JP2005066675A - レーザー加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャックテーブルに保持された被加工物10に形成された分割予定ライン102に沿ってレーザー光線照射手段によってレーザー光線を照射するレーザー加工方法であって、被加工物を保護プレート11の表面に着脱可能に固定する被加工物固定工程と、被加工物10が固定された保護プレート11をチャックテーブルに保持する保護プレート保持工程と、チャックテーブルに保持された保護プレート11に固定されている被加工物10の分割予定ライン102とレーザー光線照射手段によって照射されるレーザー光線照射位置との位置合わせを行うアライメント工程と、チャックテーブルに保持された保護プレート11に固定されている被加工物10の分割予定ライン102に沿ってレーザー光線照射手段によりレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程とを含む。
【選択図】 図3
Description
被加工物を保護プレートの表面に着脱可能に固定する被加工物固定工程と、
被加工物が固定された該保護プレートを該チャックテーブルに保持する保護プレート保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該保護プレートに固定されている被加工物の分割予定ラインと該レーザー光線照射手段によって照射されるレーザー光線照射位置との位置合わせを行うアライメント工程と、
該チャックテーブルに保持された該保護プレートに固定されている被加工物の分割予定ラインに沿って該レーザー光線照射手段によりレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程と、を含む、
ことを特徴とするレーザー加工方法が提供される。
図1に示されたレーザー加工装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物を保持するチャックテーブル3が切削送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル3は、吸着チャック支持台31と、該吸着チャック支持台31上に装着されたポーラスセラミックスによって形成された吸着チャック32を具備しており、該吸着チャック32の表面である載置面上に被加工物を図示しない吸引手段によって保持するようになっている。また、チャックテーブル3は、図示しない回転機構によって回動可能に構成されている。
上述したレーザー加工装置によって被加工物をレーザー加工を実施するに際しては、上記カセット9に加工前の被加工物を収容し、被加工物を収容したカセット9をカセットテーブル81に載置する。ここで、カセット9に収容される被加工物について、図3を参照して説明する。図3の(a)に示す被加工物は、サファイヤ基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された3個の光デバイスウエーハ10からなっている。この光デバイスウエーハ10は、比較的小径の円形状に形成されその外周には結晶方位を表すオリエンテーションフラット101が形成されており、その表面には格子状に形成された分割予定ライン102が設けられている。図示の実施形態においては、上記オリエンテーションフラット101が3個保護プレート11に適宜の貼着剤によって着脱可能に固定される(被加工物固定工程)。保護プレート11は、ステンレス鋼等の金属、セラミックス、合成樹脂等の剛性を有する厚さ1〜2mmの板材によって円形状に形成されており、その外周には上記オリエンテーションフラット101と対応する基準部11aが形成されているとともに、該基準部11aからそれぞれ90度の角度位置に位置合わせ部11b、11bが平行に形成されている。このように形成された保護プレート11の表面には、エラストマー樹脂、シリコン樹脂等からなる粘着層111が外周部を残して形成されている。この粘着層111としては、例えばクレハエラストマー株式会社が製造販売するゴムシート「ぺらぺら君」(登録商標)を用いることができる。このようにして保護プレート11に形成された粘着層111の表面に3個の光デバイスウエーハ10が図3の(b)に示すように貼着される。このとき、3個の光デバイスウエーハ10は、オリエンテーションフラット101の方向を基準部11aに合わせて配置される。そして、3個の光デバイスウエーハ10が貼着された保護プレート11は、上記カセット9に収容される。
レーザー光線照射工程においては、レーザー光線照射手段4の集光器43から光デバイスウエーハ10の表面側から所定の分割予定ライン102に向けてパルスレーザー光線を照射しながら、チャックテーブル3従ってこれに保護プレート11を介して保持されている光デバイスウエーハ10を矢印Xで示す方向に所定の送り速度(例えば、200mm/秒)で移動せしめる。なお、レーザー光線照射工程においては、以下に示す紫外レーザー光線および赤外レーザー光線を用いることができる。
(1)紫外レーザー光線
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4ーザー
波長 ;355nm
出力 ;3.0W
繰り返し周波数:20kHz
パルス幅 ;0.1ns
集光スポット径;φ0.5μm
(2)赤外レーザー光線
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4ーザー
波長 ;1064nm
出力 ;5.1W
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅 ;20ns
集光スポット径;φ1μm
3:チャックテーブル
4:レーザー光線照射手段
5a:第1の検出手段
5b:第2の検出手段
6:制御手段
7:表示手段
8:カセット載置部
81:カセットテーブル
9:カセット
10:光デバイスウエーハ
11:保護プレート
12:仮置き部
13:位置合わせ手段
14:洗浄手段
15:被加工物搬出・搬入手段
16:被加工物搬送手段
17:洗浄搬送手段
Claims (3)
- チャックテーブルに保持された被加工物に形成された分割予定ラインに沿ってレーザー光線照射手段によってレーザー光線を照射するレーザー加工方法であって、
被加工物を保護プレートの表面に着脱可能に固定する被加工物固定工程と、
被加工物が固定された該保護プレートを該チャックテーブルに保持する保護プレート保持工程と、
該チャックテーブルに保持された該保護プレートに固定されている被加工物の分割予定ラインと該レーザー光線照射手段によって照射されるレーザー光線照射位置との位置合わせを行うアライメント工程と、
該チャックテーブルに保持された該保護プレートに固定されている被加工物の分割予定ラインに沿って該レーザー光線照射手段によりレーザー光線を照射するレーザー光線照射工程と、を含む、
ことを特徴とするーザー加工方法。 - 該保護プレートに固定される被加工物は複数個であり、該アライメント工程を実施する前に該チャックテーブルに保持された該保護プレートに固定されている複数個の被加工物の形状、位置、大きさを検出する被加工物形状認識工程を実施する、請求項1記載のレーザー加工方法。
- 該保護プレートの表面には粘着層が形成されており、該被加工物固定工程は該粘着層に被加工物を貼着する、請求項1又は2記載のレーザー加工方法。
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