JP5785069B2 - 切削装置 - Google Patents
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該切削送り手段は、該被加工物保持手段を該切削手段による切削領域と被加工物を着脱する被加工物着脱領域に移動するように構成され、
該洗浄手段は、該被加工物着脱領域のY軸方向における側方に配置され、
該仮置き手段は、該洗浄手段の上方に配置され、
該被加工物搬送手段は、該仮置き手段および該洗浄手段と該被加工物着脱領域との間をY軸方向に移動可能に構成され、
該カセット載置手段は該仮置き手段からX軸方向における該切削領域側と反対側である手前側に配置され、該カセット載置手段と該仮置き手段とを結ぶ線と該仮置き手段と該被加工物着脱領域とを結ぶ線とによってL字状に囲うオペレータ作業空間を形成する、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
上記切削手段は、第1の回転スピンドルと該第1の回転スピンドルの一端部に装着された第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、第2の回転スピンドルと該第2の回転スピンドルの一端部に装着された第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段とからなり、第1の切削ブレードと第2の切削ブレードが互いに対向するように配設されているとともに、第1の回転スピンドルおよび第2の回転スピンドルはそれぞれ軸芯がY軸方向に向くように一直線上に配設されている。
また、上記被加工物搬送手段は、仮置き手段に仮置きされた被加工物を被加工物保持手段に搬送する第1の被加工物搬送手段と、被加工物保持手段に保持され切削手段によって切削された被加工物を洗浄手段に搬送する第2の搬送手段とからなっている。
図示の実施形態における切削装置は、静止基台2を具備している。この静止基台2には、被加工物を保持する被加工物保持機構3と、該被加工物保持機構3に保持された被加工物を切削する切削機構4を具備している。加工物保持機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に沿って平行に配設された一対のガイドレール31、31と、該一対のガイドレール31、31上に摺動可能に配設された移動基台32と、該移動基台32上に配設された円筒状の支持部材34に回転可能に支持された被加工物を保持する被加工物保持手段としてのチャックテーブル35を具備している。このチャックテーブル35は、円筒状の支持部材34に回転可能に支持されたチャックテーブル本体351と、該チャックテーブル本体351の上面に配設された吸着チャック352とを具備している。吸着チャック352は、図示しない吸引手段に接続されており、適宜負圧が作用せしめられるようになっている。従って、吸着チャック352の上面である保持に載置された被加工物は、図示しない吸引手段を作動することにより吸着チャック352上に吸引保持される。また、チャックテーブル35は、円筒状の支持部材34内に配設された図示しないパルスモータによって回動せしめられるようになっている。
図示しない切削加工開始スイッチが投入されると、カセット載置手段8の図示しない昇降手段が作動してカセットテーブル81に載置されたカセット80を搬出入位置に位置付ける。カセット80が搬出入位置に位置付けられたら、被加工物搬出入手段9が作動してハンド91をハウジング10に装着された第1の開閉扉101に設けられている開口101bを通してカセット80内に進入せしめ、所定の棚上に載置された被加工物WをダイシングテープTを介して支持している環状のダイシングフレームFを把持する。このようにして環状のダイシングフレームFを把持したハンド91は仮置き手段7に向けて移動せしめられ、環状のダイシングフレームFを仮置き手段7を構成する一対の位置合わせ部材71、71上に載置する。そして、一対の位置合わせ部材71、71を互いに接近する方向に移動することにより、環状のダイシングフレームFにダイシングテープTを支持された被加工物Wの中心位置合わせを実施する。次に、第1の被加工物搬送手段11を作動して、保持部材111によって仮置き手段7において中心位置合わせされた被加工物WをダイシングテープTを介して支持している環状のダイシングフレームFを保持し、被加工物着脱領域30に位置付けられているチャックテーブル機構3のチャックテーブル35上に載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することによりチャックテーブル35上に被加工物Wを吸引保持する。なお、被加工物WをダイシングテープTを介して支持するダイシングフレームFは、チャックテーブル35に装着されたフレーム支持手段353によって支持される。
切削ブレードの交換や各手段のメンテナンスを実施する際には、第1の開閉扉101および第2の開閉扉102を開位置に位置付ける。なお、第1の開閉扉101を開位置に位置付ける際には、カセット載置手段8のカセットテーブル81に載置されたカセット80は除去しておく。このようにして第1の開閉扉101および第2の開閉扉102を開位置に位置付けることにより、オペレータ作業空間50に位置するオペレータは第1のスピンドルユニット44aおよび第2のスピンドルユニット44bの第1の切削ブレード443aと第2の切削ブレード(図示せず)の交換や、各手段のメンテナンスを実施することができる。このとき、第2の開閉扉102は図3の(b)および図2において2点鎖線で示すように開位置に位置付けられた状態で操作パネル102aがオペレータ作業空間50に向けられるように構成されているので、オペレータは操作パネル10を操作しながら切削ブレードを交換したり各手段をメンテナンスすることができる。
3:被加工物保持機構
35:チャックテーブル
36:切削送り手段
4:切削機構
41a:第1の切削手段
41b:第2の切削手段
44a:第1のスピンドルユニット
44b:第2のスピンドルユニット
45a:第1の割り出し送り手段
45b:第2の割り出し送り手段
46a:第1の切り込み送り手段
46b:第2の切り込み送り手段
6:洗浄手段
7:仮置き手段
8:カセット載置手段
80:カセット
9:被加工物搬出入手段
10:ハウジング
101:第1の開閉扉
102:第2の開閉扉
11:第1の被加工物搬送手段
12:第2の被加工物搬送手段
Claims (4)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該被加工物保持手段を切削送り方向(X軸方向)に相対的に移動せしめる切削送り手段と、該切削手段を切削送り方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に移動せしめる割り出し送り手段と、該切削手段によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段と、被加工物を収容したカセットが載置されるカセット載置手段と、該カセット載置手段に載置されたカセットに収容された被加工物を搬出入する被加工物搬出入手段と、該被加工物搬出入手段によって搬出された被加工物を仮置きする仮置き手段と、該仮置き手段および該洗浄手段と該被加工物保持手段との間で被加工物を搬送する被加工物搬送手段と、を具備する切削装置において、
該切削送り手段は、該被加工物保持手段を該切削手段による切削領域と被加工物を着脱する被加工物着脱領域に移動するように構成され、
該洗浄手段は、該被加工物着脱領域のY軸方向における側方に配置され、
該仮置き手段は、該洗浄手段の上方に配置され、
該被加工物搬送手段は、該仮置き手段および該洗浄手段と該被加工物着脱領域との間をY軸方向に移動可能に構成され、
該カセット載置手段は該仮置き手段からX軸方向における該切削領域側と反対側である手前側に配置され、該カセット載置手段と該仮置き手段とを結ぶ線と該仮置き手段と該被加工物着脱領域とを結ぶ線とによってL字状に囲うオペレータ作業空間を形成する、
ことを特徴とする切削装置。 - 該各手段は該カセット載置手段を除いてハウジング内に配設されており、該ハウジングには該オペレータ作業空間側に操作パネルが装着された開閉扉が配設され、該開閉扉は開位置に位置付けられた状態で該操作パネルが該オペレータ作業空間に向けられるように構成されている、請求項1記載の切削装置。
- 該切削手段は、第1の回転スピンドルと該第1の回転スピンドルの一端部に装着された第1の切削ブレードを備えた第1の切削手段と、第2の回転スピンドルと該第2の回転スピンドルの一端部に装着された第2の切削ブレードを備えた第2の切削手段とからなり、該第1の切削ブレードと該第2の切削ブレードが互いに対向するように配設されているとともに、該第1の回転スピンドルおよび該第2の回転スピンドルはそれぞれ軸芯がY軸方向に向くように一直線上に配設されている、請求項1又は2記載の切削装置。
- 該被加工物搬送手段は、該仮置き手段に仮置きされた被加工物を該被加工物保持手段に搬送する第1の被加工物搬送手段と、該被加工物保持手段に保持され該切削手段によって切削された被加工物を該洗浄手段に搬送する第2の搬送手段とからなっている、請求項1から3のいずれかに記載の切削装置。
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- 2011-12-05 JP JP2011265537A patent/JP5785069B2/ja active Active
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