JP5904848B2 - 保護膜形成装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る保護膜形成装置が配設されたレーザー加工装置の構成例を示す図である。図2は、本実施形態に係る保護膜形成装置を示す図である。図3は、保持テーブルおよび方向板の構成例を示す図である。保護膜形成装置1が配設されたレーザー加工装置100は、図1に示すように、チャックテーブル110と、レーザー光線照射手段120と、撮像手段130と、保護膜形成装置1と、カセット載置台140と、搬出入手段150と、位置合わせ手段160、搬送手段171,172と、制御手段180とを含んで構成されている。
2 保持テーブル
21 保持部
21a 保持面
22 方向板
3 液体供給手段
31 洗浄水供給手段
31a 洗浄水供給ノズル
32 液状樹脂供給手段
32a 液状樹脂供給ノズル
4 回転駆動部
5 筐体
100 レーザー加工装置
110 チャックテーブル
120 レーザー光線照射手段
130 撮像手段
140 カセット載置台
150 搬出入手段
160 位置合わせ手段
171,172 搬送手段
180 制御手段
L1 洗浄水
L2 液状樹脂
P 保護膜
W 板状物
Claims (2)
- 板状物を上面に保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持された板状物の表面である板状物表面に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルおよび前記板状物表面に液状樹脂を供給する液状樹脂供給ノズルを有する液体供給手段と、
前記保持テーブルの上面に対して鉛直方向を回転軸として回転させ、前記板状物表面に供給された液状樹脂を前記板状物表面全体に広げる回転駆動部と、
前記保持テーブル、前記保持テーブルに保持された板状物および前記液体供給手段を囲む筐体と、
を備え、前記板状物表面に液状樹脂からなる保護膜を形成する保護膜形成装置であって、
前記保持テーブルは、
前記板状物を吸引保持する保持面を有する保持部と、
前記保持部の外周に囲繞して複数個配設され、かつ前記筐体の内壁に当接しない大きさで形成された前記液状樹脂または前記洗浄水である液体の飛散方向を規定する方向板と、
を有し、
前記方向板は、前記保持面に対して傾斜して配設され、前記保持テーブルの回転方向が正回転の場合には前記液体を前記保持テーブルの下方に飛散させ、前記保持テーブルが逆回転の場合には前記液体を前記保持テーブルの上方へ飛散させ、
前記保持テーブルに保持された板状物に前記保護膜を形成する際には、前記板状物表面に前記液状樹脂供給ノズルにより前記液状樹脂が供給され、前記回転駆動部により前記保持テーブルを正回転させることで、前記液状樹脂のうち遠心力で前記板状物表面から飛ばされた余剰の液状樹脂が前記方向板により前記保持テーブルの下方に飛散し、
前記筐体の内部の洗浄の際には、前記板状物表面または前記保持テーブルの上面に前記洗浄水供給ノズルから前記洗浄水が供給され、前記回転駆動部により前記保持テーブルを逆回転させることで、遠心力で前記板状物表面または前記保持テーブルの上面から飛ばされた前記洗浄水が前記方向板により前記保持テーブルの上方に飛散し、前記筐体の内部を洗浄すること
を特徴とする保護膜形成装置。 - 請求項1に記載の保護膜形成装置において、
前記筐体の内部の洗浄の際には、前記回転駆動部による前記保持テーブルの回転速度を変化させて、前記洗浄水の前記方向板による上方への飛散状態を調整する保護膜形成装置。
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