KR102466078B1 - 척 테이블 기구 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 시일 링의 교환 작업을 간략화하여 메인터넌스 시간을 단축하는 것을 목적으로 한다.
척 테이블 기구(50)는, 피가공물(W)을 흡인 유지하는 척 테이블(51)과, 테이블 장착면(82)을 갖는 회전부(81)와, 척 테이블의 회전 중심에 배치된 원통 형상의 고정축(71)과, 고정축 주위에서 회전부를 회전시키는 회전 모터(94)를 구비하고 있다. 회전부에는, 고정축의 상단을 덮는 환형의 시일 플레이트(91)가 착탈 가능하게 부착되고, 고정축의 상단에는 시일 링(seal ring; 75)이 장착되는 원환 형상의 홈(73)이 형성되어 있다. 시일 플레이트가 회전부에 부착됨으로써, 시일 플레이트와 고정축의 간극이 시일되어, 고정축 내의 에어의 누설이 억제되고, 시일 플레이트가 회전부로부터 분리됨으로써, 시일 링의 교환 작업이 간략화된다.

Description

척 테이블 기구{CHUCK TABLE MECHANISM}
본 발명은 가공 장치에 있어서 피가공물을 유지하는 척 테이블 기구에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 피가공물의 표면은 격자형의 스트리트에 의해 복수로 구획되어 있고, 이 구획된 영역에 IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다. 디바이스 제조 공정에서는, 피가공물을 스트리트를 따라 절단함으로써 개개의 디바이스칩이 형성된다. 이 피가공물의 분할은 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 의해 실시되고 있다. 각 가공 장치에는, 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블 기구가 설치되어 있다. 척 테이블 기구에서는, 척 테이블이 회전 가능하고 또한 흡인 가능하도록 로터리 조인트를 통해 고정축에 부착되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2010-089234호 공보
특허문헌 1에 기재된 척 테이블 기구의 로터리 조인트에는, 통상, 흡인력의 누설을 방지하기 위해서 척 테이블의 가동축(회전부)의 내측면과 고정축의 외측면 사이에 시일 링(seal ring)이 배치되어 있다. 시일 링은 척 테이블의 회전에 따라 가동축 또는 고정축에 슬라이딩되기 때문에, 경년 열화(劣化)에 의해 정기적인 교환이 필요해지고 있다. 이 경우, 고정축으로부터 척 테이블의 가동축을 분리하지 않으면 시일 링을 교환할 수 없어, 시일 링의 교환 작업이 번거롭고 장시간의 메인터넌스가 필요해진다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 시일 링의 교환 작업을 간략화하여 메인터넌스 시간을 단축할 수 있는 척 테이블 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 척 테이블 기구는, 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블을 상부에 장착하여 회전 가능하게 지지하는 회전 수단을 구비하는 척 테이블 기구로서, 상기 회전 수단은, 회전 중심에 배치되고 내부에 유체 경로가 형성된 원통 형상의 고정축과, 상기 고정축의 외주를 둘러싸서 회전 가능하게 배치되고 상부에 척 테이블을 장착하는 환형의 장착면을 구비하는 회전부와, 상기 회전부를 회전시키는 회전 모터를 구비하고, 상기 회전부에는, 상기 고정축의 상단을 덮고 상기 회전부의 상면에 걸쳐 형성되며 상면이 상기 척 테이블의 장착면인 환형의 시일 플레이트를 착탈 가능하게 구비하고, 상기 고정축의 상기 상단에는 원환 형상의 홈이 형성되며, 상기 홈 내에 시일 링이 장착되고, 상기 시일 플레이트를 상기 회전부의 상면에 장착하며, 상기 시일 플레이트에 의해 상기 시일 링을 상기 고정축의 상단의 상기 홈에 압박하여 시일하는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 원통 형상의 고정축을 회전 중심으로 회전부가 회전 가능하고, 회전부에는 고정축의 상단을 덮는 시일 플레이트가 착탈 가능하게 장착되어 있다. 회전부 및 시일 플레이트의 상면에는 척 테이블이 장착되어 있고, 고정축의 회전 중심의 유체 경로를 통해 척 테이블에 흡인력이 부여되며, 고정축을 회전 중심으로 하여 척 테이블이 회전된다. 또한, 고정축의 상단에 형성된 원환 형상의 홈에 시일 링이 장착되고, 시일 플레이트와 고정축 사이가 시일 링으로 시일되어 있다. 이 경우, 회전부 및 시일 플레이트의 상면으로부터 척 테이블이 분리되고, 회전부로부터 시일 플레이트가 분리됨으로써, 고정축의 상단의 시일 링이 외부로 노출된다. 따라서, 척 테이블, 시일 플레이트를 분리한다고 하는 간이한 작업으로, 시일 링을 상방으로부터 용이하게 교환 가능하여, 메인터넌스 시간을 대폭 단축할 수 있다.
본 발명에 의하면, 척 테이블, 시일 플레이트를 분리한다고 하는 간이한 작업으로, 시일 링을 상방으로부터 용이하게 교환할 수 있기 때문에, 시일 링의 교환 작업에 필요한 메인터넌스 시간을 대폭 단축할 수 있다.
도 1은 본 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다.
도 2는 비교예의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다.
도 3은 본 실시형태의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다.
도 4는 본 실시형태의 시일 링의 교환 작업의 설명도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태의 척 테이블 기구를 구비한 절삭 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다. 도 2는 비교예의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다. 한편, 이하의 설명에서는, 절삭 장치에 척 테이블 기구를 구비하는 구성을 예시하여 설명하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 척 테이블 기구는, 예컨대 레이저 가공 장치나 연삭 장치 등의 다른 가공 장치에 구비되어도 좋다.
도 1에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(1)는, 척 테이블(51) 상의 원판형의 피가공물(W)을 절삭 블레이드(46)로 절삭하여, 개개의 디바이스칩으로 분할하도록 구성되어 있다. 피가공물(W)은 직사각형 형상의 패키지 기판이며, 기판 표면은 격자형의 스트리트에 의해 구획되고, 스트리트에 의해 구획된 각 영역에 각종 디바이스가 형성되어 있다. 한편, 피가공물(W)은, CSP(Chip Size Package) 기판, 웨이퍼 레벨 CSP(Wafer Level Chip Size Package) 기판 등의 소형의 패키지 기판에 한하지 않고, CSP 기판 등보다 사이즈가 큰 패키지 기판이어도 좋다.
절삭 장치(1)의 하우징(10)의 상면에는, X축 방향으로 연장되는 직사각형 형상의 개구가 형성되어 있고, 이 개구는 척 테이블(51)과 함께 이동 가능한 이동판(11) 및 주름상자형의 방수 커버(12)에 의해 피복되어 있다. 방수 커버(12)의 하방에는, 척 테이블(51)을 X축 방향으로 이동시키는 도시하지 않은 볼 나사식의 이동 기구가 설치되어 있다. 척 테이블(51)의 표면에는, 다수의 흡인구에 의해 피가공물(W)을 흡인 유지하는 유지면(53)이 형성되어 있다. 유지면(53)은, 척 테이블(51) 내의 유체 경로를 통해 흡인원에 접속되고, 유지면(53)에 발생하는 부압에 의해 피가공물(W)이 흡인 유지된다.
척 테이블(51)은, 장치 중앙의 전달 위치와 절삭 수단(45)에 면한 가공 위치 사이에서 왕복 이동된다. 도 1은 척 테이블(51)이 전달 위치에 대기한 상태를 도시하고 있다. 하우징(10)에 있어서, 이 전달 위치에 인접한 하나의 모서리부가 한단 내려가 있고, 내려간 부위에 배치 테이블(14)이 승강 가능하게 설치되어 있다. 배치 테이블(14)에는, 피가공물(W)을 수용한 카세트(C)가 배치된다. 카세트(C)가 배치된 상태에서 배치 테이블(14)이 승강함으로써, 높이 방향에 있어서 피가공물(W)의 인출 위치 및 압입 위치가 조정된다.
배치 테이블(14)의 후방에는, Y축 방향에 평행한 한 쌍의 센터링 가이드(21)와, 한 쌍의 센터링 가이드(21)와 카세트(C) 사이에서 피가공물(W)을 출납하는 푸시 풀 기구(22)가 설치되어 있다. 한 쌍의 센터링 가이드(21)에 의해, 푸시 풀 기구(22)에 의한 피가공물(W)의 출납이 가이드되고, 피가공물(W)의 X축 방향이 위치 결정된다. 또한, 푸시 풀 기구(22)에 의해, 카세트(C)로부터 한 쌍의 센터링 가이드(21)에 가공 전의 피가공물(W)이 인출되는 것 외에, 한 쌍의 센터링 가이드(21)로부터 카세트(C)에 가공이 완료된 피가공물(W)이 압입된다.
한 쌍의 센터링 가이드(21)의 근방에는, 센터링 가이드(21)와 척 테이블(51) 사이에서 피가공물(W)을 반송하는 제1 반송 아암(25)이 설치되어 있다. 제1 반송 아암(25)의 선회에 의해, L자형의 아암부(26)의 선단의 반송 패드(27)에 의해 피가공물(W)이 반송된다. 또한, 전달 위치의 척 테이블(51)의 후방에는, 스피너 세정 기구(31)가 설치되어 있다. 스피너 세정 기구(31)에서는, 회전 중인 스피너 테이블(32)을 향해 세정수가 분사되어 피가공물(W)이 세정된 후, 세정수 대신에 건조 에어가 분무되어 피가공물(W)이 건조된다.
하우징(10) 상에는, 절삭 블레이드(46)를 구비한 절삭 수단(45)을 지지하는 지지대(16)가 설치되어 있다. 절삭 수단(45)은, 지지대(16)에 지지된 스핀들의 선단에 절삭 블레이드(46)를 장착하여 구성된다. 절삭 블레이드(46)는, 예컨대 다이아몬드 지립을 본드제로 굳혀 원판형으로 성형되어 있다. 또한, 절삭 수단(45)에는, 절삭 블레이드(46)를 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시키는 도시하지 않은 이동 기구가 연결되어 있다. 절삭 수단(45)에서는, 복수의 분사 노즐로부터 세정액이 분사되고, 고속 회전시킨 절삭 블레이드(46)가 척 테이블(51)에 대해 상대 이동됨으로써 피가공물(W)이 절삭된다.
지지대(16)의 측면(17)에는, 척 테이블(51)과 스피너 세정 기구(31) 사이에서 피가공물(W)을 반송하는 제2 반송 아암(35)이 설치되어 있다. 제2 반송 아암(35)의 진퇴 이동에 의해, 지지대(16)의 측면(17)으로부터 비스듬히 전방으로 연장된 아암부(36)의 선단의 반송 패드(37)에 의해 피가공물(W)이 반송된다. 또한, 지지대(16)에는, 척 테이블(51)의 이동 경로의 상방을 가로지르는 캔틸레버 지지부(19)가 설치되고, 캔틸레버 지지부(19)에는 피가공물(W)을 촬상하는 촬상부(41)가 지지되어 있다. 촬상부(41)에 의한 촬상 화상은, 절삭 수단(45)과 척 테이블(51)의 얼라인먼트에 이용된다. 또한, 지지대(16) 상에는, 가공 조건 등을 표시하는 모니터(42)가 실려 있다.
하우징(10) 내에는, 척 테이블(51)만을 하우징(10) 상에 노출시킨 척 테이블 기구(50)(도 3 참조)가 수용되어 있다. 척 테이블 기구(50)는, 척 테이블(51)을 회전시킴으로써 직교하는 스트리트에 절삭 블레이드(46)를 위치시키고, 척 테이블(51)의 유지면(53)에 피가공물(W)을 유지하기 위한 부압을 작용시키고 있다. 이 때문에, 척 테이블 기구(50)에는, 유체 경로가 형성된 고정축에 대해, 에어의 누설을 억제하면서 척 테이블(51)을 회전 가능하게 조인트하는 로터리 조인트 구조가 채용되고 있다.
예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 비교예의 척 테이블 기구(100)의 로터리 조인트 구조는, 척 테이블(101)을 지지한 회전부(111)가, 원통 형상의 고정축(103)을 둘러싸도록 배치되어 있다. 회전부(111)와 고정축(103) 사이에는 베어링(114)이 부착되어 있고, 베어링(114)을 통해 고정축(103)에 척 테이블(101)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 고정축(103)의 중심에는, 척 테이블(101)의 유지면(102)에 부압을 발생시키도록 유체 경로(104)가 형성되어 있다. 고정축(103)의 외측면(105)에는, 시일 링(115)이 장착되는 원환형의 홈(107)이 형성되어 있다.
시일 링(115)은, 회전부(111)의 내측면(112)에 접촉하고 있고, 고정축(103)과 회전부(111)의 간극을 시일하여 에어의 누설을 억제하고 있다. 시일 링(115)은 경년 열화되기 때문에 정기적으로 교환할 필요가 있으나, 이러한 로터리 조인트 구조로부터 시일 링(115)을 교환하는 것은 용이하지 않다. 즉, 회전부(111)로부터 척 테이블(101)을 분리하고, 또한 고정축(103)으로부터 회전부(111) 전체를 분리하지 않으면, 고정축(103)의 외측면(105)으로부터 시일 링(115)을 외부로 노출시킬 수 없다. 이 때문에, 시일 링(115)의 교환 작업이 대규모가 되어, 메인터넌스 시간이 길어진다고 하는 문제가 있었다.
그래서, 본 실시형태에서는, 상기 비교예의 로터리 조인트 구조를 변경하여, 회전부(81)에 고정축(71)의 상단을 덮는 시일 플레이트(91)를 설치하고, 시일 플레이트(91)의 하면과 고정축(71)의 상단의 간극을 시일 링(75)으로 시일하고 있다(도 3 참조). 또한, 회전부(81)에 대해 시일 플레이트(91)를 착탈 가능하게 장착하여, 시일 플레이트(91)의 분리에 의해 시일 링(75)을 상방으로 노출시키고 있다. 이에 의해, 척 테이블(51), 시일 플레이트(91)를 분리한다고 하는 간이한 작업으로 시일 링(75)을 교환할 수 있기 때문에, 메인터넌스 시간을 대폭 단축하는 것이 가능하게 되어 있다.
이하, 본 실시형태의 척 테이블 기구에 대해 설명한다. 도 3은 본 실시형태의 척 테이블 기구의 단면 모식도이다. 한편, 척 테이블 기구는, 시일 플레이트의 착탈에 의해, 시일 링을 상방으로부터 교환 가능한 구성이면 되고, 도 3에 도시된 예에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 이하의 설명에서는 패키지 기판용의 척 테이블 기구를 예시하고 있으나, 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼용의 척 테이블 기구에 대해서도 동일한 구성으로 할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 척 테이블 기구(50)는, 피가공물(W)을 흡인 유지하는 척 테이블(51)이 회전 수단(70)의 상부에 장착되고, 회전 수단(70)에 의해 척 테이블(51)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 척 테이블(51)은, 테이블 베이스(61)의 상면에 테이블 본체(52)를 착탈 가능하게 부착한 상하 분할 구조로 되어 있다. 테이블 본체(52)는, 다수의 흡인구(54)가 형성된 상단 부분 주위에, 테이블 베이스(61)에 고정되는 하단 부분이 플랜지형으로 형성되어 있다. 테이블 본체(52)의 상단 부분에는 다수의 흡인구(54)가 형성되어 상면에는 유지면(53)이 형성되어 있고, 테이블 본체(52)의 하단 부분에는 볼트(56)용의 부착 구멍(55)(도 4a 참조)이 형성되어 있다.
또한, 테이블 베이스(61)는, 중앙이 개구된 링판 형상으로 형성되어 있고, 테이블 본체(52)의 부착 구멍(55)(도 4a 참조)에 대응한 부위에 나사 구멍(62)(도 4a 참조)이 형성되어 있다. 이 테이블 베이스(61)의 나사 구멍(62)에 대해, 테이블 본체(52)의 부착 구멍(55)으로부터 돌출된 볼트(56)의 선단이 나사 결합됨으로써, 테이블 베이스(61)에 대해 테이블 본체(52)가 착탈 가능하게 부착된다. 테이블 베이스(61)에 테이블 본체(52)가 부착됨으로써, 복수의 흡인구(54)를 고정축(79)의 유체 경로(72)에 연통(連通)시키는 연통실(57)이 형성된다. 또한, 테이블 베이스(61)의 나사 구멍(62)(도 4 참조)보다 직경 방향 내측에는, 볼트(64)용의 부착 구멍(63)이 형성되어 있다.
회전 수단(70)은, 척 테이블(51)의 회전 중심에 원통 형상의 고정축(71)이 배치되고, 고정축(71)의 외주를 둘러싸도록 회전부(81)가 배치되어 있다. 고정축(71)의 내부에는, 연통실(57)과 흡인원(77)을 늘어놓는 유체 경로(72)가 상하 방향으로 형성되어 있다. 회전부(81)의 상면에는 척 테이블(51)을 장착하기 위한 환형의 테이블 장착면(82)이 형성되어 있고, 테이블 장착면(82)에는 테이블 베이스(61)의 부착 구멍(63)에 대응한 부위에 나사 구멍(83)이 형성되어 있다. 이 회전부(81)의 나사 구멍(83)에 대해, 테이블 베이스(61)의 부착 구멍(63)으로부터 돌출된 볼트(64)의 선단이 나사 결합됨으로써, 회전부(81)의 상부에 테이블 베이스(61)가 착탈 가능하게 부착된다.
회전부(81)의 상면의 직경 방향 내측에서는, 테이블 장착면(82)보다 1단 낮게 형성된 플레이트 장착면(84)에 시일 플레이트(91)가 장착되어 있다. 시일 플레이트(91)는 회전부(81)로부터 고정축(71)에 걸쳐 형성되어 있고, 시일 플레이트(91)의 직경 방향 외측이 플레이트 장착면(84)에 지지되며, 시일 플레이트(91)의 직경 방향 내측이 고정축(71)의 상단을 덮고 있다. 시일 플레이트(91)의 두께는 테이블 장착면(82)과 플레이트 장착면(84)의 단차와 일치하고 있고, 테이블 장착면(82)과 시일 플레이트(91)의 상면이 동일면으로 형성되어 있다. 따라서, 시일 플레이트(91)의 상면도 척 테이블(51)이 장착되는 테이블 장착면(85)으로 되어 있다.
시일 플레이트(91)의 직경 방향 외측에는 볼트(93)용의 부착 구멍(92)(도 4c 참조)이 형성되어 있고, 플레이트 장착면(84)에는 부착 구멍(92)에 대응한 부위에 나사 구멍(86)(도 4c 참조)이 형성되어 있다. 이 플레이트 장착면(84)의 나사 구멍(86)에 대해, 시일 플레이트(91)의 부착 구멍(92)으로부터 돌출된 볼트(93)의 선단이 나사 결합됨으로써, 플레이트 장착면(84)에 시일 플레이트(91)가 착탈 가능하게 부착된다. 또한, 시일 플레이트(91)의 하면과 고정축(71)의 상단(상면)이 약간의 간극을 두고 대향하고 있다. 고정축(71)의 상단에는 원환 형상의 홈(73)이 형성되어 있고, 원환 형상의 홈(73) 내에는 시일 링(75)이 장착되어 있다.
이 때문에, 시일 플레이트(91)가 회전부(81)의 플레이트 장착면(84)에 장착되면, 시일 플레이트(91)의 하면에 의해 시일 링(75)이 원환 형상의 홈(73) 내에 압박된다. 시일 플레이트(91)의 하면과 원환 형상의 홈(73)의 바닥면 사이에서 시일 링(75)이 찌부러뜨려져, 시일 플레이트(91)의 하면과 고정축(71)의 상단의 간극이 시일된다. 이에 의해, 시일 플레이트(91)와 고정축(71)의 간극으로부터 에어가 누설되는 일이 없어, 척 테이블(51)의 흡인력의 저하가 억제되어 있다. 한편, 시일 링(75)으로서는, O링이나 패킹 등의 운동용 시일이 사용된다.
또한, 시일 플레이트(91)가 회전부(81)의 플레이트 장착면(84)으로부터 분리됨으로써, 소모품인 시일 링(75)이 외부로 노출된다. 이 때문에, 고정축(71)으로부터 회전부(81) 전체를 분리하지 않고, 원환 형상의 홈(73) 내의 시일 링(75)만을 용이하게 교환하는 것이 가능하게 되어 있다. 회전부(81)의 내측면(87)과 고정축(71)의 외측면(79) 사이에는 베어링(76)이 부착되어 있고, 베어링(76)을 통해 고정축(71)에 대해 회전부(81)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 회전 수단(70)에는, 회전부(81) 및 고정축(71)의 하측 부분에 회전부(81)를 회전시키는 회전 모터(94)가 설치되어 있다.
회전 모터(94)는, 고정축(71)에 고정된 스테이터(95) 주위를, 회전부(81)에 연결된 로터(98)가 회전하도록 구성되어 있다. 스테이터(95)의 외주면에는 복수의 티스(teeth; 96)가 직경 방향으로 돌출되어 있고, 각 티스(96)에는 코일 권선(97)이 부착되어 있다. 로터(98)의 내측면에는, 스테이터(95)의 코일 권선(97)에 약간의 간극을 두고 대향하도록 복수의 자석(99)이 설치되어 있다. 그리고, 코일 권선(97)이 통전(通電)됨으로써, 고정축(71)을 회전 중심으로 하여 로터(98)가 회전된다. 이에 의해, 로터(98)에 연결된 회전부(81) 및 척 테이블(51)이 일체 회전된다.
이와 같이, 척 테이블 기구(50)의 로터리 조인트는, 척 테이블(51)을 회전 가능하게 지지하고, 에어를 누설시키지 않고, 척 테이블(51)의 유지면(53)에 흡인원(77)으로부터의 흡인력을 부여하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 시일 플레이트(91)와 고정축(71)이 시일 링(75)을 통해 접촉하기 때문에, 시일 링(75)이 슬라이딩하여 열화된다. 그러나, 시일 플레이트(91)가 착탈 가능하게 회전부(81)에 부착되어 있기 때문에, 회전부(81)로부터 시일 플레이트(91)를 분리함으로써, 시일 링(75)을 용이하게 교환하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 4를 참조하여, 시일 링의 교환 작업에 대해 설명한다. 도 4는 본 실시형태의 시일 링의 교환 작업의 설명도이다. 한편, 도 4a는 테이블 본체의 분리 작업, 도 4b는 테이블 베이스의 분리 작업, 도 4c는 시일 플레이트의 분리 작업을 각각 도시하고 있다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 시일 링의 교환 작업에서는, 먼저 오퍼레이터에 의해 테이블 본체(52)의 외주 부분의 각 볼트(56)가 풀리고, 테이블 베이스(61)의 상면으로부터 테이블 본체(52)가 분리된다. 이에 의해, 테이블 본체(52)의 내측에 숨어 있던 테이블 베이스(61) 고정용의 볼트(64)가 외부로 노출된다. 다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같이, 오퍼레이터에 의해 테이블 베이스(61)의 각 볼트(64)가 풀리고, 회전부(81)의 테이블 장착면(82)으로부터 테이블 베이스(61)가 분리된다. 이에 의해, 테이블 베이스(61)의 이면측에 숨어 있던 시일 플레이트(91) 고정용의 볼트(93)가 외부로 노출된다.
다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 오퍼레이터에 의해 시일 플레이트(91)의 각 볼트(93)가 풀리고, 회전부(81)의 플레이트 장착면(84)으로부터 시일 플레이트(91)가 분리된다. 이에 의해, 고정축(71)의 상단의 원환 형상의 홈(73)에 장착된 시일 링(75)이 외부로 노출된다. 그리고, 원환 형상의 홈(73) 내의 열화된 시일 링(75)이 분리되고, 새로운 시일 링(75)이 장착된 후, 상기한 분리 동작과 반대의 순서로, 시일 플레이트(91), 테이블 베이스(61), 테이블 본체(52)가 부착된다. 이와 같이, 시일 링(75)의 교환 작업이 간략화되어 메인터넌스 시간이 단축화되고 있다.
이상과 같이, 본 실시형태의 척 테이블 기구(50)는, 원통 형상의 고정축(71)을 회전 중심으로 회전부(81)가 회전 가능하고, 회전부(81)에는 고정축(71)의 상단을 덮는 시일 플레이트(91)가 착탈 가능하게 장착되어 있다. 또한, 고정축(71)의 상단에 형성된 원환 형상의 홈(73)에 시일 링(75)이 장착되고, 시일 플레이트(91)와 고정축(71) 사이가 시일 링(75)으로 시일되어 있다. 이 경우, 회전부(81) 및 시일 플레이트(91)로부터 척 테이블(51)이 분리되고, 회전부(81)로부터 시일 플레이트(91)가 분리됨으로써, 고정축(71)의 상단의 시일 링(75)이 외부로 노출된다. 따라서, 척 테이블(51), 시일 플레이트(91)를 분리한다고 하는 간이한 작업으로, 시일 링(75)을 상방으로부터 용이하게 교환 가능하여, 메인터넌스 시간을 대폭 단축할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지로 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절히 변경하는 것이 가능하다. 그 외에, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시하는 것이 가능하다.
예컨대, 상기한 실시형태에 있어서, 척 테이블(51)의 유지면(53)에 다수의 흡인구(54)가 형성되었으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 척 테이블(51)의 유지면(53)은 다공성 세라믹스로 다공질로 형성되어 있어도 좋다. 또한, 척 테이블(51)이 테이블 베이스(61)에 테이블 본체(52)를 착탈 가능하게 구성하였으나, 테이블 베이스(61)와 테이블 본체(52)는 일체로 형성되어 있어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에 있어서, 회전 모터(94)가 전자식 모터를 예시하여 설명하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 회전 모터(94)로서, 정전식 모터나 초음파식 모터가 이용되어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에 있어서, 시일 플레이트(91)가 원환 형상으로 형성되었으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 시일 플레이트(91)는, 고정축(71)의 상단을 덮고, 고정축(71)의 유체 경로(72)를 가로막지 않는 것과 같은 형상으로 형성되어 있으면 되고, 예컨대 직사각형 환형으로 형성되어 있어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에 있어서, 시일 플레이트(91)가 회전부(81)에 대해 볼트(93)로 나사 고정되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 시일 플레이트(91)는 회전부(81)에 대해 착탈 가능하게 부착되는 구성이면 되고, 어떻게 부착되어 있어도 좋다.
또한, 상기한 실시형태에 있어서, 피가공물(W)로서 패키지 기판을 예시하였으나, 피가공물(W)은 가공 대상이 되는 워크이면 되고, 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼여도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 시일 링의 교환 작업을 간략화하여 메인터넌스 시간을 단축할 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등의 가공 장치에 있어서 피가공물을 유지하는 척 테이블 기구에 유용하다.
50: 척 테이블 기구 51: 척 테이블
52: 테이블 본체 61: 테이블 베이스
70: 회전 수단 71: 고정축
72: 유체 경로 73: 원환 형상의 홈
75: 시일 링 81: 회전부
82: 테이블 장착면(장착면) 84: 플레이트 장착면
91: 시일 플레이트 94: 회전 모터
W: 피가공물

Claims (1)

  1. 피가공물을 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블을 상부에 장착하여 회전 가능하게 지지하는 회전 수단을 구비하는 척 테이블 기구로서,
    상기 회전 수단은, 회전 중심에 배치되고 내부에 유체 경로가 형성된 원통 형상의 고정축과, 상기 고정축의 외주를 둘러싸서 회전 가능하게 배치되고 상부에 척 테이블을 장착하는 환형의 장착면을 구비하는 회전부와, 상기 회전부를 회전시키는 회전 모터를 구비하고,
    상기 회전부에는, 상기 고정축의 상단을 덮고 상기 회전부의 상면에 걸쳐 형성되며 상면이 상기 척 테이블의 장착면인 환형의 시일 플레이트를 착탈 가능하게 구비하고,
    상기 고정축의 상기 상단에는 원환 형상의 홈이 형성되며, 상기 홈 내에 시일 링(seal ring)이 장착되고,
    상기 시일 플레이트를 상기 회전부의 상면에 장착하며, 상기 시일 플레이트에 의해 상기 시일 링을 상기 고정축의 상단의 상기 홈에 압박하여 시일하는 것을 특징으로 하는 척 테이블 기구.
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