레이드나 드레싱 보드의 종류는 많아, 사용하는 드레싱 보드의 선택을 잘못할 가능성은 높다.
특히, 피가공물의 절삭 중에 드레싱이 필요하게 되어 드레싱을 실시하고자 할 때, 드레싱 보드의 선택을 잘못하여 절삭 블레이드가 사용 불능이 되면, 절삭 블레이드를 교환하여, 재차 진원 형성 등을 해야만 한다. 그렇게 하면, 절삭 블레이드의 장착 위치나 크기 등이 약간 변하기 때문에, 새로운 절삭 블레이드를 그때까지 사용하고 있던 절삭 블레이드와 마찬가지로 피가공물에 대하여 위치시키는 것은 곤란해지고, 이미 동일한 조건으로 절삭 가공을 계속할 수 없어, 문제가 된다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 드레싱 보드가, 실시하고자 하는 드레싱의 조건에 맞는 드레싱 보드인지를 판정할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 양태에 따르면, 피가공물을 유지하는 제1 척 테이블과, 제1 절삭 블레이드를 장착 가능하고 상기 제1 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 제1 절삭 블레이드로 가공하는 제1 절삭 유닛과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 촬상하는 촬상 카메라와, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 상기 제1 절삭 블레이드를 드레싱하는 식별 마크가 붙여진 제1 드레싱 보드를 유지하는 제1 드레싱 보드용 척 테이블을 구비하며, 상기 제어 유닛은, 지정부와, 식별부와, 판정부와, 출력부를 구비하며, 상기 지정부는, 드레싱 보드의 종류를 지정하는 기능을 구비하며, 상기 식별부는, 상기 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제1 드레싱 보드의 상기 식별 마크를 상기 촬상 카메라로 촬상하여 얻어진 촬상 화상으로부터, 상기 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제1 드레싱 보드의 종류를 식별하는 기능을 구비하며, 상기 판정부는, 상기 식별부에 의해 식별된 상기 제1 드레싱 보드의 종류가, 상기 지정부에 의해 지정된 드레싱 보드의 종류와 일치하는지 여부를 판정하는 기능을 구비하며, 상기 출력부는, 상기 판정부의 판정 결과를 출력하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.
또한, 본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 식별 마크는, 바코드, 패턴, 요철부, 또는, 이들에 칠해진 색으로 구성되어도 좋다. 또한, 본 발명의 일 양태에 있어서, 제2 절삭 블레이드를 장착 가능하고 상기 제1 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 제2 절삭 블레이드로 가공하는 제2 절삭 유닛과, 상기 제2 절삭 블레이드를 드레싱하는 식별 마크가 붙여진 제2 드레싱 보드를 유지하는 제2 드레싱 보드용 척 테이블을 더 구비하며, 상기 식별부는, 상기 제2 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제2 드레싱 보드의 상기 식별 마크를 상기 촬상 카메라로 촬상하여 얻어진 촬상 화상으로부터, 상기 제2 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제2 드레싱 보드의 종류를 식별하는 기능을 더 구비하며, 상기 판정부는, 상기 식별부에 의해 식별된 상기 제2 드레싱 보드의 종류가, 상기 지정부에 의해 지정된 드레싱 보드의 종류인지 여부를 판정하는 기능을 더 구비해도 좋다.
본 발명의 일 양태에 따른 절삭 장치는, 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 드레싱 보드에 붙여진 식별 마크를 촬상 카메라로 촬상하고, 실시하고자 하는 드레싱의 조건에 맞는 드레싱 보드가 장착되어 있는지 여부를 판정할 수 있다. 그리고, 판정 결과를 출력하여 절삭 장치의 오퍼레이터에게 통지한다. 그 때문에, 잘못된 드레싱 보드가 드레싱 보드용 척 테이블에 장착되어 있다는 것은, 그 판정 결과를 오퍼레이터에게 통지하여 경고할 수 있다.
잘못된 드레싱 보드가 드레싱 보드용 척 테이블에 설치되어 있는 것을 안 오퍼레이터는, 올바른 드레싱 보드를 다시 설치할 수 있다. 그 때문에, 상기 절삭 장치에서는, 잘못된 드레싱 보드를 사용하여 드레싱을 실시할 우려가 없다.
이상과 같이, 본 발명에 의해 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 드레싱 보드가, 실시하고자 하는 드레싱의 조건에 맞는 드레싱 보드인지를 판정할 수 있는 절삭 장치가 제공된다.
도 1은 절삭 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 절삭 장치의 절삭 유닛, 척 테이블, 드레싱 보드용 척 테이블, 촬상 카메라의 위치 관계를 설명하는 부분 단면도이다.
도 3의 (A)는 드레싱 보드에 붙여진 식별 마크의 일례를 나타낸 사시도이고, 도 3의 (B)는 드레싱 보드에 붙여진 식별 마크의 다른 일례를 나타낸 사시도이며, 도 3의 (C)는 드레싱 보드에 붙여진 식별 마크의 다른 일례를 나타낸 사시도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 따른 실시형태에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)의 구성예를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(2)는, 각 구조를 지지하는 베이스(4)를 구비하고 있다.
베이스(4)의 전방의 코너부에는, 직사각형의 개구(4a)가 형성되어 있고, 이 개구(4a) 내에는, 승강하는 카세트 지지대(6)가 설치되어 있다. 카세트 지지대(6)의 상면에는, 복수의 피가공물(11)을 수용하는 카세트(8)가 실린다. 또한, 도 1에서는, 설명의 편의상, 카세트(8)의 윤곽만을 나타내고 있다.
피가공물(11)은, 예컨대, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원형의 웨이퍼이며, 그 표면측은, 중앙의 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역으로 나누어진다. 디바이스 영역(15)은, 격자형으로 배열된 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 더 구획되어 있고, 각 영역에는, IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다.
피가공물(11)의 이면측에는, 피가공물(11)보다도 직경이 큰 다이싱 테이프(17)가 부착되어 있다. 다이싱 테이프(17)의 외주 부분은, 환형의 프레임(19)에 고정되어 있다. 즉, 피가공물(11)은, 다이싱 테이프(17)를 통해 프레임(19)에 지지되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어진 원형의 웨이퍼를 피가공물(11)로 하고 있지만, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조 등에 제한은 없다. 예컨대, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어진 직사각형의 기판을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다. 디바이스의 종류, 수량, 배치 등에도 제한은 없다.
카세트 지지대(6)의 측방에는, X축 방향(전후 방향, 가공 이송 방향)으로 긴 직사각형의 개구(4b)가 형성되어 있다. 이 개구(4b) 내에는, X축 이동 테이블(10), X축 이동 테이블(10)을 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(도시하지 않음) 및 X축 이동 기구를 덮는 방진(防塵) 방적(防滴) 커버(12)가 설치되어 있다.
X축 이동 기구는, X축 방향에 평행한 한 쌍의 X축 가이드 레일(도시하지 않음)을 구비하고 있고, X축 가이드 레일에는, X축 이동 테이블(10)이 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. X축 이동 테이블(10)의 하면측에는, 너트부(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, X축 가이드 레일에 평행한 X축 볼나사(도시하지 않음)가 나사 결합되어 있다.
X축 볼나사의 일단부에는, X축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터로 X축 볼나사를 회전시킴으로써, X축 이동 테이블(10)은, X축 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동한다.
X축 이동 테이블(10)의 위쪽에는, 피가공물(11)을 유지하기 위한 척 테이블(14)이 설치되어 있다. 척 테이블(14)의 주위에는, 피가공물(11)을 지지하는 환형의 프레임(19)을 사방에서 고정하기 위한 4개의 클램프(16)가 배치되어 있다.
척 테이블(14)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 연결되어 있고, Z축 방향(수직 방향)에 대략 평행한 회전축 주위로 회전한다. 또한, 척 테이블(14)은, 전술한 X축 이동 기구에 의해 X축 방향으로 가공 이송된다.
척 테이블(14)의 상면은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(14a)이 되고 있다. 이 유지면(14a)은, 척 테이블(14)의 내부에 형성된 흡인로 등을 통하여 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다.
개구(4b)에 근접하는 위치에는, 전술한 피가공물(11)을 척 테이블(14)로 반송하는 반송 유닛(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 반송 유닛에 의해 반송된 피가공물(11)은, 예컨대, 표면측이 위쪽으로 노출되도록 척 테이블(14)의 유지면(14a)에 실린다.
베이스(4)의 상면에는, 2세트의 절삭 유닛(22)(제1 절삭 유닛(22a), 제2 절삭 유닛(22b))을 지지하기 위한 문짝 모양의 지지 구조(24)가, 개구(4b)를 사이에 두고 걸쳐 있도록 배치되어 있다. 지지 구조(24)의 전면 상부에는, 각 절삭 유닛(22)을 Y축 방향(좌우 방향, 인덱싱 이송 방향) 및 Z축 방향으로 이동시키는 2세트의 절삭 유닛 이동 기구(26)가 설치되어 있다.
각 절삭 유닛 이동 기구(26)는, 지지 구조(24)의 전면에 배치되고 Y축 방향에 평행한 한 쌍의 Y축 가이드 레일(28)을 공통으로 구비하고 있다. Y축 가이드 레일(28)에는, 각 절삭 유닛 이동 기구(26)를 구성하는 Y축 이동 플레이트(30)가 슬라이드 가능하게 부착되어 있다.
각 Y축 이동 플레이트(30)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, Y축 가이드 레일(28)에 평행한 Y축 볼나사(32)가 각각 나사 결합되어 있다. 각 Y축 볼나사(32)의 일단부에는, Y축 펄스 모터(34)가 연결되어 있다. Y축 펄스 모터(34)로 Y축 볼나사(32)를 회전시키면, Y축 이동 플레이트(30)는, Y축 가이드 레일(28)을 따라 Y축 방향으로 이동한다.
각 Y축 이동 플레이트(30)의 표면(전면)에는, Z축 방향에 평행한 한 쌍의 Z축 가이드 레일(36)이 설치되어 있다. Z축 가이드 레일(36)에는, Z축 이동 플레이트(38)가 슬라이드 가능하게 부착되어 있다.
각 Z축 이동 플레이트(38)의 이면측(후면측)에는, 너트부(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 이 너트부에는, Z축 가이드 레일(36)에 평행한 Z축 볼나사(40)가 각각 나사 결합되어 있다. 각 Z축 볼나사(40)의 일단부에는, Z축 펄스 모터(42)가 연결되어 있다. Z축 펄스 모터(42)로 Z축 볼나사(40)를 회전시키면, Z축 이동 플레이트(38)는, Z축 가이드 레일(36)을 따라 Z축 방향으로 이동한다.
각 Z축 이동 플레이트(38)의 하부에는, 절삭 유닛(22)이 설치되어 있다. 이 절삭 유닛(22)은, 회전축이 되는 스핀들(44)(도 2 참조)의 일단측에 장착된 원환형의 절삭 블레이드(46)(도 2 참조)를 구비하고 있다. 또한, 절삭 유닛(22)에 인접한 위치에는, 피가공물(11) 등을 촬상하는 촬상 카메라(촬상 유닛)(48)가 설치되어 있다.
각 절삭 유닛 이동 기구(26)로 Y축 이동 플레이트(30)를 Y축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛(22) 및 촬상 카메라(48)는, Y축 방향으로 인덱싱 이송된다. 또한, 각 절삭 유닛 이동 기구(26)로 Z축 이동 플레이트(38)를 Z축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛(22) 및 촬상 카메라(48)는, 승강한다.
개구(4b)에 대하여 개구(4a)와 반대측의 위치에는, 원형의 개구(4c)가 형성되어 있다. 개구(4c) 내에는, 절삭 후의 피가공물(11) 등을 세정하기 위한 세정 유닛(50)이 설치되어 있다. X축 이동 기구, 척 테이블(14), 절삭 유닛(22), 절삭 유닛 이동 기구(26), 촬상 카메라(48), 세정 유닛(50) 등의 구성 요소에는, 제어 유닛(제어 수단)(52)이 접속되어 있다. 각 구성 요소는, 이 제어 유닛(제어 수단)(52)에 의해 제어된다.
또한, 본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)의 X축 이동 테이블(10)에는, 2개의 드레싱 보드용 척 테이블(54)이 설치되어 있다. 도 2는 드레싱 보드용 척 테이블(54)의 하나의 구성예를 도시한 모식도이다.
도 2에는, 드레싱 보드(21)를 촬상하는 위치에 위치된 상태의 촬상 카메라(48)와, 피가공물(11)의 절삭 가공을 시작하는 위치에 위치된 상태의 절삭 블레이드(46)를 동시에 나타낸다. 단, 도 1에 도시된 절삭 장치(2)의 구성상, 촬상 카메라(48)와, 절삭 블레이드(46)를 동시에 각각 이와 같이 위치시킬 수는 없다. 도 2에는, 설명의 편의상, 각각 이와 같이 위치된 상태로 표시한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 드레싱 보드용 척 테이블(54)은, X축 이동 테이블(10)의 척 테이블(14)의 후단측에 배치되어 있고, 절삭 블레이드(46)를 드레싱할 때에 이용된다. 상기 드레싱 보드용 척 테이블(54)은, X축 이동 테이블(10)로부터 후방으로 신장되는 지지판(56)을 갖고 있다. 지지판(56)의 전단측 하면은, X축 이동 테이블(10)의 후단측 상면에 고정되어 있다.
드레싱 보드용 척 테이블(54)의 상면은, 드레싱 보드를 유지하는 유지면(54a)이다. 유지면(54a)에는, 예컨대, 평면에서 보아 십자형(크로스형)의 흡인 홈이 형성되어 있고, 십자(크로스)의 중심에는 흡인 구멍이 형성되어 있다. 상기 흡인 구멍은, 드레싱 보드용 척 테이블(54) 내부의 흡인로(도시하지 않음)를 경유하여 도시하지 않은 흡인원으로 통해 있다.
드레싱 보드용 척 테이블(54)의 유지면(54a)에 드레싱 보드(21)가 배치되면, 상기 흡인원으로부터 부압을 작용시켜, 드레싱 보드(21)를 유지면(54a) 상에 흡인 유지한다.
또한, 절삭 장치(2)에 드레싱 보드용 척 테이블(54)이 구비되어 있지 않으면, 절삭 블레이드의 드레싱을 실시할 때, 척 테이블(14)에 드레싱 보드(21)를 유지시키게 된다. 그렇게 하면, 절삭 가공을 할 때에는 척 테이블(14)에 유지된 드레싱 보드(21)를 제거하고, 대신에 피가공물(11)을 유지시킬 필요가 있지만, 이 교환 작업은 시간이 걸린다.
또한, 절삭 공정 중에 절삭 블레이드가 소모되어, 절삭 블레이드를 드레싱하고 싶은 경우, 척 테이블(14)에 드레싱 보드(21)를 유지시키기 위해서는 피가공물(11)을 이동시킬 필요가 있다. 그리고, 드레싱 후에 상기 절삭 공정을 계속하기 위해서는 피가공물(11)을 이동하기 전의 상태와 완전히 똑같이 재차 위치시키지 않으면 안 되어, 이것은 곤란하다. 절삭 장치(2)에 척 테이블(14)과는 별도로 드레싱 보드용 척 테이블(54)이 설치되어 있으면, 이러한 문제는 발생하지 않는다.
또한, 드레싱 보드용 척 테이블(54)은, X축 이동 테이블(10)의 척 테이블(14)의 후단측에 배치된다. 드레싱 보드용 척 테이블(54)이, 척 테이블(14)의 전단측에 배치되어 있으면, 드레싱 보드(21)의 절삭 부스러기가 척 테이블(14) 상에 유지되어 있는 피가공물(11) 위에 비산되어 버려, 피가공물(11)이 오염되게 된다.
촬상 카메라(48)는, 척 테이블(14)에 유지된 피가공물(11)이 절삭 가공될 때에, 피가공물(11)을 촬상하여 절삭하는 위치를 인덱싱할 때에 이용하는 키 패턴이나 절삭 예정 라인을 확인하는 데 이용된다. 또한, 촬상 카메라(48)는, 드레싱 보드용 척 테이블(54)의 위쪽으로 이동할 수 있고, 유지면(54a)에 유지된 드레싱 보드(21)를 촬상할 수 있다. 드레싱 보드(21)에는 식별 마크(23)(도 3 참조)가 붙여져 있고, 촬상 화상에는 상기 식별 마크(23)가 비춰보인다. 그리고, 촬상하여 얻어진 화상 데이터는 절삭 장치(2)의 제어 유닛(52)으로 보내진다.
다음에, 절삭 장치(2)의 제어 유닛(52)의 구성 요소에 대해서 도 1을 이용하여 설명하고, 또한 각각의 기능에 대해서 설명한다. 또한, 제어 유닛(52)은, 예컨대, 절삭 장치(2)의 관리 장치이며, 제어 유닛(52)과, 이하에 설명하는 각 구성 요소와 그 기능은, 상기 관리 장치에 프로그램으로서 실현되어도 좋다.
제어 유닛(52)은 지정부(52a)를 가지며, 상기 지정부(52a)에는 절삭 블레이드(46)에 관한 정보가 입력된다. 그리고, 지정부(52a)는, 입력된 절삭 블레이드(46)에 관한 정보를 기초로, 상기 절삭 블레이드(46)의 드레싱에 사용되어야 할 드레싱 보드의 종류를 지정한다.
지정된 드레싱 보드의 종류에 관한 정보는, 제어 유닛(52)의 출력부(52d)로 보내지고, 출력부(52)는 절삭 장치(2)의 오퍼레이터에게 상기 드레싱 보드의 종류를 전달한다. 출력부(52)는, 예컨대 디스플레이를 가지며, 화면에 상기 드레싱 보드의 종류를 표시한다. 그리고, 오퍼레이터는 해당하는 종류의 드레싱 보드(21)를 드레싱 보드용 척 테이블(54)의 유지면(54a) 위에 배치한다. 상기 드레싱 보드는 유지면(54a) 상에 흡인 유지된다.
제어 유닛(52)은, 도 2에 도시된 바와 같이 촬상 카메라(48)를 드레싱 보드용 척 테이블(54)의 위쪽으로 이동시켜, 흡인 유지된 상기 드레싱 보드(21)를 촬상시킨다. 얻어진 촬상 화상은, 제어 유닛(52)의 식별부(52b)로 보내진다. 식별부(52b)는, 상기 촬상 화상에 투영된 식별 마크(23)를 추출하고, 상기 식별 마크(23)(도 3 참조)로부터 상기 드레싱 보드(21)의 종류를 식별하고, 상기 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보를, 제어 유닛(52)의 판정부(52c)로 보낸다.
제어 유닛(52)의 판정부(52c)는, 식별부(52b)로부터 드레싱용 척 테이블(54)에 유지된 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보를 수취한다. 또한, 지정부(52a)로부터, 지정된 드레싱 보드의 종류에 관한 정보를 수취한다. 그리고, 양자가 일치하는지 여부를 판정하고, 판정 결과에 관한 정보를 출력부(52d)로 보낸다. 출력부(52d)는, 상기 판정 결과를 출력하여 장치의 오퍼레이터에게 상기 판정 결과를 통지한다. 예컨대, 출력부(52d)가 디스플레이를 갖는 경우, 화면에 판정 결과를 표시한다.
출력부(52d)는, 예컨대 버저를 더 가져도 좋고, 그 경우 특히 판정 결과가 불일치인 경우에는, 경고음을 발하여 장치의 오퍼레이터에게 경고한다. 출력부(52d)가 이러한 버저를 갖는 경우, 오퍼레이터는 버저가 경고음을 발할 때 이외에는 드레싱 보드(21)의 종류에 대해서 주의할 필요가 없다. 또한, 판정 결과가 일치인 경우에, 상기 버저는 정상 상태인 것을 알리는 소리를 내도 좋다.
상기 판정 결과가 일치인 경우, 상기 드레싱 보드(21)는, 절삭 블레이드(46)의 드레싱에 적합한 종류이기 때문에, 문제없이 상기 드레싱 보드(21)를 사용하여 절삭 블레이드(46)를 드레싱할 수 있다. 한편, 판정 결과가 불일치인 경우, 드레싱용 척 테이블(54)에 유지된 드레싱 보드(21)는 부적합하기 때문에, 장치의 오퍼레이터는 드레싱 보드(21)를 적절한 것으로 교환한다. 그리고, 제어 유닛(52)이 재차 판정하게 한다.
이와 같이, 절삭 장치(2)의 촬상 카메라(48)에 의해 드레싱 보드(21)를 촬상하여, 제어 유닛(52)에 의해 드레싱 보드의 종류를 판별하면, 드레싱 보드(21)가 드레싱의 조건에 맞는지를 판정할 수 있다.
다음에, 드레싱 보드(21)에 붙여진 식별 마크(23)에 대해서, 도 3의 (A) 내지 (C)를 이용하여 설명한다. 도 3의 (A) 내지 도 3의 (C)는 드레싱 보드(21)와, 상기 드레싱 보드(21)에 붙여진 식별 마크(23)(23a, 23b, 23c)를 나타내는 사시도이다.
도 3의 (A)에 도시된 바와 같이, 드레싱 보드(21)에 붙여지는 식별 마크(23a)는, 바코드로 구성된다. 상기 식별 코드(23a)는, 예컨대, 드레싱 보드(21) 상에 인쇄하여 형성한다. 또는, 레이저 가공 장치 등을 이용하여 드레싱 보드(21)에 각인하여 형성한다. 또는, 상기 식별 코드(23a)가 인쇄된 테이프를 드레싱 보드(21) 상에 접착시켜 구성한다.
식별 마크(23a)에는, 상기 식별 마크(23a)가 붙여진 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보가 저장되어 있고, 상기 식별 마크(23a)로부터 드레싱 보드(21)의 종류를 식별할 수 있다.
식별 마크(23)는, 바코드가 아니어도 좋고, 예컨대, 도 3의 (B)에 도시된 바와 같이, 패턴으로 구성된 식별 마크(23b)라도 좋다. 패턴으로 구성된 식별 마크(23b)도 마찬가지로, 인쇄, 각인, 또는 시일의 접착 등에 의해 형성된다. 상기 식별 마크(23b)에는, 상기 식별 마크(23b)가 붙여진 상기 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보가 저장되어 있다.
또한, 식별 마크(23)는, 바코드나 패턴이 아니어도 좋고, 예컨대, 도 3의 (C)에 도시된 바와 같이, 요철부로 구성된 식별 마크(23c)라도 좋다. 요철부로 구성된 식별 마크(23c)도 마찬가지로, 인쇄, 각인 등에 의해 형성된다. 또한, 엠보스 가공 등이 행해져 요철이 형성된 시일을 접착하거나, 볼록 부분의 평면 형상과 동일한 평면 형상을 갖는 시일을 접착하여 형성된다.
또한, 식별 마크(23)에는, 바코드, 패턴, 또는, 요철부에 칠해진 색도 포함되며, 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보의 표시에 이용된다. 예컨대, 드레싱 보드(21)의 제조시에 식별 마크(23)로서 바코드를 인쇄하는 경우, 제조의 시기에 따라 상기 인쇄에 사용하는 잉크의 색을 변경해 나가면, 식별 마크(23)에 칠해진 색으로부터 드레싱 보드(21)의 제조 시기를 판별할 수 있다. 또한, 식별 마크(23)는 이들에 한정되지 않는다.
본 실시형태에 따른 절삭 장치(2)에 설치하는 드레싱 보드(21)에는, 전술한 바와 같이 식별 마크(23)가 붙여져 있다. 상기 절삭 장치(2)는, 피가공물(11)의 촬상에 이용하는 촬상 카메라(48)를 이용하여 드레싱 보드(21)를 촬상하여 촬상 화상에 투영된 상기 식별 마크(23)를 이용하여 드레싱 보드(21)의 종류에 관한 정보를 얻는다. 그리고, 절삭 블레이드(46)에 적합하다고 판정된 드레싱 보드(21)를 이용하여 절삭 블레이드(46)를 드레싱할 수 있다. 그 때문에, 부적합한 드레싱 보드(21)를 이용하여 드레싱할 우려는 없다.
또한, 본 발명은, 상기한 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기한 실시형태에 있어서는, 절삭 유닛(22)과, 드레싱 보드용 척 테이블(54)을 각각 2개 구비하는 절삭 장치(2)에 대해서 설명하였다. 그러나, 절삭 장치(2)가 구비하는 절삭 유닛과, 드레싱 보드용 척 테이블의 수는 이것에 한정되지 않고, 예컨대, 절삭 장치(2)는 각각 하나를 구비하여도 좋다.
또한, 예컨대, 상기한 실시형태에 있어서는, 식별 마크로부터 드레싱 보드의 종류를 판별하였다. 그러나, 드레싱 보드뿐만 아니라, 절삭 블레이드에도 식별 마크를 붙여서, 절삭 장치의 촬상 카메라로 절삭 블레이드의 종류를 판별하게 하여도 좋다. 그렇게 하면, 절삭 블레이드의 종류에 관한 정보를 자동적으로 제어 유닛에 입력할 수 있기 때문에, 입력 시간이 저감될 수 있고, 절삭 블레이드의 종류의 입력을 잘못할 우려가 없어진다.
그 밖에, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적 범위를 벗어나지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
2 : 절삭 장치 4 : 베이스
4a, 4b, 4c : 개구 6 : 카세트 지지대
8 : 카세트 10 : X축 이동 테이블
12 : 반진 방적 커버 14 : 척 테이블
14a : 유지면 16 : 클램프
22 : 절삭 유닛 22a : 제1 절삭 유닛
22b : 제2 절삭 유닛 24 : 지지 구조
26 : 절삭 유닛 이동 기구 28 : Y축 가이드 레일
30 : Y축 이동 플레이트 32 : Y축 볼나사
34 : Y축 펄스 모터 36 : Z축 가이드 레일
38 : Z축 이동 플레이트 40 : Z축 볼나사
42 : Z축 펄스 모터 46 : 절삭 블레이드
48 : 촬상 카메라(촬상 유닛) 50 : 세정 유닛
52 : 제어 유닛(제어 수단) 52a : 지정부
52b : 식별부 52c : 판정부
52d : 출력부 54 : 드레싱 보드용 척 테이블
54a : 유지면 56 : 지지판
11 : 피가공물 15 : 디바이스 영역
17 : 다이싱 테이프 19 : 프레임
21 : 드레싱 보드 23, 23a, 23b, 23c : 식별 마크

Claims (3)

  1. 절삭 장치에 있어서,
    피가공물을 유지하는 제1 척 테이블과, 제1 절삭 블레이드를 장착 가능하고 상기 제1 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 제1 절삭 블레이드로 가공하는 제1 절삭 유닛과, 상기 제1 척 테이블에 유지된 피가공물을 촬상하는 촬상 카메라와, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 상기 제1 절삭 블레이드를 드레싱하는 식별 마크가 붙여진 제1 드레싱 보드를 유지하는 제1 드레싱 보드용 척 테이블을 구비하며,
    상기 제어 유닛은, 지정부와, 식별부와, 판정부와, 출력부를 구비하며,
    상기 지정부는, 드레싱 보드의 종류를 지정하는 기능을 구비하며,
    상기 식별부는, 상기 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제1 드레싱 보드의 상기 식별 마크를 상기 촬상 카메라로 촬상하여 얻어진 촬상 화상으로부터, 상기 제1 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제1 드레싱 보드의 종류를 식별하는 기능을 구비하며,
    상기 판정부는, 상기 식별부에 의해 식별된 상기 제1 드레싱 보드의 종류가, 상기 지정부에 의해 지정된 드레싱 보드의 종류와 일치하는지 여부를 판정하는 기능을 구비하며,
    상기 출력부는, 상기 판정부의 판정 결과를 출력하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 식별 마크는, 바코드, 패턴, 요철부, 또는 이들에 칠해진 색으로 구성되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 절삭 블레이드를 장착 가능하고 상기 제1 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 제2 절삭 블레이드로 가공하는 제2 절삭 유닛과,
    상기 제2 절삭 블레이드를 드레싱하는 식별 마크가 붙여진 제2 드레싱 보드를 유지하는 제2 드레싱 보드용 척 테이블을 구비하며,
    상기 식별부는, 상기 제2 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제2 드레싱 보드의 상기 식별 마크를 상기 촬상 카메라로 촬상하여 얻어진 촬상 화상으로부터, 상기 제2 드레싱 보드용 척 테이블에 유지된 상기 제2 드레싱 보드의 종류를 식별하는 기능을 더 구비하며,
    상기 판정부는, 상기 식별부에 의해 식별된 상기 제2 드레싱 보드의 종류가, 상기 지정부에 의해 지정된 드레싱 보드의 종류인지 여부를 판정하는 기능을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
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