KR102223587B1

KR102223587B1 - 플랜지 기구

Info

Publication number: KR102223587B1
Application number: KR1020170148507A
Authority: KR
Inventors: 슈지 닛타; 노부히코 와키타
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2016-11-11
Filing date: 2017-11-09
Publication date: 2021-03-04
Also published as: JP2018075688A; JP6769680B2; KR20180053247A; CN108074859A; TWI724247B; CN108074859B; TW201820448A

Abstract

(과제) 절삭 부스러기의 흡인과, 이른바 스커핑 현상의 발생을 억제한다.
(해결 수단) 중앙에 장착공을 갖는 원반상의 기대와, 그 기대의 외주 가장자리에 형성된 절삭날을 갖는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 전방측의 외주면에 갖는 보스부와, 그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, 그 절삭 블레이드의 그 기대를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와, 그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고, 그 기대의 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 보스부를 그 기대의 그 장착공에 삽입하고, 기대의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지한다.

Description

플랜지 기구{FLANGE MECHANISM}

본 발명은, 회전하는 절삭 블레이드에 의해 피가공물을 절삭 가공하는 절삭 장치에 있어서, 절삭 블레이드를 지지하는 플랜지 기구에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼나 패키지 기판, 세라믹스 기판, 유리 기판 등을 절삭 블레이드로 정밀하게 절삭 가공하는 절삭 장치가 알려져 있다. 그 절삭 장치에서는, 절삭 블레이드를 플랜지 기구로 지지하여 스핀들에 고정시키고 있다.

절삭 장치에 장착되는 절삭 블레이드에는 복수의 종류가 존재한다. 그 중에서도, 예를 들어, 환상 기대 (基臺) 의 외주에 절삭날이 부착된 허브 블레이드라고 불리는 종류의 절삭 블레이드는 작업성이 좋아 널리 사용되고 있다. 특허문헌 1 에는, 그와 같은 허브 블레이드를 플랜지 기구로 고정시켜 절삭 장치에 장착하여 사용하는 기술이 개시되어 있다.

절삭 블레이드의 환상 기대의 내주면은, 그 절삭 블레이드를 플랜지 기구로 고정시킬 때에 그 플랜지 기구의 보스부를 꿰뚫기 위한 장착공이 된다. 환상 기대의 장착공 (내주면) 의 직경은, 절삭 블레이드의 플랜지 기구로의 착탈이 가능해지도록, 장착공에 꿰뚫어지는 그 플랜지 기구의 보스부의 외경보다 약간 크게 되도록 제조되고 있다.

절삭 블레이드를 플랜지 기구에 고정시킬 때에는, 절삭 블레이드의 장착공의 내주면과 보스부의 외주면을 평행하게 하면서 그 장착공에 그 보스부를 꿰뚫는다. 그러나, 그 장착공에 그 보스부를 꿰뚫고 있는 동안에 절삭 블레이드가 기울면, 이른바 스커핑 현상이 발생하여, 환상 기대의 내주면이나 보스부가 손상되어 요철이 발생하고, 추가로 스커핑 현상을 유발하는 경우가 있다. 이와 같은 스커핑 현상이 일어나지 않도록, 절삭 블레이드를 기울이지 않고 장착공에 보스부를 꿰뚫을 수 있는지의 여부는, 작업자의 기량에 의존하는 바가 크다.

그래서, 사람의 손을 거치지 않고 절삭 블레이드를 착탈하는 장치가 특허문헌 3 에 개시되어 있다. 소정의 절삭 블레이드를 선택하여 플랜지 기구에 고정시키기 위해, 그 장치는 절삭 블레이드의 종류를 판별하는 기능을 구비한다. 예를 들어, 절삭 블레이드의 기대의 측면에 식별 코드 (바코드 등) 를 형성해 두고, 그 장치가 그 식별 코드를 판독함으로써 그 장치는 그 절삭 블레이드에 관한 정보를 얻는다.

절삭 블레이드를 플랜지 기구에 고정시키려면, 플랜지 기구의 보스부를 절삭 블레이드의 장착공에 꿰뚫어 절삭 블레이드를 소정의 위치에 배치한 후, 이어서 너트 등을 보스부에 나선 결합한다. 그런데, 절삭 블레이드는 소모품이므로 소정의 기간마다 교환할 필요가 있고, 또 피가공물의 변경에 수반하여 절삭 블레이드도 적절한 것으로 교환할 필요가 있다. 그 때문에, 절삭 블레이드를 착탈할 기회는 많다. 절삭 블레이드를 착탈하려면, 그 너트를 풀거나 조이거나 할 필요가 있으므로, 절삭 블레이드의 착탈의 기회가 많으면 절삭 장치의 가동 시간이 적어진다.

그래서, 너트 등을 보스부에 나선 결합하여 절삭 블레이드를 고정시키는 대신에, 절삭 블레이드를 수용하는 플랜지 기구를 개량하여, 진공 흡인에 의해 절삭 블레이드를 유지하는 기술이 특허문헌 2 에 개시되어 있다. 진공 흡인에 의해 절삭 블레이드를 유지하는 방법에서는, 절삭 블레이드의 착탈시에 너트 등을 사용할 필요가 없기 때문에, 절삭 블레이드의 착탈이 용이하다. 그리고, 진공 흡인에 의해 절삭 블레이드를 유지하는 방법에 의하면 절삭 블레이드의 교환에 요하는 시간을 단축시킬 수 있기 때문에, 절삭 장치의 가동 시간을 늘릴 수 있다.

일본 공개특허공보 2000-190155호 일본 공개특허공보 2002-154054호 일본 공개특허공보 2011-79098호

그러나, 절삭 블레이드를 진공 흡인에 의해 플랜지 기구에 유지시키는 경우, 절삭 블레이드를 플랜지 기구에 부착하고 나서 떼어낼 때까지의 동안, 항상 진공 펌프 등을 가동시켜, 절삭 블레이드를 계속 흡인시켜야 한다. 그 때문에, 그 절삭 블레이드에 의한 절삭을 실시하고 있는 동안에도, 그 절삭 블레이드는 흡인되고 있게 된다.

절삭 블레이드에 의해 피가공물을 절삭하면, 생성된 절삭 부스러기가 분위기 중에 떠돌게 된다. 절삭 블레이드의 기대의 내주면과 플랜지 기구의 보스부 사이에는 상기 서술한 바와 같이 약간의 간극이 있기 때문에, 절삭 블레이드를 계속 흡인시키면 절삭 부스러기를 포함한 분위기가 그 간극으로부터 빨려 들어가, 절삭 블레이드나 플랜지 기구에 부착된다. 따라서, 이 부착된 절삭 부스러기를 제거하기 위해 정기적인 청소가 필요하다. 또, 절삭 블레이드의 그 지지면측의 측면에 식별 코드가 형성되는 경우에는, 그 식별 코드에 절삭 부스러기가 부착되어 식별 불량이 발생하는 경우가 있다.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 절삭 블레이드의 내주면과 플랜지 기구 사이의 간극으로부터 절삭 부스러기가 흡인되기 어렵고, 또 이른바 스커핑 현상의 발생이 억제되는 플랜지 기구를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 양태에 의하면, 중앙에 장착공을 갖는 원반상의 기대와, 그 기대의 외주 가장자리에 형성된 절삭날을 갖는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 전방측의 외주면에 갖는 보스부와, 그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, 그 절삭 블레이드의 그 기대를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와, 그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고, 그 기대의 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 보스부를 그 기대의 그 장착공에 삽입하고, 기대의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지하는 것을 특징으로 하는 플랜지 기구가 제공된다.

또한, 본 발명의 일 양태에 관련된 플랜지 기구에 있어서, 그 플랜지부는, 그 지지면에 그 보스부를 둘러싸는 환상의 개구와, 내부에 그 개구와 흡인원을 연통하는 흡인로를 갖고, 절삭 블레이드를 흡인 고정시키는 기능을 가져도 된다.

또, 본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 중앙에 장착공을 갖는 원반상의 절삭날로 이루어지는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, 전방측의 외주에 수나사를 갖는 보스부와, 그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 외주면에 갖는 블레이드 장착부와, 그 블레이드 장착부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 그 블레이드 장착부보다 돌출되고, 그 절삭 블레이드를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와, 그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고, 그 절삭 블레이드의 그 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 블레이드 장착부를 그 절삭 블레이드의 그 장착공에 삽입하고, 그 절삭 블레이드의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지하는 것을 특징으로 하는 플랜지 기구가 제공된다.

본 발명의 일 양태에 관련된 플랜지 기구의 외주에는, 소정의 위치에 고정된 절삭 블레이드의 내주면에 대응하는 위치에 O 링 장착 홈이 형성되어 있다. 그 O 링 장착 홈에는, 그 절삭 블레이드의 기대의 장착공 (내주면) 의 직경보다 큰 외경의 O 링이 장착된다. 또한, 그 O 링은, 예를 들어, 탄성체 (탄성 한계가 큰 물체) 로 구성된다.

그 때문에, 절삭 블레이드가 소정의 위치에 배치될 때, 절삭 블레이드의 내주면이 O 링 장착 홈에 장착된 O 링에 닿고, O 링을 직경 방향 내측으로 밀어넣는다. 그리고, O 링이 변형되어, O 링의 내측으로부터 절삭 블레이드의 내주면을 향한 힘이 발생하게 된다.

그러면, 플랜지 기구와 절삭 블레이드의 내주면 사이의 간극이 막히기 때문에, 절삭 블레이드를 진공 흡인해도 그 간극으로부터 분위기를 흡인하지 않게 된다. 그 때문에, 분위기에 포함되는 절삭 부스러기 등이 플랜지 기구의 부압이 작용하는 영역에 부착되기 어려워져, 청소의 횟수를 줄일 수 있다. 또, 플랜지 기구의 그 지지면을 향한 절삭 블레이드의 측면에 절삭 부스러기가 부착되기 어려워지기 때문에, 그 측면에 식별 코드가 형성되는 경우에 그 식별 코드에 절삭 부스러기가 부착되기 어려워지고, 식별 코드의 식별 불량이 발생하기 어려워진다.

또, 절삭 블레이드를 그 플랜지 기구에 장착할 때, 절삭 블레이드의 내주면과 플랜지 기구가 직접 접촉하지 않고, 그 절삭 블레이드는 O 링 장착 홈에 장착된 O 링을 개재하여 지지되기 때문에, 이른바 스커핑 현상의 발생이 억제된다.

따라서, 본 발명에 의하면, 절삭 블레이드의 내주면과 플랜지 기구 사이의 간극으로부터 절삭 부스러기가 흡인되기 어렵고, 또 이른바 스커핑 현상의 발생이 억제되는 플랜지 기구가 제공된다.

도 1 은 플랜지 기구가 사용되는 절삭 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 3(A) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 분해 단면도이고, 도 3(B) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 4(A) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 분해 단면도이고, 도 4(B) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 5(A) 는 허브 블레이드형의 절삭 블레이드의 일방측의 측면도이고, 도 5(B) 는 허브 블레이드형의 절삭 블레이드 타방측의 측면도이다.
도 6(A) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 분해 단면도이고, 도 6(B) 는 절삭 유닛의 일부를 모식적으로 나타내는 단면도이다.

본 발명에 관련된 실시형태에 대해 설명한다. 먼저, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구가 사용되는 절삭 장치에 대해 도 1 을 사용하여 설명한다. 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구는, 그 절삭 장치의 절삭 유닛에 사용된다.

그 절삭 장치의 구성 요소에 대해 설명한다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (2) 는, 각 구성 요소를 지지하는 장치 기대 (4) 를 구비하고 있다. 장치 기대 (4) 의 상면에는, X 축 방향 (가공 이송 방향) 으로 긴 사각형상의 개구 (4a) 가 형성되어 있다.

이 개구 (4a) 내에는, X 축 이동 테이블 (6) 과, 그 X 축 이동 테이블 (6) 을 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 이동 기구 (도시 생략) 와, X 축 이동 기구를 덮는 방진 방적 커버 (8) 가 형성되어 있다. 그 X 축 이동 기구는, X 축 방향에 평행한 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (도시 생략) 을 구비하고 있고, X 축 가이드 레일에는, X 축 이동 테이블 (6) 이 슬라이드 가능하게 부착되어 있다.

X 축 이동 테이블 (6) 의 하면측에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, X 축 가이드 레일에 평행한 X 축 볼 나사 (도시 생략) 가 나선 결합되어 있다. X 축 볼 나사의 일단부에는, X 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. X 축 펄스 모터로 X 축 볼 나사를 회전시키면, X 축 이동 테이블 (6) 은 X 축 가이드 레일을 따라 X 축 방향으로 이동한다.

X 축 이동 테이블 (6) 상에는, 피가공물을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블 (10) 이 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향) 에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (10) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구에 의해 X 축 방향으로 가공 이송된다.

척 테이블 (10) 의 표면 (상면) 은, 피가공물을 흡인, 유지하는 유지면 (10a) 으로 되어 있다. 이 유지면 (10a) 은, 척 테이블 (10) 의 내부에 형성된 유로 (도시 생략) 를 통하여 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 척 테이블 (10) 의 주위에는, 피가공물을 고정시키기 위한 클램프 (10b) 가 형성되어 있다.

피가공물은, 예를 들어, 반도체 웨이퍼이며, 환상 프레임에 유지된 테이프 상에 첩착되고, 환상 프레임과 일체로 취급된다. 환상 프레임과 테이프를 사용하여 피가공물을 취급하면, 반송할 때에 발생하는 충격 등으로부터 그 피가공물을 보호할 수 있다. 또한, 그 테이프를 확장하면, 절삭 가공된 피가공물을 분할하거나, 분할 후의 칩의 간격을 넓히거나 할 수 있다. 또한, 환상 프레임과 테이프를 사용하지 않고, 피가공물을 단체로 절삭 가공해도 된다.

개구 (4a) 로부터 떨어진 장치 기대 (4) 의 전방의 구석부에는, 장치 기대 (4) 로부터 측방으로 돌출된 돌출부 (12) 가 형성되어 있다. 돌출부 (12) 의 내부에는 공간이 형성되어 있고, 이 공간에는, 승강 가능한 카세트 엘리베이터 (16) 가 설치되어 있다. 카세트 엘리베이터 (16) 의 상면에는, 복수의 피가공물을 수용 가능한 카세트 (18) 가 실린다.

개구 (4a) 에 근접하는 위치에는, 상기 서술한 피가공물을 척 테이블 (10) 에 반송하는 반송 유닛 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 반송 유닛에 의해 카세트 (18) 로부터 인출된 피가공물은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (10a) 에 재치된다.

장치 기대 (4) 의 상면에는, 피가공물을 절삭하는 절삭 유닛 (14) 을 지지하는 지지 구조 (20) 가, 개구 (4a) 의 상방으로 장출 (張出) 되도록 배치되어 있다. 지지 구조 (20) 의 전면 상부에는, 절삭 유닛 (14) 을 Y 축 방향 (산출 이송 방향) 및 Z 축 방향으로 이동시키는 절삭 유닛 이동 기구 (22) 가 형성되어 있다.

절삭 유닛 이동 기구 (22) 는, 지지 구조 (20) 의 전면에 배치되고 Y 축 방향에 평행한 1 쌍의 Y 축 가이드 레일 (24) 을 구비하고 있다. Y 축 가이드 레일 (24) 에는, 절삭 유닛 이동 기구 (22) 를 구성하는 Y 축 이동 플레이트 (26) 가 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. Y 축 이동 플레이트 (26) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Y 축 가이드 레일 (24) 에 평행한 Y 축 볼 나사 (28) 가 나선 결합되어 있다.

Y 축 볼 나사 (28) 의 일단부에는, Y 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. Y 축 펄스 모터로 Y 축 볼 나사 (28) 를 회전시키면, Y 축 이동 플레이트 (26) 는, Y 축 가이드 레일 (24) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다. Y 축 이동 플레이트 (26) 의 표면 (전면) 에는, Z 축 방향에 평행한 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (30) 이 형성되어 있다. Z 축 가이드 레일 (30) 에는, Z 축 이동 플레이트 (32) 가 슬라이드 가능하게 부착되어 있다.

Z 축 이동 플레이트 (32) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Z 축 가이드 레일 (30) 에 평행한 Z 축 볼 나사 (34) 가 나선 결합되어 있다. Z 축 볼 나사 (34) 의 일단부에는, Z 축 펄스 모터 (36) 가 연결되어 있다. Z 축 펄스 모터 (36) 로 Z 축 볼 나사 (34) 를 회전시키면, Z 축 이동 플레이트 (32) 는, Z 축 가이드 레일 (30) 을 따라 Z 축 방향으로 이동한다.

Z 축 이동 플레이트 (32) 의 하부에는, 피가공물을 가공하는 절삭 유닛 (14) 과, 촬상 유닛 (카메라) (38) 이 고정되어 있다. 절삭 유닛 이동 기구 (22) 에 의해, Y 축 이동 플레이트 (26) 를 Y 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (14) 및 촬상 유닛 (카메라) (38) 은 산출 이송되고, Z 축 이동 플레이트 (32) 를 Z 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (14) 및 촬상 유닛 (카메라) (38) 은 승강한다.

절삭 유닛 (14) 은, Y 축 방향에 평행한 회전축을 구성하는 스핀들 (48) (도 2 등 참조) 의 일단측에 장착된 원환상의 절삭 블레이드 (14a) (도 2 등 참조) 를 구비하고 있다. 절삭 블레이드 (14a) 는, 원반상의 기대 (14c) 를 갖고 있다. 기대 (14c) 의 중앙부에는, 이 기대 (14c) 를 관통하는 대략 원형의 장착공 (14d) 이 형성되어 있다. 기대 (14c) 의 외주부에는, 피가공물에 절입시키기 위한 환상의 절삭날이 고정되어 있다.

스핀들 (48) 의 타단측에는 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있고, 스핀들에 장착된 절삭 블레이드 (14a) 를 회전시킨다. 또한, 절삭 유닛 (14) 의 상세에 대해서는 후술한다.

피가공물을 절삭할 때에는, 예를 들어, 피가공물을 유지한 상태의 척 테이블 (10) 과 절삭 유닛 (14) 을 상대적으로 이동시켜, 절삭 블레이드 (14a) 의 위치를 피가공물의 가공 대상 영역에 맞춘다. 다음으로, 절삭 블레이드 (14a) 를 소정의 높이까지 하강시키고, 절삭 블레이드 (14a) 를 회전시킨 상태에서 척 테이블 (10) 을 가공 이송시킨다. 이로써, 절삭 블레이드 (14a) 에 의한 피가공물의 절삭을 진행시킬 수 있다.

가공 후의 피가공물은, 반송 기구 (도시 생략) 에 의해 척 테이블 (10) 로부터 세정 유닛 (40) 에 반송된다. 세정 유닛 (40) 은, 통상의 세정 공간 내에서 피가공물을 흡인, 유지하는 스피너 테이블 (42) 을 구비하고 있다. 스피너 테이블 (42) 의 하부에는, 스피너 테이블 (42) 을 소정의 속도로 회전시키는 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.

스피너 테이블 (42) 의 상방에는, 피가공물을 향하여 세정용의 유체 (대표적으로는, 물과 에어를 혼합한 이류체) 를 분사하는 분사 노즐 (44) 이 배치되어 있다. 피가공물을 유지한 스피너 테이블 (42) 을 회전시켜, 분사 노즐 (44) 로부터 세정용의 유체를 분사하면, 피가공물을 세정할 수 있다. 세정 유닛 (40) 에 의해 세정된 피가공물은, 예를 들어, 반송 기구 (도시 생략) 에 의해 카세트 (18) 에 수용된다.

다음으로, 절삭 장치 (2) 의 절삭 유닛 (14) 에 대해 상세하게 서술한다. 도 2 는 절삭 유닛 (14) 의 구조를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다. 절삭 유닛 (14) 은, Z 축 이동 플레이트 (32) 의 하부에 고정되는 스핀들 하우징 (46) 을 구비하고 있다. 스핀들 하우징 (46) 의 내부에는, 에어 베어링에 의해 Y 축의 둘레로 회전 가능하게 지지되는 스핀들 (48) 이 수용되어 있다.

스핀들 (48) 의 일단측 (선단측) 에는, 이 일단으로 향함에 따라 서서히 직경이 작아지는 테이퍼부 (48a) 와, 테이퍼부 (48a) 로부터 연장되는 원기둥상의 선단 소경부 (48b) 가 형성되어 있고, 선단 소경부 (48b) 의 선단부는, 수나사 (48c) 로 되어 있다. 이 수나사 (48c) 는, 절삭시의 스핀들 (48) 의 회전 방향으로 회전시킴으로써 조여지는 방향으로 나사가 절삭되어 있다. 단, 수나사 (48c) 가 형성되어 있지 않아도 되는 경우가 있다. 또한, 스핀들 (48) 의 선단에는, 나사공 (48d) 이 형성되어 있다.

스핀들 하우징 (46) 의 그 단부 (46a) 에는, 로터리 조인트 (50) 가 고정된다. 이 로터리 조인트 (50) 는, 원통상 보스부 (50a) 와, 원통상 보스부 (50a) 의 외주에 일체적으로 형성된 플랜지부 (50b) 를 갖는다. 이 원통상 보스부 (50a) 의 내측에는, 수용공 (50c) 이 형성되어 있다. 로터리 조인트 (50) 는, 일단이 수용공 (50c) 에 접속된 파이프 (50d) 를 갖고 있고, 파이프 (50d) 의 타단측은 흡인원 (도시 생략) 에 접속된다.

스핀들 하우징 (46) 의 단부 (46a) 에는 복수의 나사공 (46b) 이 형성되어 있다. 한편, 로터리 조인트 (50) 의 플랜지부 (50b) 에는, 상기 서술한 복수의 나사공 (46b) 에 대응하는 복수의 부착공 (50e) 이 형성되어 있다. 이들 부착공 (50e) 중에 나사 (50f) 를 삽입하여, 스핀들 하우징 (46) 의 단부 (46a) 에 형성된 나사공 (46b) 에 조임으로써, 로터리 조인트 (50) 는, 스핀들 하우징 (46) 의 단부 (46a) 에 부착된다.

이와 같이 스핀들 하우징 (46) 의 단부 (46a) 에 로터리 조인트 (50) 가 부착된 상태에서, 스핀들 (48) 의 선단에는, 로터리 조인트 (50) 의 수용공 (50c) 에 일부가 수용되는 플랜지 기구 (52) 가 부착된다.

이하, 도 2, 도 3(A) 및 도 3(B) 에 의해 플랜지 기구 (52) 를 상세하게 설명한다. 또한, 도 3(A) 는 플랜지 기구 (52) 에 절삭 블레이드 (14a) 가 장착되기 전의 상태에 있어서의 플랜지 기구 (52) 및 절삭 블레이드 (14a) 의 단면 구조를 나타내는 단면 모식도이다. 도 3(B) 는 절삭 블레이드 (14a) 가 플랜지 기구 (52) 에 장착된 상태를 나타내는 플랜지 기구 (52) 와 절삭 블레이드 (14a) 의 단면 모식도이다.

그 플랜지 기구 (52) 는, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 보스부 (56) 와, 그 보스부 (56) 의 후방측으로부터 보스부 (56) 의 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되는 원판상의 플랜지부 (58) 와, 그 플랜지부 (58) 의 후방측으로 돌출되는 원통부 (62) 를 구비한다. 상기 서술한 로터리 조인트 (50) 의 수용공 (50c) 에는, 이 플랜지 기구 (52) 의 원통부 (62) 가 수용된다. 절삭 블레이드 (14a) 의 장착시에는, 절삭 블레이드 (14a) 의 장착공 (14d) 에 플랜지 기구 (52) 의 그 보스부 (56) 를 삽입하고, 절삭 블레이드 (14a) 의 측면을 플랜지부 (58) 에 맞닿게 한다.

그 보스부 (56) 와, 그 플랜지부 (58) 와, 그 원통부 (62) 는 각각의 중심축이 겹치도록 배치된다. 즉, 원기둥상의 그 보스부 (56) 의 2 개의 바닥면의 각각의 중심을 잇는 축과, 원판상의 플랜지부 (58) 의 2 개의 원형의 면의 각각의 중심을 잇는 축과, 원통부 (62) 의 그 플랜지부 (58) 에 연속하는 면 및 그 면에 대향하는 면의 각각 중심을 잇는 축이 1 개의 직선에 겹친다.

그 플랜지 기구 (52) 의 내측에는, 그 원통부 (62) 측으로 개구되는 스핀들 장착공 (54) 이 형성되어 있다. 그 스핀들 장착공 (54) 은, 그 스핀들 장착공 (54) 에 스핀들 (48) 이 장착될 때에, 상기 서술한 중심축과 스핀들 (48) 의 회전 중심이 일치하도록, 그 스핀들 (48) 의 선단에 대응하는 형상으로 형성된다. 그 스핀들 장착공 (54) 은, 그 보스부 (56) 측에 개구를 갖고, 스핀들 장착공 (54) 에 삽입된 스핀들 (48) 의 선단의 나사공 (48d) 에 그 개구를 통하여 볼트 (66) 를 나선 결합할 수 있다.

원판상의 그 플랜지부 (58) 는 전방측을 향한 면의 직경 방향 외측에 환상의 지지면 (58a) 을 갖고, 또 그 지지면 (58a) 에 둘러싸이는 직경 방향 내측의 환상 홈 (58b) 을 갖는다. 그 환상의 지지면 (58a) 은, 그 보스부 (56) 에 삽입된 절삭 블레이드 (14a) 에 맞닿아 절삭 블레이드 (14a) 의 일방의 측면 (14b) 을 지지한다. 그 환상 홈 (58b) 의 바닥에는, 원주 방향으로 소정의 간격으로 이간된 복수의 흡인공 (58c) 이 개구되어 있다.

원통부 (62) 의 외주면에는, 그 원통부 (62) 를 원주 방향으로 둘러싸도록 환상 홈 (62a) 이 형성되어 있다. 그 환상 홈 (62a) 에는, 원주 방향에 있어서 소정의 간격으로 이간된 복수의 연통공 (62b) 이 형성되어 있다. 그 흡인공 (58c) 과 그 연통공 (62b) 은 그 플랜지부 (58) 에서 그 원통부 (62) 에 걸쳐 형성된 연통로 (64) 에 의해 접속되어 있다.

보스부 (56) 의 전방측의 외주면에는, 그 보스부 (56) 를 원주 방향으로 둘러싸도록 O 링 장착 홈 (60) 이 형성되어 있다. 그 O 링 장착 홈 (60) 은, 플랜지부 (58) 의 지지면 (58a) 에 지지되고 소정의 위치에 배치된 절삭 블레이드 (14a) 의 기대 (14c) 의 장착공 (14d) 에 노출된 내주면에 대응하도록 형성된다.

O 링 장착 홈 (60) 에는, O 링 (60a) 이 장착된다. O 링 (60a) 은, 예를 들어, 고무나 실리콘 등의 수지로 이루어지는 탄성체 (탄성 한계가 큰 물체) 로 구성된다. 또, O 링 (60a) 은, 절삭 블레이드 (14a) 의 기대 (14c) 의 장착공 (14d) 의 직경보다 큰 외경을 갖는다.

플랜지 기구 (52) 의 내부에는, 급기로 (100) 가 형성되어 있다. 그 급기로 (100) 는, 예를 들어, 일단이 그 보스부 (56) 의 그 플랜지부 (58) 와는 반대측의 면에 개구되고, 타단이 O 링 장착 홈 (60) 의 바닥에 개구된다. 그 급기로 (100) 는, O 링 장착 홈 (60) 과 외부를 연통한다. 그 급기로 (100) 의 구조와 기능에 대해서는 후술한다. 또한, 본 발명에 관련된 플랜지 기구 (52) 에는, 그 급기로 (100) 가 형성되어 있지 않아도 된다.

플랜지 기구 (52) 는, 스핀들 장착공 (54) 에 스핀들 (48) 이 삽입된 상태에서, 볼트 (66) 를 스핀들 (48) 의 선단의 나사공 (48d) 에 조임으로써, 스핀들 (48) 의 선단부에 고정된다.

플랜지 기구 (52) 를 스핀들 (48) 의 선단부에 고정시킨 후, 기대 (14c) 의 중앙에 장착공 (14d) 을 갖는 절삭 블레이드 (14a) 에 플랜지 기구 (52) 의 보스부 (56) 를 삽입하고, 그 절삭 블레이드 (14a) 의 일방의 측면 (14b) 을 플랜지부 (58) 의 지지면 (58a) 에 맞닿게 한다. 이 때, 절삭 블레이드 (14a) 의 장착공 (14d) 에 노출된 내주면은 보스부 (56) 의 O 링 장착 홈 (60) 에 가까워지고, O 링 장착 홈 (60) 에 장착된 O 링 (60a) 의 외주에 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면이 접촉한다.

소정의 위치에 위치된 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면이 그 O 링 (60a) 을 외주측으로부터 압박하여 O 링 (60a) 을 변형시키면, 그 O 링 (60a) 의 내부에 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면을 향한 반발력이 발생한다. 그러면, 그 O 링 (60a) 이 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면에 밀착되어 양자의 간극을 메운다.

절삭 블레이드 (14a) 를 소정의 위치에 배치한 후, 파이프 (50d) 에 접속된 흡인원을 작동시켜, 환상 홈 (62a), 연통로 (64), 환상 홈 (58b) 을 거쳐, 절삭 블레이드 (14a) 에 부압을 작용시킨다. 그러면, 절삭 블레이드 (14a) 가 플랜지부 (58) 의 그 지지면 (58a) 에 흡인 고정된다. 그리고, 절삭 블레이드 (14a) 를 떼어낼 때까지의 동안, 그 흡인원을 계속 작동시켜 절삭 블레이드 (14a) 에 부압을 계속 작용시킨다.

여기서, 절삭 블레이드 (14a) 의 기대 (14c) 의 장착공 (14d) (내주면) 의 직경은, 보스부 (56) 의 외경보다 약간 크게 형성되어 있다. 보스부 (56) 를 절삭 블레이드 (14a) 의 장착공 (14d) 에 삽입할 때에, 이른바 스커핑 현상을 발생시키지 않기 위해서이다. 그 때문에, 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면과 보스부 (56) 사이에는 간극이 생긴다. 그리고, 그 간극이 막혀 있지 않으면, 외부의 분위기가 그 간극으로부터 흡인된다. 그러면, 피가공물이 절삭되어 생성된 절삭 부스러기 등이 그 분위기 중에 포함되는 경우에, 그 간극으로부터 절삭 부스러기를 포함하는 분위기가 흡인된다.

그 결과, 플랜지 기구 (52) 중 부압이 작용하는 영역 내에 그 절삭 부스러기가 침입하여 벽면에 부착되기 때문에, 플랜지 기구 (52) 의 정기적인 청소가 필요해진다. 또, 절삭 블레이드 (14a) 의 그 지지면 (58a) 을 향한 측면 (14b) 에도 절삭 부스러기가 부착되기 때문에, 그 측면 (14b) 에 식별 코드가 형성되어 있는 경우에 그 식별 코드에 절삭 부스러기가 부착되어 식별 불량이 발생하는 경우가 있다.

이에 반해, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구 (52) 에서는, 그 O 링 (60a) 에 의해 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면과 보스부 (56) 사이의 간극이 막히기 때문에, 절삭 부스러기가 그 간극으로부터 빨려 들여가지 않게 되고, 그 절삭 부스러기 등에 의한 이와 같은 문제의 발생이 억제된다.

또, 절삭 블레이드 (14a) 를 흡인 유지 이외 방법으로 플랜지 기구 (52) 에 고정시키는 경우에 있어서도, O 링 장착 홈 (60) 에 장착된 O 링 (60a) 을 개재하여 절삭 블레이드 (14a) 를 보스부 (56) 에 장착하면, 절삭 블레이드 (14a) 와 보스부 (56) 가 직접 접촉하기 어려워진다. 그 때문에, 이른바 스커핑 현상의 발생을 억제할 수 있다.

예를 들어, 도 4(A) 및 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, 흡인이 아니라 너트의 조임에 의해 절삭 블레이드 (14a) 를 플랜지 기구에 고정시키는 경우에 있어서도, O 링 장착 홈에 장착된 O 링은, 절삭 블레이드 (14a) 의 장착에 유익하다. 여기서, 도 4(A) 는 너트 (68) 와, 절삭 블레이드 (14a) 와, 플랜지 기구 (70) 를 나타내는 단면 모식도이고, 도 4(B) 는 그 너트 (68) 를 사용하여 절삭 블레이드 (14a) 를 플랜지 기구 (70) 에 고정시킨 상태를 나타내는 단면 모식도이다.

또한, 도 3(A)에 나타내는 플랜지 기구 (52) 와는 달리, 도 4(A) 에 나타내는 플랜지 기구 (70) 에서는, 흡인 유지를 위해 사용되는 구조가 생략되어 있다. 그 플랜지 기구 (70) 의 보스부 (72) 에는, 플랜지 기구 (52) 와 마찬가지로, 외주면에 O 링 장착 홈 (74) 이 형성되어 있다. 그 O 링 장착 홈 (74) 은, 소정의 위치에 배치된 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면에 대응한 위치에 형성된다.

또, 보스부 (72) 의 전방측의 선단에는 수나사가 형성되어 있다. 그 수나사는, 너트 (68) 의 내주의 암나사에 나선 결합된다. 그리고, 도 4(B) 에 나타내는 바와 같이, O 링 장착 홈 (74) 에 장착된 O 링 (74a) 이 절삭 블레이드 (14a) 의 내주면에 접촉하고 있는 상태에서, 너트 (68) 가 보스부 (72) 의 수나사에 나선 결합되고, 절삭 블레이드 (14a) 의 플랜지 기구 (70) 의 플랜지부 (70a) 에 대면하고 있지 않은 측의 측면이 너트 (68) 에 의해 눌린다. 그러면, 너트 (68) 와 플랜지 기구 (70) 의 플랜지부 (70a) 사이에 절삭 블레이드 (14a) 가 협지된다.

절삭 블레이드는, 예를 들어, 다이아몬드 지립을 레진 본드로 굳힌 레지노이드 지석, 다이아몬드 지립을 비트리파이드 본드로 굳힌 비트리파이드 본드 지석, 또는, 다이아몬드 지석을 니켈 도금으로 고정시킨 전기 주조 지석 등을 포함하는 절삭 블레이드이다.

도 5(A) 및 도 5(B) 에 절삭 블레이드의 일례의 측면도를 나타낸다. 도 5(A) 및 도 5(B) 에 나타내는 절삭 블레이드 (76) 는, 중앙에 장착공 (78) 을 구비한 환상 기대 (80) 의 외주에 절삭날 (82) 이 부착된 허브 블레이드라고 불리는 종류의 절삭 블레이드이다. 도 5(A) 는 플랜지 기구의 플랜지부에 대면하지 않는 측의 측면의 측면도이고, 도 5(B) 는 플랜지 기구의 플랜지부에 대면하는 측의 측면의 측면도이다.

절삭 블레이드 (76) 의 환상 기대 (80) 의 장착공 (78) 은, 절삭 블레이드 (76) 를 플랜지 기구에 착탈할 수 있도록, 장착공 (78) 에 꿰뚫어지는 그 플랜지 기구의 보스부의 외경보다 약간 큰 직경이 되도록 제조되고 있다. 또, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 (76) 의 플랜지 기구의 플랜지부에 대면하는 측의 측면에는, 식별 코드 (84) 가 형성된다.

그 식별 코드 (84) 에는, 그 절삭 블레이드 (76) 의 종류나 제조 번호 등의 정보가 격납되어 있다. 예를 들어, 사람의 손을 거치지 않고 절삭 블레이드를 착탈하는 장치를 사용하여 특정한 절삭 블레이드 (76) 를 플랜지 기구에 착탈하는 경우, 그 장치는 그 식별 코드 (84) 로부터 절삭 블레이드 (76) 에 관한 정보 등을 판독한다. 그 때문에, 그 식별 코드 (84) 가 오손되면 그 장치가 식별 코드 (84) 에 격납된 정보를 판독할 수 없게 되어 문제가 된다.

이에 반해, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구에 절삭 블레이드 (76) 를 부착하면, 그 플랜지 기구의 O 링 장착 홈에 장착된 O 링에 의해, 그 플랜지 기구와 절삭 블레이드 (76) 의 내주면 사이의 간극이 막힌다. 그 때문에, 절삭 블레이드 (76) 를 그 플랜지 기구에 흡인 유지시켜도, 그 간극으로부터의 절삭 부스러기 등의 흡인을 억제할 수 있어, 식별 코드 (84) 가 절삭 부스러기 등에 의해 오손되기 어려워진다.

또한, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구는, 허브 블레이드 이외에도 올 블레이드 (또는 와셔 블레이드) 라고 불리는 절삭 블레이드를 유지해도 된다. 올 블레이드란, 기대가 없고 지석으로 이루어지는 절삭 블레이드이다. 도 6(A) 는 올 블레이드형의 절삭 블레이드 (86) 를 사용하는 절삭 유닛의 일부를 나타내는 분해 사시도이다. 도 6(B) 는 플랜지 기구 (88) 에 올 블레이드형의 절삭 블레이드 (86) 를 고정시킨 상태를 나타내는 단면도이다.

올 블레이드형의 절삭 블레이드 (86) 를 유지하는 플랜지 기구 (88) 는, 예를 들어, 전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 보스부 (90) 와, 그 보스부 (90) 보다 후방측에서 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되는 블레이드 장착부 (92) 와, 그 블레이드 장착부 (92) 보다 후방측에서 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되는 플랜지부 (94) 를 갖는다. 그 보스부 (90) 의 전방측의 선단에는, 수나사 (90a) 가 형성되어 있다.

블레이드 장착부 (92) 는 외주에 O 링 장착 홈 (92a) 을 구비하고, O 링 장착 홈 (92a) 에 O 링 (92b) 이 장착된다. 또한, O 링 장착 홈 (92a) 은, 절삭 블레이드 (86) 가 플랜지부 (94) 의 지지면 (94a) 에 지지될 때에, 그 절삭 블레이드 (86) 의 내주면에 대응하는 위치에 형성된다. O 링 장착 홈 (92a) 에는, O 링 (92b) 이 장착된다. O 링 (92b) 은 절삭 블레이드 (86) 의 내주면 (장착공) 의 직경보다 큰 외경을 갖는 탄성체로 이루어진다.

플랜지부 (94) 는, 절삭 블레이드 (86) 에 대면하는 환상의 지지면 (94a) 을 갖는다. 절삭 블레이드 (86) 는, 그 측면이 플랜지부 (94) 의 그 지지면 (94a) 에 지지되고, 그 내주면에 O 링 (92b) 이 접촉한 상태에서 플랜지 기구 (88) 에 부착된다. 플랜지 기구 (88) 는, 상기 서술한 플랜지 기구 (52) 와 마찬가지로 절삭 블레이드 (86) 를 흡인 유지하기 위한 구조를 가져도 되고, 절삭 블레이드 (86) 는 플랜지부 (94) 에 흡인 유지되어도 된다.

예를 들어, 플랜지부 (94) 에는, 환상의 지지면 (94a) 의 내주측의 환상 홈에 복수의 흡인공이 형성되고, 플랜지부 (94) 의 내부에 형성되는 연통로를 통하여 절삭 블레이드 (86) 에 부압이 작용한다. 그 경우에, 절삭 블레이드 (86) 의 내주면과 블레이드 장착부 (92) 사이의 간극을 O 링 (92b) 이 막기 때문에, 절삭 부스러기를 포함한 분위기가 그 간극으로부터 흡인되기 어려워진다.

또, 절삭 블레이드 (86) 의 착탈시에, 절삭 블레이드 (86) 의 내주면과 플랜지 기구 (88) 의 블레이드 장착부 (92) 가 접촉하면, 이른바 스커핑 현상이 발생하는 경우가 있다. 그러나, 그 블레이드 장착부 (92) 가 O 링 (92b) 을 개재하여 절삭 블레이드 (86) 를 지지하도록 하면 그와 같은 스커핑 현상의 발생이 억제된다.

플랜지 기구 (88) 는, 그 플랜지 기구 (88) 와의 사이에 절삭 블레이드 (86) 를 협지하는 착탈 플랜지 (96) 와, 그 착탈 플랜지 (96) 를 고정시키는 너트 (98) 와 협동하여 절삭 블레이드 (86) 를 고정시킨다.

착탈 플랜지 (96) 는, 중앙에 장착공과, 외주에 플랜지부 (94) 의 지지면 (94a) 에 대향하는 지지면을 갖는 환형의 부재이다. 그 장착공의 직경은, 플랜지 기구 (88) 의 보스부의 외경보다 약간 크며, 그 장착공에 플랜지 기구 (88) 의 보스부가 삽입된다. 너트 (98) 는, 보스부 (90) 의 선단의 수나사 (90a) 에 나선 결합됨으로써 착탈 플랜지 (96) 를 플랜지 기구 (88) 에 고정시킨다.

블레이드 장착부 (92) 에 장착된 O 링 (92b) 과 플랜지부 (94) 의 지지면 (94a) 에 접하도록 절삭 블레이드 (86) 를 배치한다. 다음으로, 착탈 플랜지 (96) 의 장착공에 보스부 (90) 를 통하여 플랜지부 (94) 의 지지면 (94a) 과, 그 착탈 플랜지 (96) 의 지지면에 의해 절삭 블레이드 (86) 를 협지한다. 그리고, 너트 (98) 를 보스부 (90) 의 수나사 (90a) 에 나선 결합시켜 착탈 플랜지 (96) 를 플랜지 기구 (88) 에 고정시킨다. 그러면, 절삭 블레이드 (86) 가 고정된다.

이상으로 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구는 O 링 장착 홈을 갖고, 그 O 링 장착 홈에 장착된 O 링을 개재하여 절삭 블레이드를 지지한다. O 링은, 절삭 블레이드의 장착공 (내주면) 의 직경보다 큰 외경을 갖는 탄성체이며, 절삭 블레이드의 내주면과 플랜지 기구 사이의 간극을 막는다.

그 때문에, 절삭 블레이드에 부압을 작용시켜 절삭 블레이드를 흡인 유지하는 경우에, 그 간극으로부터의 절삭 부스러기 등의 흡입을 억제할 수 있다. 또, 플랜지 기구와 절삭 블레이드의 내주면의 접촉이 억제되기 때문에, 이른바 스커핑 현상을 억제할 수 있다.

다음으로, 본 실시형태에 관련된 플랜지 기구가 갖는 급기로 (100) 에 대해 설명한다. 급기로 (100) 를 구비하는 플랜지 기구를 도 3(A) 및 도 3(B) 에 예시한다. 도 3(A) 및 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 플랜지 기구 (52) 에는 O 링 장착 홈 (60) 에 도달하는 급기로 (100) 가 형성되어 있다. O 링이 플랜지 기구와 절삭 블레이드의 내주면의 간극을 막을 때, 그 O 링을 압박하는 힘이 클수록, O 링이 보다 크게 변형되어, O 링은 그 간극을 보다 강한 힘으로 막을 수 있다.

O 링을 압박하는 힘은, 절삭 블레이드의 내주면이 O 링을 누르는 것에 의해서도 발생하지만, O 링에 의해 분단되는 2 개의 공간의 압력차에서도 기인하여 발생한다. 즉, 절삭 블레이드를 흡인하기 위한 부압이 작용하는 공간과, O 링 장착 홈의 내부 공간의 압력차에 의해 O 링을 압박하는 힘이 발생한다. 그리고, 그 압력차가 커질수록 O 링은 강하게 압박된다.

절삭 블레이드를 플랜지 기구에 흡인 유지시킬 때, O 링 장착 홈에 도달하는 급기로 (100) 가 없는 경우, 그 압력차는 그 부압이 작용하는 공간과 외부의 공간 사이의 압력차보다 작아진다. O 링이나 절삭 블레이드 등에 의해 O 링 장착 홈과 외부 사이의 유체의 유로가 좁고, 그 때문에 외부의 공간의 압력이 직접 O 링에 작용하지 않기 때문이다.

그래서, 플랜지 기구의 내부에 그 O 링 장착 홈의 내부 공간과 외부의 공간을 직접 잇는 급기로 (100) 를 형성하면, 그 급기로 (100) 가 양 공간 사이의 유체의 유로가 되기 때문에, O 링을 압박하는 힘의 요인이 되는 그 압력차가 커진다. 그러면, O 링은 보다 크게 변형되어 절삭 블레이드의 내주면과 플랜지 기구의 보스부에 밀착하고, 보다 강한 힘으로 막을 수 있기 때문에, 그 부압이 작용하는 공간으로의 유체의 침입을 보다 억제할 수 있다.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 본 발명에 관련된 플랜지 기구는 급기로 (100) 를 구비하지 않아도 된다. 그 밖에, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

2 : 절삭 장치
4 : 장치 기대
4a : 개구
6 : X 축 이동 테이블
8 : 방진 방적 커버
10 : 척 테이블
10a : 유지면
10b : 클램프
12 : 돌출부
14 : 절삭 유닛
14a, 76, 86 : 절삭 블레이드
14b : 측면
14c, 80 : 기대
14d, 78 : 장착공
16 : 카세트 엘리베이터
18 : 카세트
20 : 지지 구조
22 : 절삭 유닛 이동 기구
24 : Y 축 가이드 레일
26 : Y 축 이동 플레이트
28 : Y 축 볼 나사
30 : Z 축 가이드 레일
32 : Z 축 이동 플레이트
34 : Z 축 볼 나사
36 : Z 축 펄스 모터
38 : 촬상 유닛 (카메라)
40 : 세정 유닛
42 : 스피너 테이블
44 : 분사 노즐
46 : 스핀들 하우징
46a : 단부
46b : 나사공
48 : 스핀들
48a : 테이퍼부
48b : 선단 소경부
48c : 수나사
48d : 나사공
50 : 로터리 조인트
50a : 원통상 보스부
50b : 플랜지부
50c : 수용공
50d : 파이프
50e : 부착공
50f : 나사
52, 70, 88 : 플랜지 기구
54 : 스핀들 장착공
56, 72, 90 : 보스부
58, 70a, 94 : 플랜지부
58a, 94a : 지지면
58b : 환상 홈
58c : 흡인공
60, 74, 92a : O 링 장착 홈
60a, 74a, 92b : O 링
62 : 원통부
62a : 환상 홈
62b : 연통공
64 : 연통로
66 : 볼트
68, 98 : 너트
82 : 절삭날
84 : 식별 코드
90a : 수나사
92 : 블레이드 장착부
96 : 착탈 플랜지
100 : 급기로

Claims

중앙에 장착공을 갖는 원반상의 기대와, 그 기대의 외주 가장자리에 형성된 절삭날을 갖는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서,
전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 전방측의 외주면에 갖는 보스부와,
그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, 그 절삭 블레이드의 그 기대를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와,
그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고,
그 기대의 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 보스부를 그 기대의 그 장착공에 삽입하고, 기대의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지하는 것을 특징으로 하는 플랜지 기구.
제 1 항에 있어서,
그 플랜지부는,
그 지지면에 그 보스부를 둘러싸는 환상의 개구와,
내부에 그 개구와 흡인원을 연통하는 흡인로를 갖고,
절삭 블레이드를 흡인 고정시키는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는, 플랜지 기구.
중앙에 장착공을 갖는 원반상의 절삭날로 이루어지는 절삭 블레이드를, 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구로서,
전후 방향으로 신장되는 원기둥상의 형상이고, 전방측의 외주에 수나사를 갖는 보스부와,
그 보스부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 돌출되고, O 링이 장착되는 O 링 장착 홈을 외주면에 갖는 블레이드 장착부와,
그 블레이드 장착부의 후방측으로부터 직경 방향 바깥쪽으로 그 블레이드 장착부보다 돌출되고, 그 절삭 블레이드를 지지하고 전방측을 향한 지지면을 갖는 플랜지부와,
그 플랜지부의 내측에 형성되고, 스핀들의 선단부가 삽입되는 스핀들 장착공을 구비하고,
그 절삭 블레이드의 그 장착공의 직경보다 큰 외경의 O 링이 그 O 링 장착 홈에 장착된 그 블레이드 장착부를 그 절삭 블레이드의 그 장착공에 삽입하고, 그 절삭 블레이드의 내주면에 그 O 링을 접촉시킴으로써, 그 절삭 블레이드를 지지하는 것을 특징으로 하는 플랜지 기구.