JP2017103274A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
被加工物を保持し加工送り方向(X軸方向)に移動可能に構成されX軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に互いに隣接して配設される第1のチャックテーブルおよび第2のチャックテーブルと、
該第1のチャックテーブルおよび該第2のチャックテーブルに保持された被加工物にそれぞれ切削加工を施す第1の切削機構および第2の切削機構と、
該第1の切削機構および該第2の切削機構によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段と、を具備し、
該第1のチャックテーブルは被加工物を搬出入する第1の搬出入領域と該第1の切削機構が配設された第1の切削領域に位置付けられるように構成され、該第2のチャックテーブルは該第1の搬出入領域とY軸方向の直線上に隣接し被加工物を搬出入する第2の搬出入領域と該第2の切削機構が配設された第2の切削領域に位置付けられるように構成されており、
該第1の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと該2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、該第2の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと該2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、
該第1の切削機構と該第2の切削機構は該第1の搬出入領域と該第2の搬出入領域との中間位置を軸として点対称の位置に配設されており、
該洗浄手段は、該第1の搬出入領域と該第2の搬出入領域とを結ぶY軸方向の直線上に配設される、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
また、上記洗浄手段の上方に被加工物を仮置きする2本のガイドレールが間隔調整可能に構成された仮置き手段が配設され、上記搬送手段は、仮置き手段に仮置きされた切削加工前の被加工物を第1の搬出入領域に位置付けられた第1のチャックテーブルおよび第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルに搬送するとともに、洗浄手段から洗浄済の被加工物を仮置き手段に搬送し、また、第1の搬出入領域に位置付けられた第1のチャックテーブルおよび該第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルから切削加工済の被加工物を洗浄手段に搬送する。
上記搬送手段は、第1の搬送手段と第2の搬送手段を具備し、該第1の搬送手段は、仮置き手段に仮置きされた切削加工前の被加工物を第1の搬出入領域に位置付けられた第1のチャックテーブルおよび第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルに搬送するとともに、洗浄手段から洗浄済の被加工物を仮置き手段に搬送し、第2の搬送手段、第1の搬出入領域に位置付けられた第1のチャックテーブルおよび第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルから切削加工済の被加工物を洗浄手段に搬送する。
また、上記仮置き手段に隣接してX軸方向に被加工物を収容したカセットが載置されるカセットテーブルが配設され、X軸方向に進退してカセットテーブルに載置されたカセットに収容された切削加工前の被加工物を仮置き手段に搬出するとともに仮置き手段から洗浄済の被加工物をカセットに搬入する搬出入手段が配設されている。
第1のチャックテーブルおよび第2のチャックテーブルに保持された被加工物にそれぞれ切削加工を施す第1の切削機構および第2の切削機構と、
第1の切削機構および第2の切削機構によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段と、を具備し、
第1のチャックテーブルは被加工物を搬出入する第1の搬出入領域と第1の切削機構が配設された第1の切削領域に位置付けられるように構成され、第2のチャックテーブルは第1の搬出入領域とY軸方向の直線上に隣接し被加工物を搬出入する第2の搬出入領域と第2の切削機構が配設された第2の切削領域に位置付けられるように構成されており、
第1の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、第2の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、
第1の切削機構と第2の切削機構は第1の搬出入領域と第2の搬出入領域との中間位置を軸として点対称の位置に配設されており、
洗浄手段は、第1の搬出入領域と第2の搬出入領域とを結ぶY軸方向の直線上に配設されるので、第1のチャックテーブルおよび第2のチャックテーブルと第1の切削機構および第2の切削機構と洗浄手段の配置に無駄な空間がなく切削装置を小型に構成することができるとともに、作業者が切削ブレードの交換等をする際にアクセスが良好で作業性が向上する。
また、本発明による切削装置においては、第1の切削領域に位置付けられた第1のチャックテーブルに保持された被加工物に対して第1の切削機構を構成する第1の切削手段と第2の切削手段の2個の切削ブレードを作用させて切削加工を施すとともに、第2の切削領域に位置付けられた第2のチャックテーブルに保持された被加工物に対して第2の切削機構を構成する第1の切削手段と第2の切削手段の2個の切削ブレードを作用させて同時に所定の切削加工を施すことが可能となり、生産性をより向上させることができる。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2と、該静止基台2上に配設され被加工物を保持する第1のチャックテーブル機構3および第2のチャックテーブル機構4と、第1のチャックテーブル機構3に保持された被加工物および第2のチャックテーブル機構4に保持された被加工物にそれぞれ切削加工を施す第1の切削機構5および第2の切削機構6とを具備している。
なお、図示の実施形態においては第1のチャックテーブル機構3の第1の加工送り手段35を構成するパルスモータ353と第2のチャックテーブル機構4の第2の加工送り手段45を構成するパルスモータ453をそれぞれ第1の切削機構5と第2の切削機構6が配設される側と反対側(X軸方向における内側)に配設した例を示したが、パルスモータ353とパルスモータ453を第1の切削機構5と第2の切削機構6が配設される側(X軸方向における外側)にそれぞれ配設することによりメンテナンスが良好となる。
第1の切削機構5は、図1に示すように上記静止基台2上において第1の切削領域B1に配設された門型の支持フレーム51を具備している。この門型の支持フレーム51は、Y軸方向に間隔を置いて配設された第1の柱部511および第2の柱部512と、該第1の柱部511と第2の柱部512の上端を連結し矢印Xで示す加工送り方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って配設された支持部513とからなっており、上記第1のチャックテーブル機構3を跨ぐように配設されている。
第2の切削機構6は、上記第1の搬出入領域A1と第2の搬出入領域A2との中間位置を軸として上記第1の切削機構5と点対称の位置に配設されている。このように配設された第2の切削機構6は、上記第2のチャックテーブル機構4を跨ぐように配設された門型の支持フレーム61と、該門型の支持フレーム61を構成する支持部613の外側の側面613aに配設された第1の切削手段6aと第2の切削手段6bとを具備している。なお、門型の支持フレーム61は上記第1の切削機構5の門型の支持フレーム51と実質的に同様の構成であり、第1の切削手段6aと第2の切削手段6bは上記第1の切削機構5の第1の切削手段5aと第2の切削手段5bと実質的に同様の構成であるため説明を省略する。
以上のように、上記第1の切削機構5と第2の切削機構6は、上記第1の搬出入領域A1と第2の搬出入領域A2との中間位置を軸として点対称の位置に配設されているので、無駄な空間がなく切削装置を小型に構成することができるとともに、作業者が切削ブレードの交換等をする際にアクセスが良好で作業性が向上する。
なお、第1の搬送手段13および第2の搬送手段14の搬送アーム移動手段134および144は、上記搬出入手段11の搬送アーム移動手段113と同様に、パルスモータによって駆動される駆動プーリと、該駆動プーリと所定の間隔を置いて配設された従動プーリと、駆動プーリと従動プーリに圏回された作動ワイヤとによって構成される周知の作動機構を用いることができる。
上述した切削装置を用いて被加工物である半導体ウエーハに切削加工を施すには、環状のフレームFに装着されたダイシングテープTの表面に貼着された切削加工前の半導体ウエーハWを収容したカセット10をカセット載置手段9のカセットテーブル91上に載置する。次に、搬出入手段11の搬送アーム移動手段113を作動して搬送アーム111をカセットテーブル91上に載置されたカセット10に向けて前進移動し、搬送アーム111に配設された把持部材112を作動してカセット10の所定位置に収容された半導体ウエーハWをダイシングテープTを介して支持する環状のフレームFを把持する。把持部材112によって環状のフレームFを把持したならば、搬送アーム移動手段113を作動して搬送アーム111をカセット10と反対側に向けて後退移動し、環状のフレームFを仮置き手段8を構成する2本の支持レール81、81における水平部81a上に搬出し、把持部材112による把持状態を解除して、環状のフレームFを2本の支持レール81,81における水平部81a上に仮置きする。そして、仮置き手段8の支持レール移動手段82を作動して2本の支持レール81、81を互いに接近する方向に移動し、垂直部81bによって環状のフレームFを一時的に挟持することにより位置合わせを行う。
なお、上述したように切削加工された半導体ウエーハWを洗浄手段7のスピンナーテーブル71に搬送した第2の搬送手段14は、搬送アーム131を図3において2点鎖線で示す待機位置に位置付ける。
なお、第1のチャックテーブル43に保持され切削加工された半導体ウエーハWを洗浄手段7において洗浄している最中に、搬出入手段11を作動してカセット10に収容されている半導体ウエーハWを仮置き手段8に搬出し、第1の搬送手段13を作動して仮置き手段8に搬出された半導体ウエーハWを第1のチャックテーブル34に搬送することが時間ロスをなくすために好ましい。
また、第2のチャックテーブル44に保持され切削加工された半導体ウエーハWを洗浄手段7において洗浄している最中に、搬出入手段11を作動してカセット10に収容されている半導体ウエーハWを仮置き手段8に搬出し、第1の搬送手段13を作動して仮置き手段8に搬出された半導体ウエーハWを第2のチャックテーブル44に搬送することが時間ロスをなくすために好ましい。
3:第1のチャックテーブル機構
32:移動基台
34:第1のチャックテーブル
35:第1の加工送り手段
4:第2のチャックテーブル機構
42:移動基台
44:第2のチャックテーブル
45:第2の加工送り手段
5:第1の切削機構
5a:第1の切削手段
5b:第2の切削手段
55:割り出し送り手段
6:第2の切削機構
6a:第1の切削手段
6b:第2の切削手段
65:割り出し送り手段
7:洗浄手段
8:仮置き手段
9:カセット載置手段
10:カセット
11:搬出入手段
12:搬送手段
13:第1の搬送手段
14:第2の搬送手段
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
W:半導体ウエーハ
Claims (5)
- 被加工物に切削加工を施す切削装置であって、
被加工物を保持し加工送り方向(X軸方向)に移動可能に構成されX軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に互いに隣接して配設される第1のチャックテーブルおよび第2のチャックテーブルと、
該第1のチャックテーブルおよび該第2のチャックテーブルに保持された被加工物にそれぞれ切削加工を施す第1の切削機構および第2の切削機構と、
該第1の切削機構および該第2の切削機構によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段と、を具備し、
該第1のチャックテーブルは被加工物を搬出入する第1の搬出入領域と該第1の切削機構が配設された第1の切削領域に位置付けられるように構成され、該第2のチャックテーブルは該第1の搬出入領域とY軸方向の直線上に隣接し被加工物を搬出入する第2の搬出入領域と該第2の切削機構が配設された第2の切削領域に位置付けられるように構成されており、
該第1の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと該2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、該第2の切削機構はY軸方向の直線上に配設された2本の回転スピンドルと該2本の回転スピンドルの互いに対向する端部にそれぞれ装着された切削ブレードとを備えた第1の切削手段および第2の切削手段とを具備し、
該第1の切削機構と該第2の切削機構は該第1の搬出入領域と該第2の搬出入領域との中間位置を軸として点対称の位置に配設されており、
該洗浄手段は、該第1の搬出入領域と該第2の搬出入領域とを結ぶY軸方向の直線上に配設される、
ことを特徴とする切削装置。 - 該第1の搬出入領域と該第2の搬出入領域と該洗浄手段とに被加工物を搬送する搬送手段を備えている、請求項1記載の切削装置。
- 該洗浄手段の上方に被加工物を仮置きする2本のガイドレールが間隔調整可能に構成された仮置き手段が配設され、
該搬送手段は、該仮置き手段に仮置きされた切削加工前の被加工物を該第1の搬出入領域に位置付けられた該第1のチャックテーブルおよび該第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルに搬送するとともに、該洗浄手段から洗浄済の被加工物を該仮置き手段に搬送し、また、該第1の搬出入領域に位置付けられた該第1のチャックテーブルおよび該第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルから切削加工済の被加工物を該洗浄手段に搬送する、請求項2記載の切削装置。 - 該搬送手段は、第1の搬送手段と第2の搬送手段を具備し、
該第1の搬送手段は、該仮置き手段に仮置きされた切削加工前の被加工物を該第1の搬出入領域に位置付けられた該第1のチャックテーブルおよび該第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルに搬送するとともに、該洗浄手段から洗浄済の被加工物を該仮置き手段に搬送し、
該第2の搬送手段、該第1の搬出入領域に位置付けられた該第1のチャックテーブルおよび該第2の搬出入領域に位置付けられた第2のチャックテーブルから切削加工済の被加工物を該洗浄手段に搬送する、請求項3記載の切削装置。 - 該仮置き手段に隣接してX軸方向に被加工物を収容したカセットが載置されるカセットテーブルが配設され、X軸方向に進退して該カセットテーブルに載置された該カセットに収容された切削加工前の被加工物を該仮置き手段に搬出するとともに該仮置き手段から洗浄済の被加工物を該カセットに搬入する搬出入手段が配設されている、請求項3又は4記載の切削装置。
Priority Applications (4)
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