CN107639530B - 磨削装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种磨削装置，即使在很难将磨削水从保持工作台的保持面输送给旋转接头的情况下，也能高效地将磨削水输送给旋转接头。磨削装置的保持单元包含：保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持部和在该保持部的外侧对磨削水进行吸引的磨削水吸引部；旋转轴，其一端固定在保持工作台的底面侧的中央；筒状的旋转接头，其围绕该旋转轴；以及电动机，其使该旋转轴进行旋转。旋转轴具有与保持工作台的保持部连通的第1吸引路和与磨削水吸引部连通的第2吸引路。旋转接头具有使第1吸引路和第2吸引路至少与吸引源连通的连通路。

Description

磨削装置
技术领域
本发明涉及磨削装置，其一边对保持单元所保持的被加工物提供磨削水，一边对被加工物进行磨削。
背景技术
关于半导体晶片等板状的被加工物，在被磨削装置(例如，参照专利文献1参照)磨削而形成为规定的厚度之后，通过切削装置等进行分割而成为各个器件芯片，器件芯片被利用在各种电子设备等中。磨削装置具有对被加工物进行吸引保持的保持工作台，保持工作台的底面侧与旋转轴的一端连接。
保持工作台的保持面例如经由形成于旋转轴的内部的吸引流路而与由真空产生装置等构成的吸引源连通，吸引源所产生的吸引力经由吸引流路传递到保持面，从而保持工作台能够将被加工物吸引保持在保持面上。并且，在保持工作台与吸引源之间配设有旋转接头(例如，参照专利文献2)，旋转接头起到了将吸引源所产生的吸引力无遗漏地传递到旋转轴的吸引流路的作用。
专利文献1：日本特开2001-287141号公报
专利文献2：日本特开2004-019912号公报
上述专利文献2所记载的旋转接头具有围绕固定在保持工作台上的旋转轴的外壳，使形成于外壳的流路与形成于旋转轴的吸引流路连通，即使在旋转轴进行旋转的过程中也能够使保持工作台的保持面与吸引源连通。
旋转接头既能防止流体从流路内泄漏，又不会妨碍旋转轴的旋转运动。如果使旋转接头的外壳的内周面与旋转轴的外周面完全紧贴，则虽然能够防止流体泄漏，但会因接触面的摩擦力阻碍旋转轴的旋转。因此，在旋转接头的内部配设有防止流体泄漏的机械密封件。机械密封件例如具有：旋转密封环，其能够借助弹簧等在旋转轴的轴向上运动并且与旋转轴一起进行旋转；以及固定密封环，其无法在轴向上运动且无法旋转。并且，通过弹簧的力将旋转密封环按压在固定密封环上，旋转密封环的与旋转轴垂直的滑动面和固定密封环的与旋转轴垂直的滑动面互相接触，通过使旋转密封环与固定密封环相对旋转，既能够在外壳与旋转轴之间设置出微米单位的间隙以使旋转轴的旋转不会被外壳妨碍，又能够将来自流路内的流体泄漏控制到最小限度。并且，向外壳与旋转轴之间的微米单位的间隙(所谓密封空间)提供水，利用该水将密封空间内充满，从而能够提高对于在旋转接头内通过的流体(例如，空气)的密封性，并且能够使机械密封件上的密封面冷却。
这里，在磨削装置中，在磨削加工中利用保持工作台对被加工物进行吸引保持，例如一边从保持工作台的保持面与被加工物的被保持面之间的微小的间隙或被加工物的外周缘与保持面之间的间隙对磨削水进行吸引，一边进行磨削。即，从保持工作台的保持面对经由磨削单元等提供到保持工作台所保持的被加工物上的磨削水进行吸引，一边将吸引得到的磨削水输送给旋转接头，一边进行磨削。通过将磨削水输送给旋转接头，防止因旋转轴的旋转而经由机械密封件产生的摩擦热对旋转接头造成的不良情况，并且，用水将旋转接头的密封空间内充满而提高了密封性。
然而，根据磨削加工的方式，也存在无法在磨削加工中将磨削水输送给旋转接头的情况。例如，在被加工物的与被加工面相反的一侧的面上粘贴保护带，该保护带的外周部被粘贴在环状框架上，由此，在处于被加工物被环状框架支承的状态的情况下，保持工作台的保持面被保护带全部覆盖，因此无法从保持面对磨削水进行吸引，无法将磨削水输送给旋转接头。并且，即使在加强吸引源的吸引力而将被加工物强力地吸引保持在保持工作台的保持面上的情况下，也无法从保持面吸引磨削水，无法将磨削水输送给旋转接头。因此，存在如下情况：旋转接头的密封空间内的水因由旋转轴旋转产生的摩擦热而气化，旋转接头内部变得干燥。其结果是，存在摩擦热进一步变大而使旋转接头破损的情况。
磨削水向旋转接头的输送也能够在将磨削加工完的被加工物从保持工作台搬出时进行。即，在将被加工物从保持工作台搬出时，从空气提供源对保持工作台的保持面提供空气，通过空气的喷射压力将被加工物从保持面推起而对被加工物解除保持工作台所进行的吸引保持。因此，在被加工物从保持面脱离之后，能够将水输送给旋转接头。然而，由于在对蓝宝石基板或SiC基板那样较硬的被加工物进行磨削的情况下，在磨削中花费较长的时间，所以保持工作台所进行的被加工物的吸引保持也比通常的情况进行更长的时间。因此，在解除保持工作台对被加工物的吸引保持时所输送的水会在一张被加工物的磨削加工结束时蒸发掉，存在因由旋转轴旋转而产生的摩擦热而使旋转接头破损的情况。
因此，在磨削装置中，存在如下课题：即使在很难将磨削水从保持工作台的保持面输送给旋转接头的情况下，也能通过将磨削水高效地输送给旋转接头而不产生摩擦热所引起的旋转接头的破损。
发明内容
本发明的目的在于提供一种磨削装置，即使在很难将磨削水从保持工作台的保持面输送给旋转接头的情况下，也能高效地将磨削水输送给旋转接头。
根据本发明，提供磨削装置，其具有：保持单元，其对被加工物进行保持；以及磨削单元，其一边对该保持单元所保持的被加工物提供磨削水一边利用磨削磨具进行磨削，其中，该保持单元包含：保持工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保持部和在该保持部的外侧对磨削水进行吸引的磨削水吸引部；旋转轴，其一端固定在该保持工作台的底面侧的中央；筒状的旋转接头，其围绕该旋转轴；以及旋转单元，其使该旋转轴进行旋转，该旋转轴具有与该保持工作台的该保持部连通的第1吸引路和与该磨削水吸引部连通的第2吸引路，该旋转接头具有使该第1吸引路和该第2吸引路至少与吸引源连通的连通路，该磨削装置使流入该第2吸引路中的磨削水介于该旋转轴与该旋转接头之间。
根据本发明的磨削装置，即使在保持工作台的保持面被保护带等覆盖而很难将磨削水从保持面输送给旋转接头的情况下，通过使流入第2吸引路中的磨削水介于旋转轴与旋转接头之间，能够降低在磨削加工中产生的摩擦热而防止在旋转接头中产生破损。并且，由于输送到旋转接头内部的水是磨削水，所以不需要在磨削装置中设置用于提供防止旋转接头破损用的水的另外的水源等，经济性好。
附图说明
图1是示出磨削装置的一例的立体图。
图2是示出磨削单元和保持单元的构造的一例的纵剖视图。
图3是示出具有对由环状框架支承的被加工物进行吸引保持的保持工作台的保持单元的一例的纵剖视图。
标号说明
1：磨削装置；10：基座；11：柱；3：保持单元；30：保持工作台；300：保持部；300a：保持面；301：框体；301a：框体的上表面中的低一层的上表面；301c：吸引路；301d：通水路；301e：吸引口；303：磨削水吸引部；31：旋转轴；311：第1吸引路；312：第2吸引路；33：旋转接头；330：轴承；331、332：连通路；333、334：环状槽；331a、332a：配管；35：旋转单元；350：驱动轴；351：电动机；352：驱动带轮；353：驱动带；354：从动带轮；36：机械密封件；39：盖；5：磨削进给单元；50：滚珠丝杠；51：导轨；52：电动机；53：升降板；54：保持架；60：三通电磁阀；61：吸引源；62：空气提供源；7：磨削单元；70：旋转轴；70a、70b：流路；71：外壳；72：电动机；73：安装座；74：磨削磨轮；740：磨削磨具；741：磨轮基台；8：磨削水提供单元；80：磨削水提供源；81：配管；W：被加工物；Wa：被加工物的正面；Wb：被加工物的背面；T1：保护带；A：装拆区域；B：磨削区域；W1：被加工物；T2：保护带；F：环状框架；30A：保持工作台；307：框体；307b：框体的基部；307c：平板部；307d：环状保持部；307e：环状的外壁部；307f：环状凹陷部。
具体实施方式
图1所示的磨削装置1是通过磨削单元7对保持在保持单元3的保持工作台30上的被加工物W进行磨削的装置。磨削装置1的基座10上的前方(－Y方向侧)是相对于保持单元3进行被加工物W的装拆的区域即装拆区域A，基座10上的后方(+Y方向侧)是通过磨削单元7进行保持在保持单元3上的被加工物W的磨削的区域即磨削区域B。
在磨削区域B中竖立设置有柱11，在柱11的－Y方向侧的侧面上配设有磨削进给单元5，该磨削进给单元5对磨削单元7在相对于保持单元3离开或接近的上下方向上进行磨削进给。磨削进给单元5具有：滚珠丝杠50，其具有铅直方向(Z轴方向)的轴心；一对导轨51，它们与滚珠丝杠50平行配设；电动机52，其与滚珠丝杠50的上端连结而使滚珠丝杠50转动；升降板53，其内部的螺母与滚珠丝杠50螺合且侧部与导轨51滑动接触；以及保持架54，其与升降板53连结并对磨削单元7进行保持，当电动机52使滚珠丝杠50转动时，与此相伴地升降板53被导轨51引导而在Z轴方向上往复移动，保持在保持架54上的磨削单元7在Z轴方向上被磨削进给。
磨削单元7对保持在保持单元3上的被加工物W进行磨削加工，该磨削单元7具有：旋转轴70，其轴向为铅直方向(Z轴方向)；外壳71，其将旋转轴70支承为能够旋转；电动机72，其对旋转轴70进行旋转驱动；圆环状的安装座73，其与旋转轴70的下端连接；以及磨削磨轮74，其以能够装拆的方式与安装座73的下表面连接。
磨削磨轮74具有：磨轮基台741；以及大致长方体形状的多个磨削磨具740，它们呈环状配设在磨轮基台741的底面上。磨削磨具740例如由树脂结合剂或金属结合剂等将金刚石磨粒等固定粘结而成形。另外，磨削磨具740的形状也可以一体地形成为环状。
如图2所示，在旋转轴70的内部在旋转轴70的轴向(Z轴方向)上贯通而形成有作为磨削水的通道的流路70a，流路70a进一步穿过安装座73而与形成于磨轮基台741的流路70b连通。流路70b在磨轮基台741的内部在与旋转轴70的轴向垂直的方向上沿磨轮基台741的周向按照一定的间隔配设，在磨轮基台741的底面上开口以便能够朝向磨削磨具740喷出磨削水。
磨削单元7与向磨削单元7提供磨削水的磨削水提供单元8连接。磨削水提供单元8例如由磨削水提供源80和配管81构成，其中，该磨削水提供源80由作为水源的泵等构成，该配管81与磨削水提供源80连接且与旋转轴70内部的流路70a连通。另外，磨削水提供单元8也可以由从外部对磨削磨具740与被加工物W的接触部位喷射磨削水的喷嘴等构成。
如图2所示，保持单元3配设在磨削装置1的基座10上并对被加工物W进行保持，该保持单元3至少具有：保持工作台30，其对被加工物W进行吸引保持；旋转轴31，其一端固定在保持工作台30的底面侧的中央；筒状的旋转接头33，其围绕旋转轴31；以及旋转单元35，其使旋转轴31进行旋转。保持工作台30例如其外形为圆形，具有：保持部300，其由多孔部件等构成，对被加工物W进行吸引保持；以及框体301，其对保持部300进行支承。保持部300的作为露出面的保持面300a例如形成为以保持工作台30的中心为顶点的圆锥面。保持部300与图2所示的吸引源61连通，由吸引源61进行吸引而产生的吸引力被传递到保持面300a，由此，保持工作台30将被加工物W吸引保持在保持面300a上。并且，保持工作台30被图1所示的盖39从周围环绕且能够旋转，通过配设在盖39下方的未图示的Y轴方向进给单元使该保持工作台30能够在基座10上沿Y轴方向往复移动。
例如，在保持工作台30的框体301的中央部形成有沿厚度方向(Z轴方向)贯通的以虚线示出的吸引路301c，吸引路301c的上端与保持部300连通。并且，在框体301的内部沿周向按照一定的间隔形成有多个供磨削水通过的通水路301d。在框体301的上表面例如形成有1层环状的阶差，各通水路301d的一端与吸引口301e连通，该吸引口301e在保持工作台30的上表面中的位于靠外周侧的低一层的上表面301a上开口。吸引口301e例如在低一层的上表面301a上沿周向按照一定的间隔形成于多个(例如按照90度间隔为4个部位，在图2中仅图示了两个部位)部位。在各吸引口301e上分别配设有在保持部300的外侧对磨削水进行吸引的磨削水吸引部303。各磨削水吸引部303例如由陶瓷等多孔部件或海绵部件等形成为圆板状，以覆盖各吸引口301e的方式通过适当的粘接剂等固定在低一层的上表面301a上。另外，吸引路301c、吸引口301e和磨削水吸引部303的个数并不限定于本实施方式中的个数，也可以是各1个，并且，吸引口301e也可以在低一层的上表面301a上呈环状形成。
在保持工作台30的底面侧的中央，固定有轴向为铅直方向(Z轴方向)并形成为圆柱状的旋转轴31的上端。使旋转轴31进行旋转的旋转单元35例如为旋转带轮机构，具有：驱动轴350，其轴向为铅直方向；电动机351，其安装在驱动轴350的下端侧，对驱动轴350进行旋转驱动；驱动带轮352，其安装在驱动轴350的上端；环状的驱动带353，其卷绕在驱动带轮352上；以及从动带轮354，其安装在旋转轴31的上端侧的外周面上。驱动带353也卷绕在从动带轮354上，通过电动机351来使驱动轴350进行旋转驱动，从动带轮354也随之进行旋转。并且，通过从动带轮354进行旋转而产生的旋转力来使旋转轴31进行旋转。另外，旋转单元35的结构并不限定于本实施方式，也可以通过在旋转轴31的下端安装电动机而构成旋转单元35。
旋转轴31具有与保持工作台30的保持部300连通的第1吸引路311和与磨削水吸引部303连通的第2吸引路312。以虚线示出的第1吸引路311朝向旋转轴31的轴向延伸，其上端侧与框体301的吸引路301c连通。并且，第1吸引路311的下端侧在旋转轴31的内部朝向径向外侧弯曲并在旋转轴31的外周面开口。第2吸引路312例如在旋转轴31的内部形成为多条，各第2吸引路312的上端侧分别与形成于框体301的内部的各通水路301d连通。并且，各第2吸引路312的下端侧在旋转轴31的内部朝向径向外侧弯曲并分别在旋转轴31的外周面上开口。
旋转轴31借助轴承330贯穿插入在外形为筒状的旋转接头33中，从旋转轴31的下端侧一直到中间部被旋转接头33围绕。在旋转接头33的筒内周面与旋转轴31的外周面之间形成有微小的间隙V。在旋转接头33中，从旋转接头33的外周面朝向内周面形成有用于使流体在旋转轴31的内部流通的连通路331和连通路332。连通路331的一端经由配管331a与三通电磁阀60连接，并且，连通路332的一端经由配管332a与三通电磁阀60连接。三通电磁阀60与吸引源61和空气提供源62连接，其中，该吸引源61由真空产生装置和压缩机等构成并产生吸引力，该空气提供源62将空气提供给旋转接头33。
在旋转接头33的内周面上按照分别绕筒内周面一周的方式形成有环状槽333和环状槽334，环状槽333与连通路331连通，环状槽334与连通路332连通。并且，环状槽333经由间隙V与在旋转轴31的外周面开口的第1吸引路311的下端连通，环状槽334经由间隙V与在旋转轴31的外周面开口的第2吸引路312的下端连通。
如图2所示，在旋转接头33的内周面与旋转轴31的外周面之间的间隙V中沿着旋转轴31配设有多个(在图2所示的例中为3个)机械密封件36。机械密封件36例如由旋转密封环和固定密封环等构成，其中，该旋转密封环能够通过弹簧等在旋转轴31的轴向上运动且与旋转轴31一起进行旋转，该固定密封环无法在轴向上运动且无法旋转。机械密封件36在旋转轴31进行旋转的过程中例如起到如下作用：在通过使吸引源61进行吸引而产生的吸引力通过由第1吸引路311、间隙V和环状槽333构成的吸引力的移动路径时，将吸引力的遗漏抑制为最小限度。
以下，使用图1、2对在磨削装置1中一边向保持在保持单元3上的被加工物W提供磨削水一边利用磨削磨具740进行磨削的情况下的磨削装置1的动作进行说明。
图1所示的被加工物W例如是由SiC或蓝宝石那样的硬质材料形成的外形为圆形板状的晶片，被加工物W的背面Wb成为实施磨削加工的被磨削面。被加工物W的正面Wa通过粘贴保护带T1来进行保护。
在被加工物W的磨削中，首先，在图1所示的装拆区域A内，将加工物W的保护带T1侧朝下载置在保持面300a上以使保持工作台30的中心与被加工物W的中心大致一致。并且，由图2所示的吸引源61产生的吸引力通过配管331a、连通路331、环状槽333、第1吸引路311和吸引路301c传递到保持面300a，由此，保持工作台30将被加工物W吸引保持在保持面300a上。如图2所示，保持工作台30的保持面300a整个面成为被粘贴在被加工物W上的保护带T1覆盖的状态。
接着，保持着被加工物W的保持工作台30从装拆区域A朝向+Y方向移动到磨削区域B内的磨削单元7的下方，进行磨削单元7所具有的磨削磨轮74与被加工物W的对位。对位例如如图2所示是通过以下方式进行的：使磨削磨轮74的旋转中心相对于保持工作台30的旋转中心按照规定的距离在+X方向上偏移，使磨削磨具740的旋转轨迹通过保持工作台30的旋转中心。
在进行了磨削单元7所具有的磨削磨轮74与被加工物W的对位之后，随着旋转轴70进行旋转驱动而使磨削磨轮74进行旋转。并且，磨削单元7通过磨削进给单元5(在图2中未图示)朝向－Z方向进给，通过使旋转的磨削磨轮74的磨削磨具740与被加工物W的背面Wb抵接而进行磨削加工。在磨削中，旋转单元35使旋转轴31进行旋转而使保持工作台30进行旋转，与此相伴地保持面300a上所保持的被加工物W也进行旋转，因此磨削磨具740对被加工物W的背面Wb的整个面进行磨削加工。即使在吸引源61所产生的吸引力从旋转接头33传递到旋转轴31时，由于通过机械密封件36来防止遗漏，所以保持面300a的吸引力在磨削加工中也不会降低。并且，磨削水提供单元8通过旋转轴70中的流路70a对磨削磨具740与被加工物W的接触部位提供磨削水，所以对磨削磨具740与被加工物W的背面Wb的接触部位进行冷却/清洗。
从磨削单元7喷射的磨削水对磨削磨具740与被加工物W的背面Wb的接触部位进行冷却并且将从被加工物W产生的磨削屑去除，该磨削水与磨削屑一起从被加工物W的背面Wb上朝向径向外侧流动，向保持工作台30的上表面中的位于靠外周侧的低一层的上表面301a流下。这里，由图2所示的吸引源61产生的吸引力通过配管332a、连通路332、环状槽334、第2吸引路312、通水路301d和吸引口301e也传递到磨削水吸引部303。因此，向上表面301a流下的磨削水的一部分被磨削水吸引部303吸引。
由于磨削水吸引部303由多孔部件形成，所以包含在磨削水中的磨削屑不会通过磨削水吸引部303而是在磨削水吸引部303上作为过滤物被阻挡积存。由磨削水吸引部303吸引并过滤后的磨削水通过吸引口301e、通水路301d和第2吸引路312而到达旋转轴31与旋转接头33的间隙V和环状槽334。
这样，在本发明的磨削装置1中，即使在保持工作台30的保持面300a被保护带T1覆盖而很难将磨削水从保持面300a输送给旋转接头33的情况下，也能够在磨削加工中将磨削水输送给第2吸引路312而使磨削水介于旋转轴31与旋转接头33之间。该磨削水通过降低由旋转的旋转轴31和机械密封件36产生的摩擦热，来防止旋转接头33的不良情况的产生，并且，提高机械密封件36的密封性。并且，由于输送到旋转接头33内部的水是磨削水，所以也不需要在磨削装置1中设置用于提供防止旋转接头33破损用的水的另外的水源等，经济性好。
在按照规定的磨削量对一张被加工物W进行磨削而完成了一张被加工物W的磨削之后，通过图1所示的磨削进给单元5使磨削单元7朝向+Z方向移动而从磨削加工完的被加工物W离开。
通过未图示的Y轴方向进给单元使保持工作台30在－Y方向上移动而返回到装拆区域A的原来的位置。并且，停止保持工作台30的旋转，将吸引保持在保持工作台30上的实施了磨削加工的被加工物W从保持工作台30搬出。即，停止吸引源61所进行的吸引而解除保持工作台30对被加工物W的吸引保持。进而，通过图2所示的三通电磁阀60对流路进行切换以使配管331a和配管332a与空气提供源62连通，从空气提供源62对配管331a和配管332a提供空气。提供给配管331a的空气通过连通路331、环状槽333、第1吸引路311和吸引路301c从保持面300a朝向上方喷出。能够通过该空气的喷射压力将被加工物W从保持面300a推起，将残存在保持面300a与被加工物W之间的真空吸附力排除，使被加工物W从保持工作台30可靠地脱离。
提供给配管332a的空气通过连通路332、环状槽334、第2吸引路312和通水路301d从磨削水吸引部303喷出。利用该空气的喷射压力将附着于磨削水吸引部303的磨削屑从磨削水吸引部303去除，由此，例如在对一张被加工物W进行磨削而接着对新的一张被加工物W进行磨削时，也能够从磨削水吸引部303对磨削水进行吸引。
在将被加工物W从保持工作台30搬出之后，将磨削加工前的另外的新的一张被加工物W保持在保持工作台30上而与上述同样地实施磨削加工。
另外，本发明的磨削装置1并不限定于上述实施方式，并且，附图中图示的磨削装置1的各结构的大小或形状等也并不限定于此，能够在可以发挥本发明的效果的范围内进行适当变更。
例如，磨削装置1也可以具有图3所示的保持单元3A。在保持单元3A中将图2所示的保持单元3的结构的一部分即保持工作台30变更为保持工作台30A，除了保持工作台30与保持工作台30A的结构不同之外，保持单元3和保持单元3A同样地构成。保持工作台30A能够对被环状框架F支承的状态下的被加工物W进行吸引保持。
图3所示的被加工物W1例如是外形为圆形的半导体晶片，在被加工物W1的正面W1a上粘贴有直径比被加工物W1大的保护带T2。并且，由于保护带T2的外周部粘贴在环状框架F上，所以被加工物W1成为借助保护带T2支承在环状框架F上的状态。并且，朝向上侧的背面W1b成为实施磨削加工的被磨削面。
保持工作台30A例如其外形为圆形，具有由多孔部件等构成的对被加工物W进行吸引保持的保持部300和对保持部300进行支承的框体307。保持工作台30A的保持面300a例如形成为以保持工作台30A的中心为顶点的圆锥面。保持部300与图3所示的吸引源61连通。
框体307例如具有从框体307的基部307b沿径向(与旋转轴31的轴向在水平方向上垂直的方向)向外延伸的平板部307c。在平板部307c上的靠基部307b侧的位置按照沿+Z方向突出的方式形成有环状保持部307d，在比环状保持部307d靠外周侧的位置按照沿+Z方向突出的方式形成有环状的外壁部307e。并且，在框体307上形成有被环状保持部307d和外壁部307e围绕的环状凹陷部307f。另外，在环状凹陷部307f上形成有未图示的排水口。
例如，在基部307b的中央部形成有沿厚度方向(Z轴方向)贯通的以虚线示出的吸引路307g，吸引路307g的上端与保持部300连通，下端与旋转轴31内的第1吸引路311连通。
在框体307的内部形成有多条从基部307b向环状保持部307d延伸而供磨削水通过的通水路307h。环状保持部307d的上表面成为对支承被加工物W1的环状框架F进行吸引保持的环状的保持面307i。通水路307h的上端在环状保持面307i上开口。通水路307h的开口例如在环状的保持面307i上沿周向按照一定的间隔形成于多个(例如按照90度间隔为4个部位，在图3中仅图示了两个部位)部位。通水路307h的下端与旋转轴31内的第2吸引路312连通。另外，也可以在环状保持部307d的保持面307i上形成环状槽而使该环状槽与通水路307h的上端连通。
在环状凹陷部307f的底面或内侧侧面上，分别配设有在保持部300的外侧对磨削水进行吸引的磨削水吸引部303。各磨削水吸引部303对吸引口307j和吸引口307k进行覆盖而通过适当的粘接剂等进行固定，其中，该吸引口307j形成于环状凹陷部307f的底面且与通水路307h连通，该吸引口307k形成于环状凹陷部307f的内侧侧面且与通水路307h连通。另外，吸引口307j和吸引口307k至少具有任意一方即可，配设在框体307上的个数可以是1个也可以是多个。并且，与吸引口307j或吸引口307k的个数相伴地，磨削水吸引部303的个数也可适当变更。
以下，使用图1、3对在磨削装置1中一边对保持在保持单元3A上的被加工物W1提供磨削水一边利用磨削磨具740进行磨削的情况下的磨削装置1的动作进行说明。
在被加工物W1的磨削中，首先，将被加工物W1的保护带T2侧朝下载置在保持面300a上，并且，支承着被加工物W1的环状框架F成为隔着保护带T2而保持在环状保持面307i上的状态。并且，由图3所示的吸引源61产生的吸引力通过配管331a、连通路331、环状槽333、第1吸引路311和吸引路307g传递到保持面300a，保持工作台30将被加工物W1吸引保持在保持面300a上。并且，由吸引源61产生的吸引力通过配管332a、连通路332、环状槽334、第2吸引路312和通水路307h传递到环状保持面307i，由此，环状框架F被吸引保持在环状保持面307i上。并且，如图3所示，保持工作台30A的保持面300a整个面成为被粘贴于被加工物W1的保护带T2覆盖的状态。
接着，保持着被加工物W的保持工作台30A朝向+Y方向移动到磨削单元7的下方而进行磨削单元7所具有的磨削磨轮74与被加工物W1的对位。并且，旋转的磨削磨轮74朝向－Z方向下降而使磨削磨具740与被加工物W1的背面W1b抵接从而进行磨削加工。进而，在磨削中，旋转单元35使旋转轴31进行旋转而使保持工作台30A进行旋转，与此相伴地保持面300a上所保持的被加工物W1也进行旋转，因此磨削磨具740对被加工物W1的背面W1b的整个面进行磨削加工。并且，磨削水提供单元8对磨削磨具740与被加工物W1的接触部位提供磨削水而对磨削磨具740与被加工物W1的背面W1b的接触部位进行冷却/清洗。
从磨削单元7喷射的磨削水与从被加工物W1产生的磨削屑一起从被加工物W1的背面W1b上朝向径向外侧流动，向环状凹陷部307f流下。这里，由图3所示的吸引源61产生的吸引力在通水路307h分支而通过吸引口307j(吸引口307k)也传递到磨削水吸引部303。因此，向环状凹陷部307f流下的磨削水的一部分被磨削水吸引部303吸引。未被磨削水吸引部303吸引的磨削水从未图示的排水口排出到外部。
包含在磨削水中的磨削屑在磨削水吸引部303上作为过滤物被阻挡积存。由磨削水吸引部303吸引并过滤后的磨削水通过吸引口307j(吸引口307k)、通水路307h和第2吸引路312而到达旋转轴31与旋转接头33的间隙V和环状槽334。
这样，在本发明的磨削装置1中，即使在保持工作台30A的保持面300a被保护带T2覆盖而很难将磨削水从保持面300a输送给旋转接头33的情况下，也能够在磨削加工中将磨削水输送给第2吸引路312，使磨削水介于旋转轴31与旋转接头33之间。并且该磨削水通过降低由旋转的旋转轴31和机械密封件36产生的摩擦热，来防止旋转接头33的不良情况的产生，并且，提高旋转接头33的密封性。并且，由于输送到旋转接头33内部的水是磨削水，所以不需要在磨削装置1中设置用于提供防止旋转接头33因摩擦热破损用的水的另外的水源等，经济性好。

Claims (1)

1.一种磨削装置，其具有：保持单元，其对被加工物进行保持；以及磨削单元，其一边对该保持单元所保持的被加工物提供磨削水一边利用磨削磨具进行磨削，其中，
该保持单元包含：
保持工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面、位于该保持面的外侧并供被提供给被加工物的磨削水流下并积存的环状凹陷部和由多孔部件构成并从该环状凹陷部对去除了磨削屑的磨削水进行吸引的磨削水吸引部；
旋转轴，其一端固定在该保持工作台的底面侧的中央；
筒状的旋转接头，其围绕该旋转轴；以及
旋转单元，其使该旋转轴进行旋转，
该旋转轴具有与该保持工作台的该保持部连通的第1吸引路和与该磨削水吸引部连通的第2吸引路，
该旋转接头具有使该第1吸引路和该第2吸引路至少与吸引源连通的连通路，
在连结该连通路和该吸引源的配管上具有与该吸引源或空气提供源能够选择性连通的三通电磁阀，
该磨削装置通过对该三通电磁阀进行切换控制，能够选择性地进行如下处理：使该空气提供源送出的空气从该磨削水吸引部喷出而去除附着于该磨削水吸引部的磨削屑；以及由该磨削水吸引部对被提供给被加工物且流下到该环状凹陷部的包含磨削屑的磨削水去除磨削屑后进行吸引而使流入该第2吸引路中的磨削水介于该旋转轴与该旋转接头之间。
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