CN110587450A - 搬送用治具和切削刀具的更换方法 - Google Patents

搬送用治具和切削刀具的更换方法 Download PDF

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Abstract

提供搬送用治具和切削刀具的更换方法，能够抑制切削刀具的更换所花费的所需工时。该搬送用治具用于在切削装置中将更换用的切削刀具搬运至加工单元，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；所述加工单元，其以能够装卸的方式将切削刀具安装于主轴；切削刀具更换单元，其对切削刀具进行更换；以及搬送构件，其将被加工物提供至该加工单元，其中，该搬送用治具通过与该被加工物通用的搬送构件而被搬送，该搬送用治具具有对该更换用的切削刀具进行载置的载置部。

Description

搬送用治具和切削刀具的更换方法
技术领域
本发明涉及搬送用治具和切削刀具的更换方法。
背景技术
在进行半导体晶片等被加工物的切削时，使用具有切削刀具的切削装置作为加工装置(例如，参照专利文献1)。上述的切削装置为了连续地运转，需要自动地提供作为消耗品的切削刀具。
因此，专利文献1所示的切削装置具有：刀具架，其对多个切削刀具进行保持；以及刀具装卸机构，其将切削单元的切削刀具更换成刀具架上的切削刀具。
专利文献1：日本特开2007-208114号公报
专利文献1所示的切削装置由操作者将刀具架所保持的使用完成的切削刀具更换成未使用的切削刀具。因此，在该切削装置中，切削刀具的更换所花费的所需工时存在增加的趋势。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供搬送用治具和切削刀具的更换方法，能够抑制切削刀具的更换所花费的所需工时。
根据本发明的一个方式，提供搬送用治具，其用于在切削装置中将更换用的切削刀具搬运至加工单元，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；所述加工单元，其以能够装卸的方式将切削刀具安装于主轴；搬送构件，其将被加工物提供至该加工单元；以及切削刀具更换构件，其对该切削刀具进行更换，其中，该搬送用治具通过与对该被加工物进行搬送的该搬送构件通用的搬送构件而被搬送，该搬送用治具具有对该更换用的切削刀具进行载置的载置部。
根据本发明的另一方式，提供切削刀具的更换方法，该方法在切削装置中使用了具有对该切削刀具进行载置的载置部的搬送用治具，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其以能够装卸的方式将该切削刀具安装于主轴；搬送构件，其将被加工物提供至该加工单元；以及切削刀具更换构件，其对该切削刀具进行更换，其中，该切削刀具的更换方法具有如下的步骤：搬送步骤，利用该搬送构件将载置有更换用的切削刀具的该搬送用治具搬送至该加工单元；搬送用治具保持步骤，在该卡盘工作台的上方通过搬送用治具保持构件对该搬送用治具进行保持；拆卸步骤，通过该切削刀具更换构件将安装于该加工单元的该切削刀具拆卸；安装步骤，将该搬送用治具的该载置部上所载置的该更换用的切削刀具安装于该加工单元；以及返回步骤，通过该搬送构件使载置有从该加工单元拆卸的该切削刀具的该搬送用治具返回至盒中。
本申请发明起到能够抑制切削刀具的更换所花费的所需工时的效果。
附图说明
图1是示出实施第1实施方式的切削刀具的更换方法的切削装置的结构例的立体图。
图2是示出作为图1所示的切削装置的加工对象的被加工物的立体图。
图3是示出图1所示的切削装置的卡盘工作台的主要部分的立体图。
图4是将图1所示的切削装置的切削单元分解而示出的立体图。
图5是示出图1所示的切削装置的盒升降机上所设置的盒的立体图。
图6是示出图1所示的切削装置的搬送单元的暂放单元的立体图。
图7是示出图1所示的切削装置的搬送单元的搬送臂的立体图。
图8是示出图1所示的切削装置的刀具更换单元的结构例的立体图。
图9是图8所示的刀具更换单元的螺母支托的剖视图。
图10是示出第1实施方式的搬送用治具的结构例的立体图。
图11是示出图10所示的搬送用治具的载置部的立体图。
图12是示出在图11所示的载置部上载置有切削刀具的状态的立体图。
图13是示出图10所示的搬送用治具将切削刀具载置于载置部的状态的立体图。
图14是示出将图13所示的搬送用治具收纳于盒内的状态的立体图。
图15是示出第1实施方式的切削刀具的更换方法的流程图。
图16是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的搬送步骤中将搬送用治具从盒中取出并载置于轨道上的状态的立体图。
图17是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的搬送步骤中通过搬送臂对从盒中取出的搬送用治具进行吸引保持的状态的立体图。
图18是示出图15所示的切削刀具的更换方法的搬送治具保持步骤后的搬送用治具等的立体图。
图19是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中拆卸了紧固螺母的状态的一例的立体图。
图20是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中拆卸了作为更换对象的切削刀具的状态的一例的立体图。
图21是示出将在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中拆卸的切削刀具载置于搬送用治具的载置部上的状态的一例的立体图。
图22是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中通过刀具卡盘对未使用的切削刀具进行吸引保持的状态的一例的立体图。
图23是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中将刀具卡盘所吸引保持的切削刀具安装于切削单元的状态的一例的立体图。
图24是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中即将将螺母支托上所保持的紧固螺母安装于切削单元的刀具安装部件之前的状态的一例的立体图。
图25是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的返回步骤中通过搬送臂对卡盘工作台上的搬送用治具进行吸引保持的状态的立体图。
图26是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的返回步骤中将载置于轨道上的搬送用治具收纳于盒内的状态的立体图。
图27是第1实施方式的变形例的搬送用治具的主要部分的剖视图。
图28是示出实施第2实施方式的切削刀具的更换方法的切削装置的结构例的主要部分的立体图。
图29是示出第2实施方式的搬送用治具的结构例的立体图。
图30是示出具有切削装置的制造设备的结构例的俯视图，该切削装置实施第1实施方式和第2实施方式的变形例1的切削刀具的更换方法。
图31是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例2的切削刀具的更换方法的切削装置等的结构例的主视图。
图32是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例3的切削刀具的更换方法的切削装置的卡盘工作台的主要部分的立体图。
图33是示出图32所示的卡盘工作台对搬送用治具进行吸引保持的状态的主要部分的立体图。
图34是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例4的切削刀具的更换方法的切削装置的盒升降机的结构例的立体图。
标号说明
1、1-2：切削装置；2、2-2：加工单元；3：刀具更换单元(刀具更换构件)；10：卡盘工作台；15：搬送治具保持部件(搬送治具保持构件)；20：切削单元(切削构件)；21：切削刀具(消耗品)；21-1：作为更换对象的切削刀具(旧切削刀具)；21-2：未使用的切削刀具(更换用的切削刀具)；61：盒；80：搬送单元(搬送构件)；100、100-2：搬送用治具；101、101-2：载置部；110：修整板(消耗品)；200：被加工物；ST1：搬送步骤；ST2：搬送治具保持步骤；ST3：拆卸步骤；ST4：安装步骤；ST5：返回步骤。
具体实施方式
参照附图，对用于实施本发明的实施方式进行详细说明。本发明并不被以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的内容、实质上相同的内容。另外，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或变更。
[第1实施方式]
根据附图对本发明的第1实施方式的搬送用治具和切削刀具的更换方法进行说明。图1是示出实施第1实施方式的切削刀具的更换方法的切削装置的结构例的立体图。图2是示出作为图1所示的切削装置的加工对象的被加工物的立体图。图3是示出图1所示的切削装置的卡盘工作台的主要部分的立体图。图4是将图1所示的切削装置的切削单元分解而示出的立体图。图5是示出图1所示的切削装置的盒升降机上所设置的盒的立体图。图6是示出图1所示的切削装置的搬送单元的暂放单元的立体图。图7是示出图1所示的切削装置的搬送单元的搬送臂的立体图。图8是示出图1所示的切削装置的刀具更换单元的结构例的立体图。图9是图8所示的刀具更换单元的螺母支托的剖视图。
(切削装置)
第1实施方式的切削刀具的更换方法通过图1所示的切削装置1来实施。切削装置1是对图2所示的被加工物200进行切削(加工)的装置。在第1实施方式中，被加工物200是以硅、蓝宝石、镓等为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等晶片。被加工物200在正面201上在由呈格子状形成的多条分割预定线202呈格子状划分的区域形成有器件203。
另外，本发明的被加工物200可以是中央部薄化且在外周部形成有厚壁部的所谓的TAIKO(注册商标)晶片，除了晶片以外，也可以是具有多个通过树脂密封的器件的矩形状的封装基板、陶瓷基板、铁氧体基板、或含有镍和铁中的至少一方的基板等。在第1实施方式中，被加工物200将背面204粘贴于在外周缘安装有环状框架211的粘接带210而支承于环状框架211。
图1所示的切削装置1具有：加工单元2，其对被加工物200进行切削；刀具更换单元3，其是对加工单元2的切削单元20的作为消耗品的切削刀具21进行更换的切削刀具更换构件；以及控制单元4，该切削装置1利用卡盘工作台10对被加工物200进行保持，利用切削刀具21沿着分割预定线202进行切削(相当于加工)。如图1所示，加工单元2具有：卡盘工作台10，其利用保持面11对被加工物200进行吸引保持；切削单元20，其利用安装于主轴23的切削刀具21对卡盘工作台10所保持的被加工物200进行切削；以及拍摄单元30，其对卡盘工作台10所保持的被加工物200进行拍摄。
另外，如图1所示，切削装置1至少具有：未图示的X轴移动单元，其将卡盘工作台10在与水平方向平行的X轴方向上进行加工进给；Y轴移动单元40，其将切削单元20在与水平方向平行且与X轴方向垂直的Y轴方向上进行分度进给；以及Z轴移动单元50，其将切削单元20在与垂直于X轴方向和Y轴方向这两个方向的铅垂方向平行的Z轴方向上进行切入进给。如图1所示，切削装置1是具有两个切削单元20的所谓面对双轴型的切削装置即双主轴的划片机。
卡盘工作台10是圆盘形状，对被加工物200进行保持的保持面11由多孔陶瓷等形成。另外，卡盘工作台10设置成通过X轴移动单元在切削单元20的下方的加工区域91和远离切削单元20的下方的对被加工物200进行搬入搬出的搬入搬出区域92沿X轴方向移动自如，并且设置成通过旋转驱动源绕与Z轴方向平行的轴心旋转自如。卡盘工作台10与未图示的真空吸引源连接，通过真空吸引源进行吸引，从而如图3所示那样对载置于保持面11的被加工物200进行吸引、保持。在第1实施方式中，卡盘工作台10隔着粘接带210而对被加工物200的背面204侧进行吸引、保持。另外，如图1和图3所示，在卡盘工作台10的周围设置有多个对环状框架211进行夹持的夹持部12。另外，图3中，省略了被加工物200的正面201上的器件203。
如图3所示，夹持部12具有载置环状框架211的夹持主体部13和夹持部件14。夹持部件14设置成能够自如旋转至夹持位置和图3所示的夹持解除位置，在夹持位置，在夹持部件14与夹持主体部13之间对环状框架211进行夹持，在夹持解除位置，夹持部件14与夹持主体部13隔开间隔而解除对环状框架211的夹持。夹持部件14从夹持位置朝向夹持解除位置按照在卡盘工作台10的外周侧变位的方式进行旋转。夹持部件14在夹持解除位置不与环状框架211接触，允许向保持面11载置被加工物200以及将被加工物200从保持面11脱离。在第1实施方式中，夹持部件14通过未图示的气缸等驱动源而旋转至夹持位置和夹持解除位置。
夹持部件14上安装有作为搬送治具保持构件的搬送治具保持部件15。搬送治具保持部件15一体地具有平坦部16和阶梯部17，该平坦部16安装于定位在夹持位置的各夹持部件14的上表面上且该平坦部16的上表面平坦；该阶梯部17从平坦部16呈凸状形成。更优选阶梯部17沿着环状框架211的外缘。
如图4所示，切削单元20是以装卸自如的方式安装有对卡盘工作台10所保持的被加工物200进行切削的切削刀具21的切削构件。切削单元20分别设置成相对于卡盘工作台10所保持的被加工物200通过Y轴移动单元40在Y轴方向上移动自如，并且设置成通过Z轴移动单元50在Z轴方向上移动自如。
如图1所示，一方的切削单元20借助Y轴移动单元40、Z轴移动单元50等而设置于从装置主体6竖立设置的门型的支承框架5的一方的柱部5-1上。如图1所示，另一方的切削单元20借助Y轴移动单元40、Z轴移动单元50等而设置于支承框架5的另一方的柱部5-2上。另外，支承框架5通过水平梁5-3将柱部5-1、5-2的上端彼此连结。
切削单元20能够通过Y轴移动单元40和Z轴移动单元50将切削刀具21定位于卡盘工作台10的保持面11的任意位置。
如图4所示，切削单元20具有：主轴壳体22，其设置成通过Y轴移动单元40和Z轴移动单元50在Y轴方向和Z轴方向上移动自如；主轴23，其设置成在主轴壳体22中绕轴心旋转自如，并且通过未图示的电动机进行旋转；以及刀具安装部件24，其安装于主轴23的前端部。另外，切削单元20具有：固定螺母25，其与设置于主轴23的前端部的外周的未图示的内螺纹螺合而将刀具安装部件24固定于主轴23的前端部；切削刀具21，其安装于刀具安装部件24；以及紧固螺母26，其在与刀具安装部件24之间对切削刀具21进行夹持而进行固定。
刀具安装部件24具有：圆筒状的安装部241；以及凸缘部242，其设置于安装部241的靠近主轴壳体22的一个端部。凸缘部242形成为直径比安装部241的外径大的圆环状。另外，刀具安装部件24在安装部241的另一端部的外周形成有外螺纹243。
切削刀具21是具有大致环形状的极薄的切削磨具。在第1实施方式中，切削刀具21是所谓的轮毂刀具，切削刀具21具有：圆环状的支承基台212，其由铝合金等金属构成；以及圆环状的切刃213，其固定于支承基台212的外周而对被加工物200进行切削。支承基台212在中央设置有用于安装于刀具安装部件24的安装部241的安装孔214。安装孔214在内侧供刀具安装部件24的安装部241通过。切刃213由金刚石或CBN(Cubic Boron Nitride：立方氮化硼)等磨粒和金属或树脂等结合材料构成，形成为规定的厚度。另外，在本发明中，切削刀具21也可以是仅由切刃213构成的垫圈刀具。
这样构成的切削刀具21将支承基台212的安装孔214嵌合于刀具安装部件24的圆筒状的安装部241的外周。切削刀具21通过将紧固螺母26与形成于圆筒状的安装部241的外螺纹243螺合而通过刀具安装部件24的凸缘部242与紧固螺母26进行夹持固定。另外，紧固螺母26在端面上分别以90度的相位设置有四个销嵌合孔261。另外，紧固螺母26在外周面上沿着整个圆周形成有环状槽262。
另外，切削单元20的主轴23和切削刀具21的轴心设定成与Y轴方向平行。
拍摄单元30按照与切削单元20一体地移动的方式固定于切削单元20。拍摄单元30具有拍摄元件，该拍摄元件对卡盘工作台10所保持的切削前的被加工物200的要分割的区域进行拍摄。拍摄元件例如是CCD(Charge Coupled Device：电感耦合元件)拍摄元件或CMOS(Complementary MOS：互补金属氧化物半导体)拍摄元件。拍摄单元30对卡盘工作台10所保持的被加工物200进行拍摄而得到用于进行对准等的图像，进行被加工物200和切削刀具21的对位，将所得到的图像输出至控制单元4。
X轴移动单元使卡盘工作台10在作为加工进给方向的X轴方向上移动，从而将卡盘工作台10和切削单元20沿着X轴方向相对地进行加工进给。Y轴移动单元40使切削单元20在作为分度进给方向的Y轴方向上移动，从而将卡盘工作台10和切削单元20沿着Y轴方向相对地进行分度进给。Z轴移动单元50使切削单元20在作为切入进给方向的Z轴方向上移动，从而将卡盘工作台10和切削单元20沿着Z轴方向相对地进行切入进给。
X轴移动单元、Y轴移动单元40以及Z轴移动单元50具有：周知的滚珠丝杠，其设置成绕轴心旋转自如；周知的电动机，其使滚珠丝杠绕轴心旋转；以及周知的导轨，其将卡盘工作台10或切削单元20支承为在X轴方向、Y轴方向或Z轴方向上移动自如。
另外，切削装置1具有：未图示的X轴方向位置检测单元，其用于检测卡盘工作台10的X轴方向的位置；未图示的Y轴方向位置检测单元，其用于检测切削单元20的Y轴方向的位置；以及Z轴方向位置检测单元，其用于检测切削单元20的Z轴方向的位置。X轴方向位置检测单元和Y轴方向位置检测单元可以包含与X轴方向或Y轴方向平行的线性标尺和读取头。Z轴方向位置检测单元利用电动机的脉冲对切削单元20的Z轴方向的位置进行检测。X轴方向位置检测单元、Y轴方向位置检测单元以及Z轴方向位置检测单元将卡盘工作台10的X轴方向的位置、切削单元20的Y轴方向或Z轴方向的位置输出至控制单元4。
另外，切削装置1具有：盒升降机60，其载置对切削前后的被加工物200进行收纳的盒61，并且使盒61在Z轴方向上移动；清洗单元70，其对切削后的被加工物200进行清洗；以及搬送单元80，其是相对于盒61进行被加工物200的出入并且对被加工物200进行搬送的搬送构件。
如图5所示，盒61是用于对被加工物200进行收纳的箱状的收纳器。如图5所示，盒61能够使被加工物200通过图5中的近前侧的开口62而出入，并且具有多个在Z轴方向上隔开间隔而对被加工物200进行保持的槽63。盒61按照开口62与搬入搬出区域92对置的状态载置于盒升降机60的上表面上。
清洗单元70具有：旋转工作台71，其对被加工物200进行吸引保持，并且绕与Z轴方向平行的轴心旋转；以及清洗液提供喷嘴，其对旋转工作台71所吸引保持的被加工物200提供清洗液。
搬送单元80将被加工物200提供至加工单元2，并且在盒61、卡盘工作台10以及清洗单元70之间对被加工物200进行搬送。搬送单元80具有图6所示的暂放单元81和图7所示的搬送臂82。
暂放单元81从盒61中取出一张切削前的被加工物200，并且将切削后的被加工物200收纳于盒61内。如图6所示，暂放单元81构成为包含：搬入搬出单元811，其将切削前的被加工物200从盒61中取出，并且将切削后的被加工物200插入至盒61内；以及一对轨道812，它们临时载置切削前后的被加工物200。
如图1所示，设置有两个搬送臂82。这两个搬送臂82在轨道812、卡盘工作台10以及旋转工作台71之间对被加工物200进行搬送。搬送臂82配置于比支承框架5靠搬入搬出区域92侧的位置，并且设置成在从装置主体6竖立设置的门型的第2支承框架7上沿Y轴方向移动自如。
如图7所示，搬送臂82具有：臂部821，其设置成沿Y轴方向移动自如；以及保持部822，其设置成在臂部821的下端部沿Z轴方向升降自如，并且对被加工物200进行保持。如图7所示，在第1实施方式中，搬送臂82的保持部822对环状框架211进行吸引保持而对被加工物200进行保持。搬送单元80通过暂放单元81从盒61中取出被加工物200并载置于轨道812上，通过搬送臂82将轨道812上的被加工物200搬送至卡盘工作台10上，从而将被加工物200从盒61提供至加工单元2。
如图1所示，刀具更换单元3设置在支承框架5的图1中的背面侧且设置于比加工区域91更加远离搬入搬出区域92的位置。如图8所示，刀具更换单元3具有单元主体31、螺母支托32以及刀具卡盘34。在第1实施方式中，刀具更换单元3分别具有一个螺母支托32和刀具卡盘34。
单元主体31设置于支承台311上，该支承台311设置于支承框架5的图1中的背面侧，沿Z轴方向升降自如。另外，支承台311设置成通过未图示的移动单元沿X轴方向移动自如。另外，在图8中省略了使支承台311沿Z轴方向升降的移动单元以及使支承台311沿X轴方向移动的移动单元的结构，但与上述的移动单元40、50同样地，包含周知的滚珠丝杠、周知的电动机以及周知的导轨。单元主体31具有：被支承部312，其设置于支承台311上；以及旋转部313，其设置成在被支承部312上通过周知的电动机绕与X轴方向平行的轴心旋转自如。
螺母支托32和刀具卡盘34安装于旋转部313，并且在X轴方向上相互隔开间隔而配置。在第1实施方式中，与刀具卡盘34相比，螺母支托32配置于靠近搬入搬出区域92的位置。
螺母支托32将切削单元20的紧固螺母26从刀具安装部件24的安装部241拆卸并对所拆卸的紧固螺母26进行保持，并且将所保持的紧固螺母26安装于刀具安装部件24的安装部241。螺母支托32设置成通过安装于旋转部313的气缸而在相对于X轴方向垂直的方向上移动自如。
如图9所示，螺母支托32具有：圆筒状的电动机壳体321，其设置成通过上述的气缸而在相对于X轴方向垂直的方向上移动自如；电动机322，其配设在电动机壳体321内；圆柱状的转动部件323，其与电动机322的驱动轴连结；动作环324，其覆盖转动部件323的外周；以及第2气缸325，其将电动机壳体321和动作环324连结。另外，第2气缸325仅在图9中图示，在其他图中省略。
电动机322将驱动轴配置在与X轴方向垂直的方向上，使驱动轴绕轴心旋转，从而使转动部件323绕轴心旋转。转动部件323形成为外径阶段性变化的圆柱状，并且一体地具有小直径部326和大直径部327，该小直径部326与驱动轴连结，该大直径部327配置成与小直径部326同轴，与小直径部326连接，并且外径大于小直径部326。在第1实施方式中，小直径部326的外径与电动机壳体321的外径相等。在第1实施方式中，驱动轴、电动机壳体321以及转动部件323配置在同轴的位置。
动作环324形成为有底筒状(圆筒状)，其将底部328配置在靠近旋转部313的位置，并且与驱动轴、电动机壳体321和转动部件323配置成同轴。动作环324在底部328设置有供转动部件323的小直径部326通过的通孔329。动作环324与第2气缸325的活塞杆连结，第2气缸325的活塞杆进行伸缩，从而按照与转动部件323相同的轴向滑动至图9中的实线所示的位置和双点划线所示的位置。另外，在动作环324的远离旋转部313的侧的一端设置有供后述的把持部件330通过的切口331。
另外，螺母支托32上分别以90度的相位配设有从转动部件323的大直径部327的端面突出的四个转动销332。转动销332在基端(在图9中为左端)具有圆形状的卡合部333，卡合部333以能够滑动的方式配设于转动部件323的端面上所设置的气缸孔334中。在气缸孔334的底面与卡合部333之间配设有压缩弹簧335。压缩弹簧335向使转动销332从端面突出的方向施力。另外，在气缸孔334中设置有止动部336，该止动部336与转动销332的卡合部333卡合，限制转动销332的脱落。上述的四个转动销814配设于与设置于紧固螺母26的四个销嵌合孔261嵌合的位置。
另外，螺母支托32上在转动部件323的外周具有分别以90度的相位配设的四个把持部件330。把持部件330形成为臂状，配置成长度方向沿着转动部件323的轴向。把持部件330在前端部具有把持爪337，该把持爪337能够与设置于紧固螺母26的外周的环状槽262卡合，并且比大直径部327的端面更加远离旋转部313，靠近旋转部313的基端部以能够摆动的方式支承于转动部件323的小直径部326的外周面上。把持部件330以基端部为中心进行摆动，从而使把持爪337彼此相互靠近或远离。另外，在转动部件323的外周面与把持部件330的中央部之间配设有压缩弹簧338。压缩弹簧338按照把持爪337始终朝向径向外侧的方式对把持部件330施力。
作为这样构成的螺母支托32，在图9中的实线所示的位置上，把持部件330的把持爪337彼此远离，解除把持爪337对紧固螺母26的环状槽262的卡合。另外，当螺母支托32使第2气缸325的活塞杆伸展而将动作环324移动至图9中的双点划线所示的位置时，把持部件330的把持爪337彼此靠近，把持爪337与紧固螺母26的环状槽262卡合。
刀具卡盘34对切削刀具21的支承基台212进行吸引保持。刀具卡盘34设置成通过安装于旋转部313的气缸而在相对于X轴方向垂直的方向上移动自如。
刀具卡盘34具有：圆筒状的卡盘主体341，其设置成通过上述的气缸而在相对于X轴方向垂直的方向上移动自如；以及吸引保持部342，其安装于卡盘主体341的前端，从未图示的真空吸引源进行吸引而对切削刀具21的支承基台212进行吸引、保持。另外，刀具卡盘34在吸引保持部342和卡盘主体341中具有在内侧供刀具安装部件24的安装部241通过的安装用孔343。
上述结构的刀具更换单元3通过使支承台311沿Z轴方向升降的移动单元以及使支承台311沿X轴方向移动的移动单元而在支承框架5的背面侧的位置以及旋转部313绕轴心旋转而能够使螺母支托32和刀具卡盘34与切削单元20的切削刀具21和卡盘工作台10对置的位置上移动自如。
控制单元4分别对切削装置1的上述各构成要素进行控制而使切削装置1实施对被加工物200的加工动作。另外，控制单元4是计算机，控制单元4具有：运算处理装置，其具有CPU(central processing unit：中央处理器)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(readonly memory：只读存储器)或RAM(random access memory：随机存取存储器)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制单元4的运算处理装置按照存储于存储装置的计算机程序实施运算处理，将用于控制切削装置1的控制信号经由输入输出接口而输出至切削装置1的上述构成要素。
控制单元4与由显示加工动作的状态或图像等的液晶显示装置等构成的未图示的显示单元以及操作者在登记加工内容信息等时所用的输入单元连接。输入单元由设置于显示单元的触摸面板和键盘等外部输入装置中的至少一个构成。
(搬送用治具)
接着，本说明书对第1实施方式的搬送用治具进行说明。图10是示出第1实施方式的搬送用治具的结构例的立体图。图11是示出图10所示的搬送用治具的载置部的立体图。图12是示出在图11所示的载置部上载置有切削刀具的状态的立体图。
搬送用治具100是用于在图1所示的切削装置1中将切削加工中使用的切削刀具21搬运至加工单元2的切削单元20的治具。搬送用治具100形成为外缘的平面形状与环状框架211的外缘的平面形状相同的板状，例如由金属等硬质的材料一体地形成。
如图10、图11和图12所示，搬送用治具100具有多个对切削刀具21进行载置的载置部101。各载置部101对一个切削刀具21进行定位而载置。载置部101具有：筒状的立设筒部102，其从搬送用治具100的正面竖立设置；以及定位凸部103，其设置于立设筒部102内，从搬送用治具100的正面竖立设置。立设筒部102形成为内周面的平面形状与切削刀具21的切刃213的外缘的平面形状相同，在内侧对切削刀具21进行收纳。
在第1实施方式中，搬送用治具100在立设筒部102使切削刀具21的切刃213与搬送用治具100的正面重叠的状态下进行收纳。定位凸部103进入至收纳于立设筒部102内的切削刀具21的安装孔214内而在立设筒部102内对切削刀具21进行定位。在第1实施方式中，定位凸部103形成为尖细的圆柱状，外径随着远离搬送用治具100而慢慢减少。因此，当将切削刀具21安装于定位凸部103时，在切削刀具21的切刃213与立设筒部102的底面接触之前，切削刀具21的安装孔214与定位凸部103的外径接触而进行固定，从而能够防止切刃213与载置部101直接接触。
上述结构的搬送用治具100能够在将切削刀具21载置于载置部101的状态下与环状框架211同样地被收纳于盒61的槽63内，并且能够与环状框架211同样地通过搬送单元80进行搬送。即，搬送用治具100通过与被加工物200通用的搬送单元80在盒61与卡盘工作台10之间进行搬送。另外，搬送用治具100使外缘与阶梯部17接触而通过搬送治具保持部件15定位在卡盘工作台10上。
(切削装置的加工动作)
本说明书对上述结构的切削装置1的加工动作进行说明。图13是示出图10所示的搬送用治具在载置部载置有切削刀具的状态的立体图。图14是示出将图13所示的搬送用治具收纳于盒内的状态的立体图。
在加工动作中，如图13所示，操作者在载置部101上载置切削刀具21，并将加工内容信息登记在控制单元4中。另外，在加工动作中，如图14所示，操作者将在载置部101上载置有切削刀具21的搬送用治具100收纳于盒61中，并且将切削加工前的被加工物200收纳于盒61中，将盒61设置于盒升降机60的上表面上。
另外，在第1实施方式中，当操作者在载置部101上载置切削刀具21时，在多个载置部101中的除了一个载置部101以外的载置部101上载置切削刀具21，在一个载置部101上不载置切削刀具21。另外，在第1实施方式中，操作者登记在控制单元4中的加工内容信息包含表示盒61内的搬送用治具100的位置的信息。另外，在第1实施方式中，操作者登记在控制单元4中的加工内容信息包含：表示搬送用治具100的载置有切削刀具21的载置部101的位置的信息、或表示搬送用治具100的未载置切削刀具21的载置部101的位置的信息。
然后，切削装置1在由操作者指示了开始加工动作的情况下开始进行加工动作。当切削装置1开始进行加工动作时，控制单元4通过搬送单元80将被加工物200从盒61内搬送至搬入搬出区域92的卡盘工作台10，通过卡盘工作台10的保持面11隔着粘接带210而对背面204侧进行吸引保持，并且通过夹持部12对环状框架211进行夹持。
切削装置1的控制单元4通过X轴移动单元使卡盘工作台10朝向加工区域91移动，通过拍摄单元30对被加工物200进行拍摄，根据拍摄单元30拍摄得到的图像执行对准。切削装置1的控制单元4一边使被加工物200和切削单元20沿着分割预定线202相对地移动一边使切削刀具21切入至各分割预定线202，从而将被加工物200分割成各个器件203。切削装置1的控制单元4通过清洗单元70对已分割成各个器件203的被加工物200进行清洗之后，通过搬送单元80收纳于盒61中。切削装置1的控制单元4通过切削单元20等依次对收纳于盒61内的被加工物200进行切削加工，当完成盒61内的所有被加工物200的切削加工时，加工动作结束。
(切削刀具的更换方法)
接着，本说明书对第1实施方式的切削刀具的更换方法进行说明。图15是示出第1实施方式的切削刀具的更换方法的流程图。关于第1实施方式的切削刀具的更换方法，在图1所示的切削装置1的加工动作中，当控制单元4判定为至少一方的切削单元20的切削刀具21处于刀具更换时机时，实施图15所示的流程图。刀具更换时机是指对各切削单元20的切削刀具21进行更换的时机。刀具更换时机例如在每当对预先设定的数量的被加工物200进行切削时，按照每个各切削刀具21进行设定，作为加工内容信息的一部分登记在控制单元4中。另外，本发明的刀具更换时机既可以是正在对一张被加工物200进行加工的中途，也可以是在连续地对多张被加工物200进行加工时更换被加工物200的时机。
切削刀具的更换方法是在图1所示的切削装置1中使用了搬送用治具100的切削刀具21的更换方法。如图15所示，切削刀具的更换方法具有搬送步骤ST1、搬送治具保持步骤ST2、拆卸步骤ST3、安装步骤ST4以及返回步骤ST5。
(搬送步骤)
图16是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的搬送步骤中将搬送用治具从盒中取出并载置于轨道上的状态的立体图。图17是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的搬送步骤中通过搬送臂对从盒中取出的搬送用治具进行吸引保持的状态的立体图。
搬送步骤ST1是利用搬送单元80将在载置部101上载置有更换用的切削刀具21的搬送用治具100搬送至加工单元2的卡盘工作台10上的步骤。在搬送步骤ST1中，控制单元4通过盒升降机60将盒61的收纳有搬送用治具100的槽63定位于与暂放单元81的轨道812上为同一平面上的位置，通过搬入搬出单元811将搬送用治具100从盒61中取出，如图16所示载置于轨道812上。
如图17所示，在搬送步骤ST1中，控制单元4通过一方的搬送臂82对载置于轨道812上的搬送用治具100进行吸引保持，通过搬送臂82搬送至卡盘工作台10上，进入至搬送治具保持步骤ST2。
(搬送治具保持步骤)
图18是示出图15所示的切削刀具的更换方法的搬送治具保持步骤后的搬送用治具等的立体图。搬送治具保持步骤ST2是在卡盘工作台10的上方通过搬送治具保持部件15对搬送用治具100进行保持的步骤。
在搬送治具保持步骤ST2中，控制单元4使卡盘工作台10移动至搬入搬出区域92，将搬送臂82所吸引保持的搬送用治具100定位于各搬送治具保持部件15上，并且将搬送用治具100的外缘定位于多个搬送治具保持部件15的阶梯部17之间的上方。搬送治具保持步骤ST2中，控制单元4通过搬送臂82将搬送用治具100的外缘与多个搬送治具保持部件15的阶梯部17抵接，并且如图18所示那样载置于平坦部16上后，解除搬送臂82对搬送用治具100的吸引保持，使搬送臂82从卡盘工作台10上退避，进入至拆卸步骤ST3。另外，图18中，省略了搬送用治具100上的载置部101和切削刀具21。
(拆卸步骤)
图19是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中拆卸了紧固螺母的状态的一例的立体图。图20是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中拆卸了作为更换对象的切削刀具的状态的一例的立体图。图21是示出将在图15所示的切削刀具的更换方法的拆卸步骤中所拆卸的切削刀具载置于搬送用治具的载置部上的状态的一例的立体图。
拆卸步骤ST3是通过刀具更换单元3将切削单元20上所安装的旧切削刀具即更换对象的切削刀具21(以下用标号21-1表示)从主轴23拆卸的步骤。在拆卸步骤ST3中，控制单元4通过刀具更换单元3的移动单元和旋转部313使螺母支托32与将作为更换对象的切削刀具21-1固定于刀具安装部件24的紧固螺母26沿着Y轴方向对置。在拆卸步骤ST3中，控制单元4在使第2气缸325的活塞杆缩短而将动作环324定位于图9中的实线所示的位置的状态下，使螺母支托32的气缸的活塞杆伸展而使转动部件323的端面与紧固螺母26抵接。
在拆卸步骤ST3中，控制单元4使第2气缸325的活塞杆伸展而将动作环324定位于图9中的双点划线所示的位置，使把持部件330的把持爪337与紧固螺母26的环状槽262卡合。在拆卸步骤ST3中，控制单元4通过电动机322使转动部件323向紧固螺母26从与外螺纹243的螺合脱离的方向旋转。并且，当转动销332与销嵌合孔261嵌合时，紧固螺母26与转动部件323一体地旋转。
在拆卸步骤ST3中，控制单元4通过电动机322使转动部件323按照预先设定的规定的时间进行旋转。于是，紧固螺母26从刀具安装部件24的安装部241的外螺纹243脱离。在拆卸步骤ST3中，控制单元4在通过第2气缸325将动作环324定位于图9中的双点划线所示的位置的状态下如图19所示那样使螺母支托32的气缸缩短。
在拆卸步骤ST3中，控制单元4通过刀具更换单元3的移动单元使刀具卡盘34与作为更换对象的切削刀具21-1的支承基台212沿着Y轴方向对置。在拆卸步骤ST3中，控制单元4使刀具卡盘34的气缸的活塞杆伸展而如图20所示那样使吸引保持部342与作为更换对象的切削刀具21-1的支承基台212抵接而通过吸引保持部342对作为更换对象的切削刀具21-1的支承基台212进行吸引保持。在拆卸步骤ST3中，控制单元4在通过吸引保持部342对切削刀具21-1的支承基台212进行吸引保持的状态下使刀具卡盘34的气缸的活塞杆缩短。
在拆卸步骤ST3中，控制单元4通过刀具更换单元3的移动单元、旋转部313以及X轴移动单元使刀具卡盘34与载置于卡盘工作台10上的搬送用治具100的未载置切削刀具21的载置部101沿Z轴方向对置。在拆卸步骤ST3中，控制单元4使刀具卡盘34的气缸的活塞杆伸展而如图21所示那样将吸引保持部342所吸引保持的切削刀具21-1载置于载置部101。在拆卸步骤ST3中，控制单元4解除吸引保持部342对切削刀具21-1的吸引保持，进入至安装步骤ST4。
(安装步骤)
图22是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中通过刀具卡盘对未使用的切削刀具进行吸引保持的状态的一例的立体图。图23是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中将刀具卡盘所吸引保持的切削刀具安装于切削单元的状态的一例的立体图。图24是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的安装步骤中即将将螺母支托上所保持的紧固螺母安装于切削单元的刀具安装部件之前的状态的一例的立体图。
安装步骤ST4是将载置于搬送用治具100的作为更换用的切削刀具的未使用的切削刀具21(以下用标号21-2表示)安装于切削单元20的步骤。在安装步骤ST4中，控制单元4通过刀具更换单元3的移动单元和X轴移动单元使刀具卡盘34与载置于卡盘工作台10上的搬送用治具100的载置有未使用的切削刀具21-2的载置部101沿Z轴方向对置。在安装步骤ST4中，控制单元4使刀具卡盘34的气缸的活塞杆伸展而如图22所示那样使吸引保持部342与切削刀具21-2的支承基台212抵接，从而通过吸引保持部342对切削刀具21的支承基台212进行吸引保持。
在安装步骤ST4中，控制单元4使刀具卡盘34的气缸的活塞杆缩短，通过刀具更换单元3的移动单元和旋转部313使刀具卡盘34与已拆卸切削刀具21-1的切削单元20沿Y轴方向对置。在安装步骤ST4中，如图23所示，控制单元4使刀具卡盘34的气缸的活塞杆伸展而使刀具安装部件24的安装部241通过刀具卡盘34所吸引保持的切削刀具21-2的支承基台212的安装孔214内，从而将切削刀具21-2安装于切削单元20。如图24所示，在安装步骤ST4中，控制单元4解除刀具卡盘34对切削刀具21-2的吸引保持，使刀具卡盘34的气缸的活塞杆缩短。
在安装步骤ST4中，控制单元4通过刀具更换单元3的移动单元使螺母支托32与已安装切削刀具21-2的切削单元20沿Y轴方向对置。在安装步骤ST4中，控制单元4使螺母支托32的气缸的活塞杆伸展，通过电动机322使转动部件323向紧固螺母26与外螺纹243螺合的方向旋转。在安装步骤ST4中，控制单元4通过电动机322使转动部件323按照预先设定的规定的时间进行旋转。于是，紧固螺母26与刀具安装部件24的安装部241的外螺纹243螺合。
在安装步骤ST4中，控制单元4通过第2气缸325将动作环324定位于图9中的实线所示的位置，解除把持部件330的把持爪337对紧固螺母26的环状槽262的卡合。在安装步骤ST4中，控制单元4在通过第2气缸325将动作环324定位于图9中的实线所示的位置的状态下使螺母支托32的气缸缩短，通过旋转部313使螺母支托32和刀具卡盘34与下方对置后，通过移动单元将刀具更换单元3定位于支承框架5的背面侧，进入至返回步骤。
(返回步骤)
图25是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的返回步骤中通过搬送臂对卡盘工作台上的搬送用治具进行吸引保持的状态的立体图。图26是示出在图15所示的切削刀具的更换方法的返回步骤中将载置于轨道上的搬送用治具收纳于盒内的状态的立体图。
返回步骤ST5是通过搬送单元80使在载置部101载置有切削刀具21-1的搬送用治具100返回至盒61的步骤。在返回步骤ST5中，控制单元4使卡盘工作台10移动至搬入搬出区域92，如图25所示，通过搬送臂82对卡盘工作台10上的搬送用治具100进行吸引保持。如图26所示，在返回步骤ST5中，控制单元4通过搬送臂82将搬送用治具100载置于轨道812上，解除搬送用治具100的吸引保持。在返回步骤ST5中，控制单元4通过暂放单元81将轨道812上的搬送用治具100收纳于盒61内，从而结束切削刀具的更换方法。
如上所述，第1实施方式的切削刀具的更换方法和搬送用治具100中，通过搬送单元80将搬送用治具100搬送至加工单元2的卡盘工作台10上，通过刀具更换单元3将作为更换对象的切削刀具21-1从切削单元20拆卸，将未使用的切削刀具21-2安装于切削单元20。另外，搬送用治具100的外缘的平面形状与环状框架211的外缘的平面形状相同。因此，切削刀具的更换方法和搬送用治具100能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80自动地进行向加工单元2提供切削刀具21。其结果是，切削刀具的更换方法和搬送用治具100起到能够抑制切削刀具21的更换所花费的所需工时的效果。
另外，第1实施方式的切削刀具的更换方法在卡盘工作台10的夹持部12设置有搬送治具保持部件15，因此即使在卡盘工作台10上对被加工物200进行吸引的状态下，也能够在卡盘工作台10上对搬送用治具100进行保持。其结果是，根据第1实施方式的切削刀具的更换方法，即使在一个被加工物200的切削中，也能够将搬送用治具100保持于卡盘工作台10上而进行切削刀具21的更换。
另外，第1实施方式的切削刀具的更换方法能够将搬送用治具100收纳于盒61内，因此能够将搬送用治具100的存储空间抑制为最小限度。另外，第1实施方式的切削刀具的更换方法能够将搬送用治具100收纳于盒61内，因此通过在现有的装置中设置刀具更换单元3，能够自动提供未使用的切削刀具21。
[变形例]
根据附图，对本发明的第1实施方式的变形例的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图27是第1实施方式的变形例的搬送用治具的主要部分的剖视图。图27中，在与第1实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第1实施方式的变形例的搬送用治具100在各载置部101的定位凸部103中具有能够与切削刀具21的支承基台212的安装孔214的内缘卡合的球塞104。球塞104沿定位凸部103的周向等间隔设置有多个，球塞104插入至贯通定位凸部103的孔105内，通过压缩弹簧106向从定位凸部103的外周面突出的方向施力。孔105按照定位凸部103的外周面侧的直径小于球塞104的直径的方式形成从而限制球塞104的脱落。
球塞104从定位凸部103的外周面突出，从而与安装孔214的内缘卡合，在与搬送用治具100的正面之间对切削刀具21的支承基台212进行夹持而进行固定。另外，从刀具更换单元3的刀具卡盘34的设置于吸引保持部342的安装用孔343的内表面抵抗压缩弹簧106的作用力而对球塞104进行按压，从而解除与安装孔214的内缘的卡合，允许吸引保持部342对切削刀具21的支承基台212进行吸引保持。
第1实施方式的变形例的切削刀具的更换方法和搬送用治具100与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80自动地进行向加工单元2提供切削刀具21，能够抑制切削刀具21的更换所花费的所需工时。
另外，第1实施方式的变形例的切削刀具的更换方法和搬送用治具100在定位凸部103具有与安装孔214的内缘卡合的球塞104，因此在搬送用治具100的搬送中等能够抑制搬送用治具100与来自安装部241的切削刀具21的位置偏移。
[第2实施方式]
根据附图，对本发明的第2实施方式的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图28是示出实施第2实施方式的切削刀具的更换方法的切削装置的结构例的主要部分的立体图。图29是示出第2实施方式的搬送用治具的结构例的立体图。图28和图29中，在与第1实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
实施第2实施方式的切削刀具的更换方法的切削装置1-2的加工单元2-2具有子卡盘工作台111，搬送用治具100-2用于将作为消耗品的修整板110搬运至加工单元2的子卡盘工作台111，除此以外，结构与第1实施方式相同。
子卡盘工作台111设置成供修整板110装卸自如，子卡盘工作台111与卡盘工作台10一体地沿着X轴方向移动自如。子卡盘工作台111形成为矩形状，子卡盘工作台111的上表面配置于与卡盘工作台10的保持面11相同的高度的位置。子卡盘工作台111与未图示的真空吸引源连接，通过真空吸引源进行吸引，从而对载置于上表面的修整板110进行吸引保持。在第2实施方式中，子卡盘工作台111与切削单元20一一对应地设置有两个，对适合所对应的切削单元20的切削刀具21的种类的修整板110进行保持。
修整板110对堵塞或钝化而使切削能力降低的切削刀具21进行修锐从而使切削刀具21的切削能力恢复。将对切削刀具21进行修锐而使切削刀具21的切削能力恢复称为进行修整。
修整板110形成为平面形状与子卡盘工作台111的上表面大致相同形状的矩形状的板状。修整板110是在树脂或陶瓷的结合材料中混入WA(白刚玉、氧化铝系)、GC(绿色金刚砂、碳化硅系)等磨粒而构成。
第2实施方式的搬送用治具100-2的载置部101-2对一个修整板110进行定位而进行载置。载置部101-2的立设筒部102-2形成为内周面的平面形状与修整板110的平面形状相同，在内侧对修整板110进行收纳。第2实施方式的搬送用治具100-2在载置部101-2载置有修整板110的状态下能够与环状框架211同样地收纳于盒61的槽63内，并且能够通过搬送单元80与环状框架211同样地进行搬送。搬送用治具100-2通过与被加工物200通用的搬送单元80在盒61与卡盘工作台10之间进行搬送。
另外，在图28中示出主要部分的切削装置1-2具有对子卡盘工作台111上的修整板110进行更换的更换单元。更换单元不具有螺母支托32，通过刀具卡盘34对修整板110进行吸引、保持，除此以外，结构与刀具更换单元3相同。
第2实施方式的切削刀具的更换方法和搬送用治具100-2与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80自动地进行向加工单元2提供修整板110，能够抑制修整板110的更换所花费的所需工时。
[变形例1]
根据附图，对本发明的第1实施方式和第2实施方式的变形例1的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图30是示出具有切削装置的制造设备的结构例的俯视图，该切削装置实施第1实施方式和第2实施方式的变形例1的切削刀具的更换方法。图30中，在与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第1实施方式和第2实施方式的变形例1的切削刀具的更换方法中，通过利用具有多个切削装置1、1-2的图30所示的制造设备300的传送带301进行循环的托盘302对搬送用治具100、100-2和被加工物200进行保持，除此以外，结构与第1实施方式和第2实施方式相同。即，在本发明中，搬送用治具100、100-2可以像第1实施方式和第2实施方式所示那样从盒61提供至加工单元2、2-2，也可以从利用传送带301进行循环的托盘302提供至加工单元2、2-2。另外，图30中，省略了搬送用治具100、100-2所保持的切削刀具21和修整板110等。
变形例1的切削刀具的更换方法和搬送用治具100、100-2与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80，自动地进行向加工单元2、2-2提供切削刀具21或修整板110，能够抑制切削刀具21或修整板110的更换所花费的所需工时。
[变形例2]
根据附图，对本发明的第1实施方式和第2实施方式的变形例2的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图31是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例2的切削刀具的更换方法的切削装置等的结构例的主视图。图31中，在与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第1实施方式和第2实施方式的变形例2的切削刀具的更换方法通过图31所示的自动搬送系统400将盒61提供至切削装置1、1-2，除此以外，结构与第1实施方式和第2实施方式相同。自动搬送系统400通过切削装置1、1-2的盒升降机60对收纳有搬送用治具100、100-2的盒61进行搬入、搬出。另外，变形例2的盒61在上表面上设置有突出部64。
在变形例2中，自动搬送系统400是采用了OHT(Overhead Hoist Transfer：高空提升运输)的结构，自动搬送系统400具有：搬送路径401，其配设于生产设备内的顶棚；保持部402，其沿着搬送路径401行驶自如，并且对盒61的突出部64进行保持；以及未图示的控制单元，其是对保持部402的行驶状况等进行控制的计算机。另外，在变形例2中，切削装置1、1-2能够将盒61收纳于盒升降机60内，沿Z轴方向隔开间隔而配置有两个盒61，但在本发明中，不限于图31所示的结构。另外，图31所示的下方的盒61从侧方相对于盒升降机60内出入。另外，在本发明中，自动搬送系统不限于OHT，只要是使用OHS(Over Head Shuttle：空中往返运输)、AGV(Automatic Guided Vehicle：自动引导小车)、RGV(Rail Guided Vehicle：有轨制导小车)这样的无人搬送车的系统即可。
变形例2的切削刀具的更换方法和搬送用治具100、100-2与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80，自动地进行向加工单元2、2-2提供切削刀具21或修整板110，能够抑制切削刀具21或修整板110的更换所花费的所需工时。
另外，变形例2的切削刀具的更换方法和搬送用治具100、100-2通过自动搬送系统400将收纳有搬送用治具100、100-2的盒61相对于切削装置1、1-2搬入、搬出，因此能够自动地进行作为消耗品的切削刀具21或修整板110的提供。
[变形例3]
根据附图，对本发明的第1实施方式和第2实施方式的变形例3的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图32是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例3的切削刀具的更换方法的切削装置的卡盘工作台的主要部分的立体图。图33是示出图32所示的卡盘工作台对搬送用治具进行吸引保持的状态的主要部分的立体图。图32和图33中，在与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第1实施方式和第2实施方式的变形例3的切削刀具的更换方法中，切削装置1、1-2如图32所示那样不具有搬送治具保持部件15，除此以外，结构与第1实施方式和第2实施方式相同。如图33所示，图32所示的切削装置1、1-2在卡盘工作台10的保持面11上对搬送用治具100、100-2进行吸引保持，利用夹持部12对搬送用治具100、100-2的外缘部进行夹持。另外，图32和图33中，省略了搬送用治具100、100-2所保持的切削刀具21和修整板110等。
变形例3的切削刀具的更换方法和搬送用治具100、100-2与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80，自动地进行向加工单元2、2-2提供切削刀具21或修整板110，能够抑制切削刀具21或修整板110的更换所花费的所需工时。
[变形例4]
根据附图，对本发明的第1实施方式和第2实施方式的变形例4的切削刀具的更换方法和搬送用治具进行说明。图34是示出实施第1实施方式和第2实施方式的变形例4的切削刀具的更换方法的切削装置的盒升降机的结构例的立体图。图34中，在与第1实施方式和第2实施方式相同的部分标记相同的标号，并省略了说明。
第1实施方式和第2实施方式的变形例4的切削刀具的更换方法中，切削装置1、1-2的盒升降机60如图34所示那样具有对被加工物200进行收纳并进行检查的检查单元65，将搬送用治具100、100-2收纳于检查单元65内，除此以外，结构与第1实施方式和第2实施方式相同。图34所示的切削装置1、1-2相对于盒升降机60的检查单元65进行搬送用治具100、100-2的出入。图34中，省略了搬送用治具100、100-2所保持的切削刀具21和修整板110等。
变形例4的切削刀具的更换方法和搬送用治具100、100-2与第1实施方式同样地，能够不增加特殊的搬送构件，而利用被加工物200的搬送中所用的搬送单元80，自动地进行向加工单元2、2-2提供切削刀具21或修整板110，能够抑制切削刀具21或修整板110的更换所花费的所需工时。
另外，本发明并不限于上述实施方式和变形例。即，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形并实施。另外，在第1实施方式中，示出载置有切削刀具21的搬送用治具100，在第2实施方式中，示出载置有修整板110的搬送用治具100-2，但本发明也可以在盒61内对载置有切削刀具21的搬送用治具100和载置有修整板110的搬送用治具100-2这双方进行收纳。
另外，本发明在具有通过真空对切削刀具21进行吸附的真空主轴的切削单元20的情况下，可以使用不具有螺母支托32的刀具更换单元3。另外，在实施方式等中，记载了螺母支托32通过把持部件330对紧固螺母26进行保持而刀具卡盘34通过真空对切削刀具21进行保持的结构，但在本发明中，可以双方均利用把持部件和真空方式中的任意一种。

Claims (2)

1.一种搬送用治具，其用于在切削装置中将更换用的切削刀具搬运至加工单元，
该切削装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
所述加工单元，其以能够装卸的方式将切削刀具安装于主轴；
搬送构件，其将被加工物提供至该加工单元；以及
切削刀具更换构件，其对该切削刀具进行更换，
其中，
该搬送用治具通过与对该被加工物进行搬送的该搬送构件通用的搬送构件而被搬送，该搬送用治具具有对该更换用的切削刀具进行载置的载置部。
2.一种切削刀具的更换方法，该方法在切削装置中使用了具有对该切削刀具进行载置的载置部的搬送用治具，
该切削装置具有：
卡盘工作台，其对被加工物进行保持；
加工单元，其以能够装卸的方式将该切削刀具安装于主轴；
搬送构件，其将被加工物提供至该加工单元；以及
切削刀具更换构件，其对该切削刀具进行更换，
其中，该切削刀具的更换方法具有如下的步骤：
搬送步骤，利用该搬送构件将载置有更换用的切削刀具的该搬送用治具搬送至该加工单元；
搬送用治具保持步骤，在该卡盘工作台的上方通过搬送用治具保持构件对该搬送用治具进行保持；
拆卸步骤，通过该切削刀具更换构件将安装于该加工单元的该切削刀具拆卸；
安装步骤，将该搬送用治具的该载置部上所载置的该更换用的切削刀具安装于该加工单元；以及
返回步骤，通过该搬送构件使载置有从该加工单元拆卸的该切削刀具的该搬送用治具返回至盒中。
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