JP7341602B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、被加工物を切削する切削装置に関する。

デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画された複数の領域にそれぞれＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されたウェーハ等が用いられる。このウェーハを分割予定ラインに沿って分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。

ウェーハの分割には、例えば切削装置が用いられる。切削装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルによって保持されたウェーハに対して切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、ウェーハを切削する環状の切削ブレードが装着されるスピンドル（回転軸）を備えており、切削ブレードはナットによってスピンドルの先端部に固定される。切削ユニットに装着された切削ブレードを回転させてウェーハに切り込ませることにより、ウェーハが切削され、分割される。

また、ウェーハの切削には、一対の加工ユニットを備え、一対の切削ブレードが互いに対向するように装着される、所謂フェイシングデュアルタイプの切削装置が用いられることがある。フェイシングデュアルタイプの切削装置を用いることにより、例えば加工条件（切削ブレードの種類、ウェーハへの切り込み深さ等）の異なる２種類の切削加工を同時進行で実施することが可能となる。

切削ブレードはウェーハの加工によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定しているナットを緩めて取り外し、使用済みの切削ブレードを取り外す。その後、交換用の切削ブレードをスピンドルの先端部に装着し、ナットで交換用の切削ブレードを固定する。この切削ブレードの交換作業は、手動で行うと手間がかかり、また、作業中に切削ブレードやナットが誤って落下する恐れがある。そこで、切削ブレードの交換を自動で行う試みがなされている。

特許文献１には、フェイシングデュアルタイプの切削装置に設けられ、切削ブレードの交換を自動で行うブレード交換装置が開示されている。このブレード交換装置は、切削ブレードの着脱を行う機構（ブレード着脱ユニット）と、切削ブレードをスピンドルの先端部に固定するためのナットの着脱を行う機構（ナット着脱ユニット）とを備える。

特開２００７－２２９８４３号公報

フェイシングデュアルタイプの切削装置に搭載されるブレード交換装置は、一対の切削ユニットそれぞれについて切削ブレードの交換を行うため、ナットを保持して回転させる一対のナット回転部を備えている。そして、一対のナット回転部にはそれぞれ、ナット回転部を回転させるためのモータが接続される。

しかしながら、ナット回転部を回転させるモータには相当のサイズと重量がある。そのため、一対のナット回転部のそれぞれに対して個別にモータを設けると、ブレード交換装置のサイズ及び重量が増大する。また、ブレード交換装置を構成及び稼働するために、複数のモータの準備及びメンテナンスが必要となり、コストが増大する。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、小型化、軽量化、又は低コスト化されたブレード交換装置を備えた切削装置の提供を目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルを備え、該スピンドルに装着された切削ブレードで該チャックテーブルによって保持された該被加工物を切削する、第１切削ユニット及び第２切削ユニットと、該第１切削ユニットの該スピンドルに装着された該切削ブレードの交換と、該第２切削ユニットの該スピンドルに装着された該切削ブレードの交換とを行うブレード交換装置と、を有する切削装置であって、該ブレード交換装置は、該スピンドルに該切削ブレードを固定するためのナットの締め付け及び取り外しを行うナット着脱ユニットと、該切削ブレードの該スピンドルへの取り付け、及び、該切削ブレードの該スピンドルからの取り外しを行うブレード着脱ユニットと、を備え、該ナット着脱ユニットは、回転軸部と、該回転軸部の一端側に固定され、該第１切削ユニットの該スピンドルに該切削ブレードを固定するための該ナットを保持して回転する第１ナット回転部と、該回転軸部の他端側に固定され、該第２切削ユニットの該スピンドルに該切削ブレードを固定するための該ナットを保持して回転する第２ナット回転部と、１つのモータと、該モータ及び回転軸部に接続され、該回転軸部に該モータの動力を伝達する動力伝達ユニットと、を備える切削装置が提供される。

なお、該第１ナット回転部の回転軸と、該第２ナット回転部の回転軸とは、該回転軸部の長さ方向に沿って同一直線上に設定されていてもよい。また、該動力伝達ユニットは、該回転軸部の回転速度が該モータの回転速度よりも小さくなるように該動力を伝達し、該第１ナット回転部及び該第２ナット回転部のトルクを該モータのトルクよりも大きくする減速機であってもよい。また、該減速機は、かさ歯車又はハイポイドギアを備えていてもよい。

本発明の一態様に係る切削装置は、切削ブレードの交換を行うブレード交換装置を備える。また、ブレード交換装置は、モータと、一端側に第１ナット回転部が固定され、他端側に第２ナット回転部が固定された回転軸部と、回転軸部にモータの動力を伝達する動力伝達ユニットとを備える。

上記のブレード交換装置は、モータの動力を、動力伝達ユニット及び回転軸部を介して第１ナット回転部及び第２ナット回転部に伝達できる。すなわち、１つのモータで２つのナット回転部を駆動することができる。これにより、第１ナット回転部と第２ナット回転部のそれぞれに対して個別にモータを設ける必要がなく、ブレード交換装置の小型化、軽量化、又は低コスト化を図ることができる。

切削装置を示す斜視図である。 切削ユニットを示す斜視図である。 着脱ユニットを示す斜視図である。 電力伝達ユニットを示す斜視図である。 電力伝達ユニットの内部を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る切削装置の構成例を説明する。図１は、切削装置２を示す斜視図である。

切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の前方側の角部には開口４ａが形成されており、この開口４ａの内部には、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット保持台６が設けられている。カセット保持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容可能なカセット８が配置される。なお、図１ではカセット８の輪郭を破線で示している。

被加工物１１は、例えばシリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。被加工物１１の表面側は、互いに交差するように格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。例えば、切削装置２によって被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割すると、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが得られる。

被加工物１１の裏面側には、樹脂等でなり被加工物１１よりも径の大きい円形のテープ１３が貼付されている。このテープ１３の外周部には、中央部に被加工物１１よりも径の大きい開口を備える環状のフレーム１５が貼付されている。被加工物１１は、テープ１３を介してフレーム１５によって支持された状態で、カセット８に収容される。

なお、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハ等であってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物１１は、フレーム１５に支持されていない状態、又はテープ１３が貼付されていない状態でカセット８に収容されてもよい。

開口４ａの側方には、矩形状の開口４ｂが、その長手方向がＸ軸方向（前後方向、加工送り方向）に沿うように形成されている。開口４ｂの内部には、ボールねじ式の移動機構１０と、移動機構１０の上部の一部を覆う防塵防滴カバー１２とが配置されている。移動機構１０は移動テーブル１０ａを備えており、移動テーブル１０ａをＸ軸方向に沿って移動させる。

移動テーブル１０ａ上には、被加工物１１を保持するチャックテーブル（保持テーブル）１４が設けられている。チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に接続されており、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向）に概ね平行な回転軸の周りを回転する。移動機構１０によって、チャックテーブル１４がＸ軸方向に沿って移動する（加工送り）。

チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａを構成する。保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を把持して固定する複数のクランプ１６が設けられている。

開口４ｂの上方には、Ｙ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）と概ね平行な状態を維持しながら、互いに接近及び離隔する一対のガイドレール１８が設けられている。一対のガイドレール１８はそれぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備える。一対のガイドレール１８は、被加工物１１が仮置きされる仮置き領域に相当し、被加工物１１を支持するフレーム１５をＸ軸方向に沿って挟み込んで所定の位置に配置する（位置合わせ）。

基台４の上方には、門型の第１支持構造２０が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造２０の前面側（ガイドレール１８側）には、レール２２がＹ軸方向に沿って固定されている。このレール２２には、移動機構２４を介して保持ユニット２６が連結されている。

保持ユニット２６は、例えば、フレーム１５の上面に接触してフレーム１５を吸着保持する。また、保持ユニット２６は、移動機構２４によって昇降するとともに、レール２２に沿ってＹ軸方向に移動する。保持ユニット２６は、一対のガイドレール１８によって位置合わせが行われたフレーム１５を吸着保持して、チャックテーブル１４上に搬送する。

また、保持ユニット２６の開口４ａ側には、フレーム１５を把持する把持機構２６ａが設けられている。カセット８に収容されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に移動させることにより、フレーム１５がカセット８から一対のガイドレール１８上に引き出される。また、一対のガイドレール１８上に配置されたフレーム１５を把持機構２６ａで把持した状態で、保持ユニット２６をＹ軸方向に移動させることにより、フレーム１５がカセット８に収容される。

さらに、第１支持構造２０の前面側には、レール２８がＹ軸方向に沿って固定されている。このレール２８には、移動機構３０を介して保持ユニット３２が連結されている。保持ユニット３２は、例えば、フレーム１５の上面に接触してフレーム１５を吸着保持する。また、保持ユニット３２は、移動機構３０によって昇降するとともに、レール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。

第１支持構造２０の後方には、門型の第２支持構造３４が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第２支持構造３４の前面側（第１支持構造２０側）の両側端部には、一対の移動機構３６ａ，３６ｂが固定されている。また、移動機構３６ａの下部には切削ユニット３８ａ（第１切削ユニット）が設けられており、移動機構３６ｂの下部には切削ユニット３８ｂ（第２切削ユニット）が設けられている。

移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させることにより、切削ユニット３８ａのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が調節される。また、移動機構３６ｂによって切削ユニット３８ｂをＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させることにより、切削ユニット３８ｂのＹ軸方向及びＺ軸方向における位置が調節される。

図２は、切削ユニット３８ａを示す斜視図である。切削ユニット３８ａは、円筒状のハウジング７０を備え、このハウジング７０の内部には円筒状のスピンドル（回転軸）７２が収容されている。スピンドル７２の先端部（一端側）はハウジング７０の外部に露出しており、この先端部には側面視で円形のマウント７４が固定されている。また、スピンドル７２の基端部（他端側）には、スピンドル７２を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

マウント７４は、円盤状のフランジ部７６と、フランジ部７６の表面７６ａの中央部から突出する円筒状の支持軸７８とを備える。また、フランジ部７６の外周部の表面７６ａ側には、表面７６ａから突出する環状の凸部７６ｂが設けられている。凸部７６ｂの先端面は、表面７６ａに対して概ね平行に形成されている。

支持軸７８の外周面には、ねじ部７８ａが形成されている。また、支持軸７８の先端面の中央部には凹部７８ｂが形成されている。この支持軸７８に、被加工物１１を切削する環状の切削ブレード８０が装着される。切削ブレード８０は、中央部に円形の開口８２ａを有する環状の基台８２と、基台８２の外縁部に沿って形成された環状の切刃８４とを備える。また、基台８２の開口８２ａの周囲には、基台８２の幅方向に突出する環状の把持部８２ｂが形成されている。

切刃８４は、例えば、ダイヤモンド等でなる砥粒をニッケルめっき層で固定することにより形成される。ただし、切刃８４の砥粒及び結合材の材質に制限はなく、被加工物１１の材質や加工内容等に応じて適宜選択される。

支持軸７８のねじ部７８ａには、切削ブレード８０を固定するための環状のナット８６が締結される。ナット８６の中央部には、支持軸７８の径に対応する円形の開口８６ａが形成されている。この開口８６ａには、支持軸７８に形成されたねじ部７８ａに対応するねじ溝が形成されている。また、ナット８６には、ナット８６を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔８６ｂが、ナット８６の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

切削ブレード８０は、基台８２の開口８２ａに支持軸７８が挿入されるように、マウント７４に装着される。そして、切削ブレード８０がマウント７４に装着された状態で、ナット８６を支持軸７８のねじ部７８ａに螺合して締め付けると、切削ブレード８０がフランジ部７６の凸部７６ｂの先端面とナット８６とによって挟持される。このようにして、切削ブレード８０がスピンドル７２の先端部に装着される。

なお、ここでは切削ユニット３８ａの構成について説明したが、切削ユニット３８ｂの構成も切削ユニット３８ａと同様である。そして、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０と切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード８０とは、互いに対向するように配置される。また、切削ユニット３８ａ，３８ｂはそれぞれ、被加工物１１や切削ブレード８０に純水等の切削液を供給するためのノズルを備えている。

図１に示すように、切削ユニット３８ａ，３８ｂに隣接する位置にはそれぞれ、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１等を撮像する撮像ユニット（カメラ）４０が設けられている。撮像ユニット４０によって取得された画像は、例えば、チャックテーブル１４によって保持された被加工物１１と、切削ユニット３８ａ，３８ｂとの位置合わせ等に用いられる。

チャックテーブル１４上にテープ１３を介して被加工物１１を配置し、クランプ１６でフレーム１５を固定した状態で、保持面１４ａに吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル１４によって吸引保持される。そして、被加工物１１に向かって切削液を供給しながら、回転する切削ブレード８０を被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１が切削される。

開口４ｂの側方（開口４ａの反対側）には、洗浄ユニット４２が配置されている。洗浄ユニット４２は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を保持するスピンナテーブル４４を備えている。スピンナテーブル４４の下部には、スピンナテーブル４４を所定の速度で回転させる回転駆動源（不図示）が連結されている。

スピンナテーブル４４の上方には、スピンナテーブル４４によって保持された被加工物１１に向かって洗浄用の流体（例えば、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射するノズル４６が配置されている。被加工物１１を保持したスピンナテーブル４４を回転させながら、ノズル４６から被加工物１１に向かって流体を噴射することにより、被加工物１１が洗浄される。

切削ユニット３８ａ，３８ｂによる加工の後、被加工物１１は保持ユニット３２によって洗浄ユニット４２に搬送され、洗浄される。その後、被加工物１１は保持ユニット２６によって吸引保持され、一対のガイドレール１８上に搬送される。そして、一対のガイドレール１８による位置合わせが行われた後、保持ユニット２６は把持機構２６ａでフレーム１５を把持し、被加工物１１をカセット８に収容する。

第２支持構造３４の裏面側（後方側）には、切削ユニット３８ａのスピンドル７２（図２参照）に装着された切削ブレード８０の交換と、切削ユニット３８ｂのスピンドル７２に装着された切削ブレード８０の交換とを行うブレード交換装置（ブレード交換機構）５０が設けられている。ブレード交換装置５０は、複数の切削ブレード８０を保持して保管する一対のブレードラック５２ａ，５２ｂを備える。ブレードラック５２ａ，５２ｂは、Ｙ軸方向に沿って互いに対向するように配置されている。

ブレードラック５２ａは、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状の支持軸５４ａと、支持軸５４ａの先端部に固定された円盤状の保持部５６ａとを備える。また、ブレードラック５２ｂは、Ｙ軸方向に沿って配置された円筒状の支持軸５４ｂと、支持軸５４ｂの先端部に固定された円盤状の保持部５６ｂとを備える。支持軸５４ａ，５４ｂはそれぞれ、モータ等の回転駆動源（不図示）に接続されており、Ｙ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。

保持部５６ａの表面側（ブレードラック５２ｂ側）、及び、保持部５６ｂの表面側（ブレードラック５２ａ側）にはそれぞれ、複数の切削ブレード８０が保持される。図１には、保持部５６ａ，５６ｂにそれぞれ６枚の切削ブレード８０が、保持部５６ａ，５６ｂの周方向に沿って概ね等間隔に保持されている例を示している。また、保持部５６ａによって保持された切削ブレード８０と、保持部５６ｂによって保持された切削ブレード８０とは、互いに対向している。

ブレードラック５２ａ，５２ｂの間の領域には、板状の基台５８が設けられている。基台５８は、例えば第２支持構造３４の後方に設けられた固定部材（不図示）に固定されている。基台５８は、水平方向（ＸＹ平面方向）と概ね平行に配置されており、基台５８の下面側には移動機構６０が固定されている。

移動機構６０は、基台５８の下面側にＸ軸方向に沿って固定されたボールねじ６２を備える。また、ボールねじ６２には、直方体状の移動部材６４が螺合されており、移動部材６４の下面側には、側面視でコの字型に形成された支持部材６６が固定されている。この支持部材６６は、切削ブレード８０及びナット８６（図２参照）の着脱を行う着脱ユニット（着脱機構）６８を支持している。

ボールねじ６２の端部には、パルスモータ（不図示）が接続されている。このパルスモータによってボールねじ６２を回転させると、支持部材６６で支持された着脱ユニット６８がボールねじ６２に沿ってＸ軸方向に移動する。これにより、着脱ユニット６８のＸ軸方向における位置が制御される。

図３は、着脱ユニット６８を示す斜視図である。着脱ユニット６８を支持する支持部材６６は、移動部材６４の下面側に水平方向に沿って固定された板状の上壁部６６ａと、上壁部６６ａの後方側の端部から下方に向かって突出する柱状の側壁部６６ｂと、側壁部６６ｂの下端部から前方側に突出し、上壁部６６ａと概ね平行に配置された板状の支持部６６ｃとを備える。着脱ユニット６８は、支持部材６６の支持部６６ｃによって支持されている。

着脱ユニット６８は、スピンドル７２に切削ブレード８０を固定するためのナット８６（図２参照）の締め付け及び取り外しを行うナット着脱ユニット１００と、切削ブレード８０のスピンドル７２への取り付け、及び、切削ブレード８０のスピンドル７２からの取り外しを行うブレード着脱ユニット１４０とを備える。ナット着脱ユニット１００及びブレード着脱ユニット１４０はそれぞれ、支持部材６６の支持部６６ｃ上で固定されている。

ナット着脱ユニット１００は、回転駆動源を構成するモータ１０２と、モータ１０２に接続された動力伝達ユニット（動力伝達機構）１０４とを備える。モータ１０２と動力伝達ユニット１０４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１０２は、ロータやステータ等の構成要素を収容する中空の立方体状の筐体１０２ａと、ロータと接続されＺ軸方向に沿って配置された回転軸（出力シャフト）１０２ｂ（図４参照）とを備える。回転軸１０２ｂの上端部は筐体１０２ａの上面から露出しており、この上端部には円盤状の滑車部材（滑車部）１０２ｃが固定されている。モータ１０２に電力が供給されると、回転軸１０２ｂ及び滑車部材１０２ｃがＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。

動力伝達ユニット１０４は、中空の立方体状に形成された筐体１０４ａと、筐体１０４ａに収容されＺ軸方向に沿って配置された回転軸１０４ｂとを備える。回転軸１０４ｂの上端部は筐体１０４ａの上面から露出しており、この上端部には円盤状の滑車部材（滑車部）１０４ｃが固定されている。

また、筐体１０４ａには、筐体１０４ａを左右（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１０４ｄが形成されている。この貫通孔１０４ｄには、回転軸部１０６が筐体１０４ａを貫通するように挿入されており、回転軸部１０６の両端部は筐体１０４ａの両側面から露出している。なお、図３では、回転軸部１０６が１本の円筒状のシャフトによって構成されている例を示している。

回転軸部１０６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転可能な状態で保持されており、筐体１０４ａの内部で回転軸１０４ｂと連結されている。なお、回転軸１０４ｂと回転軸部１０６との連結機構の詳細については後述する。

モータ１０２と動力伝達ユニット１０４とは、ベルトやチェーン等でなる環状の連結部材１０８によって連結されている。連結部材１０８は、モータ１０２の滑車部材１０２ｃの側面、及び、動力伝達ユニット１０４の滑車部材１０４ｃの側面と接触するように、平面視で長円状に巻き付けられている。滑車部材１０２ｃ、滑車部材１０４ｃ、及び連結部材１０８によって、滑車機構が構成される。

モータ１０２に電力が供給されると、モータ１０２の回転軸１０２ｂが回転する。そして、モータ１０２の回転動力が滑車部材１０２ｃ、連結部材１０８、及び滑車部材１０４ｃ介して、回転軸１０４ｂに伝達され、回転軸１０４ｂがＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。そして、回転軸１０４ｂの回転の動力が回転軸部１０６に伝達され、回転軸部１０６がＹ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。このように、モータ１０２の動力は動力伝達ユニット１０４によって回転軸部１０６に伝達される。

回転軸部１０６の一端側には、切削ユニット３８ａのスピンドル７２に切削ブレード８０を固定するためのナット８６（図２参照）を保持して回転するナット回転部（ナット回転ユニット）１１０ａが固定されている。また、回転軸部１０６の他端側には、切削ユニット３８ｂのスピンドル７２に切削ブレード８０を固定するためのナット８６を保持して回転するナット回転部（ナット回転ユニット）１１０ｂが固定されている。

回転軸部１０６が回転すると、ナット回転部１１０ａ，１１０ｂは、回転軸部１０６とともにＹ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。なお、ナット回転部１１０ａの回転軸と、ナット回転部１１０ｂの回転軸とは、回転軸部１０６の長さ方向に沿って同一直線上に設定されている。

ナット回転部１１０ａ，１１０ｂはそれぞれ、回転軸部１０６の先端部に固定された円筒状の回転部材１１２を備える。回転部材１１２は、ばね等によって動力伝達ユニット１０４とは反対側に向かって付勢されており、外力の付与によってＹ軸方向に沿って移動可能に構成されている。また、回転部材１１２は、動力伝達ユニット１０４とは反対側に位置する表面１１２ａを備える。

回転部材１１２には、表面１１２ａから突出する４個の保持ピン１１４が設けられている。保持ピン１１４は、ナット８６（図２参照）の貫通孔８６ｂの位置及び大きさに対応して形成されており、貫通孔８６ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１１４の数は、貫通孔８６ｂの数に応じて適宜設定される。

また、回転部材１１２の周囲には、ナット８６を把持する複数の把持部材１１６が、回転部材１１２の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１１６はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１１６の基端部（一端側）は回転部材１１２の外周面に固定されている。図３には、ナット８６の外周面を四方から把持する４つの把持部材１１６が設けられている例を示している。

把持部材１１６の先端部（他端側）は回転部材１１２の表面１１２ａから突出しており、この先端部には、回転部材１１２の中心側に向かって屈曲した爪部１１６ａが形成されている。また、把持部材１１６は、ばね等によって回転部材１１２の半径方向外側に向かって付勢されており、爪部１１６ａが回転部材１１２の半径方向に沿って移動可能となるように構成されている。

さらに、回転部材１１２の周囲には、中空の円筒状に形成されたカバー１１８が設けられている。回転部材１１２と、把持部材１１６の基端側（動力伝達ユニット１０４側）とは、カバー１１８の内部に収容されている。回転部材１１２がカバー１１８の内側に向かって押圧されると、回転部材１１２を付勢するばね等が縮み、回転部材１１２が複数の把持部材１１６とともにカバー１１８の内側に押し込まれる。

なお、回転部材１１２が押圧されてカバー１１８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１１６の先端側（爪部１１６ａ側）がカバー１１８の内壁と接触して押圧され、把持部材１１６を付勢するばね等が縮む。これにより、複数の把持部材１１６の先端側が回転部材１１２の半径方向内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１１６は、その長さ方向がカバー１１８の内壁に沿うように配置された状態となる（閉状態）。このとき、把持部材１１６の爪部１１６ａは、例えば回転部材１１２の外周縁よりも回転部材１１２の半径方向内側に配置される。

一方、回転部材１１２に対する押圧が解除されると、回転部材１１２がカバー１１８の外側に向かって移動し、把持部材１１６の先端側がカバー１１８の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１１６の先端側が回転部材１１２の半径方向外側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１１６の先端側が、閉状態の際よりも回転部材１１２の半径方向外側に配置された状態となる（開状態）。このとき、把持部材１１６の爪部１１６ａは、例えば回転部材１１２の外周縁よりも回転部材１１２の半径方向外側に配置される。

上記のナット回転部１１０ａ，１１０ｂはそれぞれ、ナット８６を保持して回転する。具体的には、まず、ナット８６の貫通孔８６ｂ（図２参照）に回転部材１１２の保持ピン１１４が挿入されるように、ナット８６が回転部材１１２の表面１１２ａと接触する。この状態で回転部材１１２がカバー１１８の内側に押し込まれると、複数の把持部材１１６が閉状態となって爪部１１６ａがナット８６の外周面と接触し、ナット８６が把持される。

複数の把持部材１１６によってナット８６が保持された状態で、モータ１０２を駆動させると、モータ１０２の動力が動力伝達ユニット１０４を介して回転軸部１０６に伝達され、回転軸部１０６が回転する。その結果、ナット回転部１１０ａ，１１０ｂが備える回転部材１１２が回転し、把持部材１１６によって保持されたナット８６も回転する。

ナット回転部１１０ａ，１１０ｂでナット８６を保持して回転させることにより、切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード８０の交換を行う際の、ナット８６の締め付け及び取り外しを自動で行うことができる。なお、切削ブレード８０の交換時におけるナット着脱ユニット１００の具体的な動作については後述する。

前述のように、モータ１０２の動力は、動力伝達ユニット１０４によって回転軸部１０６に伝達される。より具体的には、動力伝達ユニット１０４は、回転軸１０４ｂの回転の動力によって、回転軸部１０６を回転させる機構を備えている。図４は動力伝達ユニット１０４を示す斜視図であり、図５は動力伝達ユニット１０４の内部を示す斜視図である。なお、図５では、動力伝達ユニット１０４の筐体１０４ａの図示を省略している。

図４及び図５に示すように、動力伝達ユニット１０４は、筐体１０４ａの内部で回転軸部１０６を支持する、環状の第１ベアリング１２０及び環状の第２ベアリング１２２を備える。第１ベアリング１２０は、ナット回転部１１０ａ側で回転軸部１０６を囲むように固定されている。また、第２ベアリング１２２は、ナット回転部１１０ｂ側で回転軸部１０６を囲むように固定されている。

また、動力伝達ユニット１０４は、動力伝達ユニット１０４の回転軸１０４ｂ（図３参照）の回転の動力を回転軸部１０６の回転の動力に変換するギアユニット１２４を備える。ギアユニット１２４は、例えば回転軸１０４ｂに固定された第１ギア１２６と、回転軸部１０６に固定された第２ギア１２８とによって構成されており、互いに交差する軸間で動力を伝達する。

第１ギア１２６は、回転軸１０４ｂ（図３参照）の下端側にＺ軸方向に沿って連結されており、Ｚ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。第１ギア１２６の下端部には、第２ギア１２８と噛み合う歯部１２６ａが形成されている。

第２ギア１２８は、環状に形成されており、第１ベアリング１２０と第２ベアリング１２２との間で回転軸部１０６を囲むように固定されている。第２ギア１２８の第２ベアリング１２２と対向する面側には、第１ギア１２６の歯部１２６ａと噛み合う歯部１２８ａが形成されている。また、第２ギア１２８の第１ベアリング１２０と対向する面は、第１ベアリング１２０を支持する支持面１２８ｂを構成する。

第１ギア１２６と第２ギア１２８とは、歯部１２６ａと歯部１２８ａとが互いに噛み合うように配置される。また、歯部１２６ａと歯部１２８ａとは、回転軸がＺ軸方向に沿う第１ギア１２６が回転した際に、回転軸がＹ軸方向に沿う第２ギア１２８が回転するように構成されている。例えば、第１ギア１２６及び第２ギア１２８は、かさ歯車（まがりばかさ歯車、すぐばかさ歯車等）や、ハイポイドギアによって構成される。

また、第２ベアリング１２２のナット回転部１１０ｂ側には、側面視で矩形状の蓋部１３０が設けられている。蓋部１３０は、その一部が筐体１０４ａの内部に挿入され（図４参照）、筐体１０４ａのナット回転部１１０ｂと対向する側面を覆っている。また、蓋部１３０の第２ベアリング１２２と対向する面は、第２ベアリング１２２を支持する支持面１３０ａを構成する。

モータ１０２（図３参照）の動力によって動力伝達ユニット１０４の回転軸１０４ｂが回転すると、第１ギア１２６が回転し、第１ギア１２６と噛み合った第２ギア１２８がＹ軸方向と概ね平行な回転軸の周りを回転する。これにより、第２ギア１２８が固定された回転軸部１０６が、ナット回転部１１０ａ，１１０ｂとともに回転する。このようにして、回転軸１０４ｂの回転の動力がギアユニット１２４によって回転軸部１０６に伝達される。

なお、第２ギア１２８の歯数を第１ギア１２６の歯数よりも大きくすると、回転軸部１０６の回転速度がモータ１０２の回転速度（回転軸１０２ｂ及び回転軸１０４ｂの回転速度）よりも小さくなるように、モータ１０２の動力が回転軸部１０６に伝達される。すなわち、動力伝達ユニット１０４は減速機として機能する。この場合、ナット回転部１１０ａ，１１０ｂのトルクを、モータ１０２のトルクよりも大きくすることができる。

また、図３に示すように、ナット着脱ユニット１００の後方には、ブレード着脱ユニット１４０が設けられている。ブレード着脱ユニット１４０は、モータ１４２と、モータ１４２に接続された動力伝達ユニット（動力伝達機構）１４４とを備える。モータ１０２と動力伝達ユニット１０４とは、互いに隣接するようにＸ軸方向に沿って配置されている。

モータ１４２は、中空の立方体状の筐体１４２ａと、回転軸（不図示）とを備える。回転軸の上端部は筐体１４２ａの上面から露出しており、この上端部には円盤状の滑車部材（滑車部）１４２ｂが固定されている。モータ１４２に電力が供給されると、モータ１４２の回転軸及び滑車部材１４２ｂがＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りを回転する。なお、モータ１４２は、例えばナット着脱ユニット１００のモータ１０２と同様に構成することができる。

動力伝達ユニット１４４は、中空の立方体状に形成された筐体１４４ａと、筐体１４４ａに収容されＺ軸方向に沿って配置された回転軸１４４ｂとを備える。回転軸１４４ｂの上端部は筐体１４４ａの上面から露出しており、この上端部には円盤状の滑車部材（滑車部）１４４ｃが固定されている。

また、筐体１４４ａには、筐体１４４ａを左右（Ｙ軸方向）に貫通する貫通孔１４４ｄが形成されている。この貫通孔１４４ｄには回転軸部１４６が筐体１４４ａを貫通するように挿入されており、回転軸部１４６の両端は筐体１４４ａの両側面から露出している。なお、動力伝達ユニット１４４、回転軸部１４６はそれぞれ、例えばナット着脱ユニット１００の動力伝達ユニット１０４、回転軸部１０６と同様に構成することができる。

また、モータ１４２と動力伝達ユニット１４４とは、ベルトやチェーン等でなる環状の連結部材１４８によって連結されている。なお、モータ１４２と動力伝達ユニット１４４との連結方法は、ナット着脱ユニット１００におけるモータ１０２と動力伝達ユニット１０４との連結方法と同様である。

回転軸部１４６の一端側には、切削ユニット３８ａ（図１参照）への切削ブレード８０の取り付けと、切削ユニット３８ａからの切削ブレード８０の取り外しとを行うブレード保持ユニット１５０ａが固定されている。また、回転軸部１４６の他端側には、切削ユニット３８ｂ（図１参照）への切削ブレード８０の取り付けと、切削ユニット３８ｂからの切削ブレード８０の取り外しとを行うブレード保持ユニット１５０ｂが固定されている。

ブレード保持ユニット１５０ａ，１５０ｂはそれぞれ、側面視で長円状に形成された板状の支持部材１５２と、支持部材１５２の動力伝達ユニット１４４とは反対側に位置する面側に固定された、ブレード把持ユニット１５４ａ，１５４ｂとを備える。ブレード把持ユニット１５４ａは支持部材１５２の一端側に固定され、ブレード把持ユニット１５４ｂは支持部材１５２の他端側に固定されている。

ブレード把持ユニット１５４ａ，１５４ｂはそれぞれ、支持部材１５２に固定された円筒状の基台１５６を備える。基台１５６は、動力伝達ユニット１４４とは反対側に位置する表面１５６ａを備える。また、基台１５６には、表面１５６ａから突出する位置決めピン１５８が設けられている。位置決めピン１５８は、その先端部がマウント７４（図２参照）の支持軸７８に形成された凹部７８ｂの位置及び大きさに対応して形成されており、凹部７８ｂに挿入可能となっている。

基台１５６の周囲には、切削ブレード８０の把持部８２ｂ（図２参照）を把持する複数の把持部材１６０が、基台１５６の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１６０はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１６０の基端部（一端側）は基台１５６の外周面に固定されている。

図３には、切削ブレード８０の把持部８２ｂの外周面を四方から把持する４つの把持部材１６０が設けられている例を示している。把持部材１６０の先端部（他端側）は基台１５６の表面１５６ａから突出しており、この先端部には、基台１５６の中心側に向かって屈曲した爪部１６０ａが形成されている。

把持部材１６０の先端側は、例えば基台１５６の内部に収容された移動機構（不図示）によって、基台１５６の半径方向に沿って移動する。この移動機構は、爪部１６０ａが切削ブレード８０の把持部８２ｂ（図２参照）の外周面と接触して切削ブレード８０が把持される状態（閉状態）と、爪部１６０ａが閉状態の際よりも基台１５６の半径方向外側に配置され切削ブレード８０の把持が解除される状態（開状態）とを切り替える。

ブレード保持ユニット１５０ａは、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０と、ブレードラック５２ａ（図１参照）によって保持された交換用の切削ブレード８０とを把持して保持する。また、ブレード保持ユニット１５０ｂは、切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード８０と、ブレードラック５２ｂ（図１参照）によって保持された交換用の切削ブレード８０とを把持して保持する。

切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード８０を交換する際には、ブレード保持ユニット１５０ａ，１５０ｂによって切削ブレード８０の着脱が行われる。なお、切削ブレード８０の交換時におけるブレード保持ユニット１５０ａ，１５０ｂの具体的な動作については後述する。

また、図１に示すように、切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素の動作を制御する制御部（制御ユニット）９０を備える。切削装置２の構成要素（移動機構１０、チャックテーブル１４、移動機構２４、保持ユニット２６、移動機構３０、保持ユニット３２、移動機構３６ａ，３６ｂ、切削ユニット３８ａ，３８ｂ、撮像ユニット４０、洗浄ユニット４２、ブレード交換装置５０等）はそれぞれ、制御部９０に接続されており、制御部９０によってその動作が制御される。

例えば制御部９０は、ＣＰＵ等の処理装置やフラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従って処理装置を動作させることにより、制御部９０による各構成要素の制御が実現される。

上記の切削装置２に備えられたブレード交換装置５０を用いることにより、切削ユニット３８ａ，３８ｂに装着された切削ブレード８０の交換を自動で行うことができる。以下、切削ブレード８０の交換時におけるブレード交換装置５０の動作の具体例を、図１及び図３等を参照して説明する。なお、以下では一例として、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０を交換する際の動作について説明する。

まず、移動機構６０によって着脱ユニット６８を移動させ、ブレード保持ユニット１５０ａ（図３参照）が備えるブレード把持ユニット１５４ｂと、ブレードラック５２ａによって保持された一の切削ブレード８０（交換用の切削ブレード８０）とを対向させる。なお、ブレードラック５２ａの支持軸５４ａを、保持部５６ａとともに回転させることにより、ブレード把持ユニット１５４ｂと対向する切削ブレード８０を変更することができる。

その後、例えばブレードラック５２ａに接続された移動機構（不図示）によってブレードラック５２ａをＹ軸方向に沿って移動させることにより、ブレード把持ユニット１５４ｂと切削ブレード８０とを接近させる。このとき、ブレード把持ユニット１５４ｂが備える複数の把持部材１６０は開状態となっている。

そして、交換用の切削ブレード８０が複数の把持部材１６０の内側に配置された状態で、複数の把持部材１６０を閉状態とする。これにより、ブレードラック５２ａによって保持された一の切削ブレード８０がブレード把持ユニット１５４ｂによって把持される。その後、例えばブレードラック５２ａをＹ軸方向に沿って移動させ、ブレードラック５２ａとブレード把持ユニット１５４ｂとを離隔させる。

次に、移動機構６０によって着脱ユニット６８をＹ軸方向に沿って移動させ、第１支持構造２０及び第２支持構造３４の下側を介して、着脱ユニット６８を切削ユニット３８ａに対向する位置に配置する。なお、図１では説明の便宜上、着脱ユニット６８を第１支持構造２０及び第２支持構造３４の後方上側に図示しているが、実際には、着脱ユニット６８は、切削ユニット３８ａ，３８ｂと同等の高さに配置されており、第１支持構造２０及び第２支持構造３４の下側を通過可能となっている。

着脱ユニット６８は、まず、ナット回転部１１０ａ（図３参照）が切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０と対向するように位置付けられる。なお、ナット回転部１１０ａと切削ユニット３８ａとの位置関係は、移動機構３６ａ及び移動機構６０によって調節される。

その後、移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをナット回転部１１０ａに向かって移動させる。これにより、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０を固定しているナット８６（図２参照）が、ナット回転部１１０ａが備える回転部材１１２（図３参照）の表面１１２ａに押し付けられる。このとき、ナット回転部１１０ａが備える複数の保持ピン１１４は、ナット８６の貫通孔８６ｂ（図２参照）に挿入される。

回転部材１１２がナット８６によって押圧されると、回転部材１１２がカバー１１８の内側に押し込まれ、複数の把持部材１１６（図３参照）が閉状態となる。これにより、ナット８６が複数の把持部材１１６の爪部１１６ａによって把持される。

次に、モータ１０２（図３参照）の動力によって回転軸部１０６を回転させ、ナット回転部１１０ａを第１の方向（例えば、図３の矢印Ａで示す方向）に回転させる。これにより、ナット回転部１１０ａによって把持されたナット８６が回転して緩み、マウント７４（図２参照）の支持軸７８から取り外される。

その後、切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させ、ナット回転部１１０ａと切削ユニット３８ａとを離隔させる。なお、ナット回転部１１０ａは、回転部材１１２がカバー１１８の内側に押し込まれた状態を維持可能に構成されており、ナット８６は支持軸７８から取り外された後もナット回転部１１０ａによって保持される。

次に、移動機構６０によって着脱ユニット６８を移動させ、ブレード保持ユニット１５０ａ（図３参照）のブレード把持ユニット１５４ａと、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０とを対向させる。そして、移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをブレード把持ユニット１５４ａに向かって移動させ、切削ブレード８０とブレード把持ユニット１５４ａとを接近させる。

このとき、ブレード把持ユニット１５４ａが備える複数の把持部材１６０は開状態となっている。また、ブレード把持ユニット１５４ａの位置決めピン１５８が、マウント７４（図２参照）の支持軸７８に形成された凹部７８ｂに挿入される。これにより、ブレード把持ユニット１５４ａと切削ブレード８０との位置合わせが行われる。

そして、切削ブレード８０が複数の把持部材１６０の内側に配置された状態で、複数の把持部材１６０を閉状態とする。これにより、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０の把持部８２ｂ（図２参照）が、複数の把持部材１６０の爪部１６０ａによって把持される。この状態で、切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させ、ブレード把持ユニット１５４ａと切削ユニット３８ａとを離隔させる。これにより、切削ユニット３８ａから切削ブレード８０が取り外される。

次に、モータ１４２（図３参照）の動力によって回転軸部１４６を１８０°回転させる。これにより、支持部材１５２が回転し、ブレード把持ユニット１５４ａの位置とブレード把持ユニット１５４ｂの位置とが入れ替わる。その結果、交換用の切削ブレード８０を保持しているブレード把持ユニット１５４ｂが、切削ユニット３８ａに対向する位置に配置される。

その後、移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをブレード把持ユニット１５４ｂに向かって移動させ、切削ユニット３８ａとブレード把持ユニット１５４ｂとを接近させる。これにより、ブレード把持ユニット１５４ｂによって保持された交換用の切削ブレード８０の開口８６ａ（図２参照）に、マウント７４の支持軸７８が挿入される。

この状態で、ブレード把持ユニット１５４ｂが備える複数の把持部材１６０を開状態とする。これにより、交換用の切削ブレード８０がスピンドル７２の先端部に装着される。そして、切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させ、ブレード把持ユニット１５４ｂと切削ユニット３８ａとを離隔させる。

次に、移動機構６０によって着脱ユニット６８を移動させ、ナット８６（図２参照）を保持した状態のナット回転部１１０ａ（図３参照）を、切削ユニット３８ａに装着された交換用の切削ブレード８０と対向するように位置付ける。そして、移動機構３６ａによって切削ユニット３８ａをナット回転部１１０ａに向かって移動させる。これにより、ナット回転部１１０ａによって保持されたナット８６が、マウント７４（図２参照）の支持軸７８の先端部に位置付けられる。

この状態で、モータ１０２（図３参照）の動力によって回転軸部１０６を回転させ、ナット回転部１１０ａを第１の方向とは逆の第２の方向（例えば、図３の矢印Ｂで示す方向）に回転させる。これにより、ナット８６が回転してマウント７４（図２参照）の支持軸７８に形成されたねじ部７８ａに締め付けられる。その結果、交換用の切削ブレード８０がマウント７４の凸部７６ｂとナット８６とによって挟まれ、切削ユニット３８ａに固定される。

なお、前述のように、ギアユニット１２４（図４、図５参照）を第１ギア１２６及び第２ギア１２８によって構成し、第２ギア１２８の歯数を第１ギア１２６の歯数よりも大きくすると、減速機が構成される。このギアユニット１２４を備えた動力伝達ユニット１０４を用いると、ナット回転部１１０ａのトルクを大きくすることができる。これにより、ナット回転部１１０ａを回転させてナット８６（図２参照）をマウント７４のねじ部７８ａに螺合させる際、ナット８６を強固に締め付けることができる。

その後、切削ユニット３８ａをＹ軸方向に沿って移動させ、ナット回転部１１０ａと切削ユニット３８ａとを離隔させる。このとき、回転部材１１２はカバー１１８の外側に向かって移動し、複数の把持部材１１６が開状態となる。これにより、複数の把持部材１１６によるナット８６の把持が解除される。

次に、着脱ユニット６８を移動機構６０によって後方に移動させ、着脱ユニット６８を初期位置（ブレードラック５２ａ，５２ｂの間）に配置する。そして、ブレード把持ユニット１５４ａによって保持された使用済みの切削ブレード８０が、ブレードラック５２ａによって保持される。このようにして、ブレード交換装置５０による切削ブレード８０の交換が行われる。

なお、上記では切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０が交換される例について説明したが、切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード８０の交換も同様に実施される。この場合には、ブレード保持ユニット１５０ｂによって、切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード８０と、ブレードラック５２ｂによって保管された交換用の切削ブレード８０との交換が行われる。また、切削ブレード８０を切削ユニット３８ｂに固定するためのナット８６の着脱が、ナット回転部１１０ｂによって行われる。

切削ユニット３８ｂに装着された切削ブレード８０を交換する際の、切削ユニット３８ａ、ナット回転部１１０ｂ、ブレード保持ユニット１５０ｂの動作はそれぞれ、切削ユニット３８ａに装着された切削ブレード８０を交換する際の、切削ユニット３８ａ、ナット回転部１１０ａ、ブレード保持ユニット１５０ａの動作と同様である。

以上の通り、本実施形態に係る切削装置２は、切削ブレード８０の交換を行うブレード交換装置５０を備える。また、ブレード交換装置５０は、モータ１０２と、一端側にナット回転部１１０ａが固定され、他端側にナット回転部１１０ｂが固定された回転軸部１０６と、回転軸部１０６にモータ１０２の動力を伝達する動力伝達ユニット１０４とを備える。

上記のブレード交換装置５０は、モータ１０２の動力を、動力伝達ユニット１０４及び回転軸部１０６を介してナット回転部１１０ａ，１１０ｂに伝達できる。すなわち、１つのモータ１０２で２つのナット回転部１１０ａ，１１０ｂを駆動することができる。これにより、ナット回転部１１０ａ，１１０ｂのそれぞれに対して個別にモータを設ける必要がなく、ブレード交換装置５０の小型化、軽量化、又は低コスト化を図ることができる。

なお、本実施形態に係るブレード交換装置５０の構成は、切削ブレード８０の交換が可能な範囲で適宜変更できる。例えば、ブレード交換装置５０は、着脱ユニット６８をＹ軸方向に沿って移動させる移動機構や、着脱ユニット６８をＺ軸方向に沿って移動させる移動機構等を更に備えていてもよい。この場合、これらの移動機構を用いて、切削ブレード８０の交換時における着脱ユニット６８の位置を制御することができる。

また、本実施形態では、ブレード交換装置５０が第２支持構造３４の後方に設けられている例について説明したが、ブレード交換装置５０の配置に制限はない。例えば、ブレードラック５２ａ，５２ｂと着脱ユニット６８とはそれぞれ、第１支持構造２０の前方や側方に設けられていてもよい。また、着脱ユニット６８の移動を制御する機構にも制限はなく、例えば、着脱ユニット６８に接続されたロボットアーム等によって着脱ユニット６８の移動が制御されてもよい。

さらに、ブレードラック５２ａ，５２ｂは、複数の切削ブレード８０を収容可能であれば、その構成に制限はない。例えばブレードラック５２ａ，５２ｂは、複数の切削ブレード８０を収容するとともに、交換用に選択された一の切削ブレード８０を着脱ユニット６８に装着可能な位置に位置付ける移動機構を備えていてもよい。

また、本実施形態では、回転軸部１０６（図３等参照）が１本のシャフトによって構成されている例について説明したが、回転軸部１０６は、先端部にナット回転部１１０ａが固定された第１回転軸（第１シャフト）と、先端部にナット回転部１１０ｂが固定された第２回転軸（第２シャフト）とによって構成されていてもよい。この場合は、第１回転軸及び第２回転軸にそれぞれ、第１ギア１２６（図５参照）と噛み合う第２ギア１２８が固定される。また、第１回転軸と第２回転軸とは、例えば同一直線上に設定される。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１３ テープ
１５ フレーム
２ 切削装置
４ 基台
４ａ 開口
４ｂ 開口
６ カセット保持台
８ カセット
１０ 移動機構
１０ａ 移動テーブル
１２ 防塵防滴カバー
１４ チャックテーブル（保持テーブル）
１４ａ 保持面
１６ クランプ
１８ ガイドレール
２０ 第１支持構造
２２ レール
２４ 移動機構
２６ 保持ユニット
２６ａ 把持機構
２８ レール
３０ 移動機構
３２ 保持ユニット
３４ 第２支持構造
３６ａ，３６ｂ 移動機構
３８ａ，３８ｂ 切削ユニット
４０ 撮像ユニット（カメラ）
４２ 洗浄ユニット
４４ スピンナテーブル
４６ ノズル
５０ ブレード交換装置（ブレード交換機構）
５２ａ，５２ｂ ブレードラック
５４ａ，５４ｂ 支持軸
５６ａ，５６ｂ 保持部
５８ 基台
６０ 移動機構
６２ ボールねじ
６４ 移動部材
６６ 支持部材
６６ａ 上壁部
６６ｂ 側壁部
６６ｃ 支持部
６８ 着脱ユニット（着脱機構）
７０ ハウジング
７２ スピンドル（回転軸）
７４ マウント
７６ フランジ部
７６ａ 表面
７６ｂ 凸部
７８ 支持軸
７８ａ ねじ部
７８ｂ 凹部
８０ 切削ブレード
８２ 基台
８２ａ 開口
８２ｂ 把持部
８４ 切刃
８６ ナット
８６ａ 開口
８６ｂ 貫通孔
９０ 制御部（制御ユニット）
１００ ナット着脱ユニット
１０２ モータ
１０２ａ 筐体
１０２ｂ 回転軸（出力シャフト）
１０２ｃ 滑車部材（滑車部）
１０４ 動力伝達ユニット（動力伝達機構）
１０４ａ 筐体
１０４ｂ 回転軸
１０４ｃ 滑車部材（滑車部）
１０４ｄ 貫通孔
１０６ 回転軸部
１０８ 連結部材
１１０ａ，１１０ｂ ナット回転部（ナット回転ユニット）
１１２ 回転部材
１１２ａ 表面
１１４ 保持ピン
１１６ 把持部材
１１６ａ 爪部
１１８ カバー
１２０ 第１ベアリング
１２２ 第２ベアリング
１２４ ギアユニット
１２６ 第１ギア
１２６ａ 歯部
１２８ 第２ギア
１２８ａ 歯部
１２８ｂ 支持面
１３０ 蓋部
１３０ａ 支持面
１４０ ブレード着脱ユニット
１４２ モータ
１４２ａ 筐体
１４２ｂ 滑車部材（滑車部）
１４４ 動力伝達ユニット（動力伝達機構）
１４４ａ 筐体
１４４ｂ 回転軸
１４４ｃ 滑車部材（滑車部）
１４４ｄ 貫通孔
１４６ 回転軸部
１４８ 連結部材
１５０ａ，１５０ｂ ブレード保持ユニット
１５２ 支持部材
１５４ａ，１５４ｂ ブレード把持ユニット
１５６ 基台
１５６ａ 表面
１５８ 位置決めピン
１６０ 把持部材
１６０ａ 爪部

Claims (4)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   スピンドルを備え、該スピンドルに装着された切削ブレードで該チャックテーブルによって保持された該被加工物を切削する、第１切削ユニット及び第２切削ユニットと、
   該第１切削ユニットの該スピンドルに装着された該切削ブレードの交換と、該第２切削ユニットの該スピンドルに装着された該切削ブレードの交換とを行うブレード交換装置と、を有する切削装置であって、
   該ブレード交換装置は、
   該スピンドルに該切削ブレードを固定するためのナットの締め付け及び取り外しを行うナット着脱ユニットと、
   該切削ブレードの該スピンドルへの取り付け、及び、該切削ブレードの該スピンドルからの取り外しを行うブレード着脱ユニットと、を備え、
   該ナット着脱ユニットは、
   回転軸部と、
   該回転軸部の一端側に固定され、該第１切削ユニットの該スピンドルに該切削ブレードを固定するための該ナットを保持して回転する第１ナット回転部と、
   該回転軸部の他端側に固定され、該第２切削ユニットの該スピンドルに該切削ブレードを固定するための該ナットを保持して回転する第２ナット回転部と、
   １つのモータと、
   該モータ及び回転軸部に接続され、該回転軸部に該モータの動力を伝達する動力伝達ユニットと、を備えることを特徴とする切削装置。
2. 該第１ナット回転部の回転軸と、該第２ナット回転部の回転軸とは、該回転軸部の長さ方向に沿って同一直線上に設定されていることを特徴とする請求項１記載の切削装置。
3. 該動力伝達ユニットは、該回転軸部の回転速度が該モータの回転速度よりも小さくなるように該動力を伝達し、該第１ナット回転部及び該第２ナット回転部のトルクを該モータのトルクよりも大きくする減速機であることを特徴とする請求項１又は２記載の切削装置。
4. 該減速機は、かさ歯車又はハイポイドギアを備えることを特徴とする請求項３記載の切削装置。