KR20210142537A - 블레이드 교환 장치 및 블레이드 교환 장치의 조정 방법 - Google Patents

블레이드 교환 장치 및 블레이드 교환 장치의 조정 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 절삭 블레이드를 적절히 유지 가능한 블레이드 교환 장치를 제공한다.
(해결 수단) 절삭 장치에 구비된 스핀들의 선단부에 고정되어 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치에 있어서, 투명한 지지 부재의 표면측에서 절삭 블레이드를 보관하는 이동 가능한 보관부를 가지는 블레이드 보관부와, 절삭 블레이드를 유지하는 유지부와, 유지부를 보관부와 스핀들의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 절삭 블레이드를 반송하는 반송 유닛과, 지지 부재의 이면측에 설치되고, 지지 부재를 통해 지지 부재의 표면측에 위치된 유지부를 촬영하는 카메라와, 블레이드 보관부와 반송 유닛의 동작을 제어하는 동작 제어부와, 블레이드 보관부에 절삭 블레이드를 착탈할 때의 보관부 및 유지부의 위치가 등록되는 위치 등록부를 가지는 제어 유닛을 구비하고, 보관부는, 카메라로 촬영 가능한 제1 표시부를 구비하고, 유지부는, 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부를 구비한다.

Description

블레이드 교환 장치 및 블레이드 교환 장치의 조정 방법{BLADE EXCHANGE APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING BLADE EXCHANGE APPARATUS}
본 발명은, 절삭 장치에 장착된 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치, 및 상기 블레이드 교환 장치의 조정 방법에 관한 것이다.
디바이스 칩의 제조 공정에서는, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 구획된 복수의 영역에 각각, IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration) 등의 디바이스가 형성된 웨이퍼가 이용된다. 이 웨이퍼를 분할 예정 라인을 따라 분할하는 것에 의해, 디바이스를 각각 구비한 복수의 디바이스 칩을 얻을 수 있다. 디바이스 칩은, 휴대 전화, 컴퓨터 등의 여러 가지 전자 기기에 탑재된다.
상기한 웨이퍼로 대표되는 피가공물의 분할에는, 절삭 장치가 이용된다. 절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 피가공물에 절삭 가공을 실시하는 절삭 유닛을 구비한다. 절삭 유닛은, 웨이퍼를 절삭하는 환형의 절삭 블레이드가 고정되는 스핀들을 구비하고 있고, 절삭 블레이드는 너트에 의해 스핀들의 선단부에 고정된다. 절삭 유닛에 장착된 절삭 블레이드를 회전시켜 피가공물에 절입시키는 것에 의해, 피가공물이 절삭되고, 분할된다.
절삭 블레이드는, 피가공물의 절삭에 의해 마모하기 때문에, 정기적으로 교환된다. 절삭 블레이드를 교환할 때에는, 우선, 절삭 블레이드를 고정하고 있는 너트를 풀어 분리하고, 사용이 끝난 절삭 블레이드를 분리한다. 그 후, 교환용의 절삭 블레이드를 스핀들의 선단부에 장착하고, 너트로 교환용의 절삭 블레이드를 고정한다. 이 절삭 블레이드의 교환 작업은, 수동으로 실시하면 시간이 걸리고, 또한, 작업 중에 절삭 블레이드나 너트가 잘못하여 낙하할 우려가 있다. 따라서, 절삭 블레이드의 교환을 자동으로 실시하려는 시도가 이루어지고 있다.
특허문헌 1에는, 절삭 블레이드의 교환을 자동으로 실시하는 블레이드 교환 장치가 개시되어 있다. 이 블레이드 교환 장치는, 절삭 블레이드의 착탈을 실시하는 기구(블레이드 착탈 수단)와, 절삭 블레이드를 스핀들에 고정하기 위한 너트의 착탈을 실시하는 기구(너트 착탈 수단)를 구비하고 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 블레이드 교환 장치와 스핀들과의 위치 맞춤을 행하기 위한 위치 조정 지그가 개시되어 있다.
일본 공개특허공보 평 6-326186호 일본 공개특허공보 제2016-144838호
블레이드 교환 장치는, 스핀들의 선단부에 고정된 사용이 끝난 절삭 블레이드나, 미리 정해진 블레이드 보관부에 보관되어 있는 교환용의 절삭 블레이드(미사용의 절삭 블레이드)를 유지하는 블레이드 유지부를 구비한다. 예컨대 블레이드 유지부는, 복수의 파지 부재(파지 클로)로 절삭 블레이드를 끼워 넣는 것에 의해, 절삭 블레이드를 유지한다.
절삭 블레이드의 교환을 실시할 때에는, 우선, 블레이드 보관부에 보관되어 있는 교환용의 절삭 블레이드가 블레이드 유지부에 의해 유지된다. 이 때, 블레이드 유지부와 블레이드 보관부의 위치 맞춤이 정확하게 실시되지 않으면, 블레이드 유지부에 의해 교환용의 절삭 블레이드가 적절히 유지되기 어려워진다.
또한, 복수의 파지 부재로 절삭 블레이드를 파지하는 블레이드 유지부를 대신하여, 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 기구를 구비한 블레이드 유지부가 이용되는 경우가 있다. 이 블레이드 유지부는 절삭 블레이드의 임의의 위치를 흡인할 수 있기 때문에, 블레이드 유지부와 블레이드 보관부의 위치 맞춤에 다소의 오차가 있어도, 교환용의 절삭 블레이드를 흡인 유지할 수 있다. 한편, 블레이드 유지부에 의해 교환용의 절삭 블레이드가 흡인 유지된 상태에 있어서, 교환용의 절삭 블레이드와 블레이드 유지부의 위치 관계에 편차가 생기기 쉽다.
블레이드 유지부에 대한 교환용의 절삭 블레이드의 위치에 편차가 있으면, 교환용의 절삭 블레이드를 스핀들에 장착할 때에, 교환용의 절삭 블레이드와 스핀들과의 위치 관계에도 편차가 생긴다. 그 결과, 교환용의 절삭 블레이드를 스핀들에 접근시켰을 때, 절삭 블레이드가 스핀들에 부적절하게 접촉하여, 절삭 블레이드나 스핀들이 상처가 생기거나, 절삭 블레이드의 파편이 스핀들에 부착하여, 절삭 블레이드의 교환 작업이 저해되는 경우가 있다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 절삭 블레이드를 적절히 유지 가능한 블레이드 교환 장치, 및, 상기 블레이드 교환 장치의 조정 방법의 제공을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 절삭 장치에 구비된 스핀들의 선단부에 고정되어 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치의 조정 방법에 있어서, 상기 블레이드 교환 장치는, 투명한 지지 부재의 표면측에서 상기 절삭 블레이드를 보관하는 이동 가능한 보관부를 가지는 블레이드 보관부와, 상기 절삭 블레이드를 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 보관부와 상기 스핀들의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 절삭 블레이드를 반송하는 반송 유닛과, 상기 지지 부재의 이면측에 설치되고, 상기 지지 부재를 통해 상기 지지 부재의 표면측에 위치된 상기 유지부를 촬영하는 카메라와, 상기 블레이드 보관부와 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 동작 제어부와, 상기 블레이드 보관부에 상기 절삭 블레이드를 착탈할 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치가 등록되는 위치 등록부를 가지는 제어 유닛을 구비하고, 상기 보관부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제1 표시부를 구비하고, 상기 유지부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부를 구비하고, 상기 카메라로 상기 제1 표시부를 촬영하는 것과 함께 상기 지지 부재를 통해 상기 제2 표시부를 촬영하는 것에 의해, 상기 제1 표시부 및 상기 제2 표시부를 포함한 화상을 취득하고, 상기 화상에 기초하여 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 미리 정해진 위치 관계로 배치되었을 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치를, 지정 위치로서 상기 위치 등록부에 등록하는 등록 단계와, 상기 보관부와 상기 유지부를 상기 위치 등록부에 등록된 상기 지정 위치에 배치되도록 이동시키고, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있는지 아닌지를 판정하는 판정 단계와, 상기 판정 단계에서 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있지 않다고 판정된 경우, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 미리 정해진 관계로 배치되도록 상기 보관부 또는 상기 유지부의 위치를 조정한 후, 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치를 상기 지정 위치로서 상기 위치 등록부에 덮어쓰기하는 덮어쓰기 단계를 구비한 블레이드 교환 장치의 조정 방법이 제공된다.
또한, 바람직하게는, 상기 유지부는, 상기 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인 유지부 또는 상기 절삭 블레이드를 파지하는 파지부이다.
또한, 본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 절삭 장치에 구비된 스핀들의 선단부에 고정되어 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치에 있어서, 투명한 지지 부재의 표면측에서 상기 절삭 블레이드를 보관하는 이동 가능한 보관부를 가지는 블레이드 보관부와, 상기 절삭 블레이드를 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 보관부와 상기 스핀들의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 절삭 블레이드를 반송하는 반송 유닛과, 상기 지지 부재의 이면측에 설치되고, 상기 지지 부재를 통해 상기 지지 부재의 표면측에 위치된 상기 유지부를 촬영하는 카메라와, 상기 블레이드 보관부와 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 동작 제어부와, 상기 블레이드 보관부에 상기 절삭 블레이드를 착탈할 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치가 등록되는 위치 등록부를 가지는 제어 유닛을 구비하고, 상기 보관부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제1의 표시부를 구비하고, 상기 유지부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부를 구비한 블레이드 교환 장치가 제공된다.
또한, 바람직하게는, 상기 유지부는, 상기 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인 유지부 또는 상기 절삭 블레이드를 파지하는 파지부이다.
본 발명의 일 양태와 관련되는 블레이드 교환 장치는, 카메라로 촬영 가능한 제1 표시부가 설치된 보관부와, 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부가 설치된 유지부를 구비한다. 이에 의해, 카메라에 의해 취득된 화상에 기초하여 제1 표시부와 제2 표시부가 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있는지 아닌지를 판정하여, 보관부와 유지부의 위치 관계의 적부(適否)를 확인하는 것이 가능해진다.
그리고, 제1 표시부와 제2 표시부가 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있지 않았다고 판정된 경우에는, 보관부와 유지부의 위치 관계를 조정하고, 그 때의 보관부 및 유지부의 위치를 지정 위치로서 등록부에 덮어쓰기할 수 있다. 이에 의해, 보관부와 유지부의 적절한 위치 관계가 정기적으로 갱신되고, 보관부에 보관되고 있는 절삭 블레이드를 유지부에 따라 적절히 유지 가능한 상태가 유지된다.
도 1은 절삭 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 절삭 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 3은 블레이드 교환 장치를 나타내는 사시도이다.
도 4는 블레이드 보관부를 나타내는 사시도이다.
도 5는 반송 유닛을 나타내는 사시도이다.
도 6은 블레이드 보관부와 블레이드 흡인 유닛이 대향한 상태의 블레이드 교환 장치를 나타내는 사시도이다.
도 7은 등록 단계에 있어서의 블레이드 교환 장치를 나타내는 정면도이다.
도 8(A)는 등록 단계에 있어서 취득된 화상을 나타내는 화상도이고, 도 8(B)는 서로 겹치지 않는 제1 표시부와 제2 표시부를 포함한 화상을 나타내는 화상도이다.
도 9(A)는 판정 단계에 있어서 취득된 화상을 나타내는 화상도이고, 도 9(B)는 미리 정해진 위치 관계로 배치된 제1 표시부와 제2 표시부를 포함한 화상을 나타내는 화상도이다.
도 10은 블레이드 착탈 유닛을 나타내는 사시도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 양태와 관련되는 실시형태를 설명한다. 우선, 본 실시 형태와 관련되는 절삭 장치의 구성예를 설명한다. 도 1은, 절삭 장치(2)를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 1에 있어서, X축 방향(가공 이송 방향, 제1 수평 방향, 전후 방향)과 Y축 방향(인덱싱 이송 방향, 제2 수평 방향, 좌우 방향)은, 서로 수직인 방향이다. 또한, Z축 방향(수직 방향, 상하 방향, 높이 방향)은, X축 방향 및 Y축 방향과 수직인 방향이다.
절삭 장치(2)는, 절삭 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소를 지지 또는 수용하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 전방 측의 모서리부에는 개구(4a)가 형성되고 있고, 이 개구(4a)의 내부에는, 승강 기구(도시하지 않음)에 의해 승강하는 카세트 유지대(6)가 설치되어 있다. 카세트 유지대(6)의 상면 상에는, 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(8)가 배치된다. 또한, 도 1에서는 카세트(8)의 윤곽을 2점 쇄선으로 나타내고 있다.
피가공물(11)은, 예컨대 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원반 형상의 웨이퍼이다. 피가공물(11)의 표면측은, 서로 교차하도록 격자형으로 배열된 복수의 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 구획되고 있고, 각 영역에는, IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다. 절삭 장치(2)에 의해 피가공물(11)을 분할 예정 라인을 따라 절삭하여 분할하면, 디바이스를 각각 구비한 복수의 디바이스 칩을 얻을 수 있다.
피가공물(11)의 이면(하면) 측에는, 피가공물(11)보다 직경이 큰 원형의 테이프(다이싱 테이프)(13)가 부착된다. 테이프(13)로서는, 원형으로 형성된 필름 형상의 기재(基材)와, 기재 상에 설치된 점착층(풀층)을 구비한 시트 등을 이용할 수 있다. 예컨대, 기재는 폴리올레핀, 폴리염화비닐, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등의 수지로 이루어지고, 점착층은 에폭시계, 아크릴계, 또는 고무계의 접착제 등으로 이루어진다. 또한, 점착층에는, 자외선의 조사에 의해 경화하는 자외선 경화형의 수지를 이용하여도 좋다.
또한, 테이프(13)의 외주부는, 금속 등으로 이루어지고 중앙부에 원형의 개구를 구비한 환형의 프레임(15)에 부착된다. 프레임(15)의 개구의 직경은 피가공물(11)의 직경보다 크고, 피가공물(11)은 프레임(15)의 개구의 내측에 배치된다. 피가공물(11) 및 프레임(15)에 테이프(13)가 부착되면, 피가공물(11)이 테이프(13)를 통해 프레임(15)에 의해 지지된다. 그리고, 프레임(15)에 의해 지지된 피가공물(11)이, 카세트(8)에 수용된다.
또한, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 이외의 반도체(GaAs, InP, GaN, SiC 등), 세라믹스, 수지, 금속 등으로 이루어지는 웨이퍼라도 좋다. 또한, 피가공물(11)에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등에도 제한은 없고, 피가공물(11)에는 디바이스가 형성되지 않아도 좋다.
개구(4a)의 측방에는, 길이 방향이 X축 방향에 따른 직사각형 형상의 개구(4b)가 설치되어 있다. 개구(4b)의 내부에는, 볼 나사식의 이동 기구(10)와, 이동 기구(10)의 상부를 덮고 X축 방향으로 신축 가능한 벨로우즈 형상의 방진 방적 커버(12)가 배치되어 있다. 이동 기구(10)는, 평판형의 이동 테이블(10a)을 구비하고 있고, 이동 테이블(10a)을 X축 방향을 따라 이동시킨다.
이동 테이블(10a) 상에는, 피가공물(11)을 유지하는 척 테이블(유지 테이블)(14)이 설치되어 있다. 척 테이블(14)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 접속되고 있고, Z축 방향에 대략 평행한 회전축의 주위를 회전한다. 또한, 척 테이블(14)은, 이동 기구(10)에 의해 이동 테이블(10a)과 함께 X축 방향을 따라 이동한다(가공 이송).
척 테이블(14)의 상면은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(14a)을 구성한다. 유지면(14a)은, 척 테이블(14)의 내부에 형성된 흡인로(도시하지 않음), 밸브(도시하지 않음) 등을 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 또한, 척 테이블(14)의 주위에는, 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)을 파지하여 고정하는 복수의 클램프(16)가 설치되어 있다.
개구(4b)의 상방에는, Y축 방향을 따라 배치된 한 쌍의 가이드 레일(18)이 설치되어 있다. 한 쌍의 가이드 레일(18)은, 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)을 하방으로부터 지지하는 지지면과, 지지면에 대략 수직인 측면을 구비하고 있고, Y축 방향과 대략 평행한 상태를 유지하면서 서로 접근 및 이격하도록 이동한다. 한 쌍의 가이드 레일(18)은, 프레임(15)을 측면에서 끼워 넣는 것에 의해, 피가공물(11) 및 프레임(15)을 미리 정해진 위치에 배치한다(위치 맞춤).
베이스(4)의 상방에는, 도어형의 제1 지지 구조(20)가 개구(4b)를 넘도록 배치되어 있다. 제1 지지 구조(20)의 전면측(가이드 레일(18)측)에는, 레일(22)이 Y축 방향을 따라 고정되어 있다. 이 레일(22)에는, 피가공물(11)을 유지하는 유지 유닛(26)이 이동 기구(24)를 통해 연결되어 있다.
이동 기구(24)는, 유지 유닛(26)을 레일(22)을 따라 Y축 방향으로 이동시킨다. 또한, 이동 기구(24)는 에어 실린더를 구비하고 있고, 에어 실린더는 Z축 방향을 따라 승강하는 로드를 내장하고 있다. 이 에어 실린더의 로드의 하단부에, 유지 유닛(26)이 고정되어 있다.
유지 유닛(26)은, 한 쌍의 가이드 레일(18)에 의해 위치 맞춤이 실시된 프레임(15)을 유지하고, 척 테이블(14) 상에 반송한다. 예컨대 유지 유닛(26)은, 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)의 상면 측을 흡인하여 유지하는 복수의 흡인 패드를 구비한다. 흡인 패드로 프레임(15)을 흡인하는 것에 의해, 피가공물(11)이 유지 유닛(26)에 의해 유지된다.
또한, 유지 유닛(26)의 개구(4a) 측(카세트 유지대(6) 측)의 단부에는, 프레임(15)의 단부를 파지하는 파지 기구(26a)가 설치되어 있다. 카세트(8)에 수용된 프레임(15)을 파지 기구(26a)로 파지한 상태에서, 유지 유닛(26)을 Y축 방향을 따라 카세트(8)로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 것에 의해, 프레임(15)이 카세트(8)로부터 한 쌍의 가이드 레일(18) 상에 인출된다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(18) 상에 배치된 프레임(15)을 파지 기구(26a)로 파지한 상태에서, 유지 유닛(26)을 Y축 방향을 따라 카세트(8) 측에 이동시키는 것에 의해, 프레임(15)이 카세트(8)에 수용된다.
또한, 제1 지지 구조(20)의 전면 측에는, 레일(28)이 Y축 방향을 따라 고정되어 있다. 이 레일(28)에는, 피가공물(11)을 유지하는 유지 유닛(32)이 이동 기구(30)를 통해 연결되어 있다.
이동 기구(30)는, 유지 유닛(32)을 레일(28)을 따라 Y축 방향으로 이동시킨다. 또한, 이동 기구(30)는 에어 실린더를 구비하고 있고, 에어 실린더는 Z축 방향을 따라 승강하는 로드를 내장하고 있다. 이 에어 실린더의 로드의 하단부에, 유지 유닛(32)이 고정되어 있다.
예컨대 유지 유닛(32)은, 피가공물(11)을 지지하는 프레임(15)의 상면 측을 흡인하여 유지하는 복수의 흡인 패드를 구비한다. 흡인 패드로 프레임(15)을 흡인하는 것에 의해, 피가공물(11)이 유지 유닛(32)에 의해 유지된다.
제1 지지 구조(20)의 후방에는, 도어형의 제2 지지 구조(34)가 개구(4b)를 넘도록 배치되어 있다. 제2 지지 구조(34)의 전면측(제1 지지 구조(20)측)의 양측 단부에는, 한 쌍의 이동 기구(36A,36B)가 고정되어 있다. 이동 기구(36A)의 하부에는 절삭 유닛(38A)이 고정되고 있고, 이동 기구(36B)의 하부에는 절삭 유닛(38B)이 고정되어 있다.
이동 기구(36A)는, 절삭 유닛(38A)을 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동시키는 볼 나사식의 이동 기구이다. 이동 기구(36A)에 의해, 절삭 유닛(38A)의 Y축 방향 및 Z축 방향에 있어서의 위치가 제어된다. 또한, 이동 기구(36B)는, 절삭 유닛(38B)을 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동시키는 볼 나사식의 이동 기구이다. 이동 기구(36B)에 의해, 절삭 유닛(38B)의 Y축 방향 및 Z축 방향에 있어서의 위치가 제어된다.
도 2는, 절삭 유닛(38A)을 나타내는 사시도이다. 절삭 유닛(38A)은 원통형의 하우징(40)을 구비하고, 하우징(40)에는 Y축 방향을 따라 배치된 원통형의 스핀들(회전축)(42)이 수용되어 있다. 스핀들(42)의 선단부(일단측)는 하우징(40)의 외부에 노출하고 있고, 이 선단부에는 마운트(44)가 고정되어 있다. 또한, 스핀들(42)의 기단부(타단측)에는, 스핀들(42)을 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.
마운트(44)는, 원반 형상의 플랜지부(46)와, 플랜지부(46)의 표면(46a)의 중앙부에서 돌출하는 원통형의 지지축(48)을 구비한다. 플랜지부(46)의 외주부의 표면(46a) 측에는, 표면(46a)으로부터 돌출하는 환형의 볼록부(46b)가 설치되어 있다. 볼록부(46b)의 선단면(46c)은, 표면(46a)에 대해 대략 평행하게 형성되어 있다.
지지축(48)의 외주면에는, 나사부(48a)가 형성되어 있다. 또한, 지지축(48)의 선단면의 중앙부에는 오목부(48b)가 형성되어 있다. 이 지지축(48)에, 피가공물(11)을 절삭하는 환형의 절삭 블레이드(50)가 장착된다.
절삭 블레이드(50)는, 금속 등으로 이루어지는 환형의 베이스(52)와, 베이스(52)의 외연부를 따라 형성된 환형의 절삭날(54)을 구비한다. 베이스(52)의 중앙부에는, 베이스(52)를 두께 방향으로 관통하는 원기둥 형상의 개구(52a)가 설치되어 있다. 또한, 베이스(52)의 개구(52a)의 주위에는, 베이스(52)의 두께 방향으로 돌출하는 환형의 볼록부(52b)가 형성되어 있다.
절삭날(54)은, 예컨대, 다이아몬드 등으로 이루어지는 지립을 니켈 도금층으로 고정하는 것에 의해 형성된다. 다만, 절삭날(54)의 지립 및 결합재의 재질에 제한은 없고, 피가공물(11)의 재질이나 가공 목적 등에 따라 적절하게 선택된다.
지지축(48)의 나사부(48a)에는, 절삭 블레이드(50)를 고정하기 위한 환형의 너트(56)가 체결된다. 너트(56)의 중앙부에는, 지지축(48)의 직경에 대응하는 원형의 개구(56a)가 형성되어 있다. 이 개구(56a)에는, 지지축(48)에 형성된 나사부(48a)에 대응하는 나사 홈이 형성되어 있다. 또한, 너트(56)에는, 너트(56)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 관통 구멍(56b)이, 너트(56)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 형성되어 있다.
절삭 블레이드(50)는, 베이스(52)의 개구(52a)에 지지축(48)이 삽입되도록, 마운트(44)에 장착된다. 그리고, 절삭 블레이드(50)가 마운트(44)에 장착된 상태에서, 너트(56)를 지지축(48)의 나사부(48a)에 나사 결합하여 조이면, 절삭 블레이드(50)가 플랜지부(46)의 선단면(46c)과 너트(56)에 의해 협지된다. 이에 의해, 절삭 블레이드(50)가 스핀들(42)의 선단부에 고정된다.
또한, 여기에서는 절삭 유닛(38A)의 구성에 대해 설명했지만, 절삭 유닛(38B)의 구성도 절삭 유닛(38A)과 같다. 그리고, 절삭 유닛(38A)에 장착된 절삭 블레이드(50)와, 절삭 유닛(38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)는, 서로 대면하도록 배치된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 절삭 유닛(38A,38B)에 인접하는 위치에는 각각, 척 테이블(14)에 유지된 피가공물(11) 등을 촬상하는 카메라(촬상 유닛)(60)가 설치되어 있다. 예컨대 카메라(60)는, 가시광을 수광하여 전기 신호로 변환하는 촬상 소자를 구비한 가시광 카메라나, 적외선을 수광하여 전기 신호로 변환하는 촬상 소자를 구비한 적외선 카메라 등에 의해 구성된다. 예컨대, 척 테이블(14) 상의 피가공물(11)을 카메라(60)로 촬상하는 것에 의해 취득된 화상에 기초하여, 피가공물(11)과 절삭 유닛(38A,38B)과의 위치 맞춤이 실시된다.
개구(4b)의 측방(개구(4a)와는 반대측)에는, 세정 유닛(62)이 배치되어 있다. 세정 유닛(62)은, 통형의 세정 공간 내에서 피가공물(11)을 유지하는 스피너 테이블(62a)을 구비하고 있다. 또한, 스피너 테이블(62a)에는, 스피너 테이블(62a)을 Z축 방향에 대략 평행한 회전축의 주위로 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다.
스피너 테이블(62a)의 상방에는, 스피너 테이블(62a)에 의해 유지된 피가공물(11)을 향해 세정용의 유체(예컨대, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체)를 분사하는 노즐(62b)이 배치되어 있다. 피가공물(11)을 유지하는 스피너 테이블(62a)을 회전시키면서, 노즐(62b)로부터 피가공물(11)을 향해 유체를 분사하는 것에 의해, 피가공물(11)이 세정된다.
제2 지지 구조(34)의 이면측(후방측)에는, 절삭 블레이드(50)를 교환하는 블레이드 교환 장치(블레이드 교환 기구)(64)가 설치되어 있다. 블레이드 교환 장치(64)는, 절삭 유닛(38A,38B)에 장착된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)와, 교환용의 절삭 블레이드(50)(미사용의 절삭 블레이드(50))의 교환을 실시하는 것과 함께, 절삭 블레이드(50)를 스핀들(42)의 선단부에 고정하기 위한 너트(56)(도 2 참조)의 착탈을 실시한다. 또한, 블레이드 교환 장치(64)의 구성의 상세에 대하여는 후술한다.
절삭 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소(이동 기구(10), 척 테이블(14), 클램프(16), 가이드 레일(18), 이동 기구(24), 유지 유닛(26), 이동 기구(30), 유지 유닛(32), 이동 기구(36A,36B), 절삭 유닛(38A,38B), 카메라(60), 세정 유닛(62), 블레이드 교환 장치(64) 등)는 각각, 제어 유닛(제어부)(66)에 접속되어 있다. 제어 유닛(66)은, 절삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어하기 위한 제어 신호를 생성하여, 절삭 장치(2)의 가동을 제어한다.
예컨대 제어 유닛(66)은, 컴퓨터에 의해 구성되고, 절삭 장치(2)의 가동에 필요한 각종의 처리(연산 등)를 실시하는 처리부와, 처리부에 의한 처리에 이용되는 각종의 정보(데이터, 프로그램 등)가 기억되는 기억부를 포함한다. 처리부는, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서를 포함하여 구성된다. 또한, 기억부는, 주기억 장치, 보조 기억 장치 등을 구성하는 각종의 메모리를 포함하여 구성된다.
상기한 절삭 장치(2)에 의해, 피가공물(11)의 절삭 가공이 실시된다. 피가공물(11)을 가공할 때는, 우선, 가공의 대상이 되는 피가공물(11)이 카세트(8)에 수용된다. 그리고, 카세트(8)가 카세트 유지대(6)의 상면 상에 재치된다.
카세트(8)에 수용된 피가공물(11)은, 유지 유닛(26)에 의해 카세트(8)로부터 반출된다. 구체적으로는, 유지 유닛(26)은 파지 기구(26a)로 프레임(15)의 단부를 파지한 상태에서, 카세트(8)로부터 이격되도록 X축 방향을 따라 이동한다. 이에 의해, 피가공물(11)이 카세트(8)로부터 인출되고, 한 쌍의 가이드 레일(18) 상에 배치된다. 그리고, 피가공물(11)이 한 쌍의 가이드 레일(18)에 의해 끼워 넣어지고, 피가공물(11)의 위치 맞춤이 실시된다.
다음에, 프레임(15)의 상면 측이 유지 유닛(26)에 의해 유지되고, 피가공물(11)이 척 테이블(14) 상에 반송된다. 피가공물(11)은, 척 테이블(14) 상에 테이프(13)를 통해 배치된다. 또한, 프레임(15)이 복수의 클램프(16)에 의해 고정된다. 이 상태에서, 유지면(14a)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 피가공물(11)이 테이프(13)를 통해 척 테이블(14)에 의해 흡인 유지된다.
그리고, 절삭 유닛(38A,38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)가 회전하면서 피가공물(11)에 절입하고, 피가공물(11)에 절삭 가공이 실시된다. 예컨대, 피가공물(11)은 절삭 블레이드(50)에 의해 분할 예정 라인을 따라 절삭되어, 복수의 디바이스 칩으로 분할된다.
피가공물(11)의 가공이 완료되면, 프레임(15)의 상면 측이 유지 유닛(32)에 의해 유지되고, 피가공물(11)이 척 테이블(14)로부터 세정 유닛(62)에 반송된다. 그리고, 세정 유닛(62)에 의해 피가공물(11)의 세정이 실시된다.
피가공물(11)의 세정이 완료되면, 프레임(15)의 상면 측이 유지 유닛(26)에 의해 유지되고, 한 쌍의 가이드 레일(18) 상에 반송된다. 그리고, 프레임(15)이 한 쌍의 가이드 레일(18)에 의해 끼워 넣어지고, 피가공물(11) 및 프레임(15)의 위치 맞춤이 실시된다. 그 후, 유지 유닛(26)은 파지 기구(26a)로 프레임(15)을 파지한 상태로 카세트(8) 측을 향해 이동하여, 피가공물(11)을 카세트(8)에 수용한다.
이와 같이 하여, 피가공물(11)이 절삭 장치(2)에 의해 가공된다. 또한, 제어 유닛(66)의 기억부에는, 상기한 절삭 장치(2)의 일련의 동작을 기술하는 프로그램이 기억되어 있다. 그리고, 오퍼레이터가 절삭 장치(2)에 피가공물(11)의 가공을 지시하면, 제어 유닛(66)의 처리부는 기억부로부터 프로그램을 판독하고 실행하여, 절삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작을 제어하기 위한 제어 신호를 순차 생성한다.
여기서, 절삭 유닛(38A,38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)는, 피가공물(11)을 절삭하는 것에 의해 서서히 마모되기 때문에, 정기적으로 교환된다. 절삭 블레이드(50)의 교환은, 블레이드 교환 장치(64)에 의해 자동으로 실시된다.
도 3은, 블레이드 교환 장치(64)를 나타내는 사시도이다. 블레이드 교환 장치(64)는, 복수의 절삭 블레이드(50)를 유지하고 보관하는 한 쌍의 블레이드 보관부(블레이드 랙)(70A,70B)를 구비한다. 블레이드 보관부(70A,70B)는, Y축 방향을 따라 서로 대향하도록 배치된다. 블레이드 보관부(70A,70B)에는 각각, 피가공물(11)의 절삭에 이용된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)나, 교환용의 절삭 블레이드(50)(미사용의 절삭 블레이드(50))가 보관된다.
블레이드 보관부(70A,70B)는 각각, Z축 방향을 따라 배치된 기둥 형상의 지지 구조(72)를 구비한다. 예컨대 지지 구조(72)는, 제2 지지 구조(34)(도 1 참조)의 후방에 설치되고, 베이스(4)의 상면에 고정된다. 다만, 지지 구조(72)의 설치 장소에 제한은 없다.
지지 구조(72)에는, Y축 방향을 따라 배치된 원통형의 회전축(74)이 수용되어 있다. 회전축(74)의 선단부(일단측)는 지지 구조(72)의 측면에서 노출하고 있고, 회전축(74)의 기단부(타단측)에는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다. 또한, 회전축(74)의 선단부에는, 원반 형상의 지지 부재(76)가 고정되어 있다. 지지 부재(76)는, 회전 구동원으로부터 회전축(74)을 통해 전달되는 동력에 의해, Y축 방향과 대략 평행한 회전축의 주위를 회전한다.
도 4는, 블레이드 보관부(70A)를 나타내는 사시도이다. 또한, 이하에서는 블레이드 보관부(70A)의 구성에 대해 설명하지만, 블레이드 보관부(70B)도 블레이드 보관부(70A)와 동일하게 구성된다.
지지 부재(76)는, 서로 대략 평행한 표면(76a) 및 이면(76b)을 가지고, 회전축(74)의 선단부는 지지 부재(76)의 이면(76b) 측에 고정되어 있다. 그리고, 지지 부재(76)의 표면(76a) 측에는, 절삭 블레이드(50)를 보관하는 복수의 이동 가능한 보관부(78)가 설치되어 있다.
구체적으로는, 지지 부재(76)에는, 지지 부재(76)를 두께 방향으로 관통하는 복수의 원형의 개구(76c)가 설치된다. 예컨대, 복수의 개구(76c)는 지지 부재(76)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 형성된다. 그리고, 개구(76c)에는, 투명한 재질로 이루어지고 절삭 블레이드(50)를 지지하는 원반 형상의 지지 부재(80)가 끼워 넣어지고, 개구(76c)의 내부에서 지지 부재(76)에 고정된다.
지지 부재(80)의 중앙부에는, 지지 부재(80)의 표면(80a)으로부터 돌출하는 원통형의 보스부(지지축)(82)가 설치되어 있다. 예컨대 보스부(82)는, 지지 부재(80)와 동일한 투명한 재질로 이루어지고, 지지 부재(80)의 중앙부에 고정된다. 보스부(82)는, 그 직경이 절삭 블레이드(50)의 베이스(52)에 설치된 개구(52a)(도 2 참조)의 직경에 대응하도록 형성되고 있고, 베이스(52)의 개구(52a)에 삽입 가능하게 되어 있다.
베이스(52)의 개구(52a)에 보스부(82)가 삽입되면, 절삭 블레이드(50)가 지지 부재(80)의 표면(80a)과 보스부(82)에 의해 지지된다. 이와 같이, 지지 부재(80)의 표면(80a)과 보스부(82)에 의해 보관부(78)가 구성된다.
또한, 보관부(78)에는 각각, 보관부(78)의 위치를 나타내는 제1 표시부(84)가 설치되어 있다. 예컨대 제1 표시부(84)는, 지지 부재(80)의 표면(80a)측 중에서, 보스부(82)와 겹치는 영역(보스부(82)의 저면부)에 부가된 마커이다. 도 4에는, 제1 표시부(84)로서 십자형의 마크가 부가된 보관부(78)를 나타내고 있다.
또한, 지지 부재(76)의 이면(76b) 측에는, 제1 표시부(84)를 촬영 가능한 카메라(촬상 유닛)(86)가 설치되어 있다. 예컨대 카메라(86)는, 가시광을 수광하여 전기 신호로 변환하는 촬상 소자를 구비한 가시광 카메라나, 적외선을 수광하여 전기 신호로 변환하는 촬상 소자를 구비한 적외선 카메라 등에 의해 구성되고, 지지 구조(72)의 측면에 고정되어 있다.
카메라(86)는, Y축 방향에 있어서 지지 부재(76)와 겹치는 위치에 배치되어 있고, 카메라(86)에 대향하는 위치에 위치된 보관부(78)를 촬영한다. 카메라(86)에 의해 보관부(78)가 촬영되면, 투명한 지지 부재(80)를 통해 제1 표시부(84)도 촬영되고, 제1 표시부(84)가 표시된 화상이 취득된다.
또한, 지지 부재(76)를 회전시키면, 보관부(78)가 지지 부재(76)의 원주 방향을 따라 이동하고, 카메라(86)에 대향하는 보관부(78)가 변경된다. 이에 의해, 카메라(86)에 의한 촬영의 대상이 되는 보관부(78)가 선택된다.
지지 부재(80)의 재질은, 카메라(86)의 종류에 따라 적절하게 선택된다. 예컨대, 카메라(86)가 가시광 카메라인 경우, 지지 부재(80)는 가시광이 투과하는 부재에 의해 구성된다. 지지 부재(80)의 재질의 구체적인 예로서는, 플라스틱, 유리(석영 유리, 붕규산 유리 등) 등을 들 수 있다. 또한, 보스부(82)에도, 지지 부재(80)와 동일한 재료를 이용할 수 있다.
또한, 카메라(86)에 의해 제1 표시부(84)를 촬영 가능하면, 제1 표시부(84)의 종류나 형상에 제한은 없다. 예컨대, 지지 부재(80)의 표면(80a) 측을 착색 또는 가공하는 것에 의해, 제1 표시부(84)가 부가된다. 또한, 제1 표시부(84)를 새롭게 설치하는 대신에, 보관부(78) 자체의 구조(예컨대, 개구(76c)의 윤곽, 지지 부재(80)의 윤곽, 보스부(82)의 윤곽 등)를, 제1 표시부(84)로서 이용해도 좋다.
또한, 카메라(86)에 의해 제1 표시부(84)를 촬영 가능하면, 제1 표시부(84)의 위치에도 제한은 없다. 예컨대, 제1 표시부(84)는 지지 부재(80)의 이면측(카메라(86)측)에 설치되고 있어도 좋다. 다만, 제1 표시부(84)를 지지 부재(80)의 표면(80a)측(보스부(82)의 저면부)에 설치하면, 제1 표시부(84)에 이물이 부착하기 어렵고, 또한, 제1 표시부(84)가 제거되기 어려워지기 때문에, 바람직하다.
또한, 지지 부재(76)에 개구(76c) 및 지지 부재(80)를 설치하는 대신에, 지지 부재(76) 자체를 플라스틱, 유리 등으로 이루어지는 투명한 부재에 의해 구성해도 좋다. 이 경우에는, 지지 부재(76)의 표면(76a)으로부터 돌출하는 복수의 보스부(82)가 설치되고, 지지 부재(76)의 표면(76a)과 보스부(82)에 의해 보관부(78)가 구성된다. 그리고, 지지 부재(76)의 표면(76a)측 또는 이면(76b)측에, 제1 표시부(84)가 설치된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 블레이드 보관부(70A,70B)는, 블레이드 보관부(70A)의 지지 부재(76)의 표면(76a)과 블레이드 보관부(70B)의 지지 부재(76)의 표면(76a)이 대면하도록, 서로 이격된 상태로 배치된다. 그리고, 정면에서 보았을 때 블레이드 보관부(70A,70B)의 사이에는, 절삭 블레이드(50)를 유지하여 반송하는 반송 유닛(반송 기구)(88)이 설치되어 있다.
반송 유닛(88)은, 후술하는 착탈 유닛(착탈 기구)(98)을 이동시키는 이동 기구(90)를 구비한다. 이동 기구(90)는, X축 방향 및 Y축 방향과 대략 평행하게 배치된 판형의 베이스(90a)를 구비한다. 베이스(90a)는, 예컨대 제2 지지 구조(34)(도 1 참조)의 후방에 배치된다.
베이스(90a)의 하면측에는, X축 방향을 따라 배치된 볼 나사(92)가 고정되어 있다. 또한, 볼 나사(92)에는, 직방체형의 이동 블록(94)이 나사 결합되어 있고, 이동 블록(94)의 하면측에는, 측면에서 보았을 때 コ자형으로 형성된 지지 부재(96)가 고정되어 있다. 지지 부재(96)는, 절삭 블레이드(50) 및 너트(56)(도 2 참조)의 착탈을 실시하는 착탈 유닛(98)을 지지하고 있다.
이동 기구(90)는, 볼 나사(92)의 단부에는, 펄스 모터(도시하지 않음)가 접속되어 있다. 이 펄스 모터에 의해 볼 나사(92)를 회전시키면, 지지 부재(96)에 의해 지지된 착탈 유닛(98)이 볼 나사(92)를 따라 X축 방향으로 이동한다. 이에 의해, 착탈 유닛(98)의 X축 방향에 있어서의 위치가 제어된다. 또한, 이동 기구(90)는, 베이스(90a)를 Y축 방향을 따라 이동시키는 볼 나사식의 Y축 이동 기구(도시하지 않음)를 구비한다. 이 Y축 이동 기구에 의해, 착탈 유닛(98)의 Y축 방향에 있어서의 위치가 제어된다.
도 5는, 착탈 유닛(98)을 나타내는 사시도이다. 착탈 유닛(98)을 지지하는 지지 부재(96)는, 이동 블록(94)의 하면측에 고정된 판형의 상벽부(96a)와, 상벽부(96a)의 후방측의 단부로부터 하방을 향해 돌출하는 기둥 형상의 측벽부(96b)와, 측벽부(96b)의 하단부로부터 전방측으로 돌출하고, 상벽부(96a)와 대략 평행하게 배치된 판형의 지지부(96c)를 구비한다. 착탈 유닛(98)은, 지지 부재(96)의 지지부(96c)에 의해 지지되어 있다.
착탈 유닛(98)은, 절삭 블레이드(50)의 착탈을 실시하는 블레이드 착탈 유닛(100)과, 절삭 블레이드(50)를 고정하기 위한 너트(56)(도 2 참조)의 착탈을 실시하는 너트 착탈 유닛(130)을 구비한다. 블레이드 착탈 유닛(100) 및 너트 착탈 유닛(130)은, 지지 부재(96)의 지지부(96c) 상에 고정되어 있다.
블레이드 착탈 유닛(100)은, 회전 구동원을 구성하는 모터(102)와, 모터(102)에 접속된 동력 전달 기구(104)를 구비한다. 모터(102)와 동력 전달 기구(104)는, 서로 인접하도록 X축 방향을 따라 배치되어 있다.
모터(102)는, 중공(中空)의 입방체 형상으로 형성되고, 로터, 스테이터 등의 구성 요소를 수용하는 케이스(102a)와, 로터와 접속되고 Z축 방향을 따라 배치된 회전축을 구비한다. 모터(102)의 회전축의 선단부는 케이스(102a)의 상면으로부터 노출하고 있고, 회전축의 선단부에는 원반 형상의 도르래(102b)가 고정되어 있다.
동력 전달 기구(104)는, 중공의 입방체 형상으로 형성된 케이스(104a)와, 케이스(104a)에 수용되고 Z축 방향을 따라 배치된 회전축을 구비한다. 동력 전달 기구(104)의 회전축의 선단부는 케이스(104a)의 상면으로부터 노출하고 있고, 회전축의 선단부에는 원반 형상의 도르래(104b)가 고정되어 있다.
케이스(104a)에는, 케이스(104a)를 좌우 방향(Y축 방향)으로 관통하는 관통 구멍(104c)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(104c)에는, 원통형의 샤프트(106)가 케이스(104a)를 관통하도록 삽입되고 있고, 샤프트(106)의 양단부는 케이스(104a)의 양측면으로부터 노출하고 있다. 샤프트(106)는, Y축 방향에 대략 평행한 회전축의 주위를 회전 가능한 상태로 유지되고 있고, 케이스(104a)의 내부에서 동력 전달 기구(104)의 회전축과 연결되어 있다.
구체적으로는, 케이스(104a)의 내부에는, Z축 방향을 따라 배치된 동력 전달 기구(104)의 회전축의 회전의 동력을, Y축을 따라 배치된 샤프트(106)의 회전의 동력으로 변환하는 변환 기구가 설치되어 있다. 이 변환 기구는, 예컨대, 베벨 기어(스파이럴 베벨 기어, 스트레이트 베벨 기어 등)나 하이포이드 기어에 의해 구성된다.
모터(102)와 동력 전달 기구(104)는, 벨트, 체인 등으로 이루어지는 환형의 연결 부재(108)에 의해 연결되어 있다. 구체적으로는, 연결 부재(108)는, 모터(102)의 도르래(102b)의 측면, 및, 동력 전달 기구(104)의 도르래(104b)의 측면과 접촉하도록, 평면에서 보았을 때 타원형상으로 감겨져 있다.
모터(102)에 전력이 공급되면, 모터(102)의 동력이 도르래(102b), 연결 부재(108), 및 도르래(104)를 통해 동력 전달 기구(104)의 회전축에 전달된다. 또한, 케이스(104a)의 내부에 설치된 변환 기구에 의해, 동력 전달 기구(104)의 회전축의 동력이 샤프트(106)에 전달되어, 샤프트(106)가 회전한다. 이와 같이 하여, 모터(102)의 동력이 동력 전달 기구(104)에 의해 샤프트(106)에 전달된다.
샤프트(106)의 일단 측에는, 절삭 유닛(38A)(도 1 참조)에 장착되고 있는 절삭 블레이드(50), 및 절삭 유닛(38A)에 새롭게 장착되는 절삭 블레이드(50)를 유지하는 블레이드 유지 유닛(110A)이 고정되어 있다. 또한, 샤프트(106)의 타단측에는, 절삭 유닛(38B)(도 1 참조)에 장착되고 있는 절삭 블레이드(50), 및 절삭 유닛(38B)에 새롭게 장착되는 절삭 블레이드(50)를 유지하는 블레이드 유지 유닛(110B)이 고정되어 있다.
블레이드 유지 유닛(110A,110B)은 각각, 측면에서 보았을 때 타원 형상으로 형성되고 샤프트(106)의 선단부에 고정된 판형의 지지 부재(112)와, 지지 부재(112)의 동력 전달 기구(104)와는 반대측을 향하는 면측에 설치된 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)을 구비한다. 블레이드 흡인 유닛(114A)은 지지 부재(112)의 일단 측에 고정되고, 블레이드 흡인 유닛(114B)은 지지 부재(112)의 타단측에 고정되어 있다.
블레이드 흡인 유닛(114A,114B)은 각각, 지지 부재(112)에 고정된 원통형의 유지부(흡인 유지부)(116)를 구비한다. 유지부(116)의 동력 전달 기구(104)와는 반대측을 향하는 면은, 절삭 블레이드(50)를 유지하는 원형의 유지면(116a)을 구성한다.
유지부(116)의 외주부의 유지면(116a) 측에는, 환형의 홈(오목부)(116b)이 유지부(116)의 외주 가장자리를 따라 형성되어 있다. 이 홈(116b)은, 유지부(116)의 내부에 형성된 유로(도시하지 않음), 밸브(도시하지 않음) 등을 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 유지부(116)의 유지면(116a)을, 절삭 블레이드(50)의 베이스(52)의 볼록부(52b)(도 2 참조)에 접촉시킨 상태에서, 홈(116b)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 절삭 블레이드(50)가 유지부(116)에 의해 흡인 유지된다.
또한, 유지부(116)에는, 유지부(116)의 위치를 나타내는 제2 표시부(118)가 설치되어 있다. 예컨대 제2 표시부(118)는, 유지부(116)의 유지면(116a) 측의 중앙에 부가되고, 카메라(86)(도 4 참조)에 의해 촬영 가능한 마커이다. 도 5에는, 제2 표시부(118)로서 십자형의 마크가 부가된 유지부(116)를 나타내고 있다.
또한, 카메라(86)에 의해 제2 표시부(118)를 촬영 가능하면, 제2 표시부(118)의 종류, 형상, 위치 등에 제한은 없다. 예컨대, 유지부(116)의 유지면(116a) 측을 착색 또는 가공하는 것에 의해, 제2 표시부(118)가 부가된다. 또한, 제2 표시부(118)를 새롭게 설치하는 대신에, 유지부(116) 자체의 구조(예컨대 홈(116b) 등)를, 제2 표시부(118)로서 이용해도 좋다. 또한, 제2 표시부(118)는, 유지부(116)의 유지면(116a) 측의 중앙으로부터 미리 정해진 거리만큼 어긋난 위치에 부가되고 있어도 좋다.
절삭 유닛(38A,38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)를 교환할 때에는, 블레이드 유지 유닛(110A,110B)에 의해 절삭 블레이드(50)의 착탈이 실시된다. 또한, 절삭 블레이드(50)의 교환 시에 있어서의 블레이드 유지 유닛(110A,110B)의 구체적인 동작에 대해서는 후술한다.
블레이드 착탈 유닛(100)의 전방에는, 너트 착탈 유닛(130)이 설치되어 있다. 너트 착탈 유닛(130)은, 회전 구동원을 구성하는 모터(132)와, 모터(132)에 접속된 동력 전달 기구(134)를 구비한다. 모터(132)와 동력 전달 기구(134)는, 서로 인접하도록 X축 방향을 따라 배치되어 있다.
모터(132), 동력 전달 기구(134)의 구성은 각각, 블레이드 착탈 유닛(100)의 모터(102), 동력 전달 기구(104)와 같다. 구체적으로는, 모터(132)는, 케이스(132a)와, 모터(132)의 회전축의 선단부에 고정된 도르래(132b)를 구비한다. 또한, 동력 전달 기구(134)는, 케이스(134a)와, 동력 전달 기구(134)의 회전축의 선단부에 고정된 도르래(134b)를 구비한다.
케이스(134a)에는, 케이스(134a)를 좌우 방향(Y축 방향)으로 관통하는 관통 구멍(134c)이 형성되어 있다. 이 관통 구멍(134c)에는, 원통형의 샤프트(136)가 케이스(134a)를 관통하도록 삽입되고 있고, 샤프트(136)의 양단부는 케이스(134a)의 양측면으로부터 노출하고 있다. 샤프트(136)는, Y축 방향에 대략 평행한 회전축의 주위를 회전 가능한 상태로 유지되고 있고, 케이스(134a)의 내부에서 동력 전달 기구(134)의 회전축과 연결되어 있다.
모터(132)와 동력 전달 기구(134)는, 벨트, 체인 등으로 이루어지는 환형의 연결 부재(138)에 의해 연결되어 있다. 구체적으로는, 연결 부재(138)는, 모터(132)의 도르래(132b)의 측면, 및 동력 전달 기구(134)의 도르래(134b)의 측면과 접촉하도록, 평면에서 보았을 때 타원 형상으로 감겨져 있다.
모터(132)에 전력이 공급되면, 모터(132)의 동력이 도르래(132b), 연결 부재(138), 및 도르래(134b)를 통해 동력 전달 기구(134)의 회전축에 전달된다. 또한, 케이스(134a)의 내부에 설치된 변환 기구에 의해, 동력 전달 기구(134)의 회전축의 동력이 샤프트(136)에 전달되어, 샤프트(136)가 회전한다. 이와 같이 하여, 모터(132)의 동력이 동력 전달 기구(134)에 의해 샤프트(136)에 전달된다.
샤프트(136)의 일단 측에는, 절삭 유닛(38A)의 스핀들(42)에 절삭 블레이드(50)를 고정하기 위한 너트(56)(도 2 참조)를 유지하여 회전하는 너트 유지 유닛(140A)이 고정되어 있다. 또한, 샤프트(136)의 타단측에는, 절삭 유닛(38B)의 스핀들(42)에 절삭 블레이드(50)를 고정하기 위한 너트(56)를 유지하여 회전하는 너트 유지 유닛(140B)이 고정되어 있다.
너트 유지 유닛(140A,140B)은 각각, 샤프트(136)의 선단부에 고정된 원통형의 회전 부재(142)를 구비한다. 회전 부재(142)는, 용수철 등에 의해 동력 전달 기구(134)와는 반대측을 향해 부세(付勢)되고 있고, 외력의 부여에 의해 Y축 방향을 따라 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 회전 부재(142)는, 동력 전달 기구(134)와는 반대측을 향하는 표면(142a)을 구비한다.
회전 부재(142)에는, 표면(142a)으로부터 돌출하는 4개의 유지핀(144)이 설치되어 있다. 유지핀(144)은, 너트(56)(도 2 참조)의 관통 구멍(56b)의 위치 및 크기에 대응하여 형성되고 있고, 관통 구멍(56b)에 삽입 가능하게 되어 있다. 또한, 유지핀(144)의 수는, 관통 구멍(56b)의 수에 따라 적절하게 설정된다.
또한, 회전 부재(142)의 주위에는, 너트(56)를 파지하는 복수의 파지 부재(146)가, 회전 부재(142)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 배치되어 있다. 파지 부재(146)는 각각 기둥 형상으로 형성되고 있고, 파지 부재(146)의 기단부(일단측)는 회전 부재(142)의 외주면에 고정되어 있다. 도 5에는, 너트(56)의 외주면을 사방에서 파지하는 4개의 파지 부재(146)가 설치되고 있는 예를 나타내고 있다.
파지 부재(146)의 선단부(타단측)는 회전 부재(142)의 표면(142a)으로부터 돌출하고 있고, 이 선단부에는, 회전 부재(142)의 중심 측을 향해 굴곡진 클로부(146a)가 형성되어 있다. 또한, 파지 부재(146)는, 용수철 등에 의해 회전 부재(142)의 반경 방향 외측을 향해 부세되고 있고, 클로부(146a)가 회전 부재(142)의 반경 방향을 따라 이동 가능하도록 구성되어 있다.
또한, 회전 부재(142)의 주위에는, 중공의 원통형으로 형성된 커버(148)가 설치되어 있다. 회전 부재(142)와, 파지 부재(146)의 기단측(동력 전달 기구(134) 측)은, 커버(148)의 내부에 수용되어 있다. 회전 부재(142)가 커버(148)의 내측을 향해 압박되면, 회전 부재(142)를 부세하고 있는 용수철이 수축되고, 회전 부재(142)가 복수의 파지 부재(146)와 함께 커버(148)의 내측에 밀어 넣어진다.
회전 부재(142)가 커버(148)의 내측에 밀어 넣어지면, 복수의 파지 부재(146)의 선단측(클로부(146a) 측)이 커버(148)의 내벽과 접촉하여 압박되고, 파지 부재(146)를 부세하고 있는 용수철이 수축된다. 이에 의해, 복수의 파지 부재(146)의 선단측이 회전 부재(142)의 반경 방향 내측을 향해 이동한다. 그리고, 복수의 파지 부재(146)는, 그 길이 방향이 커버(148)의 내벽에 따르도록 배치된 상태가 된다. 이 때, 파지 부재(146)의 클로부(146a)는, 예컨대 회전 부재(142)의 외주 가장자리보다 회전 부재(142)의 반경 방향 내측에 배치된다(닫힌 상태).
한편, 회전 부재(142)에 대한 외력의 부여가 해제되면, 회전 부재(142)가 커버(148)의 외측을 향해 이동하고, 파지 부재(146)의 선단측이 커버(148)의 내벽에 따라 압박된 상태가 해제된다. 이에 의해, 복수의 파지 부재(146)의 선단측이 회전 부재(142)의 반경 방향 외측을 향해 이동한다. 그리고, 복수의 파지 부재(146)의 선단측이, 닫힌 상태인 때보다 회전 부재(142)의 반경 방향 외측에 배치된 상태가 된다. 이 때, 파지 부재(146)의 클로부(146a)는, 예컨대 회전 부재(142)의 외주 가장자리보다 회전 부재(142)의 반경 방향 외측에 배치된다(열린 상태).
상기한 너트 유지 유닛(140A,140B)은 각각, 너트(56)를 유지하고 회전한다. 구체적으로는, 우선, 너트(56)의 관통 구멍(56b)(도 2 참조)에 회전 부재(142)의 유지핀(144)이 삽입되도록, 너트(56)가 회전 부재(142)의 표면(142a)과 접촉한다. 이 상태에서 회전 부재(142)가 커버(148)의 내측에 밀어 넣어지면, 복수의 파지 부재(146)가 닫힌 상태가 되고 클로부(146a)가 너트(56)의 외주면과 접촉하여, 너트(56)가 파지된다.
복수의 파지 부재(146)에 의해 너트(56)가 유지된 상태에서, 모터(132)를 구동시키면, 모터(132)의 동력이 동력 전달 기구(134)를 통해 샤프트(136)에 전달되고, 샤프트(136)가 회전한다. 이에 의해, 회전 부재(142)가 회전하고, 파지 부재(146)에 의해 유지된 너트(56)도 회전한다.
너트 유지 유닛(140A,140B)으로 너트(56)를 유지하여 회전시키는 것에 의해, 절삭 유닛(38A,38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)의 교환을 실시할 때의, 너트(56)의 조임 및 분리를 자동으로 실시할 수 있다. 또한, 절삭 블레이드(50)의 교환 시에 있어서의 너트 착탈 유닛(130)의 구체적인 동작에 대해서는 후술한다.
상기한 블레이드 교환 장치(64)를 이용하는 것에 의해, 절삭 유닛(38A,38B)(도 1 참조)에 장착된 절삭 블레이드(50)의 교환을 자동으로 실시할 수 있다. 이하, 절삭 블레이드(50)의 교환 시에 있어서의 블레이드 교환 장치(64)의 동작의 구체적인 예에 대해 설명한다.
또한, 이하에서는 특히, 절삭 유닛(38A)에 장착되고 있는 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)와, 블레이드 보관부(70A)에 보관된 교환용의 절삭 블레이드(50)를 교환하는 경우의 동작에 대해 설명한다. 다만, 절삭 유닛(38B)에 장착되고 있는 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)와, 블레이드 보관부(70B)에 보관된 교환용의 절삭 블레이드(50)를 교환하는 경우의 동작도 동일하다.
우선, 이동 기구(90)(도 3 참조)에 의해 착탈 유닛(98)을 이동시키고, 블레이드 유지 유닛(110A)이 구비한 블레이드 흡인 유닛(114B)을, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)로 유지되고 있는 교환용의 절삭 블레이드(50)와 대향시킨다.
도 6은, 블레이드 보관부(70A)와 블레이드 흡인 유닛(114B)이 대향한 상태의 블레이드 교환 장치(64)를 나타내는 사시도이다. 이 때, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와, 블레이드 흡인 유닛(114B)의 유지부(116)의 위치 맞춤이 실시된다. 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 맞춤은, 블레이드 보관부(70A)의 회전축(74)을 회전시켜 보관부(78)의 위치를 조정하는 것과 함께, 이동 기구(90)(도 3 참조)에 의해 착탈 유닛(98)의 위치(블레이드 흡인 유닛(114B)의 위치)를 조정하는 것에 의해 실시된다.
블레이드 보관부(70A,70B)의 보관부(78)의 위치와, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 유지부(116)의 위치는, 제어 유닛(66)(도 1 참조)에 의해 제어된다. 예컨대 제어 유닛(66)은, 블레이드 보관부(70A,70B)의 보관부(78)의 위치와, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 유지부(116)의 위치가 등록(기억)되는 위치 등록부(위치 기억부)(66a)를 구비한다. 또한, 제어 유닛(66)은, 블레이드 보관부(70A,70B) 및 반송 유닛(88)의 동작을 제어하는 동작 제어부(66b)를 구비한다. 위치 등록부(66a) 및 동작 제어부(66b)의 기능은, 제어 유닛(66)이 구비한 프로세서 및 메모리를 이용하여 실현된다.
위치 등록부(66a)에는, 블레이드 보관부(70A,70B)에 절삭 블레이드(50)를 착탈할 때의, 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치(지정 위치)가 등록된다. 예컨대, 절삭 블레이드(50)가 보관된 보관부(78)의 중심 위치와 유지부(116)의 중심 위치가 Y축 방향에 있어서 겹칠 때의 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치가, 지정 위치로서 위치 등록부(66a)에 등록된다.
동작 제어부(66b)는, 위치 등록부(66a)에 등록되어 있는 지정 위치를 판독하고, 보관부(78)와 유지부(116)를 각각 지정 위치에 배치하기 위한 제어 신호를 생성한다. 이 제어 신호에 의해, 블레이드 보관부(70A,70B) 및 반송 유닛(88)의 동작이 제어되고, 보관부(78) 및 유지부(116)가 지정 위치에 배치된다. 그 결과, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 맞춤이 실시된다.
그 후, 이동 기구(90)에 의해 블레이드 흡인 유닛(114B)을 Y축 방향을 따라 이동시키는 것에 의해, 유지부(116)를 보관부(78)에 접근시키고, 유지부(116)의 유지면(116a)을 보관부(78)에 보관된 교환용의 절삭 블레이드(50)의 베이스(52)의 볼록부(52b)(도 2 참조)에 접촉시킨다. 이 상태에서, 유지부(116)의 홈(116b)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 교환용의 절삭 블레이드(50)가 블레이드 흡인 유닛(114B)에 의해 흡인 유지된다.
다음에, 이동 기구(90)에 의해 착탈 유닛(98)을 X축 방향을 따라 이동시키고, 제1 지지 구조(20) 및 제2 지지 구조(34)(도 1 참조)의 하측을 통해, 착탈 유닛(98)을 절삭 유닛(38A)에 대향하는 위치에 배치한다. 우선, 착탈 유닛(98)은, 너트 유지 유닛(140A)이 절삭 유닛(38A)의 마운트(44)(도 2 참조)와 대향하도록 위치된다. 또한, 절삭 유닛(38A)과 너트 유지 유닛(140A)의 위치 관계는, 이동 기구(36A) 및 이동 기구(90)(도 1 참조)에 의해 조절된다.
그 후, 이동 기구(36A)에 의해 절삭 유닛(38A)을 너트 유지 유닛(140A)을 향해 이동시킨다. 이에 의해, 절삭 유닛(38A)에 장착된 절삭 블레이드(50)를 고정하고 있는 너트(56)(도 2 참조)가, 너트 유지 유닛(140A)이 구비한 회전 부재(142)의 표면(142a)에 압박된다. 이 때, 너트 유지 유닛(140A)이 구비한 복수의 유지핀(144)이, 너트(56)의 관통 구멍(56b)(도 2 참조)에 삽입된다.
회전 부재(142)가 너트(56)에 의해 압박되면, 회전 부재(142)가 커버(148)의 내측에 밀어 넣어지고, 복수의 파지 부재(146)가 닫힌 상태가 된다. 이에 의해, 너트(56)가 복수의 파지 부재(146)의 클로부(146a)에 의해 파지된다.
다음에, 모터(132)의 동력에 의해 샤프트(136)를 회전시키고, 너트 유지 유닛(140A)을 제1 방향(예컨대, 화살표 A로 나타내는 방향)으로 회전시킨다. 이에 의해, 너트 유지 유닛(140A)에 의해 파지된 너트(56)가 회전하여 느슨해져, 마운트(44)(도 2 참조)의 지지축(48)으로부터 분리된다.
그 후, 절삭 유닛(38A)을 Y축 방향을 따라 이동시키고, 절삭 유닛(38A)과 너트 유지 유닛(140A)을 이격시킨다. 또한, 너트 유지 유닛(140A)은, 회전 부재(142)가 커버(148)의 내측에 밀어 넣어진 상태를 유지 가능하게 구성되어 있고, 너트(56)는 지지축(48)으로부터 분리된 후에도 너트 유지 유닛(140A)에 의해 유지된다.
다음에, 이동 기구(90)에 의해 착탈 유닛(98)을 이동시키고, 블레이드 유지 유닛(110A)의 블레이드 흡인 유닛(114A)과, 절삭 유닛(38A)에 장착된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)를 대향시킨다. 그리고, 이동 기구(36A)에 의해 절삭 유닛(38A)을 블레이드 흡인 유닛(114A)을 향해 이동시키고, 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)의 유지면(116a)을, 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)의 베이스(52)의 볼록부(52b)(도 2 참조)에 접촉시킨다.
이 상태에서, 유지부(116)의 홈(116b)에 흡인원의 부압을 작용시키면, 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)가 블레이드 흡인 유닛(114A)에 의해 흡인 유지된다. 그 후, 절삭 유닛(38A)을 Y축 방향을 따라 이동시키고, 절삭 유닛(38A)과 블레이드 흡인 유닛(114A)을 이격시킨다. 이에 의해, 절삭 유닛(38A)으로부터 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)가 분리된다.
다음에, 모터(102)의 동력에 의해 샤프트(106)를 180°회전시킨다. 이에 의해, 지지 부재(112)가 회전하고, 블레이드 흡인 유닛(114A)의 위치와 블레이드 흡인 유닛(114B)의 위치가 교체된다. 그 결과, 교환용의 절삭 블레이드(50)를 유지하고 있는 블레이드 흡인 유닛(114B)이, 절삭 유닛(38A)의 마운트(44)에 대향한다.
그 후, 이동 기구(36A)에 의해 절삭 유닛(38A)을 블레이드 흡인 유닛(114B)을 향해 이동시키고, 절삭 유닛(38A)과 블레이드 흡인 유닛(114B)을 접근시킨다. 이에 의해, 블레이드 흡인 유닛(114B)에 의해 유지된 교환용의 절삭 블레이드(50)의 개구(52a)(도 2 참조)에, 마운트(44)의 지지축(48)(도 2 참조)이 삽입된다.
이 상태에서, 블레이드 흡인 유닛(114B)에 의한 교환용의 절삭 블레이드(50)의 흡인을 해제하면, 교환용의 절삭 블레이드(50)가 스핀들(42)의 선단부에 장착된다. 그리고, 절삭 유닛(38A)을 Y축 방향을 따라 이동시키고, 절삭 유닛(38A)과 블레이드 흡인 유닛(114B)을 이격시킨다.
다음에, 이동 기구(90)에 의해 착탈 유닛(98)을 이동시키고, 너트(56)(도 2 참조)를 유지한 상태의 너트 유지 유닛(140A)을, 절삭 유닛(38A)의 마운트(44)(도 2 참조)와 대향하도록 위치시킨다. 그리고, 이동 기구(36A)에 의해 절삭 유닛(38A)을 너트 유지 유닛(140A)을 향해 이동시킨다. 이에 의해, 너트 유지 유닛(140A)에 의해 유지된 너트(56)가, 마운트(44)의 지지축(48)의 선단부에 위치된다.
이 상태에서, 모터(132)의 동력에 의해 샤프트(136)를 회전시키고, 너트 유지 유닛(140A)을 제1 방향과는 반대의 제2 방향(예컨대, 화살표 B로 나타내는 방향)으로 회전시킨다. 이에 의해, 너트(56)가 회전하여 마운트(44)(도 2 참조)의 지지축(48)에 형성된 나사부(48a)에 조여진다. 그 결과, 교환용의 절삭 블레이드(50)가 마운트(44)의 볼록부(46b)의 선단면(46c)(도 2 참조)과 너트(56)에 의해 협지되어, 절삭 유닛(38A)에 고정된다.
그 후, 절삭 유닛(38A)을 Y축 방향을 따라 이동시키고, 절삭 유닛(38A)과 너트 유지 유닛(140A)을 이격시킨다. 이 때, 회전 부재(142)는 커버(148)의 외측을 향해 이동하고, 복수의 파지 부재(146)가 열린 상태가 된다. 이에 의해, 복수의 파지 부재(146)에 의한 너트(56)의 파지가 해제된다.
다음에, 착탈 유닛(98)을 이동 기구(90)에 의해 Y축 방향을 따라 이동시키고, 교환용의 절삭 블레이드(50)를 유지하고 있는 블레이드 흡인 유닛(114A)을, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 대향시킨다. 이 때, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)의 위치 맞춤이 실시된다. 또한, 위치 맞춤 방법은, 전술한 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 블레이드 흡인 유닛(114B)의 유지부(116)의 위치 맞춤 방법과 같다.
그리고, 블레이드 흡인 유닛(114A)에 의해 유지된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)의 개구(52a)(도 2 참조)에, 보관부(78)의 보스부(82)가 삽입된다. 이에 의해, 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)가 보관부(78)로 유지되고, 보관된다. 이와 같이 하여, 절삭 블레이드(50)를 유지하는 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 유지부(116)가, 이동 기구(90)에 의해 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 스핀들(42)의 사이에서 이동하고, 블레이드 교환 장치(64)에 의한 절삭 블레이드(50)의 교환이 실시된다.
상기한 절삭 블레이드(50)의 교환 방법에 있어서는, 제어 유닛(66)의 위치 등록부(66a)(도 1 참조)에 미리 등록된 지정 위치에 기초하여, 블레이드 보관부(70A,70B)와 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 위치 맞춤이 실시된다. 그러나, 여러 가지 이유(예컨대, 블레이드 보관부(70A,70B), 이동 기구(90), 착탈 유닛(98)의 경년 열화 등)에 의해, 블레이드 보관부(70A,70B)의 보관부(78)와 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 유지부(116)를 각각 지정 위치에 배치해도, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 관계에 어긋남이 생기는 경우가 있다.
따라서, 본 실시 형태에 있어서는, 블레이드 보관부(70A,70B)의 보관부(78)에 설치된 제1 표시부(84)와, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 유지부(116)에 설치된 제2 표시부(118)를 이용하여, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 관계를 확인하고, 위치 등록부(66a)에 등록되어 있는 지정 위치를 갱신한다. 이 공정을 미리 정해진 타이밍(예컨대, 블레이드 교환 장치(64)의 메인터넌스 시)에 정기적으로 실시하는 것에 의해, 블레이드 보관부(70A,70B)와 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 위치 맞춤의 정확성을 유지할 수 있다.
이하, 본 실시 형태와 관련되는 블레이드 교환 장치의 조정 방법의 구체적인 예에 대해 설명한다. 또한, 이하에서는 일례로서, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와, 블레이드 유지 유닛(110A)이 구비한 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)의 위치 관계를 조정하는 경우의 순서에 대해 설명한다. 다만, 이하의 순서는, 임의의 보관부(78)와 임의의 유지부(116)의 위치 맞춤에 적용할 수 있다.
우선, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되었을 때의, 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치를, 지정 위치로서 제어 유닛(66)의 위치 등록부(66a)에 등록한다(등록 단계). 도 7은, 등록 단계에 있어서의 블레이드 교환 장치(64)를 나타내는 정면도이다.
등록 단계에서는, 우선, 이동 기구(90)(도 3 참조)에 의해 착탈 유닛(98)을 이동시키고, 블레이드 유지 유닛(110A)의 블레이드 흡인 유닛(114A)을, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)에 대향시킨다. 이 때 블레이드 흡인 유닛(114A)은, 블레이드 흡인 유닛(114A)과 대향하는 보관부(78)에 절삭 블레이드(50)가 보관된 경우에, 그 절삭 블레이드(50)가 블레이드 흡인 유닛(114A)에 의해 적절히 유지되기 위해 바람직한 위치에 배치된다. 예컨대 블레이드 흡인 유닛(114A)은, 유지부(116)의 중심 위치가 보관부(78)의 중심 위치와 Y축 방향에 있어서 겹치도록 배치된다.
다음에, 카메라(86)에 의해 보관부(78)를 촬영한다. 카메라(86)에 의해 보관부(78)를 지지 부재(76)의 이면(76b)측으로부터 촬영하면, 투명한 지지 부재(80)(도 6 참조) 및 투명한 보스부(82)를 통해, 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)도 동시에 촬영된다. 그 결과, 지지 부재(80)의 표면(80a) 측(보스부(82)의 저면부)에 부가된 제1 표시부(84)와, 유지부(116)에 부가된 제2 표시부(118)를 포함한 화상이 취득된다.
도 8(A)는, 등록 단계에 있어서 취득된 화상(160)을 나타내는 화상도이다. 보관부(78)의 중심 위치와 유지부(116)의 중심 위치가 Y축 방향에 있어서 겹친 상태로 카메라(86)에 의한 촬영이 진행되면, 도 8(A)에 도시한 바와 같이, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 겹친 상태의 화상(160)을 얻을 수 있다.
그리고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 겹친 상태에 있어서의 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치(지정 위치)를, 제어 유닛(66)의 위치 등록부(66a)(도 1 참조)에 등록한다. 보관부(78)의 지정 위치로서는, 예컨대, 회전축(74)의 회전 각도(지지 부재(76,80)의 회전 각도), 보스부(82)의 중심 좌표 등이 등록된다. 또한, 유지부(116)의 지정 위치로서는, 예컨대, 유지부(116)의 중심 좌표, 이동 기구(90)(도 3 참조)의 상태(이동 블록(94)의 좌표, 볼 나사(92)의 회전수 등) 등이 등록된다.
또한, 제1 표시부(84)는 보관부(78)의 중심으로부터 어긋난 위치에 설치되는 경우도 있고, 제2 표시부(118)는 유지부(116)의 중심으로부터 어긋난 위치에 설치되는 경우도 있다. 예컨대, 보스부(82)의 투광성이 낮고, 카메라(86)가 보스부(82)를 통해 유지부(116)를 촬영하기 어려운 경우에는, 제2 표시부(118)가 유지부(116)의 중심으로부터 미리 정해진 거리(보스부(82)의 반경이상) 이격된 위치에 부가된다. 이 경우, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 겹치지 않은 상태의 화상(160)이 취득된다.
도 8(B)는, 서로 겹치지 않는 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)를 포함한 화상(160)을 나타내는 화상도이다. 제2 표시부(118)의 위치가 유지부(116)의 중심으로부터 어긋나 있는 경우는, 화상(160)에 있어서 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 거리만큼 이격된 위치에 표시된다.
상기와 같이, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되었을 때의 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치가, 지정 위치로서 위치 등록부(66a)에 등록된다. 그리고, 이 지정 위치를 이용하여, 블레이드 교환 장치(64)에 의한 절삭 블레이드(50)의 교환이 실시된다.
절삭 블레이드(50)의 교환 시에는, 보관부(78) 및 유지부(116)가 위치 등록부(66a)에 등록된 지정 위치에 배치되는 것에 의해, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 맞춤이 실시된다. 또한, 절삭 블레이드(50)의 교환 시에 있어서의 블레이드 교환 장치(64)의 구체적인 동작은 전술한 대로이다.
그리고, 블레이드 교환 장치(64)가 일정 기간 사용된 후, 블레이드 교환 장치(64)의 메인터넌스가 실시된다. 이 때, 보관부(78)와 유지부(116)를 위치 등록부(66a)에 등록된 지정 위치에 배치되도록 이동시키고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있는지 아닌지를 판정한다(판정 단계).
판정 단계에서는, 우선, 블레이드 보관부(70A)의 보관부(78)와 블레이드 흡인 유닛(114A)의 유지부(116)가 위치 등록부(66a)에 등록된 지정 위치에 배치되도록, 블레이드 보관부(70A) 및 이동 기구(90)(도 3 참조)의 동작이 동작 제어부(66b)에 의해 제어된다. 그리고, 등록 단계와 마찬가지로, 카메라(86)에 의해 보관부(78)를 촬영한다. 이에 의해, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)를 포함한 화상이 취득된다.
여기서, 보관부(78)와 유지부(116)가 위치 등록부(66a)에 등록된 지정 위치에 배치되도록 제어되어도, 경년 열화 등의 이유에 의해, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 관계, 즉, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)의 위치 관계에 어긋남이 생기는 경우가 있다. 따라서, 판정 단계에서는, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계(등록 단계에 있어서의 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)의 위치 관계)로 배치되어 있는지 아닌지가 판정된다.
도 9(A)는, 판정 단계에 있어서 취득된 화상(162)을 나타내는 화상도이다. 화상(162)에는, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 다른 위치에 표시되어 있다. 이 경우에는, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되지 않고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)의 위치 관계에 어긋남이 생기고 있다고 판정된다.
상기한 판정은, 예컨대, 패턴 매칭 등의 화상 처리에 의해 실시된다. 구체적으로는, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 원하는 위치 관계에 있는 상태(도 8(A) 및 도 8(B) 참조)의 참조용 화상이 미리 취득되고, 제어 유닛(66)에 기억된다. 그리고, 제어 유닛(66)은, 판정 단계에서 카메라(86)에 의해 취득된 화상(162)과, 참조용 화상을 비교하고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계에 있는지 아닌지를 판정한다.
다만, 판정의 방법으로 제한은 없다. 예컨대, 카메라(86)에 의한 촬영에 의해 취득된 화상(162)을, 절삭 장치(2)에 설치된 터치 패널(도시하지 않음)에 표시시키고, 오퍼레이터가 터치 패널에 표시된 화상(162)을 참조하여 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계에 배치되어 있는지 아닌지를 판정해도 좋다.
판정 단계에 있어서, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계에 배치되어 있지 않았다고 판정된 경우는, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되도록, 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치를 조정한다.
예컨대, 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치의 조정은, 오퍼레이터가 터치 패널(도시하지 않음)에 표시된 화상(162)을 참조하면서, 터치 패널을 조작하여 보관부(78) 또는 유지부(116)의 위치를 변경하는 것에 의해 실시한다. 그리고, 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치가 조정된 후, 다시 카메라(86)에 의해 촬영을 실시하면, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치된 상태의 화상(162)이 취득된다. 도 9(B)는, 미리 정해진 위치 관계로 배치된 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)를 포함한 화상(162)을 나타내는 화상도이다.
그리고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치된 상태에 있어서의 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치가, 지정 위치로서 위치 등록부(66a)에 등록된다. 이에 의해, 등록 단계에서 위치 등록부(66a)에 등록된 지정 위치가, 새롭게 취득된 지정 위치에 따라 덮어쓰기된다(덮어쓰기 단계).
덮어쓰기 단계를 실시하면, 보관부(78)와 유지부(116)를 원하는 위치 관계로 배치하기 위한 지정 위치가 갱신된다. 그 후, 블레이드 교환 장치(64)가 재가동하여, 보관부(78)와 유지부(116)가 올바르게 배치된 상태에서의 절삭 블레이드(50)의 교환이 재개된다.
이상과 같이, 본 실시 형태와 관련되는 블레이드 교환 장치(64)는, 카메라(86)로 촬영 가능한 제1 표시부(84)가 설치된 보관부(78)와, 카메라(86)로 촬영 가능한 제2 표시부(118)가 설치된 유지부(116)를 구비한다. 이에 의해, 카메라(86)에 의해 취득된 화상(162)에 기초하여 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있는지 아닌지를 판정하고, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 관계의 적부(適否)를 확인하는 것이 가능해진다.
그리고, 제1 표시부(84)와 제2 표시부(118)가 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있지 않다고 판정된 경우에는, 보관부(78)와 유지부(116)의 위치 관계를 조정하여, 그 때의 보관부(78) 및 유지부(116)의 위치를 지정 위치로서 위치 등록부(66a)에 덮어쓰기할 수 있다. 이에 의해, 보관부(78)와 유지부(116)의 적절한 위치 관계가 정기적으로 갱신되고, 보관부(78)에 보관되고 있는 절삭 블레이드(50)를 유지부(116)에 의해 적절히 유지 가능한 상태가 유지된다.
또한, 블레이드 교환 장치(64)의 구성은, 절삭 블레이드(50)의 교환이 가능한 범위 내에서 적절하게 변경할 수 있다. 예컨대 블레이드 교환 장치(64)에 탑재되는 블레이드 착탈 유닛(100)은, 절삭 블레이드(50)를 파지하는 한 쌍의 블레이드 유지 유닛을 구비하고 있어도 좋다.
도 10은, 블레이드 착탈 유닛(100)을 나타내는 사시도이다. 도 10에 나타내는 블레이드 착탈 유닛(100)은, 도 5에 나타내는 블레이드 유지 유닛(110A,110B)을 대신하여, 블레이드 유지 유닛(170A,170B)을 구비한다.
샤프트(106)의 일단 측에는, 절삭 유닛(38A)(도 1 참조)에 장착되고 있는 절삭 블레이드(50), 및 절삭 유닛(38A)에 새롭게 장착되는 절삭 블레이드(50)를 유지하는 블레이드 유지 유닛(170A)이 고정되어 있다. 또한, 샤프트(106)의 타단측에는, 절삭 유닛(38B)(도 1 참조)에 장착되고 있는 절삭 블레이드(50), 및 절삭 유닛(38B)에 새롭게 장착되는 절삭 블레이드(50)를 유지하는 블레이드 유지 유닛(170B)이 고정되어 있다.
블레이드 유지 유닛(170A,170B)은 각각, 측면에서 보았을 때 타원 형상으로 형성되고 샤프트(106)의 선단부에 고정된 판형의 지지 부재(172)와, 지지 부재(172)의 동력 전달 기구(104)와는 반대측을 향하는 면측에 설치된 블레이드 파지 유닛(174A,174B)을 구비한다. 블레이드 파지 유닛(174A)은 지지 부재(112)의 일단 측에 고정되고, 블레이드 파지 유닛(174B)은 지지 부재(112)의 타단측에 고정되어 있다.
블레이드 파지 유닛(174A,174B)은 각각, 지지 부재(112)에 고정된 원통형의 유지부(파지부)(176)를 구비한다. 유지부(176)는, 동력 전달 기구(104)와는 반대측을 향하는 표면(176a)을 구비한다. 또한, 유지부(176)에는, 표면(176a)으로부터 돌출하는 위치 결정 핀(178)이 설치되어 있다. 위치 결정 핀(178)은, 그 선단부가 마운트(44)의 지지축(48)에 형성된 오목부(48b)(도 2 참조)의 위치 및 크기에 대응하여 형성되고 있고, 오목부(48b)에 삽입 가능하게 되어 있다.
유지부(176)의 주위에는, 절삭 블레이드(50)의 볼록부(52b)(도 2 참조)를 파지하는 복수의 파지 부재(180)가, 유지부(176)의 원주 방향을 따라 대략 등간격으로 배치되어 있다. 파지 부재(180)는 각각 기둥 형상으로 형성되어 있고, 파지 부재(180)의 기단부(일단측)는 유지부(176)의 외주면에 고정되어 있다.
도 10에는, 절삭 블레이드(50)의 볼록부(52b)의 외주면을 사방에서 파지하는 4개의 파지 부재(180)가 설치되고 있는 예를 나타내고 있다. 파지 부재(180)의 선단부(타단측)는 유지부(176)의 표면(176a)으로부터 돌출하고 있고, 이 선단부에는, 절삭 블레이드(50)의 볼록부(52b)의 외주면과 접촉하는 접촉부(180a)가 형성되어 있다.
파지 부재(180)의 선단측은, 예컨대 유지부(176)의 내부에 수용된 이동 기구(도시하지 않음)에 의해, 유지부(176)의 반경 방향을 따라 이동한다. 이 이동 기구는, 접촉부(180a)가 절삭 블레이드(50)의 볼록부(52b)(도 2 참조)의 외주면과 접촉하여 절삭 블레이드(50)가 파지되는 상태(닫힌 상태)와, 접촉부(180a)가 닫힌 상태의 때보다 유지부(176)의 반경 방향 외측에 배치되어 절삭 블레이드(50)의 파지가 해제되는 상태(열린 상태)를 전환한다.
블레이드 유지 유닛(170A)은, 절삭 유닛(38A)에 장착된 절삭 블레이드(50)의 교환을 실시한다. 구체적으로는, 블레이드 유지 유닛(170A)의 블레이드 파지 유닛(174A)은, 절삭 유닛(38A)에 장착된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)를 파지하여 유지한다. 또한, 블레이드 유지 유닛(170A)의 블레이드 파지 유닛(174B)은, 블레이드 보관부(70A)(도 3 참조)에 보관된 교환용의 절삭 블레이드(50)를 파지하여 유지한다.
마찬가지로, 블레이드 유지 유닛(170B)은, 절삭 유닛(38B)에 장착된 절삭 블레이드(50)의 교환을 실시한다. 구체적으로는, 블레이드 유지 유닛(170B)의 블레이드 파지 유닛(174A)은, 절삭 유닛(38B)에 장착된 사용이 끝난 절삭 블레이드(50)를 파지하여 유지한다. 또한, 블레이드 유지 유닛(170B)의 블레이드 파지 유닛(174B)은, 블레이드 보관부(70B)(도 3 참조)에 보관된 교환용의 절삭 블레이드(50)를 파지하여 유지한다.
복수의 파지 부재(180)에 의해 절삭 블레이드(50)의 볼록부(52b)가 사방에서 파지되면, 절삭 블레이드(50)는, 그 중심 위치가 유지부(176)의 중심 위치와 Y축 방향에 있어서 겹치도록 유지된다. 그 때문에, 절삭 블레이드(50)가 유지부(176)에 의해 유지되기 직전에, 절삭 블레이드(50)와 유지부(176)의 위치 관계에 근소한 어긋남이 있어도, 절삭 블레이드(50)가 복수의 파지 부재(180)로 파지되는 것에 의해, 절삭 블레이드(50)와 유지부(176)의 위치 맞춤이 자동적으로 실시된다.
또한, 유지부(176)에는, 유지부(176)의 위치를 나타내는 제2 표시부(182)가 설치되어 있다. 예컨대 제2 표시부(182)는, 위치 결정 핀(178)의 선단부의 중앙에 부가되고, 카메라(86)(도 4 참조)에 의해 촬영 가능한 마커이다. 도 10에는, 제2 표시부(182)로서 십자형의 마크가 부가된 유지부(176)를 나타내고 있다.
제2 표시부(182)는, 도 5 등에 나타내는 제2 표시부(118)와 마찬가지로, 블레이드 보관부(70A,70B)의 보관부(78)와 블레이드 파지 유닛(174A,174B)의 유지부(176)의 위치 맞춤에 이용된다. 제2 표시부(182)를 이용한 위치 맞춤 방법은, 제2 표시부(118)를 이용한 위치 맞춤 방법과 같다. 또한, 제2 표시부(182)의 종류, 형상, 위치 등도, 제2 표시부(118)와 마찬가지로 적절하게 변경할 수 있다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 절삭 블레이드(50)가 너트(56)에 의해 고정되는 절삭 유닛(38A,38B)에 대해 설명했다. 다만, 절삭 유닛(38A,38B)은, 절삭 블레이드(50)를 흡인 유지하는 기구를 구비하고 있어도 좋다. 이 경우에는, 절삭 블레이드(50)를 고정하기 위한 너트(56)가 불필요해진다. 이에 의해, 착탈 유닛(98)의 너트 착탈 유닛(130)을 생략하는 것이 가능해져, 착탈 유닛(98)의 경량화를 도모할 수 있다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)이 블레이드 착탈 유닛(100)의 측방을 향하도록 구성된 예에 대해 설명했다(도 5 등 참조). 다만, 블레이드 착탈 유닛(100)은, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)이 블레이드 착탈 유닛(100)의 하방을 향하도록 이동 가능(회전 가능)하게 구성되어 있어도 좋다. 이 경우, 회전축(74)(도 4 등 참조)을 Z축 방향을 따라 배치하고, 지지 부재(76)의 표면(76a)(지지 부재(80)의 표면(80a))을 X축 방향 및 Y축 방향과 평행한 방향을 따라 배치해도 좋다.
상기와 같이 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)과 지지 부재(76)의 표면(76a)을 Z축 방향에 있어서 대향시키는 경우, 지지 부재(76)는, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)의 이동 경로의 바로 아래에 설치된다. 또한, 착탈 유닛(98)에는, 블레이드 흡인 유닛(114A,114B)을 임의의 위치로 이동시키는 이동 기구(로봇 암 등)가 접속되고 있어도 좋다.
그 외, 상기 실시형태와 관련되는 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.
11　피가공물 13　테이프(다이싱 테이프)
15　프레임 2　절삭 장치
4　베이스 4a　개구
4b　개구 6　카세트 유지대
8　카세트 10　이동 기구
10a　이동 테이블 12　방진 방적 커버
14　척 테이블(유지 테이블) 14a　유지면
16　클램프 18　가이드 레일
20　제1 지지 구조 22　레일
24　이동 기구 26　유지 유닛
26a　파지 기구 28　레일
30　이동 기구 32　유지 유닛
34　제2 지지 구조 36A,36B　이동 기구
38A,38B　절삭 유닛 40　하우징
42　스핀들(회전축) 44　마운트
46　플랜지부 46a　표면
46b　볼록부 46c　선단면
48　지지축 48a　나사부
48b　오목부 50　절삭 블레이드
52　베이스 52a　개구
52b　볼록부 54　절삭날
56　너트 56a　개구
56b　관통 구멍 60　카메라(촬상 유닛)
62　세정 유닛 62a　스피너 테이블
62b　노즐
64　블레이드 교환 장치(블레이드 교환 기구)
66　제어 유닛(제어부) 66a　위치 등록부(위치 기억부)
66b　동작 제어부
70A,70B　블레이드 보관부(블레이드 랙)
72　지지 구조 74　회전축
76　지지 부재 76a　표면
76b　이면 76c　개구
78　보관부 80　지지 부재
80a　표면 82　보스부(지지축)
84　제1 표시부 86　카메라(촬상 유닛)
88　반송 유닛(반송 기구) 90　이동 기구
90a　베이스 92　볼 나사
94　이동 블록 96　지지 부재
96a　상벽부 96b　측벽부
96c　지지부 98　착탈 유닛(착탈 기구)
100　블레이드 착탈 유닛 102　모터
102a　케이스 102b　도르래
104　동력 전달 기구 104a　케이스
104b　도르래 104c　관통 구멍
106　샤프트 108　연결 부재
110A,110B　블레이드 유지 유닛 112　지지 부재
114A,114B　블레이드 흡인 유닛 116　유지부(흡인 유지부)
116a　유지면 116b　홈(오목부)
118　제2 표시부 130　너트 착탈 유닛
132　모터 132a　케이스
132b　도르래 134　동력 전달 기구
134a　케이스 134b　도르래
134c　관통 구멍 136　샤프트
138　연결 부재 140A,140B　너트 유지 유닛
142　회전 부재 142a　표면
144　유지핀 146　파지 부재
146a　클로부 148　커버
160　화상 162　화상
170A,170B　블레이드 유지 유닛 172　지지 부재
174A,174B　블레이드 파지 유닛 176　유지부(파지부)
176a　표면 178　위치 결정 핀
180　파지 부재 180a　접촉부
182　제2 표시부

Claims (4)

  1. 절삭 장치에 구비된 스핀들의 선단부에 고정되어 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치의 조정 방법에 있어서,
    상기 블레이드 교환 장치는,
    투명한 지지 부재의 표면측에서 상기 절삭 블레이드를 보관하는 이동 가능한 보관부를 가지는 블레이드 보관부와,
    상기 절삭 블레이드를 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 보관부와 상기 스핀들의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 절삭 블레이드를 반송하는 반송 유닛과,
    상기 지지 부재의 이면측에 설치되고, 상기 지지 부재를 통해 상기 지지 부재의 표면측에 위치된 상기 유지부를 촬영하는 카메라와,
    상기 블레이드 보관부와 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 동작 제어부와, 상기 블레이드 보관부에 상기 절삭 블레이드를 착탈할 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치가 등록되는 위치 등록부를 가지는 제어 유닛을 구비하고,
    상기 보관부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제1 표시부를 구비하고,
    상기 유지부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부를 구비하고,
    상기 카메라로 상기 제1 표시부를 촬영하는 것과 함께 상기 지지 부재를 통해 상기 제2 표시부를 촬영하는 것에 의해, 상기 제1 표시부 및 상기 제2 표시부를 포함한 화상을 취득하고, 상기 화상에 기초하여 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 미리 정해진 위치 관계로 배치되었을 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치를, 지정 위치로서 상기 위치 등록부에 등록하는 등록 단계와,
    상기 보관부와 상기 유지부를 상기 위치 등록부에 등록된 상기 지정 위치에 배치되도록 이동시키고, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있는지 아닌지를 판정하는 판정 단계와,
    상기 판정 단계에서 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 미리 정해진 위치 관계로 배치되어 있지 않다고 판정된 경우, 상기 제1 표시부와 상기 제2 표시부가 상기 소정의 관계로 배치되도록 상기 보관부 또는 상기 유지부의 위치를 조정한 후, 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치를 상기 지정 위치로서 상기 위치 등록부에 덮어쓰기하는 덮어쓰기 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 장치의 조정 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인 유지부 또는 상기 절삭 블레이드를 파지하는 파지부인 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 장치의 조정 방법.
  3. 절삭 장치에 구비된 스핀들의 선단부에 고정되어 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 장치에 있어서,
    투명한 지지 부재의 표면측에서 상기 절삭 블레이드를 보관하는 이동 가능한 보관부를 가지는 블레이드 보관부와,
    상기 절삭 블레이드를 유지하는 유지부와, 상기 유지부를 상기 보관부와 상기 스핀들의 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 절삭 블레이드를 반송하는 반송 유닛과,
    상기 지지 부재의 이면측에 설치되고, 상기 지지 부재를 통해 상기 지지 부재의 표면측에 위치된 상기 유지부를 촬영하는 카메라와,
    상기 블레이드 보관부와 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 동작 제어부와, 상기 블레이드 보관부에 상기 절삭 블레이드를 착탈할 때의 상기 보관부 및 상기 유지부의 위치가 등록되는 위치 등록부를 가지는 제어 유닛을 구비하고,
    상기 보관부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제1 표시부를 구비하고,
    상기 유지부는, 상기 카메라로 촬영 가능한 제2 표시부를 구비한 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 유지부는, 상기 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 흡인 유지부 또는 상기 절삭 블레이드를 파지하는 파지부인 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 장치.
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