JP2013202740A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削手段26と、切削ブレード30の種類情報を入力する入力手段36と、チャックテーブル18と切削手段26とを加工送り方向に相対移動する加工送り手段と、チャックテーブル18と切削手段26とを割り出し送り方向に相対移動する割り出し送り手段と、切削ブレード30を所定の高さに位置付ける位置付け手段と、加工送り手段と割り出し送り手段と位置付け手段とを制御する制御手段とを具備し、制御手段は、切削ブレード30の種類毎にドレス条件を記憶したドレス条件記憶部と、入力された切削ブレード30の種類情報に対応したドレス条件を選択し、対応ドレス条件に基づいて加工送り手段と割り出し送り手段と位置付け手段とを作動させドレッシングを実施するドレス作動部とを有する。
【選択図】図1
Description
F 環状フレーム
8 ウエーハカセット
11 半導体ウエーハ
18 チャックテーブル
26 切削ユニット
28 スピンドル
30 切削ブレード(ワッシャーブレード)
44 ブレードマウント
48 固定フランジ
54 着脱フランジ
58 切削ブレード(ハブブレード)
68 ブレード収容ケース
70,72 バーコード
74 ドレスボード
Claims (1)
- 被加工物を切削する切削装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードとを含む切削手段と、
該切削ブレードの種類情報を入力する入力手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを加工送り方向に相対移動する加工送り手段と、
該チャックテーブルと該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動する割り出し送り手段と、
該切削ブレードを所定の高さ位置に位置付ける位置付け手段と、
該加工送り手段と該割り出し送り手段と該位置付け手段とを制御する制御手段と、を具備し、
該制御手段は、切削ブレードの種類毎に対応するドレス条件を複数記憶したドレス条件記憶部と、
該入力手段で入力された該切削ブレードの該種類情報に対応した対応ドレス条件を該ドレス条件記憶部から選択し、該対応ドレス条件に基づいて該加工送り手段と該割り出し送り手段と該位置付け手段とを作動させ該切削ブレードのドレッシングを実施するドレス作動部と、
を有することを特徴とする切削装置。
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