JP7229640B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、それぞれ切削ブレードが装着される２つの切削ユニットと、各種の情報を表示する表示ユニットと、を備える切削装置に関する。

基板上に配置された複数のデバイスチップを樹脂からなる封止材（モールド樹脂）で被覆してなるパッケージ基板や、複数のデバイスが形成された半導体ウェーハ等に代表される板状の被加工物の分割には、円環状の切削ブレードが装着された切削装置が用いられる。切削装置が備えるチャックテーブルに被加工物を保持させ、回転する切削ブレードを被加工物に切り込ませると、被加工物が切削される。このとき、切削ブレードを被加工物の下端にまで切り込ませると、被加工物が分割される。

切削装置は、切削ブレードを回転させる回転軸となるスピンドルを備え、スピンドルの先端には切削ブレードが装着される。切削装置はそれぞれスピンドルが設けられた２つの切削ユニットを備える場合があり、この場合、切削装置には２つの切削ブレードが装着される。そして、２つの切削ブレードが装着される切削装置では、例えば、２つのスピンドルにそれぞれ種別の異なる切削ブレードが装着される場合がある。

例えば、被加工物が半導体ウェーハであり、表面に金属膜が形成されている領域を切削して被加工物を切断したい場合、まず、被加工物の表面を第１の切削ブレードで切削して金属膜を除去しつつ溝を形成する。次に、第２の切削ブレードで該溝に沿って被加工物を切削して被加工物を切断する。ここで、第１の切削ブレード及び第２の切削ブレードの種別は、それぞれ目的とする加工に適した種別である。

切削ブレードが消耗した際に、または、新たな条件で被加工物を加工する際に、切削ユニットに装着された切削ブレードを交換する必要がある。切削ブレードを交換する際には、切削装置に備え付けられている表示ユニット（ディスプレイ）の画面に切削ブレード交換作業時用の画像が表示される。該画面に表示される該画像には、装着するべき切削ブレードの種別等に関する情報が含まれる。作業者は、表示ユニットの画面を確認しながら、適切な種別の切削ブレードを選択して各切削ユニットに装着する。

ただし、切削ブレードの種別は、外観だけでは判別しにくい場合がある。そのため、第２の切削ユニットに装着するべき切削ブレードを第１の切削ユニットに誤って装着してしまう場合がある。また、その逆の事態も生じうる。そこで、切削ブレードが収容されるブレードケースを特定の色に着色し、収容されている切削ブレードの種別をブレードケースの色で表す技術が知られている（特許文献１参照）。作業者は、ブレードケースの色を見ることで該ブレードケースに収容された切削ブレードの種別を判別できる。

また、表示ユニットに表示される切削ブレード交換作業時用の画像には、第１の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報が表示される領域と、第２の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報が表示される領域と、が含まれる。そして、各領域の色を対応するブレードケースの色に合わせることにより、作業者の作業ミスをより低減できる切削装置が知られている（特許文献２参照）。

特開２０１２－７０４号公報 特開２０１７－１３１９９号公報

切削ブレード交換作業時用の画像では、例えば、第１の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報と、第２の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報と、が左右に並べられて表示される。例えば、表示装置に対面した作業者から見たときの第１の切削ユニット及び第２の切削ユニットの並びに該画面におけるそれぞれの情報の並びが合わせられており、切削ブレードの種別の選択の誤りを抑制する工夫がされる。

切削装置には、画面の向きが変えられるように表示ユニットが設けられることがある。この場合、画面の向きを任意に変更できるため、作業者は画面を確認しやすいように該画面を自身に向けられる。しかしながら、作業者の立つ位置や表示ユニットの向き次第では、作業者から見たときの第１の切削ユニット及び第２の切削ユニットの並びと、該画面におけるそれぞれの情報の並びと、が一致しなくなる場合がある。すると、作業者を混乱させて切削ブレードの種別の誤りが生じやすくなる。

さらに、作業者の立つ位置次第では、第１の切削ユニット及び第２の切削ユニットが前後に並ぶように見える場合がある。この場合、第１の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報と、第２の切削ユニットに装着するべき切削ブレードに関する情報と、を画面に左右に並べて表示しても、作業者にはいずれの情報がいずれの切削ユニットに対応するか理解しにくい。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、画面の向きが変えられるように設けられた表示ユニットを備え、該画面の向きに応じて該画面の情報の配置を変えられる切削装置を提供することを課題とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削ブレードが装着される第１のスピンドルを有する第１の切削ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第２の切削ブレードが装着される第２のスピンドルを有する第２の切削ユニットと、画面を備え、該画面の向きが変更可能に配設された表示ユニットと、該表示ユニットの該画面の向きを検出する向き検出ユニットと、該表示ユニットの該画面の表示を制御する制御ユニットと、を備え、該表示ユニットは、該第１の切削ユニットに装着される該第１の切削ブレードに関する情報と、該第２の切削ユニットに装着される該第２の切削ブレードに関する情報と、を該画面に並べて表示でき、該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより該表示ユニットの該画面の向きを検出し、検出された該画面の向きに応じて該画面における情報の配置を決定でき、該制御ユニットは、該第１のスピンドルに装着される該第１の切削ブレードの情報を表示する第１の情報表示領域と、該第２のスピンドルに装着される該第２の切削ブレードの情報を表示する第２の情報表示領域と、を該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きに応じて該画面に上下又は左右に並べて配置することを特徴とする切削装置が提供される。

さらに好ましくは、該表示ユニットは、該画面に正対したときに該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットが前後に並ぶように視認できる第１の向きと、該画面に正対したときに該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットが左右に並ぶように視認できる第２の向きと、に該画面の向きを変更でき、該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きが該第１の向きである場合、該第１の情報表示領域と、該第２の情報表示領域と、を該画面に上下に並べて配置でき、該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きが該第２の向きである場合、該第１の情報表示領域と、該第２の情報表示領域と、を該画面に左右に並べて配置できる。

また、好ましくは、該制御ユニットは、該第１の情報表示領域に、該第１の情報表示領域に情報が表示される該第１の切削ブレードの種別に関連付けられた色を表示でき、該第２の情報表示領域に、該第２の情報表示領域に情報が表示される該第２の切削ブレードの種別に関連付けられた色を表示できる。

本発明の一態様に係る切削装置は、画面を備え、該画面の向きが変更可能に配設された表示ユニットと、該表示ユニットの該画面の向きを検出する向き検出ユニットと、該表示ユニットの該画面の表示を制御する制御ユニットと、を備える。そして、該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより該表示ユニットの該画面の向きを検出し、検出された該画面の向きに応じて該画面における情報の配置を決定できる。

例えば、向き検出ユニットにより表示ユニットの画面の向きを検出して、作業者が直感的に理解しやすい配置で画面に情報を表示することにより、作業者が混乱することなく該画面に表示された該情報を把握できる。例えば、第１の切削ユニットに装着するべき切削ブレードの種別と、第２の切削ユニットに装着するべき切削ブレードの種別と、を直感的に理解できる。

したがって、本発明により、画面の向きが変えられるように設けられた表示ユニットを備え、該画面の向きに応じて該画面の情報の配置を変えられる切削装置が提供される。

切削装置を模式的に示す斜視図である。 図２（Ａ）は、表示ユニットの画面の表示の一例を模式的に示す正面図であり、図２（Ｂ）は、表示ユニットの画面の表示の他の一例を模式的に示す正面図である。 記憶部に記憶される切削ブレードの特性データを模式的に示す概念図である。 図４（Ａ）は、切削装置の前面側に立つ作業者及び切削装置を模式的に示す上面図であり、図４（Ｂ）は、切削装置の前面側に立つ作業者及び切削装置を模式的に示す側面図である。 図５（Ａ）は、切削装置の側面側に立つ作業者及び切削装置を模式的に示す上面図であり、図５（Ｂ）は、切削装置の側面側に立つ作業者及び切削装置を模式的に示す側面図である。

以下、添付図面を参照して本実施形態を説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２を示す斜視図である。切削装置２は、２つの切削ブレードと、表示ユニットと、を備え、切削ブレードで被加工物を切削する機能を有する。なお、図１では切削装置２の構成の一部をブロック図で表している。

切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の上部には各構成要素を覆う筐体６が設けられている。なお、図１では説明の便宜上、筐体６の輪郭のみを示し、筐体６の内部の各構成要素を実線で示している。基台４の前方の角部には開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には昇降機構（不図示）によって昇降するカセット支持台８が設けられている。カセット支持台８の上面には、複数の被加工物を収容するカセット１０が搭載される。なお、図１では説明の便宜上、カセット１０の輪郭のみを示している。

被加工物１は、環状フレーム９に支持された状態でカセット１０内に収容される。被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体等の材料からなる略円板状のウェーハである。または、被加工物１は、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる基板等である。また、被加工物１は、モールド樹脂等で封止された複数のデバイスチップが含まれるパッケージ基板等でもよい。

図１には、被加工物１の一例であるウェーハを模式的に示す斜視図である。被加工物１の表面は、例えば、互いに交差する複数のストリートと呼ばれる分割予定ラインで区画されている。被加工物１であるウェーハの表面のストリートで区画された各領域にはＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large-Scale Integration）等のデバイス５が形成されている。ウェーハをストリートに沿って分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。

図１に示す通り、被加工物１は、環状フレーム９と、該環状フレーム９の開口を塞ぐように貼られた粘着テープ７と、と予め一体化され、フレームユニット１１が形成される。
被加工物１は、フレームユニット１１の状態で切削装置２に搬入され加工される。そして、被加工物１が分割されて形成される個々のデバイスチップは粘着テープ７により支持され、その後、粘着テープ７からピックアップされる。

図１に示すカセット支持台８の側方には、長手方向がＸ軸方向（前後方向、加工送り方向）に沿うように矩形の開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールネジ式のＸ軸移動機構（不図示）と、Ｘ軸移動機構の上部を覆うテーブルカバー１４及び防塵防滴カバー１６と、が配置されている。Ｘ軸移動機構は、テーブルカバー１４によって覆われたＸ軸移動テーブル（不図示）を備えており、このＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動させる。

Ｘ軸移動テーブルの上面には、被加工物１を吸引保持するチャックテーブル１８がテーブルカバー１４から露出するように設けられている。このチャックテーブル１８はモータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１８はＸ軸移動機構によってＸ軸移動テーブルやテーブルカバー１４とともにＸ軸方向に移動する。

チャックテーブル１８の上面は、被加工物１を吸引保持する保持面１８ａとなっている。保持面１８ａは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して概ね平行に形成されており、チャックテーブル１８の内部に設けられた吸引路（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。チャックテーブル１８の周囲には、被加工物１を支持する環状フレーム９を四方から固定するための４個のクランプ１８ｂが設けられている。

また、開口４ｂに隣接する領域には、被加工物１をチャックテーブル１８等へと搬送する搬送ユニット（不図示）が配置されている。カセット支持台８の側方に近接する位置には、被加工物１を仮置きするための仮置き機構が設けられている。仮置き機構は、例えば、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール１２を含む。一対のガイドレール１２は、搬送ユニットによりカセット１０から引き出された被加工物１をＸ軸方向に挟み込んで所定の位置に合わせる。

所定の位置に合わされた被加工物１は、搬送ユニットにより引き上げられチャックテーブル１８へと搬送される。このとき、一対のガイドレール１２を互いに離隔させ、一対のガイドレール１２の間に被加工物１を通す。

チャックテーブル１８の上方には、環状の切削ブレードによって被加工物１を切削する第１の切削ユニット２４ａと、第２の切削ユニット２４ｂと、が設けられている。また、基台４の上面には、第１の切削ユニット２４ａ，第２の切削ユニット２４ｂと、を支持するための門型の支持構造２０が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。

支持構造２０の前面上部には、第１の切削ユニット２４ａをＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる第１の移動ユニット２２ａと、第２の切削ユニット２４ｂをＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる第２の移動ユニット２２ｂとが設けられている。

第１の移動ユニット２２ａはＹ軸移動プレート２８ａを、第２の移動ユニット２２ｂはＹ軸移動プレート２８ｂをそれぞれ備える。Ｙ軸移動プレート２８ａ及びＹ軸移動プレート２８ｂは、支持構造２０の前面にＹ軸方向に沿って配置された一対のＹ軸ガイドレール２６にスライド可能に装着されている。

Ｙ軸移動プレート２８ａの裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはＹ軸ガイドレール２６に対して概ね平行なＹ軸ボールネジ３０ａが螺合されている。また、Ｙ軸移動プレート２８ｂの裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはＹ軸ガイドレール２６に対して概ね平行なＹ軸ボールネジ３０ｂが螺合されている。

Ｙ軸ボールネジ３０ａの一端部には、Ｙ軸パルスモータ３２ａが連結されている。Ｙ軸パルスモータ３２ａによってＹ軸ボールネジ３０ａを回転させることにより、Ｙ軸移動プレート２８ａがＹ軸ガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。また、Ｙ軸ボールネジ３０ｂの一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。該Ｙ軸パルスモータによってＹ軸ボールネジ３０ｂを回転させることにより、Ｙ軸移動プレート２８ｂがＹ軸ガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。

Ｙ軸移動プレート２８ａの表面（前面）側には、一対のＺ軸ガイドレール３４ａがＺ軸方向に沿って設けられており、Ｙ軸移動プレート２８ｂの表面（前面）側には、Ｚ軸方向に沿って一対のＺ軸ガイドレール３４ｂが設けられている。また、一対のＺ軸ガイドレール３４ａにはＺ軸移動プレート３６ａがスライド可能に取り付けられ、一対のＺ軸ガイドレール３４ｂにはＺ軸移動プレート３６ｂがスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動プレート３６ａの裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはＺ軸ガイドレール３４ａに対して概ね平行な方向に沿うように設けられたＺ軸ボールネジ３８ａが螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３８ａの一端部にはＺ軸パルスモータ４０ａが連結されており、このＺ軸パルスモータ４０ａによってＺ軸ボールネジ３８ａを回転させることにより、Ｚ軸移動プレート３６ａがＺ軸ガイドレール３４ａに沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート３６ｂの裏面側（後面側）にはナット部（不図示）が設けられており、このナット部にはＺ軸ガイドレール３４ｂに対して概ね平行な方向に沿うように設けられたＺ軸ボールネジ３８ｂが螺合されている。Ｚ軸ボールネジ３８ｂの一端部にはＺ軸パルスモータ４０ｂが連結されており、このＺ軸パルスモータ４０ｂによってＺ軸ボールネジ３８ｂを回転させることにより、Ｚ軸移動プレート３６ｂがＺ軸ガイドレール３４ｂに沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動プレート３６ａの下部には第１の切削ユニット２４ａが設けられている。第１の切削ユニット２４ａに隣接する位置には、チャックテーブル１８によって吸引保持された被加工物１を撮像するための撮像カメラ４６ａが設けられている。また、Ｚ軸移動プレート３６ｂの下部には第２の切削ユニット２４ｂが設けられている。第２の切削ユニット２４ｂに隣接する位置には、チャックテーブル１８によって吸引保持された被加工物１を撮像するための撮像カメラ４６ｂが設けられている。

第１の移動ユニット２２ａによって第１の切削ユニット２４ａ及び撮像カメラ４６ａのＹ軸方向及びＺ軸方向の位置が制御され、第２の移動ユニット２２ｂによって第２の切削ユニット２４ｂ及び撮像カメラ４６ｂのＹ軸方向及びＺ軸方向の位置が制御される。すなわち、第１の切削ユニット２４ａの位置と、第２の切削ユニット２４ｂの位置と、はそれぞれ独立に制御される。

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には被加工物１を洗浄するための洗浄ユニット４８が配置されており、チャックテーブル１８上で所定の加工が施された被加工物１は、洗浄ユニット４８によって洗浄される。

第１の切削ユニット２４ａに装着された環状の切削ブレード４４ａ（図４（Ａ）等参照）を回転させて被加工物１に切り込ませることにより、被加工物１の切削加工を実施できる。具体的には、第１の切削ユニット２４ａは、チャックテーブル１８の保持面１８ａに対して概ね平行な方向に軸心をとる第１のスピンドル４２ａ（図４（Ａ）等参照）を備えており、この第１のスピンドル４２ａの先端部には環状の第１の切削ブレード４４ａが装着されている。

また、第２の切削ユニット２４ｂに装着された環状の切削ブレード４４ｂ（図４（Ａ）等参照）を回転させて被加工物１に切り込ませることにより、被加工物１の切削加工を実施できる。具体的には、第２の切削ユニット２４ｂは、チャックテーブル１８の保持面１８ａに対して概ね平行な方向に軸心をとる第２のスピンドル４２ｂ（図４（Ａ）等参照）を備えており、この第２のスピンドル４２ｂの先端部には環状の第２の切削ブレード４４ｂが装着されている。

第１の切削ブレード４４ａ及び第２の切削ブレード４４ｂは、例えば、ダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳砥石によって構成される。電鋳砥石は、金属からなる環状基台の外周部に形成される。この環状基台を備える切削ブレードはハブタイプと呼ばれる。また、第１の切削ブレード４４ａ及び第２の切削ブレード４４ｂは、環状基台を有していなくてもよい。この環状基台を有さない切削ブレードは、ワッシャータイプと呼ばれる。

切削ブレードには、砥石に含まれる砥粒の形状、大きさ、及び量が異なる複数の種別が存在し、また、種別により結合材の材質、ブレードの刃厚、径等が異なる。被加工物１を切削する際、被加工物１の材質、大きさ、及び形状や、切削加工の内容により、切削加工に適した種別の切削ブレードが選択されて切削装置２に装着される。

スピンドル４２ａ，４２ｂはモータ等の回転駆動源と連結されており、スピンドル４２ａ，４２ｂに装着された切削ブレード４４ａ，４４ｂは回転駆動源から伝わる力によって回転する。切削ブレード４４ａ，４４ｂを回転させてチャックテーブル１８に保持された被加工物１に切り込ませ、被加工物１と切削ブレード４４ａ，４４ｂとをＸ軸方向（加工送り方向）に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１が切削される。

切削装置２は、筐体６の前面に表示ユニット５０を備える。表示ユニット５０は画面５０ａを備え、切削装置２の操作者（作業者、オペレータ）や管理者等に各種の情報を示す機能を有する。表示ユニット５０は、例えば、タッチパネル付きの液晶ディスプレイである。この場合、切削装置２の操作者や管理者等は、該タッチパネルを通じて切削装置２に各種の指令を入力できる。ただし、表示ユニット５０はタッチパネルを有していなくてもよく、切削装置２は他の入力機構（不図示）を有してもよい。

また、表示ユニット５０は、例えば、ヒンジ５０ｂ等の接続機構を介して筐体６に接続される等している。そのため、作業者は、画面５０ａを確認しやすいように作業時の立ち位置に応じて画面５０ａの向きを任意に変更できる。

切削装置２は、各構成要素を制御する制御ユニット５２を備える。カセット支持台８を昇降させる昇降機構、Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１８、搬送ユニット（不図示）、切削ユニット２４ａ，２４ｂ、移動ユニット２２ａ，２２ｂ、撮像カメラ４６ａ，４６ｂ、洗浄ユニット４８、表示ユニット５０等の構成要素は、制御ユニット５２に接続され、動作が制御される。

制御ユニット５２は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット５２の機能が実現されている。

ここで、第１の切削ユニット２４ａの第１のスピンドル４２ａに装着される第１の切削ブレード４４ａと、第２の切削ユニット２４ｂの第２のスピンドル４２ｂに装着される第２の切削ブレード４４ｂと、の種別が同一でない場合がある。

例えば、被加工物１の切削予定ラインに金属層等が形成されている場合、第１のスピンドル４２ａには、金属層の切削に適した種別の第１の切削ブレード４４ａを装着する。また、第２のスピンドル４２ｂには、被加工物１の切削に適した種別の第２の切削ブレード４４ｂを装着する。そして、まず、第１の切削ブレード４４ａにより被加工物１を切削して該金属層を除去しつつ切削溝を被加工物１に形成する。次に、第２の切削ブレード４４ｂにより該切削溝の底に沿って被加工物１を切削して被加工物１を分割する。

複数の被加工物１の切削を実施すると切削ブレード４４ａ，４４ｂが消耗するため、定期的に切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業を実施する必要がある。また、加工条件を変更する際にも切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業を実施する必要がある。

切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業を実施する際、表示ユニット５０の画面５０ａには切削ブレード交換作業時用の画像が表示される。画面５０ａには、例えば、第１の切削ユニット２４ａに装着される第１の切削ブレード４４ａに関する情報と、第２の切削ユニット２４ｂに装着される第２の切削ブレード４４ｂに関する情報と、が並べて表示される。作業者は、表示ユニット５０の画面５０ａを見て装着するべき切削ブレード４４ａ，４４ｂの種別を確認して交換作業を実施する。

ただし、切削ブレードの種別は外観だけでは判別しにくい。そのため、第２のスピンドル４２ｂに装着する予定の切削ブレードを第１のスピンドル４２ａに誤って装着してしまう場合がある。また、その逆の事態も生じうる。

ここで、本実施形態に係る切削装置２では、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出する向き検出ユニットが表示ユニット５０に配設され、画面５０ａの向きが検出される。向き検出ユニットは、例えば、表示ユニット５０を筐体６に接続するヒンジ５０ｂに設けられており、ヒンジ５０ｂの角度を検出することで画面５０ａの向きを検出する。そして、該切削装置２では、画面５０ａの向きに応じて画面５０ａにおける情報の配置が決定される。

そのため、向き検出ユニットにより表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出して、作業者が直感的に理解しやすい配置で画面５０ａに情報を表示することにより、作業者が混乱することなく画面５０ａに表示された情報を直感的に把握できる。例えば、第１の切削ユニット２４ａの第１のスピンドル４２ａに装着するべき第１の切削ブレード４４ａの種別と、第２の切削ユニット２４ｂの第２のスピンドル４２ｂに装着するべき第２の切削ブレード４４ｂの種別と、を正しく理解できる。

次に、切削装置２の制御ユニット５２の構成について説明する。制御ユニット５２は、例えば、表示ユニット５０の画面５０ａの表示を制御する表示ユニット制御部５２ａと、画面５０ａに表示される画像の配置を制御する画像配置制御部５２ｂと、を備える。また、制御ユニット５２は、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを判定する向き判定部５２ｃと、各種の情報が格納される記憶部５２ｄと、をさらに備える。

切削ブレード４４ａ，４４ｂを交換する際、作業者は、表示ユニット５０の画面５０ａを確認しやすいように画面５０ａの向きを変更する。そして、制御ユニット５２に切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業を実施する旨を入力する。すると、制御ユニット５２は、切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業用のモードに切り替わる。そして、表示ユニット制御部５２ａに指示して、表示ユニット５０に切削ブレード交換作業時用の画像を表示させる。

このとき、表示ユニット制御部５２ａは、記憶部５２ｄから第１の切削ユニット２４ａに装着するべき切削ブレード４４ａの種別に関する情報と、第２の切削ユニット２４ｂに装着するべき切削ブレード４４ｂの種別に関する情報と、を取得する。また、表示ユニット制御部５２ａは、画像配置制御部５２ｂに切削ブレード交換作業時用の画像における各情報の配置についての指示を要求する。

画像配置制御部５２ｂは、表示ユニット制御部５２ａから該要求を受けたとき、向き判定部５２ｃに表示ユニット５０の画面５０ａの向きに関する情報を要求する。このとき、向き判定部５２ｃは、表示ユニット５０の向き検出ユニットに表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出させる。

図４（Ａ）は、切削装置２の前面側に立つ作業者１３及び切削装置２を模式的に示す上面図である。また、図４（Ｂ）は、切削装置２の前面側に立つ作業者１３及び切削装置２を模式的に示す側面図である。例えば、切削装置２の前面側に作業者１３が立つ場合、作業者１３は図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように画面５０ａを自身に向ける。

例えば、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す画面５０ａの向きにおけるヒンジ５０ｂの開き角を０°と規定すると、向き検出ユニットは、検出した画面５０ａの向きに関する情報として、該開き角が０°であることを向き判定部５２ｃに伝達する。向き判定部５２ｃは、向き検出ユニットから受領した情報から画面５０ａの向きを判定する。例えば、向き判定部５２ｃは、画面５０ａが切削装置２の前面側に向けられていると判定する。

そして、向き判定部５２ｃは、判定した画面５０ａの向きに関する情報を画像配置制御部５２ｂに送る。画像配置制御部５２ｂは、向き判定部５２ｃから該情報を受領した後、表示ユニットの画面５０ａに表示させる切削ブレード交換作業時用の画像における情報の配置について決定する。

例えば、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）には、破線矢印で作業者１３の視線１３ａが示されている。画面５０ａを切削装置２の前面側に向けた作業者１３から見ると、第１の切削ユニット２４ａが手前に、第２の切削ユニット２４ｂが奥に、前後に並ぶように見える。この場合、画像配置制御部５２ｂは、切削ブレード交換作業時用の画像における各情報の配置について、図２（Ａ）に示すように切削ブレードに関する情報が上下に並ぶように制御し、該画像における情報の配置を表示ユニット制御部５２ａに送る。

表示ユニット制御部５２ａは、記憶部５２ｄからそれぞれの切削ユニット２４ａ，２４ｂに装着されるべき切削ブレード４４ａ，４４ｂの情報を取得する。そして、画像配置制御部５２ｂが制御した配置に従って各情報を配置し、切削ブレード交換作業時用の画像を形成する。その後、該画像を表示ユニット５０の画面５０ａに表示させる。

ここで、図２（Ａ）を例に切削ブレード交換作業時用の画像について説明する。該画像には、例えば、切削ブレード交換作業時用の画面であることを示すモード表示５４が含まれる。また、表示ユニット５０がタッチパネル付きのディスプレイである場合、該画像には操作ボタン６２が含まれてもよい。

さらに、該画像は、第１の切削ユニット２４ａの第１のスピンドル４２ａに装着される第１の切削ブレード４４ａの情報を表示する第１の情報表示領域５６ａを含む。また、該画像は、第２の切削ユニット２４ｂの第２のスピンドル４２ｂに装着される第２の切削ブレード４４ｂの情報を表示する第２の情報表示領域５６ｂを含む。

図２（Ａ）に示す例では、第１の情報表示領域５６ａ及び第２の情報表示領域５６ｂが上下に並べられている。それぞれの情報表示領域５６ａ，５６ｂは、情報表示６０ａ，６０ｂと、情報表示６０ａ，６０ｂを囲む彩色された枠５８ａ，５８ｂと、を含む。

それぞれの切削ユニット２４ａ，２４ｂに装着されるべき切削ブレード４４ａ，４４ｂの情報として、品種、タイプ、刃厚（ブレードの厚さ）、刃先の長さ等の情報が表示される。さらに、切削ブレード４４ａ，４４ｂを使用して切削できる被加工物の切削予定ラインの本数や、摩耗量の限界値等の情報が表示されてもよい。切削ブレード４４ａ，４４ｂの交換作業を実施する作業者は、画面５０ａに表示される該画像を見てスピンドル４２ａ，４２ｂに装着するべき切削ブレード４４ａ，４４ｂに関する情報を確認する。

なお、画像配置制御部５２ｂは、作業者１３から比較的遠い第２の切削ユニット２４ｂに装着されるべき第２の切削ブレード４４ｂの情報が示される第２の情報表示領域５６ｂを画面５０ａの上側に配置する。それとともに、作業者１３に比較的近い第１の切削ユニット２４ａに装着されるべき第１の切削ブレード４４ａの情報が示される第１の情報表示領域５６ａを画面５０ａの下側に配置する。

そのため、作業者１３から見た２つの切削ユニット２４ａ，２４ｂの並びと、画面５０ａに表示される該画像における２つの情報表示領域５６ａ，５６ｂの配置と、が一致する。この場合、切削ブレードの交換作業に従事する作業者１３が該画像に表示される各切削ブレード４４ａ，４４ｂに関する情報を確認する際に、情報の誤認が生じるのを抑制できる。

なお、作業者１３が図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す通り、切削装置２の前面側に立つ場合について説明したが、本実施形態に係る切削装置２はこれに限定されない。本実施形態に係る切削装置２は、作業者１３が切削装置２の側面側に立つ場合においても情報の誤認が生じないように画面５０ａに表示される画像を制御できる。

例えば、図５（Ａ）は、切削装置２の側面側に立つ作業者１３及び切削装置２を模式的に示す上面図である。また、図５（Ｂ）は、切削装置２の側面側に立つ作業者１３及び切削装置２を模式的に示す側面図である。切削装置２の側面側に作業者１３が立つ場合、作業者１３は図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように画面５０ａを自身に向ける。

図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す画面５０ａの向きにおけるヒンジ５０ｂの開き角を０°と規定すると、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す画面５０ａの向きにおけるヒンジ５０ｂの開き角は９０°となる。向き検出ユニットは、検出した画面５０ａの向きに関する情報として、該開き角が９０°であることを向き判定部５２ｃに伝達する。向き判定部５２ｃは、向き検出ユニットから受領した情報から画面５０ａの向きを判定する。向き判定部５２ｃは、画面５０ａが切削装置２の側面側に向けられていると判定する。

図５（Ａ）には、破線矢印で作業者１３の視線１３ａが示されている。また、図５（Ｂ）には、画面５０ａを見る作業者１３の背面が示されている。画面５０ａを切削装置２の側面側に向けた作業者１３から見ると、第１の切削ユニット２４ａが右側に第２の切削ユニット２４ｂが左側に並ぶように見える。この場合、画像配置制御部５２ｂは、画面５０ａに表示させる切削ブレード交換作業時用の画像における各情報の配置について、図２（
Ｂ）に示すように切削ブレード４４に関する情報が左右に並ぶように制御する。

すなわち、画像配置制御部５２ｂは、作業者１３から見て左側に位置する第２の切削ユニット２４ｂに装着されるべき第２の切削ブレード４４ｂの情報が示される第２の情報表示領域５６ｂを画面５０ａの左側に配置する。それとともに、作業者１３から見て右側に位置する第１の切削ユニット２４ａに装着されるべき第１の切削ブレード４４ａの情報が示される第１の情報表示領域５６ａを画面５０ａの右側に配置する。

したがって、この場合においても、作業者１３から見た２つの切削ユニット２４ａ，２４ｂの並びと、画面５０ａに表示される該画像における２つの情報表示領域５６ａ，５６ｂの配置と、が一致する。そのため、切削ブレードの交換作業に従事する作業者１３が画面５０ａを見て該画像に表示される各切削ブレード４４ａ，４４ｂに関する情報を確認する際に、情報の誤認が生じるのを抑制できる。

換言すると、表示ユニット５０は、画面５０ａに正対したときに２つの切削ユニット２４ａ，２４ｂが前後に並ぶように視認できる第１の向きと、左右に並ぶように視認できる第２の向きと、に画面５０ａの向きを変更できる。そして、制御ユニット５２は、画面５０ａの向きが該第１の向きである場合、２つの情報表示領域５６ａ，５６ｂを画面５０ａに上下に並べて配置できる。また、画面５０ａの向きが該第２の向きである場合、２つの情報表示領域５６ａ，５６ｂを画面５０ａに左右に並べて配置する。

ここで、記憶部５２ｄに登録されている切削ブレードの特性に関する情報について、図３を例に説明する。図３には、各種の切削ブレードの特性に関する情報の例が模式的に示されている。記憶部５２ｄには、各種の切削ブレードの特性に関する情報が予め登録される。該情報には、各種の切削ブレードに関連付けられた色が含まれる。なお、該色は、切削ブレードの品種を表す色として該切削ブレードのケースに付される色とされてもよい。

制御ユニット５２の表示ユニット制御部５２ａは、各切削ユニット２４ａ，２４ｂのスピンドル４２ａ，４２ｂに装着されるべき切削ブレード４４ａ，４４ｂの情報とともに、該切削ブレード４４ａ，４４ｂに関連付けられた色を記憶部５２ｄから取得する。そして、例えば、画面５０ａに表示させる画像に、切削ブレード４４ａ，４４ｂの情報とともに該色を表示させてもよい。例えば、該画像の情報表示領域５６ａ，５６ｂの枠５８ａ，５８ｂの色を該色とする。

すなわち、制御ユニット５２の表示ユニット制御部５２ａは、第１の情報表示領域５６ａに、該第１の情報表示領域５６ａに情報が表示される第１の切削ブレード４４ａの種別に関連付けられた色を表示できる。さらに、第２の情報表示領域５６ｂに、該第２の情報表示領域５６ｂに情報が表示される第２の切削ブレード４４ｂの種別に関連付けられた色を表示できる。

例えば、作業者は、画面５０ａに表示される画像の情報表示領域５６ａ，５６ｂの色がスピンドル４２ａ，４２ｂに装着しようとする切削ブレード４４ａ，４４ｂが収容されたブレードケースの色と同じであるか否かを確認することにより誤装着を防止できる。

以上のように、本実施形態に係る切削装置では、制御ユニット５２は、向き検出ユニットにより表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出し、検出された該画面５０ａの向きに応じて該画面５０ａにおける情報の配置を決定できる。さらに、制御ユニット５２は、第１の情報表示領域５６ａと、第２の情報表示領域５６ｂと、を該向き検出ユニットにより検出される画面５０ａの向きに応じて該画面５０ａに上下又は左右に並べて配置する。

そのため、向き検出ユニットにより表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出して、作業者１３が直感的に理解しやすい配置で画面５０ａに情報を表示することにより、作業者１３が混乱することなく該画面５０ａに表示された該情報を把握できる。例えば、第１の切削ユニット２４ａに装着するべき切削ブレードの種別と、第２の切削ユニット２４ｂに装着するべき切削ブレードの種別と、を正しく理解できる。

次に、本実施形態に係る切削装置２の制御方法について説明する。該制御方法では、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出し、画面５０ａに表示される画像における情報の配置を該向きに応じて制御する。

該制御方法では、まず、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを検出する向き検出ステップを実施する。向き検出ステップでは、例えば、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを向き検出ユニットにより検出する。

向き検出ステップの後、検出された画面５０ａの向きに応じて画面５０ａに表示させる切削ブレードの交換作業時用の画面における各情報の配置を決定する情報配置決定ステップを実施する。情報配置決定ステップでは、例えば、向き検出ステップで検出された向きに向いている画面５０ａを視認できる位置から見た第１の切削ユニット２４ａ及び第２の切削ユニット２４ｂの並びを導出する。そして、該並びを参照して該画像における情報の配置を決定する。

例えば、画面５０ａに表示される切削ブレードの交換作業時用の画像は、第１の切削ユニット２４ａの第１のスピンドル４２ａに装着されるべき第１の切削ブレード４４ａに関する情報が表示される第１の情報表示領域５６ａを含む、また、第２の切削ユニット２４ｂの第２のスピンドル４２ｂに装着されるべき第２の切削ブレード４４ｂに関する情報が表示される第２の情報表示領域５６ｂを含む。

そして、該画像において第１の情報表示領域５６ａ及び第２の情報表示領域５６ｂの配置を第１の切削ユニット２４ａ及び第２の切削ユニット２４ｂの並びに合うように決定する。例えば、第１の情報表示領域５６ａと、第２の情報表示領域５６ｂと、が上下に並ぶ配置とする。または、第１の情報表示領域５６ａと、第２の情報表示領域５６ｂと、が左右に並ぶ配置とする。

本実施形態に係る切削装置２の制御方法では、次に、画像を表示ユニット５０の画面５０ａに表示させる表示ステップを実施する。該表示ステップでは、該情報配置決定ステップで決定された切削ブレードの交換作業時用の画像の配置に従って、該画面５０ａに該画像を表示させる。このとき、該画像の各情報表示領域５６ａ，５６ｂには、切削ブレードの種別を示す色が含まれてもよい。

以上に説明する通り、本実施形態に係る切削装置２によると、表示ユニット５０の画面５０ａの向きを変更できる切削装置２において、画面５０ａの向きに応じて該画面５０ａに表示される画像における情報の配置を制御できる。そのため、該画像を確認して作業を実施する作業者１３に情報の誤認が生じないように配置を制御して画面５０ａにより該画像を表示できる。

なお、上記実施形態では、表示ユニット５０のヒンジ５０ｂの開き角を向き検出ユニットにより検出して画面５０ａの向きを検出する場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、画面５０ａの向きについて他の方法により検出してもよい。例えば、作業者１３が制御ユニット５２に画面５０ａの向きを入力してもよい。この場合、作業者１３は、自身が画面５０ａに表示される画像から情報を適切に把握できるように情報の配置を決定できる。

さらに、上記実施形態では、表示ユニット５０の画面５０ａにブレードの交換作業時用の画面を表示させる際に予め向き判定部５２ｃで画面５０ａの向きを判定する場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、向き判定部５２ｃは、画面５０ａに該画像を表示させている間に定期的に画面５０ａの向きを検出してもよい。

この場合、作業者１３が画面５０ａの向きを変更した際に、直ちに画面５０ａの向きの変更を検出できる。そして、画像配置制御部５２ｂは、変更された画面５０ａの向きに応じて画面５０ａに表示される画像における情報の配置を変更できる。そのため、本発明の一態様に係る切削装置２は、例えば、作業者１３による作業の進行状況に応じて作業者１３が常に情報を適切に把握できるように画像を表示できる。

また、表示ユニット５０の画面５０ａの向きについて、ヒンジ５０ｂの開き角が０°である場合と、９０°である場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、画面５０ａは任意の方向に向けることができてもよい。この場合、制御ユニット５２は、画面５０ａの向きに応じて作業者１３が情報を理解しやすいように画面５０ａに表示させる画像における情報の配置を決定する。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
５ デバイス
７ 粘着テープ
９ 環状フレーム
１１ フレームユニット
１３ 作業者
１３ａ 作業者の視線
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ，４ｃ 開口
６ 筐体
８ カセット支持台
１０ カセット
１２ ガイドレール
１４ テーブルカバー
１６ 防塵防滴カバー
１８ チャックテーブル
１８ａ 保持面
１８ｂ クランプ
２０ 支持構造
２２ａ，２２ｂ 移動ユニット
２４ａ，２４ｂ 切削ユニット
２６ Ｙ軸ガイドレール
２８ａ，２８ｂ Ｙ軸移動プレート
３０ａ，３０ｂ Ｙ軸ボールネジ
３２ａ Ｙ軸パルスモータ
３４ａ，３４ｂ Ｚ軸ガイドレール
３６ａ，３６ｂ Ｚ軸移動プレート
３８ａ，３８ｂ Ｚ軸ボールネジ
４０ａ，４０ｂ Ｚ軸パルスモータ
４２ａ，４２ｂ スピンドル
４４ａ，４４ｂ 切削ブレード
４６ａ，４６ｂ 撮像カメラ
４８ 洗浄ユニット
５０ 表示ユニット
５０ａ 画面
５０ｂ ヒンジ
５２ 制御ユニット
５２ａ 表示ユニット制御部
５２ｂ 画像配置制御部
５２ｃ 向き判定部
５２ｄ 記憶部
５４ モード表示
５６ａ，５６ｂ 情報表示領域
５８ａ，５８ｂ 枠
６０ａ，６０ｂ 情報表示
６２ 操作ボタン

Claims (3)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１の切削ブレードが装着される第１のスピンドルを有する第１の切削ユニットと、
   該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第２の切削ブレードが装着される第２のスピンドルを有する第２の切削ユニットと、
   画面を備え、該画面の向きが変更可能に配設された表示ユニットと、
   該表示ユニットの該画面の向きを検出する向き検出ユニットと、
   該表示ユニットの該画面の表示を制御する制御ユニットと、を備え、
   該表示ユニットは、該第１の切削ユニットに装着される該第１の切削ブレードに関する情報と、該第２の切削ユニットに装着される該第２の切削ブレードに関する情報と、を該画面に並べて表示でき、
   該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより該表示ユニットの該画面の向きを検出し、検出された該画面の向きに応じて該画面における情報の配置を決定でき、
   該制御ユニットは、該第１のスピンドルに装着される該第１の切削ブレードの情報を表示する第１の情報表示領域と、該第２のスピンドルに装着される該第２の切削ブレードの情報を表示する第２の情報表示領域と、を該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きに応じて該画面に上下又は左右に並べて配置することを特徴とする切削装置。
2. 該表示ユニットは、該画面に正対したときに該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットが前後に並ぶように視認できる第１の向きと、該画面に正対したときに該第１の切削ユニット及び該第２の切削ユニットが左右に並ぶように視認できる第２の向きと、に該画面の向きを変更でき、
   該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きが該第１の向きである場合、該第１の情報表示領域と、該第２の情報表示領域と、を該画面に上下に並べて配置でき、
   該制御ユニットは、該向き検出ユニットにより検出される該画面の向きが該第２の向きである場合、該第１の情報表示領域と、該第２の情報表示領域と、を該画面に左右に並べて配置できることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
3. 該制御ユニットは、
   該第１の情報表示領域に、該第１の情報表示領域に情報が表示される該第１の切削ブレードの種別に関連付けられた色を表示でき、
   該第２の情報表示領域に、該第２の情報表示領域に情報が表示される該第２の切削ブレードの種別に関連付けられた色を表示できることを特徴とする請求項１又は２に記載の切削装置。

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