JP6403595B2 - 位置調整治具及び位置調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、板状の被加工物を切削する切削装置において、切削ブレードの回転軸となるスピンドルと切削ブレードを自動で交換するオートブレードチェンジャとの位置関係を調整する際に用いられる位置調整治具及び位置調整方法に関する。

携帯電話機に代表される小型軽量な電子機器では、ＩＣ等の電子回路（デバイス）を備えるデバイスチップが必須の構成となっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の材料でなる半導体ウェーハの表面をストリートと呼ばれる複数の分割予定ラインで区画し、各領域にデバイスを形成した後、このストリートに沿って半導体ウェーハを分割することで製造できる。

半導体ウェーハのような板状の被加工物を分割する際には、例えば、回転軸となるスピンドルの先端部に円盤状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。切削ブレードを高速に回転させて被加工物のストリートに切り込ませ、切削ブレードと被加工物とをストリートと平行な方向に相対的に移動させれば、被加工物を切削して複数のチップに分割できる。

上述の切削ブレードは、ある程度まで摩耗すると交換される。これにより、切削装置の切削能力は高い状態に維持されている。近年では、切削ブレードの交換に要する時間を短縮するため、切削ブレードを自動で交換するオートブレードチェンジャを備えた切削装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６−３２６１８６号公報

ところで、上述したオートブレードチェンジャを備える切削装置では、切削ブレードをスムーズに着脱できるように、回転軸となるスピンドルに対してオートブレードチェンジャの位置をあらかじめ調整しておく必要がある。

しかしながら、この調整は、スピンドルとオートブレードチェンジャとを相対的に移動させた上で切削ブレードを着脱できるか否かを確認するという作業を繰り返すことによって進められるので、調整の完了までに長い時間を要するという問題があった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードの回転軸となるスピンドルに対してオートブレードチェンジャの位置を効率良く調整できる位置調整治具及び位置調整方法を提供することである。

本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端部に装着される切削ブレードとを有し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該スピンドルの先端部に対して該切削ブレードを着脱する切削ブレード着脱手段と該スピンドルの先端部に装着された該切削ブレードを固定する固定ナットを該スピンドルの先端部に対して着脱する固定ナット着脱手段とを備えたオートブレードチェンジャと、該切削手段と該オートブレードチェンジャとを相対的に移動させる移動手段と、を備えた切削装置において、該スピンドルに対する該切削ブレード着脱手段及び該固定ナット着脱手段の位置を調整する際に使用される位置調整治具であって、該スピンドルの先端部に装着される第１の調整部材と、該切削ブレード着脱手段が備えるブレード保持部に装着される第２の調整部材と、該固定ナット着脱手段が備える固定ナット保持部に装着される第３の調整部材と、を備え、該第１の調整部材は、該スピンドルの先端部に接する第１の接触面と、該第１の接触面の反対側に形成され該第１の接触面が該スピンドルの先端部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第１の調整面と、を有し、該第２の調整部材は、該切削ブレード着脱手段の該ブレード保持部に接する第２の接触面と、該第２の接触面の反対側に形成され該第２の接触面が該ブレード保持部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第２の調整面と、を有し、該第３の調整部材は、該固定ナット着脱手段の該固定ナット保持部に接する第３の接触面と、該第３の接触面の反対側に形成され該第３の接触面が該固定ナット保持部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第３の調整面と、を有し、該第１の調整面、該第２の調整面、及び該第３の調整面は、同じ形状、及び同じ大きさであることを特徴とする位置調整治具が提供される。

本発明の位置調整治具において、該第１の調整部材、該第２の調整部材、及び該第３の調整部材は、所定の高さを有する円柱状に形成され、該第１の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第１の接触面及び該第１の調整面として機能し、該第１の接触面が該スピンドルの先端部に接した状態で該第１の調整面の中心が該スピンドルの軸心の延長線上に位置し、該第２の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第２の接触面及び該第２の調整面として機能し、該第２の接触面が該ブレード保持部に接した状態で該第２の調整面の中心が該スピンドルの軸心と平行な直線上に位置し、該第３の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第３の接触面及び該第３の調整面として機能し、該第３の接触面が該固定ナット保持部に接した状態で該第３の調整面の中心が該スピンドルの軸心と平行な直線上に位置することが好ましい。

本発明によれば、上記位置調整治具を用いて該スピンドルに対する該切削ブレード着脱手段及び該固定ナット着脱手段の位置を調整する位置調整方法であって、該切削装置は、該スピンドルの位置、該切削ブレード着脱手段の位置、及び該固定ナット着脱手段の位置を記憶する記憶部を含む制御手段を更に備え、該スピンドルの先端部に該第１の接触面を接触させて該第１の調整部材を該スピンドルの先端部に装着する第１装着ステップと、該ブレード保持部に該第２の接触面を接触させて該第２の調整部材を該ブレード保持部に装着する第２装着ステップと、該固定ナット保持部に該第３の接触面を接触させて該第３の調整部材を該固定ナット保持部に装着する第３装着ステップと、該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とを対面させる第１の移動ステップと、該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心と平行な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とを接触させる第１の接触ステップと、該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面の外周縁とのずれを確認する第１のずれ確認ステップと、該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とが接触した状態で該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面との外周縁とを一致させる第１の調整ステップと、該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面の外周縁とが一致した状態で該スピンドルの座標と該切削ブレード着脱手段の座標とを該記憶部に記憶する第１の記憶ステップと、該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とを対面させる第２の移動ステップと、該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心と平行な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とを接触させる第２の接触ステップと、該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面の外周縁とのずれを確認する第２のずれ確認ステップと、該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とが接触した状態で該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面との外周縁とを一致させる第２の調整ステップと、該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面の外周縁とが一致した状態で該スピンドルの座標と該固定ナット着脱手段の座標とを該記憶部に記憶する第２の記憶ステップと、を含むことを特徴とする位置調整方法が提供される。

本発明の位置調整方法において、該第１のずれ確認ステップ及び該第２のずれ確認ステップでは、目視又は手指の接触によってずれを確認することが好ましい。

本発明に係る位置調整治具は、スピンドルの先端部に装着される第１の調整部材の第１の調整面と、切削ブレード着脱手段のブレード保持部に装着される第２の調整部材の第２の調整面と、固定ナット着脱手段の固定ナット保持部に装着される第３の調整部材の第３の調整面とが、同じ形状、及び同じ大きさに形成されているので、第１の調整面と第２の調整面とを接触させた上で第１の調整面の外周縁と第２の調整面との外周縁とを一致させ、また、第１の調整面と第３の調整面とを接触させた上で第１の調整面の外周縁と第３の調整面との外周縁とを一致させるだけで、スピンドルに対する切削ブレード着脱手段及び固定ナット着脱手段の位置を容易に調整できる。

すなわち、本発明によれば、切削ブレードの回転軸となるスピンドルに対してオートブレードチェンジャの位置を効率良く調整できる位置調整治具及び位置調整方法を提供できる。

本実施形態に係る位置調整治具を用いて調整される切削装置の構成例を模式的に示す図である。 切削ユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。 オートブレードチェンジャの周辺の構造を模式的に示す斜視図である。 図４（Ａ）は、切削ブレード着脱ユニットの構造を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、固定ナット着脱ユニットの構造を模式的に示す斜視図である。 図５（Ａ）は、位置調整治具の第１の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、第１の調整部材を別の方向から見た斜視図である。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、第１の調整部材がブレードマウントに装着される様子を模式的に示す一部断面平面図である。 図７（Ａ）は、位置調整治具の第２の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図７（Ｂ）は、第２の調整部材を別の方向から見た図である。 図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、第２の調整部材がブレード保持部に装着される様子を模式的に示す一部断面平面図である。 図９（Ａ）は、位置調整治具の第３の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、第３の調整部材を別の方向から見た図である。 図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は、第３の調整部材が固定ナット保持部に装着される様子を模式的に示す平面図である。 図１１（Ａ）は、第１の接触ステップを模式的に示す一部断面平面図であり、図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）は、第１の調整ステップを模式的に示す一部断面平面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る位置調整治具を用いて調整される切削装置について説明する。図１は、本実施形態に係る位置調整治具を用いて調整される切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。

基台４の上面には、Ｘ軸方向（加工送り方向）に長い矩形状の開口４ａが形成されている。この開口４ａ内には、Ｘ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル６をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）、及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー８が設けられている。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル６がスライド可能に設置されている。Ｘ軸移動テーブル６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールと平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させれば、Ｘ軸移動テーブル６はＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。

Ｘ軸移動テーブル６の上面には、半導体ウェーハや樹脂基板、セラミックス基板等の板状の被加工物（不図示）を吸引保持するチャックテーブル１０が設けられている。チャックテーブル１０は、モータ等の回転駆動源（不図示）と連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１０は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動する。

チャックテーブル１０の表面（上面）は、被加工物を吸引保持する保持面１０ａとなっている。この保持面１０ａは、チャックテーブル１０の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。チャックテーブル１０の周囲には、被加工物を支持するフレーム（不図示）を挟持固定するためのクランプ１２が設けられている。

基台４の上面には、切削ユニット（切削手段）１４を支持する門型の支持構造１６が、開口４ａを跨ぐように配置されている。支持構造１６の表面側には、切削ユニット１４をＹ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構（移動手段）１８が設けられている。

切削ユニット移動機構１８は、支持構造１６の表面上部に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２０を備えている。Ｙ軸ガイドレール２０には、切削ユニット移動機構１８を構成するＹ軸移動プレート２２がスライド可能に設置されている。

Ｙ軸移動プレート２２の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２０と平行なＹ軸ボールネジ２４が螺合されている。Ｙ軸ボールネジ２４の一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールネジ２４を回転させれば、Ｙ軸移動プレート２２は、Ｙ軸ガイドレール２０に沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動プレート２２の表面には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール２６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール２６には、Ｚ軸移動プレート２８がスライド可能に設置されている。

Ｚ軸移動プレート２８の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール２６と平行なＺ軸ボールネジ３０が螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ３２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ３２でＺ軸ボールネジ３０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート２８は、Ｚ軸ガイドレール２６に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート２８の下部には、チャックテーブル１０に吸引保持された被加工物を切削する切削ユニット１４が設けられている。上述のようにＹ軸移動プレート２２及びＺ軸移動プレート２８を移動させれば、切削ユニット１４は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動する。

図２は、切削ユニット１４の構造を模式的に示す分解斜視図である。図２に示すように、切削ユニット１４は、Ｚ軸移動プレート２８の下部に固定されたスピンドルハウジング３４を備えている。

スピンドルハウジング３４の内部には、Ｙ軸の周りに回転するスピンドル（不図示）が収容されている。スピンドルの先端部（一端部）は、スピンドルハウジング３４の外部に露出しており、このスピンドルの先端部には、ブレードマウント３６が取り付けられる。一方、スピンドルの他端側（基端側）には、スピンドルを回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。

ブレードマウント３６は、径方向外向きに延出したフランジ部３８と、フランジ部３８の表面から突出したボス部４０とを含む。フランジ部３８の表面は、切削ブレード４２の裏面側を支持する支持面３８ａとなっている。ボス部４０は円筒状に形成されており、その先端側の外周面４０ａには、ネジ山が設けられている。

切削ブレード４２の中央部には、円形の開口４２ａが形成されている。この開口４２ａにボス部４０を挿通することで、切削ブレード４２は、ブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に装着される。

切削ブレード４２は、いわゆるハブブレードであり、円盤状のハブ基台４４の外周部に、被加工物を切削する円環状の切り刃４６が設けられている。切り刃４６は、例えば、金属や樹脂等のボンド材（結合材）に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を混合して所定の厚みに形成される。

切削ブレード４２をブレードマウント３６に装着した状態で、切削ブレード４２の表面側には、円盤状の固定ナット４８が配置される。固定ナット４８の中央部には、円形の開口４８ａが形成されており、当該開口４８ａの内周面には、ボス部４０の外周面４０ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が設けられている。

この固定ナット４８の開口４８ａにボス部４０の先端を締め込むと、切削ブレード４２の表面に固定ナット４８の裏面が接触して、切削ブレード４２はフランジ部３８と固定ナット４８とで挟持される。これにより、切削ブレード４２をブレードマウント３６に固定できる。

図１に示すように、切削ユニット１４に装着された切削ブレード４２と対向する位置には、切削ブレード４２を自動で交換するオートブレードチェンジャ５０が設けられている。図３は、オートブレードチェンジャ５０の周辺の構造を模式的に示す斜視図である。

図３に示すように、オートブレードチェンジャ５０の下方には、オートブレードチェンジャ５０をＸ軸方向に移動させるオートブレードチェンジャ移動機構（移動手段）５２が設けられている。

オートブレードチェンジャ移動機構５２は、Ｘ軸方向に平行な一対のガイドレール５４を備えており、ガイドレール５４には、移動ブロック５６がスライド可能に設置されている。移動ブロック５６の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、ガイドレール５４と平行なボールネジ５８が螺合されている。

ボールネジ５８の一端部には、パルスモータ６０が連結されている。パルスモータ６０でボールネジ５８を回転させれば、移動ブロック５６はガイドレール５４に沿ってＸ軸方向に移動する。

移動ブロック５６の上部には、オートブレードチェンジャ５０の筐体６２が固定されている。筐体６２の側方（切削ユニット１４側）には、ブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に切削ブレード４２を取り付け、ブレードマウント３６から切削ブレード４２を取り外す切削ブレード着脱ユニット（切削ブレード着脱手段）６４が設けられている。

図４（Ａ）は、切削ブレード着脱ユニット６４の構造を模式的に示す斜視図である。図４（Ａ）に示すように、切削ブレード着脱ユニット６４は、筐体６２の第１収容部６２ａから延出するアーム６６を備えている。

アーム６６の先端部には、円柱状に形成された基台６８の第１底面６８ａ側が固定されている。基台６８の第２底面６８ｂ側には、第２底面６８ｂの中央から突出した押圧ピン７０ａと、押圧ピン７０ａの周囲に配置された３個の爪７０ｂと、を含むブレード保持部７０が設けられている。

ブレード保持部７０の３個の爪７０ｂで切削ブレード４２を把持し、切削ユニット移動機構１８とオートブレードチェンジャ移動機構５２とで切削ユニット１４と切削ブレード着脱ユニット６４とを相対的に移動させれば、切削ユニット１４のブレードマウント３６に切削ブレード４２を取り付け、又は、ブレードマウント３６から切削ブレード４２を取り外すことができる。

なお、押圧ピン７０ａは、コイルばね７０ｃ（図８（Ａ）等参照）によって付勢されており、３個の爪７０ｂによる切削ブレード４２の把持を解除すると、切削ブレード４２は押圧ピン７０ａで押圧されＹ軸方向に移動する。これにより、切削ブレード４２をブレード保持部７０からブレードマウント３６に移動させることができる。

図３に示すように、切削ブレード着脱ユニット６４と隣接する位置には、ブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に固定ナット４８を取り付け、ブレードマウント３６から固定ナット４８を取り外す固定ナット着脱ユニット（固定ナット着脱手段）７２が設けられている。

図４（Ｂ）は、固定ナット着脱ユニット７２の構造を模式的に示す斜視図である。図４（Ｂ）に示すように、固定ナット着脱ユニット７２は、筐体６２の第２収容部６２ｂに収容されＹ軸の周りに回転するスピンドル７４を備えている。

スピンドル７４の一端側（先端側）は、第２収容部６２ｂの外部に露出している。一方、スピンドル７４の他端側（基端側）には、スピンドル７４を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。

スピンドル７４の先端には、円柱状に形成された基台７６の第１底面７６ａ側が固定されている。基台７６の第２底面７６ｂの外周部分には、４個の爪７８ａを含む固定ナット保持部７８が設けられている。

固定ナット保持部７８の４個の爪７８ａで固定ナット４８を把持し、切削ユニット移動機構１８とオートブレードチェンジャ移動機構５２とで切削ユニット１４と固定ナット着脱ユニット７２とを相対的に移動させつつスピンドル７４を回転させれば、切削ユニット１４のブレードマウント３６に固定ナット４８を取り付け、又は、ブレードマウント３６から固定ナット４８を取り外すことができる。

図１に示すように、オートブレードチェンジャ５０と隣接する位置には、切削ブレード４２や固定ナット４８を収容するブレードラック８０が配置されている。オートブレードチェンジャ５０は、例えば、ブレードラック８０に収容された切削ブレード４２や固定ナット４８を保持して切削ユニット１４のブレードマウント３６に取り付ける。

Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１０、切削ユニット１４、切削ユニット移動機構１８、オートブレードチェンジャ５０、オートブレードチェンジャ移動機構５２等の各構成要素は、制御装置（制御手段）８２に接続されている。制御装置８２は、被加工物を適切に切削できるように各部の動作を制御する。なお、この制御装置８２には、各種の情報を記憶する記憶部（不図示）が設けられている。

次に、本実施形態に係る位置調整治具について説明する。図５（Ａ）は、本実施形態に係る位置調整治具の第１の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、第１の調整部材を別の方向から見た斜視図であり、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、第１の調整部材がブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に装着される様子を模式的に示す一部断面平面図である。

図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、第１の調整部材（位置調整治具）８４は、第１底面（第１の接触面）８４ａと、第１底面８４ａの反対側の第２底面（第１の調整面）８４ｂと、を有する所定高さの円柱状に形成されている。第１の調整部材８４の第１底面８４ａ側には、ブレードマウント３６のボス部４０に対応する凹部８４ｃが形成されている。

凹部８４ｃの内周面には、ボス部４０の外周面４０ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が設けられている。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、この凹部８４ｃにボス部４０の先端を締め込むことで、第１の調整部材８４はブレードマウント３６に装着される。

図６（Ｂ）に示すように、第１の調整部材８４をブレードマウント３６に装着すると、第１底面８４ａはフランジ部３８の支持面３８ａに接触する。一方、第２底面８４ｂは、略平坦に形成されており、第１底面８４ａが支持面３８ａに接触した状態で切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直になる。また、第２底面８４ｂの中心は、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１上（軸心Ｃ１の延長線上）に位置付けられる。

図７（Ａ）は、本実施形態に係る位置調整治具の第２の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図７（Ｂ）は、第２の調整部材を別の方向から見た図であり、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、第２の調整部材がブレード保持部７０に装着される様子を模式的に示す一部断面平面図である。

図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、第２の調整部材（位置調整治具）８６は、第１底面（第２の接触面）８６ａと、第１底面８６ａの反対側の第２底面（第２の調整面）８６ｂと、を有する所定高さの円柱状に形成されている。第１底面８６ａ及び第２底面８６ｂは、略平坦である。また、第２底面８６ｂは、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと同じ形状及び同じ大きさに形成されている。

図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示すように、ブレード保持部７０の押圧ピン７０ａを第２の調整部材８６の第１底面８６ａに押し当てた後、３個の爪７０ｂを内向きに移動させて第２の調整部材８６を把持することで、第２の調整部材８６はブレード保持部７０に装着される。

すなわち、図８（Ｂ）に示すように、第２の調整部材８６をブレード保持部７０に装着すると、第１底面８６ａは押圧ピン７０ａ及び爪７０ｂに接触する。一方、第２底面８６ｂは、切削ブレード着脱ユニット６４が備えるアーム６６の中心軸Ｃ２に対して垂直になる。また、第２底面８６ｂの中心は、アーム６６の中心軸Ｃ２上（中心軸Ｃ２の延長線上）に位置付けられる。

ここで、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と、切削ブレード着脱ユニット６４が備えるアーム６６の中心軸Ｃ２とは、共にＹ軸方向に平行である。つまり、第２の調整部材８６をブレード保持部７０に装着すると、第２底面８６ｂは、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直になり、第２底面８６ｂの中心は、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と平行な直線上に位置付けられる。

図９（Ａ）は、本実施形態に係る位置調整治具の第３の調整部材を模式的に示す斜視図であり、図９（Ｂ）は、第３の調整部材を別の方向から見た図であり、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は、第３の調整部材が固定ナット保持部７８に装着される様子を模式的に示す平面図である。

図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、第３の調整部材（位置調整治具）８８は、第１底面（第３の接触面）８８ａと、第１底面８８ａの反対側の第２底面（第３の調整面）８８ｂと、を有する所定高さの円柱状に形成されている。第１底面８８ａには、固定ナット保持部７８を構成する４個の爪７８ａと係合する係合凸部８８ｃが設けられている。第２底面８８ｂは、略平坦であり、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと同じ形状及び同じ大きさに形成されている。

図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すように、４個の爪７８ａを第３の調整部材８８の第１底面８８ａに押し当てた状態で内向きに移動させて係合凸部８８ｃに係合させることで、第３の調整部材８８は固定ナット保持部７８に装着される。

すなわち、図１０（Ｂ）に示すように、第３の調整部材８８を固定ナット保持部７８に装着すると、第１底面８８ａは爪７８ａに接触する。一方、第２底面８８ｂは、固定ナット着脱ユニット７２が備えるスピンドル７４の軸心Ｃ３に対して垂直になる。また、第２底面８８ｂの中心は、スピンドル７４の軸心Ｃ３上（軸心Ｃ３の延長線上）に位置付けられる。

ここで、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と、固定ナット着脱ユニット７２が備えるスピンドル７４の軸心Ｃ３とは、共にＹ軸方向に平行である。つまり、第３の調整部材８８を固定ナット保持部７８に装着すると、第２底面８８ｂは、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直になり、第２底面８８ｂの中心は、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と平行な直線上に位置付けられる。

次に、本実施形態に係る位置調整治具を用いる位置調整方法について説明する。本実施形態に係る位置調整方法では、まず、第１の調整部材８４をブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に装着する第１装着ステップを実施する。この第１装着ステップでは、上述のように、第１の調整部材８４の凹部８４ｃにブレードマウント３６のボス部４０を締め込む。これにより、第１の調整部材８４の第１底面８４ａは、フランジ部３８の支持面３８ａに接触する。

また、第２の調整部材８６をブレード保持部７０に装着する第２装着ステップを実施する。この第２装着ステップでは、上述のように、ブレード保持部７０の押圧ピン７０ａを第２の調整部材８６の第１底面８６ａに押し当てた後、３個の爪７０ｂを内向きに移動させる。これにより、第２の調整部材８６の第１底面８６ａは、押圧ピン７０ａ及び爪７０ｂに接触する。

さらに、第３の調整部材８８を固定ナット保持部７８に装着する第３装着ステップを実施する。この第３装着ステップでは、上述のように、４個の爪７８ａを第３の調整部材８８の第１底面８８ａに押し当てた状態で内向きに移動させて係合凸部８８ｃに係合させる。これにより、第３の調整部材８８の第１底面８８ａは爪７８ａに接触する。なお、第１装着ステップ、第２装着ステップ、及び第３装着ステップを実施する順序は特に限定されない。

第１装着ステップ、第２装着ステップ、及び第３装着ステップを実施した後には、切削ユニット１４が備えるスピンドルに対する切削ブレード着脱ユニット６４の位置を調整する切削ブレード着脱ユニット調整ステップ、及び切削ユニット１４が備えるスピンドルに対する固定ナット着脱ユニット７２の位置を調整する固定ナット着脱ユニット調整ステップを実施する。

切削ブレード着脱ユニット調整ステップでは、まず、切削ユニット１４が備えるスピンドルと切削ブレード着脱ユニット６４とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直な方向（すなわち、Ｙ軸方向に対して垂直なＸ軸方向及びＺ軸方向）に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第２の調整部材８６の第２底面８６ｂとを対面させる第１の移動ステップを実施する。

この第１の移動ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＺ軸方向に移動させ、オートブレードチェンジャ移動機構５２で切削ブレード着脱ユニット６４をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸方向から見て第２底面８４ｂ及び第２底面８６ｂの少なくとも一部が重なる位置に切削ユニット１４が備えるスピンドル及び切削ブレード着脱ユニット６４が位置付けられると、第１の移動ステップは終了する。

第１の移動ステップを実施した後には、切削ユニット１４が備えるスピンドルと切削ブレード着脱ユニット６４とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と平行な方向（すなわち、Ｙ軸方向）に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第２の調整部材８６の第２底面８６ｂとを接触させる第１の接触ステップを実施する。

図１１（Ａ）は、第１の接触ステップを模式的に示す一部断面平面図である。この第１の接触ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＹ軸方向に移動させる。第２底面８４ｂと第２底面８６ｂとが接触すると、第１の接触ステップは終了する。

第１の接触ステップを実施した後には、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂの外周縁と第２の調整部材８６の第２底面８６ｂの外周縁とのずれを確認する第１のずれ確認ステップを実施する。上述のように、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第２の調整部材８６の第２底面８６ｂとは、同じ形状及び同じ大きさに形成されている。そのため、例えば、目視又は手指の接触によって第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂの外周縁とのずれを確認できる。

第１のずれ確認ステップを実施した後には、切削ユニット１４が備えるスピンドルと切削ブレード着脱ユニット６４とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直な方向に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第２の調整部材８６の第２底面８６ｂとが接触した状態で第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂの外周縁とを一致させる第１の調整ステップを実施する。

図１１（Ｂ）及び図１１（Ｃ）は、第１の調整ステップを模式的に示す一部断面平面図である。この第１の調整ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＺ軸方向に移動させ、オートブレードチェンジャ移動機構５２で切削ブレード着脱ユニット６４をＸ軸方向に移動させる。

切削ユニット１４が備えるスピンドルと切削ブレード着脱ユニット６４との相対的な移動量は、第１のずれ確認ステップで確認された第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂの外周縁とのずれに応じて決定される。図１１（Ｃ）に示すように、第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂの外周縁とが一致すると、第１の調整ステップは終了する。

第１の調整ステップを実施した後には、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂの外周縁と第２の調整部材８６の第２底面８６ｂの外周縁とが一致した状態で、切削ユニット１４が備えるスピンドルの位置（座標）と切削ブレード着脱ユニット６４の位置（座標）とを制御装置８２の記憶部（不図示）に記憶する第１の記憶ステップを実施する。

上述のように、第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂの外周縁とを一致させることで、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と切削ブレード着脱ユニット６４が備えるアーム６６の中心軸Ｃ２とは同一の直線上に位置付けられる。そのため、この状態で切削ユニット１４が備えるスピンドルの位置と切削ブレード着脱ユニット６４の位置とを制御装置８２の記憶部に記憶すれば、切削ブレード４２を適切に着脱できるようになる。

なお、第１の調整ステップを実施した後には、念のため、第１のずれ確認ステップを実施しても良い。仮に、ずれが確認された場合には、再び第１の調整ステップを実施してから第１の記憶ステップを実施すれば良い。

固定ナット着脱ユニット調整ステップの手順も同様である。具体的には、まず、切削ユニット１４が備えるスピンドルと固定ナット着脱ユニット７２とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直な方向（すなわち、Ｙ軸方向に対して垂直なＸ軸方向及びＺ軸方向）に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第３の調整部材８８の第２底面８８ｂとを対面させる第２の移動ステップを実施する。

この第２の移動ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＺ軸方向に移動させ、オートブレードチェンジャ移動機構５２で固定ナット着脱ユニット７２をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸方向から見て第２底面８４ｂ及び第２底面８８ｂの少なくとも一部が重なる位置に切削ユニット１４が備えるスピンドル及び固定ナット着脱ユニット７２が位置付けられると、第２の移動ステップは終了する。

第２の移動ステップを実施した後には、切削ユニット１４が備えるスピンドルと固定ナット着脱ユニット７２とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と平行な方向（すなわち、Ｙ軸方向）に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第３の調整部材８８の第２底面８８ｂとを接触させる第２の接触ステップを実施する。

この第１の接触ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＹ軸方向に移動させる。第２底面８４ｂと第２底面８８ｂとが接触すると、第２の接触ステップは終了する。

第２の接触ステップを実施した後には、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂの外周縁と第３の調整部材８８の第２底面８８ｂの外周縁とのずれを確認する第２のずれ確認ステップを実施する。上述のように、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第３の調整部材８８の第２底面８８ｂとは、同じ形状及び同じ大きさに形成されている。そのため、例えば、目視又は手指の接触によって第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂの外周縁とのずれを確認できる。

第２のずれ確認ステップを実施した後には、切削ユニット１４が備えるスピンドルと固定ナット着脱ユニット７２とを、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１に対して垂直な方向に相対的に移動させて、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂと第３の調整部材８８の第２底面８８ｂとが接触した状態で第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂの外周縁とを一致させる第２の調整ステップを実施する。

この第２の調整ステップでは、例えば、切削ユニット１４が備えるスピンドルを切削ユニット移動機構１８でＺ軸方向に移動させ、オートブレードチェンジャ移動機構５２で固定ナット着脱ユニット７２をＸ軸方向に移動させる。

切削ユニット１４が備えるスピンドルと固定ナット着脱ユニット７２との相対的な移動量は、第２のずれ確認ステップで確認された第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂの外周縁とのずれに応じて決定される。第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂの外周縁とが一致すると、第２の調整ステップは終了する。

第２の調整ステップを実施した後には、第１の調整部材８４の第２底面８４ｂの外周縁と第３の調整部材８８の第２底面８８ｂの外周縁とが一致した状態で、切削ユニット１４が備えるスピンドルの位置（座標）と固定ナット着脱ユニット７２の位置（座標）とを制御装置８２の記憶部（不図示）に記憶する第２の記憶ステップを実施する。

上述のように、第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂの外周縁とを一致させることで、切削ユニット１４が備えるスピンドルの軸心Ｃ１と固定ナット着脱ユニット７２が備えるスピンドル７４の軸心Ｃ３とは同一の直線上に位置付けられる。そのため、この状態で切削ユニット１４が備えるスピンドルの位置と固定ナット着脱ユニット７２の位置とを制御装置８２の記憶部に記憶すれば、固定ナット４８を適切に着脱できるようになる。

なお、第２の調整ステップを実施した後には、念のため、第２のずれ確認ステップを実施しても良い。仮に、ずれが確認された場合には、再び第２の調整ステップを実施してから第２の記憶ステップを実施すれば良い。また、切削ブレード着脱ユニット調整ステップ、及び固定ナット着脱ユニット調整ステップを実施する順序は特に限定されない。

以上のように、本実施形態に係る位置調整治具は、ブレードマウント３６（スピンドルの先端部）に装着される第１の調整部材８４の第２底面（第１の調整面）８４ｂと、切削ブレード着脱ユニット（切削ブレード着脱手段）６４のブレード保持部７０に装着される第２の調整部材８６の第２底面（第２の調整面）８６ｂと、固定ナット着脱ユニット（固定ナット着脱手段）７２の固定ナット保持部７８に装着される第３の調整部材８８の第２底面（第３の調整面）８８ｂとが、同じ形状、及び同じ大きさに形成されているので、第２底面８４ｂと第２底面８６ｂとを接触させた上で第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８６ｂとの外周縁とを一致させ、また、第２底面８４ｂと第２底面８８ｂとを接触させた上で第２底面８４ｂの外周縁と第２底面８８ｂとの外周縁とを一致させるだけで、切削ユニット１４が備えるスピンドルに対する切削ブレード着脱ユニット６４及び固定ナット着脱ユニット７２の位置を容易に調整できる。

なお、上記実施形態に係る構成、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 加工装置
４ 基台
４ａ 開口
６ Ｘ軸移動テーブル
８ 防塵防滴カバー
１０ チャックテーブル
１０ａ 保持面
１２ クランプ
１４ 切削ユニット（切削手段）
１６ 支持構造
１８ 切削ユニット移動機構（移動手段）
２０ Ｙ軸ガイドレール
２２ Ｙ軸移動プレート
２４ Ｙ軸ボールネジ
２６ Ｚ軸ガイドレール
２８ Ｚ軸移動プレート
３０ Ｚ軸ボールネジ
３２ Ｚ軸パルスモータ
３４ スピンドルハウジング
３６ ブレードマウント（スピンドルの先端部）
３８ フランジ部
３８ａ 支持面
４０ ボス部
４０ａ 外周面
４２ 切削ブレード
４２ａ 開口
４４ ハブ基台
４６ 切り刃
４８ 固定ナット
４８ａ 開口
５０ オートブレードチェンジャ
５２ オートブレードチェンジャ移動機構（移動手段）
５４ ガイドレール
５６ 移動ブロック
５８ ボールネジ
６０ パルスモータ
６２ 筐体
６２ａ 第１収容部
６２ｂ 第２収容部
６４ 切削ブレード着脱ユニット（切削ブレード着脱手段）
６６ アーム
６８ 基台
６８ａ 第１底面
６８ｂ 第２底面
７０ ブレード保持部
７０ａ 押圧ピン
７０ｂ 爪
７０ｃ コイルばね
７２ 固定ナット着脱ユニット（固定ナット着脱手段）
７４ スピンドル
７６ 基台
７６ａ 第１底面
７６ｂ 第２底面
７８ 固定ナット保持部
７８ａ 爪
８０ ブレードラック
８２ 制御装置（制御手段）
８４ 第１の調整部材（位置調整治具）
８４ａ 第１底面（第１の接触面）
８４ｂ 第２底面（第１の調整面）
８４ｃ 凹部
８６ 第２の調整部材（位置調整治具）
８６ａ 第１底面（第２の接触面）
８６ｂ 第２底面（第２の調整面）
８８ 第３の調整部材（位置調整治具）
８８ａ 第１底面（第３の接触面）
８８ｂ 第２底面（第３の調整面）
８８ｃ 係合凸部

Claims (4)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   回転駆動されるスピンドルと該スピンドルの先端部に装着される切削ブレードとを有し該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、
   該スピンドルの先端部に対して該切削ブレードを着脱する切削ブレード着脱手段と該スピンドルの先端部に装着された該切削ブレードを固定する固定ナットを該スピンドルの先端部に対して着脱する固定ナット着脱手段とを備えたオートブレードチェンジャと、
   該切削手段と該オートブレードチェンジャとを相対的に移動させる移動手段と、
   を備えた切削装置において、
   該スピンドルに対する該切削ブレード着脱手段及び該固定ナット着脱手段の位置を調整する際に使用される位置調整治具であって、
   該スピンドルの先端部に装着される第１の調整部材と、
   該切削ブレード着脱手段が備えるブレード保持部に装着される第２の調整部材と、
   該固定ナット着脱手段が備える固定ナット保持部に装着される第３の調整部材と、を備え、
   該第１の調整部材は、該スピンドルの先端部に接する第１の接触面と、該第１の接触面の反対側に形成され該第１の接触面が該スピンドルの先端部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第１の調整面と、を有し、
   該第２の調整部材は、該切削ブレード着脱手段の該ブレード保持部に接する第２の接触面と、該第２の接触面の反対側に形成され該第２の接触面が該ブレード保持部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第２の調整面と、を有し、
   該第３の調整部材は、該固定ナット着脱手段の該固定ナット保持部に接する第３の接触面と、該第３の接触面の反対側に形成され該第３の接触面が該固定ナット保持部に接した状態で該スピンドルの軸心に対して垂直な第３の調整面と、を有し、
   該第１の調整面、該第２の調整面、及び該第３の調整面は、同じ形状、及び同じ大きさであることを特徴とする位置調整治具。
2. 該第１の調整部材、該第２の調整部材、及び該第３の調整部材は、所定の高さを有する円柱状に形成され、
   該第１の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第１の接触面及び該第１の調整面として機能し、該第１の接触面が該スピンドルの先端部に接した状態で該第１の調整面の中心が該スピンドルの軸心の延長線上に位置し、
   該第２の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第２の接触面及び該第２の調整面として機能し、該第２の接触面が該ブレード保持部に接した状態で該第２の調整面の中心が該スピンドルの軸心と平行な直線上に位置し、
   該第３の調整部材の一方の底面及び他方の底面は、それぞれ該第３の接触面及び該第３の調整面として機能し、該第３の接触面が該固定ナット保持部に接した状態で該第３の調整面の中心が該スピンドルの軸心と平行な直線上に位置することを特徴とする請求項１に記載の位置調整治具。
3. 請求項１又は請求項２に記載の位置調整治具を用いて該スピンドルに対する該切削ブレード着脱手段及び該固定ナット着脱手段の位置を調整する位置調整方法であって、
   該切削装置は、該スピンドルの位置、該切削ブレード着脱手段の位置、及び該固定ナット着脱手段の位置を記憶する記憶部を含む制御手段を更に備え、
   該スピンドルの先端部に該第１の接触面を接触させて該第１の調整部材を該スピンドルの先端部に装着する第１装着ステップと、
   該ブレード保持部に該第２の接触面を接触させて該第２の調整部材を該ブレード保持部に装着する第２装着ステップと、
   該固定ナット保持部に該第３の接触面を接触させて該第３の調整部材を該固定ナット保持部に装着する第３装着ステップと、
   該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とを対面させる第１の移動ステップと、
   該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心と平行な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とを接触させる第１の接触ステップと、
   該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面の外周縁とのずれを確認する第１のずれ確認ステップと、
   該スピンドルと該切削ブレード着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第２の調整面とが接触した状態で該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面との外周縁とを一致させる第１の調整ステップと、
   該第１の調整面の外周縁と該第２の調整面の外周縁とが一致した状態で該スピンドルの座標と該切削ブレード着脱手段の座標とを該記憶部に記憶する第１の記憶ステップと、
   該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とを対面させる第２の移動ステップと、
   該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心と平行な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とを接触させる第２の接触ステップと、
   該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面の外周縁とのずれを確認する第２のずれ確認ステップと、
   該スピンドルと該固定ナット着脱手段とを該スピンドルの軸心に対して垂直な方向に相対的に移動させて、該第１の調整面と該第３の調整面とが接触した状態で該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面との外周縁とを一致させる第２の調整ステップと、
   該第１の調整面の外周縁と該第３の調整面の外周縁とが一致した状態で該スピンドルの座標と該固定ナット着脱手段の座標とを該記憶部に記憶する第２の記憶ステップと、を含むことを特徴とする位置調整方法。
4. 該第１のずれ確認ステップ及び該第２のずれ確認ステップでは、目視又は手指の接触によってずれを確認することを特徴とする請求項３に記載の位置調整方法。

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