JP7286233B2 - チップの製造方法 - Google Patents
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Description
11a 表面
11b 裏面
11c 切削溝
11d 溝底
11e 切り残し部
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 ダイシングテープ(粘着テープ)
19 フレーム
19a 開口
21 クラック
2 切削装置
4 基台
4a 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 搬送ユニット(搬送機構)
10a 把持部
12 仮置き領域
14 ガイドレール
16 搬送ユニット(搬送機構)
18 チャックテーブル
18a 保持面
20 クランプ
22 切削ユニット
24 カバー
26 検出ユニット(検出機構)
28 撮像ユニット
30 洗浄ユニット
32 搬送ユニット(搬送機構)
34 表示部
36 操作パネル
40 ハウジング
42 スピンドル
44 切削ブレード
Claims (2)
- 分割予定ラインが設定されたGaAsウェーハを切削してチップを製造するチップの製造方法であって、
該GaAsウェーハの裏面側にダイシングテープを貼着するテープ貼着ステップと、
該テープ貼着ステップの後、該ダイシングテープとチャックテーブルの保持面とが対向するように、該GaAsウェーハを該チャックテーブル上に載置する載置ステップと、
該載置ステップの後、切削ブレードの下端を該GaAsウェーハの表面よりも下方で且つ該GaAsウェーハの裏面よりも上方に配置した状態で、該切削ブレードと該チャックテーブルとを該分割予定ラインに沿って相対移動させ、該切削ブレードを該GaAsウェーハに所定の深さで切り込ませることにより、該GaAsウェーハに切り残し部を残して切削溝を形成するとともに該切削溝から該GaAsウェーハの裏面に達するクラックを該切り残し部に生じさせる第1切削ステップと、
該第1切削ステップの後、該切削ブレードの下端を該GaAsウェーハの裏面よりも下方で且つ該ダイシングテープの下面よりも上方に配置した状態で、該切削ブレードと該チャックテーブルとを該切削溝に沿って相対移動させ、該切削ブレードを該切削溝の溝底に切り込ませる第2切削ステップと、を含み、
該第1切削ステップでは、該切り残し部の厚さが5μm以上10μm以下となるように該切削ブレードを該GaAsウェーハに切り込ませ、
該第2切削ステップにおいて該GaAsウェーハが切削される際に生じるクラックは、該第1切削ステップで生じた該クラックに沿って進行することを特徴とするチップの製造方法。 - 該第2切削ステップでは、該切削ブレードが該GaAsウェーハを裏面側から表面側に向かって切削する方向に該切削ブレードを回転させて、該GaAsウェーハを切削することを特徴とする請求項1に記載のチップの製造方法。
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- 2019-01-08 JP JP2019000950A patent/JP7286233B2/ja active Active
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JP2020113564A (ja) | 2020-07-27 |
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