TWI716523B - 工作夾台機構 - Google Patents

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TWI716523B
TWI716523B TW105144209A TW105144209A TWI716523B TW I716523 B TWI716523 B TW I716523B TW 105144209 A TW105144209 A TW 105144209A TW 105144209 A TW105144209 A TW 105144209A TW I716523 B TWI716523 B TW I716523B
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植山博光
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日商迪思科股份有限公司
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Abstract

本發明之課題為將密封環的更換作業簡化，並縮短維護時間。解決手段是工作夾台機構，其具備有吸引保持被加工物之工作夾台與、具有工作台裝設面之旋轉部、配設於工作夾台的旋轉中心之圓筒形狀的固定軸、及使旋轉部在固定軸的周圍旋轉之旋轉馬達。於旋轉部裝卸自如地安裝有覆蓋固定軸的上端之環狀的密封板，且於固定軸的上端形成有裝設密封環的圓環形狀的溝。藉由將密封板安裝於旋轉部，可將密封板與固定軸的間隙密封，而抑制固定軸內的空氣的洩漏，藉由從旋轉部拆卸密封板，可將密封環的更換作業簡化。

Description

工作夾台機構
發明領域
本發明是有關於一種在加工裝置中保持被加工物的工作夾台機構。
發明背景
半導體晶圓等的被加工物之正面會藉由格子狀的切割道而被劃分成複數個，並且在此被劃分的區域中形成有IC、LSI等元件。在元件製造步驟中，是將被加工物沿著切割道切斷而形成一個個的元件晶片。此被加工物的分割是以切削裝置或雷射加工裝置等的加工裝置來實施。在各加工裝置上設有吸引保持被加工物的工作夾台機構。在工作夾台機構上，是透過旋轉接頭將工作夾台在固定軸上安裝成可旋轉且可進行吸引(參照例如專利文獻1)。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2010-089234號公報
發明概要
於專利文獻1所記載的工作夾台機構的旋轉接頭上，為了防止吸引力的洩漏，通常會在工作夾台的可動軸(旋轉部)的內側面與固定軸的外側面之間配設有密封環。由於密封環會隨著工作夾台的旋轉而於可動軸或固定軸上滑動，因此會因長期劣化而變得需要定期作更換。此種情況下，若不將工作夾台的可動軸從固定軸中拆卸下來，就無法更換密封環，又因密封環的更換作業繁雜，因而有必須進行較長時間的維護之問題。
本發明是有鑑於此問題點而作成的發明，其目的在於提供一能夠簡化密封環的更換作業進而縮短維護時間之工作夾台機構。
本發明的工作夾台機構具備吸引保持被加工物之工作夾台、將該工作夾台裝設於上部且可旋轉地支撐的旋轉組件，該工作夾台機構的特徵在於，該旋轉組件具備：固定軸，呈圓筒形狀，並配設於旋轉中心且於內部形成有流體路徑；旋轉部，圍繞該固定軸的外周而可旋轉地配設，且於上部具備裝設工作夾台之環狀的裝設面；及旋轉馬達，使該旋轉部旋轉，於該旋轉部裝卸自如地設置有覆蓋該固定軸的上端並橫跨該旋轉部之上表面而形成且上表面為該工作夾台的裝設面之環狀的密封板，於該固定軸的該上端形成有圓環形狀的溝，於該溝內裝設有密封環，可於該旋轉部的上表面裝設該密封板，而以該密封板將該密封環朝該固定軸的上端的該溝按壓來進行密封。
根據此構成，以圓筒形狀的固定軸為旋轉中心而使旋轉部可旋轉，且於旋轉部上裝卸自如地裝設有覆蓋固定軸的上端之密封板。於旋轉部及密封板的上表面裝設有工作夾台，可通過固定軸的旋轉中心的流體路徑對工作夾台賦予吸引力，並且以固定軸為旋轉中心來使工作夾台旋轉。又，形成於固定軸的上端之圓環形狀的溝中裝設有密封環，而可將密封板與固定軸之間以密封環密封。在此情況下，可藉由可從旋轉部及密封板的上表面拆卸工作夾台，並從旋轉部拆卸密封板，而將固定軸的上端的密封環露出於外部。因此，以拆卸工作夾台、密封板之簡易的作業，就可容易地從上方更換密封環，而能夠大幅縮短維護時間。
根據本發明，由於以拆卸工作夾台、密封板之簡易的作業，就可以容易地從上方更換密封環，所以可以大幅縮短於密封環的更換作業上所需要的維護時間。
1:切削裝置
10:殼體
11:移動板
12:防水蓋
14:載置台
16:支撐台
17:側面
19:單臂支撐部
21:定心導引件
22:推拉機構
25:第1搬送支臂
26、36:支臂部
27、37:搬送墊
31:旋轉洗淨機構
32:旋轉台
35:第2搬送支臂
41:攝像部
42:監視器
45:切削組件
46:切削刀
50、100:工作夾台機構
51、101:工作夾台
52:工作台本體
53、102:保持面
54:吸引口
55、63、92:安裝孔
56、64、93:螺栓
57:連通室
61:工作台基座
62、83、86:螺孔
70:旋轉組件
71、79、103:固定軸
72、104:流體路徑
73、107:溝
75、115:密封環
76、114:軸承
77:吸引源
81、111:旋轉部
82、85:工作台裝設面(裝設面)
84:板裝設面
87、112:內側面
91:密封板
94:旋轉馬達
95:定子
96:齒部
97:線圈繞組
98:轉子
99:磁石
105:外側面
W:被加工物
C:片匣
圖1是本實施形態之切削裝置的立體圖。
圖2是比較例之工作夾台機構的剖面示意圖。
圖3是本實施形態的工作台機構的剖面示意圖。
圖4A~C是本實施形態之密封環的更換作業的說明圖。
用以實施發明之形態
以下，參照附加圖式，說明本實施形態之具備有工作夾台機構的切削裝置。圖1是本實施形態之切削裝置的立體圖。圖2是比較例之工作夾台機構的剖面示意圖。再者，在以下的說明中，雖然是以於切削裝置具備工作夾台機構之構成作為例示來說明，但不限定於此構成。工作夾台機構亦可設置於例如雷射加工裝置或磨削裝置等的其他加工裝置中。
如圖1所示，切削裝置1是構成為以切削刀46將工作夾台51上的圓板狀的被加工物W切削，而分割成一個個的元件晶片。被加工物W為長方形的封裝基板，基板表面是被格子狀的切割道所劃分，並且於切割道所劃分出的各區域中形成有各種元件。再者，被加工物W不侷限於CSP(晶片尺寸封裝(Chip Size Package))基板、晶圓級CSP(晶圓級晶片尺寸封裝(Wafer Level Chip Size Package))基板等的小型的封裝基板，亦可為相較於CSP基板等尺寸更大的封裝基板。
在切削裝置1的殼體10的上表面形成有在X軸方向上延伸的矩形之開口，此開口是被可與工作夾台51一起移動之移動板11以及伸縮囊狀之防水蓋12所被覆。在防水蓋12的下方設有使工作夾台51在X軸方向上移動之圖未示的滾珠螺桿式的移動機構。在工作夾台51的表面形成有可藉由多數個吸引口而吸引保持被加工物W之保持面53。保持面53是通過工作夾台51內之流體路徑來與吸引源連接，且藉由在保持面53上產生之負壓而吸引保持被加工 物W。
工作夾台51是在裝置中央的移交位置與面對切削組件45的加工位置之間往復移動。圖1所顯示的是工作夾台51於移交位置待機之狀態。於殼體10中，與此移交位置相鄰的一個角部為下降一階，且在下降處可升降地設置有載置台14。載置台14上可載置收容有被加工物W之片匣C。藉由在載置有片匣C的狀態下使載置台14升降，可在高度方向上調整被加工物W的拉出位置及推入位置。
在載置台14的後方設有平行於Y軸方向的一對定心導引件21、以及在一對定心導引件21與片匣C之間使被加工物W移出移入之推拉機構22。藉由一對定心導引件21，可導引以推拉機構22進行之被加工物W的移出移入，並且將被加工物W的X軸方向定位。又，藉由推拉機構22除了可將加工前的被加工物W從片匣C拉出至一對定心導引件21，還可將加工完的被加工物W從一對定心導引件21推入到片匣C。
在一對定心導引件21的附近設有在一對定心導引件21與工作夾台51之間搬送被加工物W的第1搬送支臂25。藉由第1搬送支臂25的旋繞，可藉L字形的支臂部26的前端的搬送墊27搬送被加工物W。又，於移交位置的工作夾台51的後方設有旋轉洗淨機構31。在旋轉洗淨機構31中，在朝向旋轉中的旋轉台32噴射洗淨水而洗淨被加工物W後，吹送乾燥空氣取代洗淨水以將被加工物W乾燥。
於殼體10上設有支撐具備有切削刀46的切 削組件45的支撐台16。切削組件45是在被支撐於支撐台16的主軸的前端裝設切削刀46而構成。切削刀46是例如將鑽石磨粒以黏結劑固定並成形為圓板狀。又，於切削組件45上連結有可使切削刀46朝Y軸方向及Z軸方向移動之圖未示的移動機構。在切削組件45中，是藉由從複數個噴射噴嘴噴射洗淨液，並將已使其高速旋轉的切削刀46相對於工作夾台51相對移動，來切削被加工物W。
於支撐台16的側面17設置有可在工作夾台51與旋轉洗淨機構31之間搬送被加工物W的第2搬送支臂35。藉由第2搬送支臂35的進退移動，可藉從支撐台16的側面17朝斜前方延伸之支臂部36的前端的搬送墊37來搬送被加工物W。又，於支撐台16上設置有於工作夾台51的移動路徑的上方橫穿過之單臂支撐部19，於單臂支撐部19上支撐有拍攝被加工物W之攝像部41。攝像部41之攝像圖像可利用於切削組件45與工作夾台51的校準上。又，支撐台16上載置有顯示加工條件等的監視器42。
於殼體10內收容有僅使工作夾台51露出於殼體10上的工作夾台機構50(參照圖3)。工作夾台機構50是藉由使工作夾台51旋轉來將切削刀46定位於正交的切割道上，並且使用來保持被加工物W之負壓作用到工作夾台51的保持面53。因此，於工作夾台機構50上所採用的是相對於形成有流體路徑的固定軸可抑制空氣的洩漏並且可旋轉地接合工作夾台51之旋轉接頭構造。
例如，如圖2所示，比較例的工作夾台機構 100的旋轉接頭構造是配設成使支撐工作夾台101的旋轉部111圍繞圓筒形狀的固定軸103。旋轉部111與固定軸103之間安裝有軸承114，並透過軸承114將工作夾台101可旋轉地支撐於固定軸103。又，在固定軸103的中心是將流體路徑104形成為使其於工作夾台101的保持面102產生負壓。於固定軸103的外側面105形成有裝設密封環115的圓環狀的溝107。
密封環115是接觸於旋轉部111的內側面112，且密封固定軸103與旋轉部111的間隙來抑制空氣的洩漏。雖然密封環115會因為長期劣化而必須定期地更換，但要從此種旋轉接頭構造更換密封環115並不容易。亦即，若未將工作夾台101從旋轉部111卸下，並進一步將旋轉部111整體從固定軸103拆卸下來的話，就無法使密封環115從固定軸103的外側面105露出於外部。因此，已有導致密封環115的更換作業規模變大，且維護時間變長之問題。
於是，在本實施形態中，是對上述比較例的旋轉接頭構造進行變更，並在旋轉部81上設置覆蓋固定軸71的上端的密封板91，且於密封板91的下表面與固定軸71的上端的間隙以密封環75來密封(參照圖3)。此外，相對於旋轉部81裝卸自如地裝設密封板91，且藉由密封板91的拆卸使密封環75露出於上方。藉此，由於以拆卸工作夾台51、密封板91的簡易的作業就可以更換密封環75，所以變得可大幅地縮短維護時間。
以下，說明本實施形態之工作夾台機構。圖3是本實施形態的工作台機構的剖面示意圖。再者，工作夾台機構只要是可藉由密封板之裝卸，而從上方更換密封環之構成即可，並不限定於圖3所示之例的構成。例如，雖然在以下的說明中是以封裝基板用之工作夾台機構作例示，但針對半導體晶圓或光元件晶圓用的工作夾台機構，也可以形成同樣的構成。
如圖3所示，工作夾台機構50是將吸引保持被加工物W之工作夾台51裝設於旋轉組件70的上部，並藉由旋轉組件70可旋轉地支撐著工作夾台51。工作夾台51是形成為將工作台本體52裝卸自如地安裝於工作台基座61的上表面之可上下分開之構造。工作台本體52是在形成有多數個吸引口54的上段部分的周圍，將固定於工作台基座61的下段部分形成為凸緣狀。在工作台本體52的上段部分形成有多數個吸引口54並於上表面形成有保持面53，且於工作台本體52的下段部分形成有螺栓56用之安裝孔55(參照圖4A)。
又，工作台基座61是形成為中央開孔之環形板狀，並且於對應於工作台本體52的安裝孔55(參照圖4A)之處形成有螺孔62(參照圖4A)。藉由對此工作台基座61的螺孔62螺合從工作台本體52的安裝孔55突出之螺栓56的前端，可將工作台本體52相對於工作台基座61裝卸自如地安裝。藉由將工作台本體52安裝到工作台基座61上，可形成使複數個吸引口54連通於固定軸79的流體路徑72的 連通室57。又，於相較工作台基座61的螺孔62(參照圖4)更朝徑向內側處，形成有螺栓64用的安裝孔63。
旋轉組件70是在工作夾台51的旋轉中心配設圓筒形狀的固定軸71，並將旋轉部81配設成圍繞固定軸71的外周。在固定軸71的內部於上下方向上形成有連接連通室57與吸引源77的流體路徑72。於旋轉部81的上表面形成用於裝設工作夾台51的環狀的工作台裝設面82，並且在工作台裝設面82上對應於工作台基座61的安裝孔63之處形成有螺孔83。藉由對此旋轉部81的螺孔83螺合從工作台基座61的安裝孔63突出之螺栓64的前端，可將工作台基座61裝卸自如地安裝於旋轉部81的上部。
在旋轉部81的上表面的徑向內側，於比工作台裝設面82更低一階地形成之板裝設面84上裝設有密封板91。密封板91是從旋轉部81橫跨至固定軸71而形成，而將密封板91的徑向外側支撐於板裝設面84，且使密封板91的徑向內側覆蓋固定軸71的上端。密封板91的厚度是與工作台裝設面82與板裝設面84的階差一致，而可將工作台裝設面82與密封板91的上表面形成為同一平面。因此，密封板91的上表面也成為裝設工作夾台51的工作台裝設面85。
於密封板91的徑向外側形成有螺栓93用的安裝孔92(參照圖4C)，且在板裝設面84上於對應於安裝孔92之處形成有螺孔86(參照圖4C)。藉由對此板裝設面84的螺孔86螺合從密封板91的安裝孔92突出之螺栓93的前端，可將密封板91裝卸自如地安裝於板裝設面84。又，是 使密封板91的下表面與固定軸71的上端(上表面)僅隔著些微間隙而相向。在固定軸71的上端形成有圓環形狀的溝73，且在圓環形狀的溝73內裝設有密封環75。
因此，當將密封板91裝設於旋轉部81的板裝設面84時，可藉由密封板91的下表面將密封環75按壓於圓環形狀的溝73內。在密封板91的下表面與圓環形狀的溝73的底面之間將密封環75壓扁，以將密封板91的下表面與固定軸71的上端之間隙密封。藉此，不會有空氣從密封板91與固定軸71的間隙洩漏之情形，而可抑制工作夾台51之吸引力的降低。再者，作為密封環75而可使用的有O型環或襯墊(packing)等的動態密封。
又，藉由將密封板91從旋轉部81的板裝設面84拆卸，可將作為消耗品的密封環75露出於外部。因此，變得毋須將旋轉部81整體從固定軸71拆卸下來，即可容易地僅更換圓環形狀之溝73內的密封環75。旋轉部81的內側面87與固定軸71的外側面79之間安裝有軸承76，可透過軸承76將旋轉部81相對於固定軸71可旋轉地支撐著。又，於旋轉組件70中，於旋轉部81及固定軸71的下側部分設置有使旋轉部81旋轉之旋轉馬達94。
旋轉馬達94是構成為使連結於旋轉部81的轉子98於固定於固定軸71之定子95的周圍旋轉。於定子95的外周面朝徑向突出有複數個齒部96，於各齒部96上安裝有線圈繞組97。於轉子98的內側面將複數個磁石99設置成與定子95的線圈繞組97隔著些微的間隙而相向。並且，可 藉由將線圈繞組97通電，而將固定軸71作為旋轉中心來使轉子98旋轉。藉此，可將連結於轉子98的旋轉部81及工作夾台51一體旋轉。
像這樣，工作夾台機構50的旋轉接頭會變得可將工作夾台51可旋轉地支撐，並且在不使空氣洩漏的情形下將來自吸引源77的吸引力賦予到工作夾台51的保持面53。又，由於密封板91與固定軸71是透過密封環75而形成接觸，所以會使密封環75滑動而劣化。然而，由於可將密封板91裝卸自如地安裝於旋轉部81上，因此藉由從旋轉部81拆卸密封板91，即可容易地更換密封環75。
參照圖4，針對密封環的更換作業進行說明。圖4是本實施形態之密封環的更換作業的說明圖。再者，分別顯示的是：圖4A為工作台本體的拆卸作業，圖4B為工作台基座的拆卸作業，圖4C為密封板的拆卸作業。
如圖4A所示，在密封環的更換作業中，首先是藉由操作者鬆開工作台本體52的外周部分的各個螺栓56，而將工作台本體52從工作台基座61的上表面拆卸下來。藉此，可使隱藏於工作台本體52的內側之工作台基座61固定用的螺栓64露出於外部。接著，如圖4B所示，藉由操作者鬆開工作台基座61的各個螺栓64，而將工作台基座61從旋轉部81的工作台裝設面82拆卸下來。藉此，可使隱藏於工作台基座61的背面側之密封板91固定用的螺栓93露出於外部。
接著，如圖4C所示，藉由操作者鬆開密封板 91的各個螺栓93，而將密封板91從旋轉部81的板裝設面84拆卸下來。藉此，可使裝設於固定軸71的上端的圓環形狀的溝73中的密封環75露出於外部。並且，於拆卸圓環形狀的溝73內的已劣化的密封環75，並裝設上新的密封環75之後，可用與上述的拆卸動作相反的順序，來安裝密封板91、工作台基座61、工作台本體52。像這樣，可將密封環75的更換作業簡化並可縮短維護時間。
如以上所述，本實施形態的工作夾台機構50是以圓筒形狀的固定軸71為旋轉中心而使旋轉部81可旋轉，且於旋轉部81裝卸自如地裝設有覆蓋固定軸71的上端之密封板91。又，可於形成於固定軸71的上端的圓環形狀的溝73中裝設密封環75，而將密封板91與固定軸71之間以密封環75密封。在此情況下，可藉由將工作夾台51從旋轉部81及密封板91拆卸下來，且將密封板91從旋轉部81拆卸下下，而將固定軸71的上端的密封環75露出於外部。因此，以拆卸工作夾台51、密封板91之簡易的作業，就可容易地從上方更換密封環75，而能夠大幅縮短維護時間。
再者，本發明並不受限於上述實施之形態，且可進行各種變更而實施。在上述實施形態中，關於在附圖所圖示的大小與形狀等，並不受限於此，並可在能發揮本發明的效果的範圍內做適當變更。另外，只要不脫離本發明之目的之範圍，均可以作適當的變更而實施。
例如，在上述之實施形態中，雖然是做成在工作夾台51之保持面53形成有多數個吸引口54，但並不受 限於此構成。工作夾台51之保持面53亦可藉由多孔陶瓷(porous ceramics)而形成為多孔質。又，雖然以將工作台本體52於工作台基座61裝卸自如的形式構成了工作夾台51，但亦可將工作台基座61與工作台本體52一體地形成。
又，雖然在上述實施形態中，旋轉馬達94以電磁式馬達例示來說明，但並不限定於此構成。作為旋轉馬達94，亦可使用靜電式馬達或超音波式馬達。
又，雖然於上述實施形態中，是將密封板91形成為圓環形狀，但並不限定於此構成。密封板91只要形成為可覆蓋固定軸71的上端並且不遮蓋到固定軸71的流體路徑72之形狀即可，亦可為例如形成為矩形環狀。
又，在上述實施形態中，雖然密封板91是做成相對於旋轉部81以螺栓93來螺鎖固定之構成，但並不限定於此構成。密封板91只要是可相對於旋轉部81裝卸自如地被安裝之構成即可，無論以何種形式被安裝均可。
又，在上述實施形態中，雖然作為被加工物W而例示了封裝基板，但被加工物W只要是成為加工對象之工件即可，亦可為半導體晶圓或光元件晶圓。
產業上之可利用性
如以上所說明的，本發明具有可以將密封環的更換作業簡化並縮短維護時間之效果，特別是對在切削裝置或雷射加工裝置等的加工裝置上保持被加工物之工作夾台機構而言是很有用的。
50:工作夾台機構
51:工作夾台
52:工作台本體
53:保持面
54:吸引口
56、64、93:螺栓
57:連通室
61:工作台基座
63:安裝孔
70:旋轉組件
71:固定軸
72:流體路徑
73:溝
75:密封環
76:軸承
77:吸引源
79:固定軸
81:旋轉部
82、85:工作台裝設面
83:螺孔
84:板裝設面
87:內側面
91:密封板
94:旋轉馬達
95:定子
96:齒部
97:線圈繞組
98:轉子
99:磁石
W:被加工物

Claims (1)

  1. 一種工作夾台機構，具備吸引保持被加工物的工作夾台、及將該工作夾台裝設於上部且將該工作夾台支撐成可旋轉的旋轉組件，該工作夾台機構的特徵在於，該旋轉組件具備：固定軸，呈圓筒形狀，並配設於旋轉中心且於內部形成有流體路徑；旋轉部，圍繞該固定軸的外周而可旋轉地配設，且於上部具備裝設工作夾台之環狀的工作台裝設面；及旋轉馬達，使該旋轉部旋轉，於該旋轉部的上表面的徑向內側形成有比該工作台裝設面低一階的板裝設面，於該旋轉部的該板裝設面上裝卸自如地裝設有環狀的密封板，該密封板的厚度與該工作台裝設面及該板裝設面之間的階差一致，該密封板覆蓋該固定軸的上端並橫跨至該旋轉部之上表面的徑向內側，該密封板的上表面與該工作台裝設面形成為同一水平面，且該密封板的上表面也成為該工作台裝設面，於該固定軸的該上端形成有圓環形狀的溝，於該溝內裝設有密封環，於該旋轉部的上表面裝設該密封板，並以該密封板將該密封環朝該固定軸的上端的該溝按壓來進行密封。
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