JP2008098574A - ウエーハの研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】着脱位置に位置付けられた研磨加工用チャックテーブル19の近傍に、チャックテーブル19に保持されているウエーハ1の側端部に洗浄水を噴射する側面洗浄ノズル15を配設し、チャックテーブル19を回転させながら側面洗浄ノズル15からウエーハ1の側端部に洗浄水を噴射して、堆積している研磨粉を洗い流して除去する。
【選択図】図4
Description
[1]半導体ウエーハ
図1の符号1は、裏面全面が研削されて目的厚さ(例えば50〜200μm)に薄化加工される円盤状の半導体ウエーハ(以下ウエーハと略称)を示している。このウエーハ1はシリコンウエーハ等であって、研削前の厚さは例えば800μm程度である。ウエーハ1の表面には、格子状の分割予定ライン3によって複数の矩形状の半導体チップ(デバイス)4が区画されており、これら半導体チップ4の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。ウエーハ1の外周縁は、角をなくして損傷しにくいようにするために断面半円弧状に面取り加工が施されている。
次に、図2に示した研削加工済みのウエーハ1の裏面を研磨加工する一実施形態の研磨装置を説明する。
図3に示す本実施形態の研磨装置9は、直方体状の基台10を備えている。この基台10の長手方向一端部には、基台10の水平な上面に対して垂直に立設された壁部11が一体に形成されている。図3では、基台10の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれY方向、X方向およびZ方向で示している。基台10上は、長手方向のほぼ中間部分から壁部11側がウエーハ1を研磨加工する研磨加工エリア12とされ、この反対側が研磨加工エリア12に加工前のウエーハ供給し、かつ、加工後のウエーハ1を回収する着脱エリア13とされている。
以下、研磨加工エリア12と着脱エリア13について説明する。
図3に示すように、研磨加工エリア12には矩形状のピット14が形成されている。このピット14内には、テーブルベース16を介して円盤状のチャックテーブル(研磨用保持手段、洗浄用保持手段)19がY方向に移動自在に設けられている。テーブルベース16はピット14内に配されたY方向に延びるガイドレールに摺動自在に設けられており、適宜な駆動機構(いずれも図示省略)によって同方向を往復移動させられる。
図3に示すように、着脱エリア13の中央には多角形状のピット20が形成されており、このピット20の底部には、上下移動する2節リンク式の搬送ロボット23が設置されている。そしてこの搬送ロボット23の周囲には、上から見た状態で反時計回りに、供給カセット24a、位置決めテーブル25、旋回アーム式の供給アーム26、供給アーム26と同じ構造の回収アーム27、スピンナ式洗浄装置28、回収カセット24bが、それぞれ配置されている。
次に、上記研磨装置9の一連の動作を説明する。
搬送ロボット23によって供給カセット24aから1枚のウエーハ1が引き出され、そのウエーハ1は、裏面側を上に向けた状態で位置決めテーブル25上に載置され、ここで一定の位置に決められる。
上記実施形態は、研磨加工用のチャックテーブル19と、このチャックテーブル19に近接する側面洗浄ノズル15との組み合わせによってウエーハ側面洗浄ユニットを構成した例であるが、本発明では、上記スピンナ式洗浄装置28を利用してもう1つのウエーハ洗浄ユニットを付加し、該ユニットによってウエーハ1の側端部を再度洗浄するように構成することができる。以下は、その構成例である。
2…保護テープ
4…半導体チップ(デバイス)
9…研磨装置
15,29…側面洗浄ノズル(洗浄水供給ノズル)
19…チャックテーブル(研磨用保持手段、洗浄用保持手段)
19a…チャックテーブル上面(保持面)
28…スピンナ式洗浄装置
30…スピンナテーブル(洗浄用保持手段)
30a…スピンナテーブル上面(保持面)
40…スピンドルユニット(研磨手段)
W…洗浄水
Claims (6)
- 表面にデバイスが形成され、該表面に保護テープが貼着されたウエーハを、裏面が露出する状態で保持する保持面を有する研磨用保持手段と、
該保持手段に保持された前記ウエーハの裏面を研磨する研磨手段とを備えた研磨装置において、
前記研磨手段によって裏面が研磨されたウエーハを回転可能に保持する洗浄用保持手段と、該洗浄用保持手段によって保持されたウエーハの側面に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルとからなるウエーハ側面洗浄ユニットを具備することを特徴とするウエーハの研磨装置。 - 前記研磨用保持手段が前記洗浄用保持手段を兼用し、該研磨用保持手段の近傍に前記洗浄水供給ノズルが配設されていることを特徴とする請求項1に記載のウエーハの研磨装置。
- 前記洗浄用保持手段を前記研磨用保持手段と別個に保有し、該洗浄用保持手段の近傍に前記洗浄水供給ノズルが配設されていることを特徴とする請求項2に記載のウエーハの研磨装置。
- 前記洗浄用保持手段は、下方に向かうに従って縮径する円錐状部材の上面に前記保持面が略水平に形成されてなるものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のウエーハの研磨装置。
- 前記研磨手段が乾式であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のウエーハの研磨装置
- 裏面研磨後のウエーハの厚さが100μm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のウエーハの研磨装置。
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