KR20150010629A

KR20150010629A - 절삭 장치

Info

Publication number: KR20150010629A
Application number: KR20140090222A
Authority: KR
Inventors: 노부히코 와키타
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2013-07-18
Filing date: 2014-07-17
Publication date: 2015-01-28
Also published as: TWI615892B; US20150020666A1; US9636844B2; JP2015020237A; TW201508832A; DE102014214037A1; CN104290030A

Abstract

지지 플랜지에 대하여 효율적으로 절삭 블레이드를 착탈 가능한 절삭 장치를 제공하는 것이다.
절삭 장치의 절삭 수단은, 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고, 상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되어 상기 절삭 블레이드의 면을 지지하는 플랜지부와 상기 스핀들의 선단부에 감합하는 원통부를 포함하며, 상기 지지 플랜지의 상기 플랜지부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구한 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍과 연통하는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 상기 흡인원에 선택적으로 연통하고 있다. 지지 플랜지의 링형의 지지면 및 고정 플랜지의 링형의 누름면에는, 절삭 블레이드와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철이 형성되어 있다.

Description

절삭 장치{CUTTING MACHINE}

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것으로, 특히 절삭 장치에 있어서의 절삭 블레이드의 장착 기구에 관한 것이다.

IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역에 형성된 반도체 웨이퍼는, 절삭 블레이드가 장착된 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 디바이스 칩은 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전기 기기에 널리 이용되고 있다.

절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비한 절삭 수단과, 척 테이블과 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비하고 있어, 웨이퍼 등의 피가공물을 고정밀도로 개개의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.

절삭 수단은, 모터에 의해 회전 구동되는 스핀들과, 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 지지 플랜지에 착탈 가능하게 장착되는 절삭 블레이드와, 지지 플랜지에 지지된 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 포함하고 있다.

지지 플랜지는, 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 보스부의 외주에 보스부와 일체적으로 형성되어 절삭 블레이드의 면을 지지하는 플랜지부와, 보스부의 선단에 형성된 수나사를 가지고 있고, 절삭 블레이드 및 고정 플랜지(누름 플랜지)를 지지 플랜지의 보스부에 삽입하여 너트를 보스부의 수나사에 나사 결합하여 체결함으로써, 절삭 블레이드를 지지 플랜지와 고정 플랜지로 양쪽에서 맞물도록 고정하는 구조로 되어 있다(예컨대, 일본 특허 공개 평성11-33907호 공보 참조).

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성11-33907호 공보

절삭 작업 시의 스핀들의 회전에 따른 고정 플랜지의 느슨해짐의 발생을 방지하기 위해, 지지 플랜지 및 너트에 형성된 나사는 일반적으로 스핀들의 회전 방향에 대하여 역나사로 되어 있다.

이에 의해, 절삭 작업을 계속함에 따라 너트는 느슨해지는 일없이 지지 플랜지의 수나사에 강고하게 체결되기 때문에, 절삭 블레이드의 교환 시에 너트를 푸는 데 큰 토크를 필요로 한다.

그러나, 절삭 블레이드는 마모 및 파손 시에 새로운 절삭 블레이드와 교환되기 때문에, 지지 플랜지에 대한 절삭 블레이드의 착탈이 비교적 빈번하게 행해지고, 종래의 장착 구조에서는 너트의 제거에 큰 토크를 필요로 하기 때문에, 생산 효율을 저하시키는 문제가 있다.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 지지 플랜지에 대하여 효율적으로 절삭 블레이드를 착탈 가능한 절삭 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과, 상기 척 테이블과 상기 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비한 절삭 장치로서, 상기 절삭 수단은, 스핀들과, 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 상기 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고, 상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되어 상기 절삭 블레이드의 한쪽의 면을 지지하는 링형의 지지면을 구비한 플랜지부와, 상기 스핀들의 선단부에 감합하는 원통부를 포함하며, 상기 지지 플랜지의 상기 플랜지부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구한 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍과 연통하는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 흡인원에 선택적으로 연통하고 있고, 상기 고정 플랜지는, 상기 지지 플랜지의 상기 보스부에 감합하는 감합 구멍과, 상기 절삭 블레이드의 다른쪽의 면을 누르는 링형의 누름면을 가지며, 적어도 상기 지지 플랜지의 상기 링형의 지지면에는 상기 절삭 블레이드와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철이 형성되고, 상기 개폐 밸브를 개방하여 상기 연통 구멍을 상기 흡인원에 접속하면, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이가 감압되어 상기 고정 플랜지가 상기 지지 플랜지에 흡인되어 상기 절삭 블레이드가 고정되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.

바람직하게는, 고정 플랜지의 링형의 누름면에는 절삭 블레이드와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철이 형성되어 있다. 바람직하게는, 로터리 조인트와 흡인원 사이에 압력계가 배치되어 있고, 절삭 장치는 압력계의 값이 정해진 값을 상회하였을 때에 위험 신호를 출력하는 안전 장치를 더 구비하고 있다.

본 발명에 따르면, 절삭 작업 시에는 개폐 밸브를 개방하여 흡인 구멍을 흡인원에 연통함으로써 고정 플랜지를 지지 플랜지에 흡인하여, 지지 플랜지의 링형의 지지면에 형성된 미세한 요철에 의해 절삭 블레이드를 안정적으로 고정할 수 있다. 한편, 절삭 블레이드 교환 시에는, 개폐 밸브를 폐쇄 위치로 전환하여 고정 플랜지를 지지 플랜지로부터 용이하게 제거할 수 있기 때문에, 절삭 블레이드를 효율적으로 교환할 수 있다.

도 1은 절삭 장치의 사시도이다.
도 2는 지지 플랜지를 스핀들의 선단부에 장착하는 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3의 (A)는 절삭 블레이드를 지지 플랜지에 장착하는 모습을 나타내는 분해 사시도이고, 도 3의 (B)는 고정 플랜지의 이면측 사시도이다.
도 4의 (A)는 절삭 블레이드가 스핀들의 선단부에 장착된 상태의 사시도이고, 도 4의 (B)는 그 종단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1을 참조하면, 본 발명 실시형태에 따른 절삭 블레이드의 장착 기구를 구비한 절삭 장치(2)의 사시도가 도시되어 있다.

절삭 장치(2)의 전면측에는, 오퍼레이터가 가공 조건 등의 장치에 대한 지시를 입력하기 위한 조작 패널(4)이 마련되어 있다. 장치 상부에는, 오퍼레이터에 대한 안내 화면이나 후술하는 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상이 표시되는 CRT 등의 표시 모니터(6)가 마련되어 있다.

절삭 장치(2)의 절삭 대상인 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 웨이퍼라고 약칭하는 경우가 있음)(11)는 환형 프레임(F)에 장착된 다이싱 테이프(T)에 점착된 후, 웨이퍼 카세트(8) 내에 복수매 수용된다. 웨이퍼 카세트(8)는 상하 이동 가능한 카세트 엘리베이터(9) 상에 배치된다.

웨이퍼 카세트(8)의 후방에는, 웨이퍼 카세트(8)로부터 절삭 전의 웨이퍼(11)를 반출하며 절삭 후의 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(8)에 반입하는 반출입 유닛(10)이 배치되어 있다.

웨이퍼 카세트(8)와 반출입 유닛(10) 사이에는, 반출입 대상인 웨이퍼(11)가 일시적으로 배치되는 영역인 가배치 영역(12)이 마련되어 있고, 가배치 영역(12)에는 웨이퍼(11)를 일정한 위치에 위치 맞춤하는 위치 맞춤 기구(14)가 배치되어 있다.

가배치 영역(12)의 근방에는, 웨이퍼(11)를 흡착하여 반송하는 선회 아암을 갖는 반송 유닛(16)이 배치되어 있고, 가배치 영역(12)에 반출되어 위치 맞춤된 웨이퍼(11)는, 반송 유닛(16)에 의해 흡착되어 척 테이블(18) 상에 반송되고, 이 척 테이블(18)에 흡인 유지된다.

척 테이블(18)은, 회전 가능 또한 도시하지 않는 가공 이송 기구에 의해 X축 방향으로 왕복 운동 가능하게 구성되어 있고, 척 테이블(18)의 X축 방향의 이동 경로의 상방에는, 웨이퍼(11)의 절삭하여야 하는 영역을 검출하는 얼라이먼트 유닛(22)이 배치되어 있다. 도면 부호 20은 환형 프레임(F)을 클램프하는 클램프이다.

얼라이먼트 유닛(22)은, 웨이퍼(11)의 표면을 촬상하는 촬상 유닛(24)을 구비하고 있고, 촬상에 의해 취득한 화상에 기초하여 패턴 매칭 등의 처리에 의해 절삭하여야 하는 영역을 검출할 수 있다. 촬상 유닛(24)에 의해 취득된 화상은 표시 모니터(6)에 표시된다.

얼라이먼트 유닛(22)의 좌측에는, 척 테이블(18)에 유지된 웨이퍼(11)에 대하여 절삭 가공을 실시하는 절삭 유닛(26)이 배치되어 있다. 절삭 유닛(26)은 얼라이먼트 유닛(22)과 일체적으로 구성되어 있고, 양자가 연동하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.

절삭 유닛(26)은, 회전 가능한 스핀들(28)의 선단에 절삭 블레이드(30)가 장착되어 구성되고, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 절삭 블레이드(30)는 촬상 유닛(24)의 X축 방향의 연장선 상에 위치하고 있다. 절삭 유닛(26)의 Y축 방향의 이동은 도시하지 않는 인덱싱 이송 기구에 의해 달성된다.

도면 부호 34는 절삭 가공이 종료한 웨이퍼(11)를 세정하는 스피너 세정 유닛이며, 절삭 가공이 종료한 웨이퍼(11)는 반송 유닛(32)에 의해 스피너 세정 유닛(34)까지 반송되고, 스피너 세정 유닛(34)에서 스핀 세정 및 스핀 건조된다.

도 2를 참조하면, 지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 선단부에 장착하는 모습을 나타내는 분해 사시도가 도시되어 있다. 절삭 유닛(26)의 스핀들(28)은, 에어 베어링으로 스핀들 하우징(27)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

스핀들(28)은 테이퍼부(28a) 및 선단 소직경부(28b)를 가지고 있고, 선단 소직경부(28b)에는 수나사(31)가 형성되어 있다. 이 수나사(31)는 스핀들(28)의 회전 방향에 대하여 역나사로 되어 있다.

스핀들 하우징(27)의 단부(27a)에는 복수의 나사 구멍(29)이 형성되어 있다. 도면 부호 36은 로터리 조인트이며, 원통형 보스부(38)와, 원통형 보스부(38)의 외주에 일체적으로 형성된 플랜지부(40)로 구성된다.

원통형 보스부(38)는 감합 구멍(38a)과 선단이 감합 구멍(38a)으로 개구된 파이프(42)를 가지고 있고, 파이프(42)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 개폐 밸브(72)를 통해 흡인원(74)에 선택적으로 접속된다.

로터리 조인트(36)의 플랜지부(40)는 복수의 부착 구멍(41)이 형성되어 있고, 이들 부착 구멍(41) 내에 나사(44)를 삽입하여 스핀들 하우징(27)의 단부(27a)에 형성된 나사 구멍(29)에 나사 결합하여 체결함으로써, 로터리 조인트(36)는 스핀들 하우징(27)의 단부면(27a)에 부착된다.

도면 부호 46은 절삭 블레이드(30)를 지지하는 지지 플랜지이며, 장착 구멍(49)을 갖는 보스부(48)와, 보스부(48)의 외주에 보스부(48)와 일체적으로 형성된 플랜지부(50)와, 스핀들(28)의 선단부에 감합하는 원통부(53)로 구성된다.

보스부(48)의 외주에는 원주 방향으로 정해진 간격으로 이격한 복수의 볼록부(52)가 형성되어 있다. 플랜지부(50)는, 보스부(48)에 삽입된 절삭 블레이드(30)에 접촉하여 절삭 블레이드(30)의 면을 지지하는 링형의 지지면(50a)과, 환형홈(58)을 가지고 있고, 환형홈(58)에는 원주 방향으로 정해진 간격 이격한 복수의 흡인 구멍(60)이 개구하고 있다. 링형의 지지면(50a)에는 절삭 블레이드(30)와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철(51)이 형성되어 있다.

한편, 지지 플랜지(46)의 원통부(53)에는 환형홈(54)이 형성되어 있고, 환형홈(54)에는 둘레 방향으로 정해진 간격으로 이격한 복수의 연통 구멍(56)이 형성되어 있다. 도 4의 (B)를 참조하면 분명한 바와 같이, 흡인 구멍(60)과 연통 구멍(56)은 플랜지부(50) 및 원통부(53)에 걸쳐 형성된 연통로(57)로 접속되어 있다.

도 3의 (A)에 나타내는 바와 같이, 파이프(42)와 흡인원(74)을 접속하는 흡인로(71)에는 압력계(76)가 배치되어 있고, 압력계(76)는 컨트롤러(78)에 접속되어 있다. 개폐 밸브(72)를 개방 상태로 전환하면, 파이프(42)와 개폐 밸브(72) 사이의 연통로(71)에는 흡인원(74)에 의한 부압이 발생하지만, 이 부압을 압력계(76)로 측정하여 압력계(76)의 값이 정해진 값(예컨대 0.02 ㎫)을 상회하였을 때에, 컨트롤러(78)에 삽입된 소프트웨어에서 위험이라고 판단하고, 위험 신호를 출력하여 절삭 작업을 즉시 정지하도록 제어한다. 여기서, 대기압은 0.1 ㎫이기 때문에, 전술한 정해진 값 0.02 ㎫ 은 부압이다.

지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 테이퍼부(28a) 및 선단 소직경부(28b)에 감합한 후, 너트(62)를 수나사(31)에 나사 결합하여 체결함으로써, 지지 플랜지(46)는, 도 3의 (A)에 나타내는 바와 같이, 스핀들(28)의 선단부에 고정된다.

지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 선단부에 고정한 후, 개구(30a)를 갖는 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입하고, 또한 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입한다.

여기서, 절삭 블레이드(30)는 다이아몬드 지립을 레진 본드로 굳힌 레지노이드 지석 또는 다이아몬드 지립을 비트리파이드 본드로 굳힌 비트리파이드 본드 지석 또는 다이아몬드 지석을 니켈 도금으로 고정한 전기 주형 지석 등으로 이루어지는 와셔 블레이드이다.

고정 플랜지(누름 플랜지)(64)의 감합 구멍(65)에는, 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 형성된 볼록부(52)에 대응하는 오목부(70)가 원주 방향으로 이격하여 복수개 형성되어 있고, 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입할 때에는, 볼록부(52)가 오목부(70)에 삽입되도록 위치 부여하여, 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입한다.

지지 플랜지(46)의 볼록부(52)와 고정 플랜지(64)의 오목부(70)로, 지지 플랜지(46)와 고정 플랜지(64)의 회동을 규제하는 회동 규제부를 구성한다. 도 3의 (B)는 고정 플랜지(64)의 이면측 사시도를 나타내고 있고, 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입된 절삭 블레이드(38)를 지지하는 환형 지지면(66)과, 절삭 블레이드(30)를 누르는 링형의 누름면(68)을 가지고 있다. 링형의 누름면(68)에는 절삭 블레이드(30)와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철(69)이 형성되어 있다.

도 4의 (A)를 참조하면, 절삭 블레이드(30) 및 고정 플랜지(64)가 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입된 상태의 사시도가 도시되어 있고, 도 4의 (B)는 그 종단면도를 나타내고 있다.

도 3의 (A)에 나타낸 개폐 밸브(72)를 개방 위치로 전환하여, 파이프(42)를 흡인원(74)에 접속하면, 지지 플랜지(46)의 원통부(53)에 형성된 환형홈(54), 연통 구멍(56), 연통로(57) 및 흡인 구멍(60)을 통해 지지 플랜지(46)의 환형홈(58) 내에 부압이 작용하여, 고정 플랜지(64)가 지지 플랜지(46)를 향하여 흡인된다.

이에 의해, 절삭 블레이드(30)는 플랜지부(50)의 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 누름면(68)으로 양쪽에서 맞물도록 고정된다. 특히 본 실시형태에서는, 지지 플랜지(46)의 링형의 지지면(50a) 및 고정 플랜지(64)의 링형의 누름면(68)에는, 절삭 블레이드(30)와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철(51, 69)이 형성되어 있기 때문에, 절삭 블레이드(30)가 안정적으로 고정된다.

압력계(76)로 계측한 흡인로(71) 내의 압력이 전술한 정해진 값 미만이면, 플랜지부(50)의 환형홈(58)에 작용하는 부압은 충분히 크기 때문에, 절삭 블레이드(30)는 플랜지부(50)의 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 누름면(68)으로 충분히 큰 힘으로 양쪽에서 맞물게 되어, 절삭 블레이드(30)에 의한 피가공물의 절삭 작업에 지장을 초래하는 일은 없다.

그러나, 흡인로(71) 중의 압력이 전술한 정해진 값을 상회하였을 때에는, 플랜지부(50)의 환형홈(58)에 작용하는 부압이 충분히 크지 않기 때문에, 절삭 블레이드(30)의 고정이 절삭 작업을 속행하기 위해서는 불충분하게 된다. 따라서, 이 정해진 값 이상의 압력을 압력계(76)가 검출하였을 때에는, 컨트롤러(78)가 위험 신호를 출력하여 피가공물의 절삭 작업을 즉시 정지하도록 제어한다.

절삭 블레이드(30)가 마모되거나 절삭 블레이드(30)에 파손이 발생하여 새로운 절삭 블레이드와 교환할 필요가 생겼을 때에는, 개폐 밸브(72)를 폐쇄 위치로 전환하여 플랜지부(50)의 환형홈(58)에 작용하는 부압을 차단한다. 이에 의해, 고정 플랜지(64)의 부압에 의한 구속이 해제되기 때문에, 고정 플랜지(64) 및 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)로부터 용이하게 제거할 수 있다.

전술한 본 실시형태의 절삭 블레이드의 장착 기구에서는, 부압을 도입하는 데 로터리 조인트(36)를 사용하는 것을 하나의 특징으로 한다. 로터리 조인트(36)를 스핀들 하우징(27)의 단부면(27a)에 고정함으로써, 지지 플랜지(46)의 플랜지부(50)의 환형홈(58) 내에 부압을 도입 가능하기 때문에, 종래의 절삭 장치에 있어서의 스핀들(28) 및 스핀들 하우징(27)의 구조를 크게 개조하는 일 없이, 스핀들 하우징(27)의 단부면(27a)에 다소 보정을 가하는 것만으로, 종래 장치에서 채용되고 있던 너트를 사용한 고정 플랜지(64)의 고정 대신에, 부압에 의한 고정 플랜지(64)의 고정으로 용이하게 변경할 수 있다.

전술한 실시형태에서는, 로터리 조인트(36)를 통해 고정 플랜지(46)의 플랜지부(50)에 형성된 환형홈(58) 내에 부압을 도입하여, 부압에 의해 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 플랜지부(50)의 미세한 요철(51)을 갖는 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 미세한 요철(69)을 갖는 누름면(68)으로 양쪽에서 맞물도록 하고, 또한 보스부(48)에 형성된 볼록부(52)를 고정 플랜지(64)의 감합 구멍(65)에 형성된 오목부(70) 내에 감합하여 회동 규제부를 구성하였기 때문에, 너트를 사용하는 일없이 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)와 고정 플랜지(64)로 양쪽에서 맞물도록 확실하게 고정할 수 있다.

절삭 블레이드(30)를 교환할 때에는, 개폐 밸브(72)의 폐쇄 위치로의 전환에 의해 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)로부터 제거하여, 절삭 블레이드(30)를 효율적으로 교환할 수 있다.

2: 절삭 장치 26: 절삭 유닛
27: 스핀들 하우징 28: 스핀들
30: 절삭 블레이드 36: 로터리 조인트
46: 지지 플랜지 48: 보스부
50: 플랜지부 50a: 링형 지지면
51: 미세한 요철 52: 볼록부
53: 원통부 54, 58: 환형홈
56: 연통 구멍 57: 연통로
60: 흡인 구멍 64: 고정 플랜지(누름 플랜지)
68: 링형 누름면 69: 미세한 요철
70: 오목부

Claims

피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과, 상기 척 테이블과 상기 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비한 절삭 장치로서,
상기 절삭 수단은, 스핀들과, 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 상기 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고,
상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되어 상기 절삭 블레이드의 한쪽의 면을 지지하는 링형의 지지면을 구비한 플랜지부와, 상기 스핀들의 선단부에 감합하는 원통부를 포함하며,
상기 지지 플랜지의 상기 플랜지부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구한 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍과 연통하는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 흡인원에 선택적으로 연통하고 있고,
상기 고정 플랜지는, 상기 지지 플랜지의 상기 보스부에 감합하는 감합 구멍과, 상기 절삭 블레이드의 다른쪽의 면을 누르는 링형의 누름면을 가지며,
적어도 상기 지지 플랜지의 상기 링형의 지지면에는 상기 절삭 블레이드와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철이 형성되고,
상기 개폐 밸브를 개방하여 상기 연통 구멍을 상기 흡인원에 접속하면, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이가 감압되어, 상기 고정 플랜지가 상기 지지 플랜지에 흡인되어 상기 절삭 블레이드가 고정되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
제1항에 있어서,
상기 고정 플랜지의 상기 링형의 누름면에는 상기 절삭 블레이드와의 마찰을 향상시키는 미세한 요철이 형성되어 있는 것인 절삭 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 로터리 조인트와 상기 흡인원 사이에는 압력계가 배치되어 있고, 상기 압력계의 값이 정해진 값을 상회하였을 때에 위험 신호를 출력하는 안전 장치를 더 구비하는 것인 절삭 장치.