JP2012175022A - ウエーハ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハ保持手段21とウエーハ10を加工する加工手段とを具備する加工機2a,2bと、カセット32に収容されたウエーハ10を搬出する搬出手段34および搬出されたウエーハの仮置き手段33とを具備するウエーハ搬出機3と、仮置き手段33に仮置きされたウエーハ10を加工機2a,2bのウエーハ保持手段21に搬送するウエーハ搬送機4とを含むウエーハ加工装置1であって、加工機2a,2bとウエーハ搬出手段34およびウエーハ搬送機4はそれぞれ独立して構成されており、少なくとも2台以上の加工機2a,2bとウエーハ搬出機3およびウエーハ搬送機4の台数を適宜選定して配置し、仮置き手段33に仮置きされたウエーハ10をウエーハ搬送機4によって2台以上の加工機2a,2bのウエーハ保持手段21に搬送する。
【選択図】図1
Description
該加工機と該ウエーハ搬出機および該ウエーハ搬送機はそれぞれ独立して構成されており、少なくとも2台以上の該加工機と該ウエーハ搬出機および該ウエーハ搬送機の台数を適宜選定して配置し、該ウエーハ搬出機の該仮置き手段に仮置きされたウエーハを該ウエーハ搬送機によって2台以上の該加工機の該ウエーハ保持手段に搬送する、
ことを特徴とするウエーハ加工装置が提供される。
図1に示すウエーハ加工装置1は、2以上の切削加工機2a、2bとウエーハ搬出機3およびウエーハ搬送機4とを含んでいる。切削加工機2a、2bは、それぞれ独立して構成されており、それぞれ略直方体状の機体ハウジング20を具備している。この機体ハウジング20内には、被加工物であるウエーハを保持するウエーハ保持手段としてのチャックテーブル21が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル21は、吸着チャック支持台211と、該吸着チャック支持台211上に配設された吸着チャック212を具備しており、該吸着チャック212の上面である保持面上にウエーハを図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル21は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。なお、チャックテーブル21には、ウエーハをダイシングテープを介して支持する環状のフレームを固定するためのクランプ213が配設されている。このように構成されたチャックテーブル21は、図示しない切削送り手段によって、矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。
先ず、ウエーハ搬出機3のカセット載置テーブル31上に載置されたカセット32の所定位置に収容されている加工前のウエーハ10(環状のフレームFにダイシングテープTを介して支持されている状態)は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル31が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段34が進退作動して搬出位置に位置付けられたウエーハ10を仮置き手段33上に搬出する。仮置き手段33上に載置されたウエーハ10は、ここで中心位置合わせが行われる。
図2に示すウエーハ加工装置1は、それぞれ独立した8台の切削加工機2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2hと、それぞれ独立した2台のウエーハ搬出機3a、3bおよびウエーハ搬送機4との組み合わせによって構成されている。切削加工機2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2hは、上記図1に示す切削加工機2a、2bと同一の構成であり、4台ずつが直線状に配列され互いに対向して配置されている。2台のウエーハ搬出機3a、3bは、上記図1に示すウエーハ搬出機3と同一の構成であり、2列に配列された切削加工機2a、2b、2c、2dと2e、2f、2g、2hの間における両側に対向して配置されている。ウエーハ搬送機4は、上記図1に示すウエーハ搬送機4と同一の構成であり、2列に配列された切削加工機2a、2b、2c、2dと2e、2f、2g、2hの間に敷設され案内レール41、41上に移動可能に配設されている。
2a、2b:切削加工機
21:チャックテーブル(保持手段)
22:スピンドルユニット
223:切削ブレード
3:ウエーハ搬出機
31:カセット載置テーブル
32:カセット
33:仮置き手段
34:搬出手段
4:ウエーハ搬送機
41:案内レール
42:パルスモータ
43:回動軸
44:搬送アーム
45:上下移動機構
46:吸引保持パッド
10:ウエーハ
F:環状の支持フレーム
T:ダイシングテープ
Claims (1)
- ウエーハを保持するウエーハ保持手段と該ウエーハ保持手段に保持されたウエーハを加工する加工手段とを具備する加工機と、複数のウエーハが収容されたカセットを載置するカセット載置領域と該カセット載置領域に載置されたカセットに収容されたウエーハを搬出する搬出手段および該搬出手段によって搬出されたウエーハを仮置きする仮置き手段とを具備するウエーハ搬出機と、該ウエーハ搬出機の該仮置き手段に仮置きされたウエーハを該加工機の該ウエーハ保持手段に搬送する搬送手段を備えたウエーハ搬送機と、を含み、
該加工機と該ウエーハ搬出手段および該ウエーハ搬送機はそれぞれ独立して構成されており、少なくとも2台以上の該加工機と該ウエーハ搬出機および該ウエーハ搬送機の台数を適宜選定して配置し、該ウエーハ搬出機の該仮置き手段に仮置きされたウエーハを該ウエーハ搬送機によって2台以上の該加工機の該ウエーハ保持手段に搬送する、
ことを特徴とするウエーハ加工装置。
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