JP3485816B2 - ダイシング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック積層板
や半導体ウエハ等のワークを個々のチップに分断するダ
イシング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】特開昭６０−２１４９１１号公報には、
半導体ウエハや集積回路ウエハを個々のチップに分断す
るダイシング装置が開示されている。このダイシング装
置は、供給されたウエハをプリアライメントする第１の
位置と、テーブル上にウエハを搭載する第２の位置と、
ダイシング後のウエハを洗浄する第３の位置と、洗浄後
のウエハを保管する第４の位置と、第２の位置から離れ
たダイシング領域においてテーブル上のウエハを個々の
チップに分断するダイシング機構とを備えている。前記
第１の位置〜第４の位置は正方形の頂点上に配置されて
いる。また、隣接する位置間のウエハ搬送は、前記正方
形の中心に旋回軸を有する十字状の旋回アームによって
行われる。ちなみに、十字状の旋回アームの４つの先端
部それぞれには、ウエハを保持するための吸引チャック
が設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このダイシン
グ装置では、その機能上、第１の位置から第２の位置へ
のウエハ搬送と、第２の位置から第３の位置へのウエハ
搬送と、第３の位置から第４の位置へのウエハ搬送しか
行われないため、換言すれば、第４の位置から第１の位
置へのウエハ搬送は行われないため、最も多くのウエハ
が同時に搬送される状態でも３つの吸引チャックが使用
されるだけで、４つの吸引チャック全てが使用されるこ
とはない。つまり、４つの吸引チャックの１つは不要な
ものであることから十字状の旋回アームを用いる必然性
はなく、不要な吸引チャックを採用することによりコス
ト面での負担が増加すると共に、構成が複雑化すること
によりメンテナンスの負担も増加してしまう。

【０００４】本発明は前記事情に鑑みて創作されたもの
で、ウエハ等のワークの搬送効率を低下することなく、
構成を簡略化してコスト面での負担やメンテナンスの負
担を軽減できる新規なダイシング装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のダイシング装置は、ダイシング前のワーク
を供給する第１の位置と、テーブル上にダイシング前の
ワークを搭載する第２の位置と、ダイシング後のワーク
を洗浄する第３の位置と、洗浄後のワークを保管する第
４の位置と、第２の位置から離れたダイシング領域にお
いてテーブル上のワークをダイシングするダイシング機
構と、第１の位置から第２の位置へのワーク搬送と第２
の位置から第３の位置へのワーク搬送と第３の位置から
第４の位置へのワーク搬送を可能としたワーク搬送機構
とを備え、前記第１の位置〜第４の位置は同一円周上に
９０度間隔で配置され、前記ワーク搬送機構は、前記円
周の中心に旋回軸を有し、且つ、３つのワーク吸着ヘッ
ドを前記円周に沿って９０度間隔で有する旋回アームを
備えることをその特徴としている。

【０００６】このダイシング装置では、円周の中心に旋
回軸を有し、且つ、３つのワーク吸着ヘッドを前記円周
に沿って９０度間隔で有する旋回アームを備えるワーク
搬送機構によって、第１の位置から第２の位置へのワー
ク搬送と、第２の位置から第３の位置へのワーク搬送
と、第３の位置から第４の位置へのワーク搬送を、個別
に、または２つ同時に、さらには３つ同時に行うことが
できる。この装置では、第４の位置から第１の位置への
ワーク搬送は行われないため、最も多くのウエハが搬送
される状態を考えてもワーク吸着ヘッドは３つあれば用
をなすものであるので、３つのワーク吸着ヘッドを利用
して最も効率的なワーク搬送を実現することができる。
また、不要な吸着ヘッドを省略することにより最適なア
ーム構成を確保することができ、これにより、構成を簡
略化してコスト面での負担やメンテナンスの負担を軽減
することができる。

【０００７】本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構
成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって
明らかとなる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１４を参照して本
発明の一実施形態について詳述する。図１はダイシング
装置の概略上面図であり、図１中の符号Ｐ１はダイシン
グ前のワークＷを供給する第１の位置、符号Ｐ２はテー
ブル上にダイシング前のワークＷを搭載する第２の位
置、符号Ｐ３はダイシング後のワークＷを洗浄する第３
の位置、符号Ｐ４は洗浄後のワークＷを保管する第４の
位置である。また、図１中の符号１はワーク搬送を行う
旋回アーム、符号１１はワーク供給器、符号２１はワー
ク保管器、符号３１はテーブル、符号５１はダイシング
ヘッド、符号９１はワーク洗浄器である。

【０００９】ちなみに、本実施形態では前記ワークＷと
して矩形状のセラミック積層板、詳しくは、積層コンデ
ンサや積層インダクタや積層複合部品等の積層型電子部
品となるセラミック積層板を示してある。このセラミッ
ク積層板は、粘着層を有する樹脂シートの上に多数のセ
ラミックシートを積層して圧着したものであり、ダイシ
ングによって個々のチップに分断された後、分断された
チップを樹脂シートから取り出して焼成し、焼成後のチ
ップに外部電極を形成することで所期の積層型電子部品
となる。

【００１０】第１の位置Ｐ１〜第４の位置Ｐ４は同一円
周上に時計回り方向で９０度間隔で配置されており、こ
の円周の中心には、旋回アーム１の軸１ｂが配置されて
いる。旋回アーム１は、長さが等しい３つのアーム部１
ａを軸１ｂを中心として前記円周に沿って９０度間隔で
有するＴ字状をしており、各アーム部１ａの先端部にワ
ーク保持用の吸着ヘッド２をそれぞれ有している。

【００１１】図２（Ａ）に示すように、旋回アーム１の
軸１ｂにはリンク１ｃの一端が連結され、リンク１ｃの
他端には旋回アーム駆動用のシリンダ３のロッド３ａが
連結されている。旋回アーム１はシリンダ３のロッド伸
縮によって９０度の回転を可能としており、この回転に
よって図２（Ａ）に示す位置と図２（Ｂ）に示す位置と
の間を往復回転する。図２（Ａ）に示す位置では３つの
吸着ヘッド２が第１の位置Ｐ１〜第３の位置Ｐ３にそれ
ぞれ対峙し、図２（Ｂ）に示す位置では３つの吸着ヘッ
ド２が第２の位置Ｐ２〜第４の位置Ｐ４にそれぞれ対峙
する。勿論、旋回アーム１の軸１ｂにモータを連結し
て、このモータの作動によって旋回アーム１を往復回転
させるようにしてもよい。

【００１２】吸着ヘッド２は下面形状が矩形であり、そ
の下面に、軟質樹脂や合成ゴム等から成る弾性パッド２
ａを有している。図示を省略したが、この弾性パッド２
ａには十字形溝或いは平行溝が形成されており、溝内面
には吸引孔が設けられている。また、この吸引孔は真空
ポンプ及びバルブ等を備えたエア回路に接続されてい
る。つまり、ワークＷは吸引孔に負圧を作用させること
により弾性パッド２ａに接した状態で吸着保持され、負
圧作用を解除することによりその保持を解かれる。尚、
３つの吸着ヘッド２は前記以外の構造を有するものであ
ってもよい。また、ダイシング前のワークＷをワーク供
給器１１からテーブル３１に搬送するための吸着ヘッド
２と、ダイシング後のワークＷをテーブル３１からワー
ク洗浄器９１に搬送するための吸着ヘッド２と、洗浄後
のワークＷをワーク洗浄器９１からワーク保管器２１に
搬送するための吸着ヘッド２のそれぞれに、搬送される
ワークＷの表面形状に合わせた構造のものを採用しても
よい。

【００１３】また、図３（Ａ）に示すように、各吸着ヘ
ッド２は上面中央に昇降軸２ｂを有し、各アーム部１ａ
の先端部に設けられたブッシュ１ｄに昇降軸２ｂを上下
移動可能に挿通されている。各アーム部１ａの先端部に
は、ブラケット４を用いてモータ５が下向きに配置され
ており、前記昇降軸２ｂの上端部は、中空に形成された
モータ軸５ａ内に挿入されている。また、ブラケット４
にはシリンダ６が下向きに配置されており、このシリン
ダ６のロッド６ａは、前記昇降軸２ｂに設けられた軸受
２ｃに部材７を介して連結されている。吸着ヘッド２の
昇降軸２ｂはモータ軸５ａに対して上下移動のみを可能
としてため、吸着ヘッド２はモータ５の作動によって回
転し、且つ、シリンダ６の作動によって昇降する。

【００１４】吸着ヘッド２に回転と昇降の動作を付与す
る機構には図３（Ａ）に示した以外の機構が採用でき
る。図３（Ｂ）はその一例を示すもので、吸着ヘッド２
の昇降軸２ｂにはモータ５の軸５ａが連結されており、
アーム部１ａに立設したシリンダ６のロッド６ａは部材
７を介してモータ５に連結されている。

【００１５】前記第１の位置Ｐ１には、図４（Ａ）に示
すようなワーク供給器１１が配置されている。このワー
ク供給器１１は、ダイシング前のワークＷが複数枚積み
重ねられた昇降板１２と、昇降板１２に連結されたガイ
ド板１３と、２本のガイドロッド１４とボールネジ１５
を支える支持板１６と、ボールネジ１５の一端にその軸
１７ａを連結されたモータ１７とを備えており、ガイド
板１３にはガイドロッド１４が挿通される２つのブッシ
ュ１３ａと、ボールネジ１５に螺合するナット１３ｂが
設けられている。このワーク供給器１１は、モータ１７
によってボールネジ１５を回転させて昇降板１２を間欠
的に上昇させることにより、最上位のワークＷの供給高
さ位置を一定に調整して、取出口１８からのワーク取り
出しを可能とすることができる。図示を省略したが、昇
降板１２の回りには、昇降板１２上に積み重ねられたワ
ークＷが上昇時や待機状態において崩れや位置ずれを生
じることを防止するためのガイドロッドが複数本配置さ
れている。

【００１６】前記第４の位置Ｐ４には、図４（Ｂ）に示
すようなワーク保管器２１が配置されている。このワー
ク保管器２１は、前記ワーク供給器１１と同一構成を有
しており、洗浄後のワークＷが積み重ねられる昇降板２
２と、昇降板２２に連結されたガイド板２３と、２本の
ガイドロッド２４とボールネジ２５を支える支持板２６
と、ボールネジ２５の一端にその軸２７ａを連結された
モータ２７とを備えており、ガイド板２３にはガイドロ
ッド２４が挿通される２つのブッシュ２３ａと、ボール
ネジ２５に螺合するナット２３ｂが設けられている。こ
のワーク保管器２１は、洗浄後のワークＷを保管口２８
を通じて昇降板２２で受け止め、２番目以降のワークＷ
をその上に順次積み重ねるようにして保管することがで
き、昇降板２２をモータ２７によるボールネジ２５の回
転によって間欠的に下降させることによりその受け止め
高さを一定に調整することができる。図示を省略した
が、昇降板２２の回りには、昇降板２２上に積み重ねら
れたワークＷが下降時や待機状態において崩れや位置ず
れを生じることを防止するためのガイドロッドが複数本
配置されている。

【００１７】前記第２の位置Ｐ２には、テーブル３１が
配置されている。図５及び図６に示すように、このテー
ブル３１は、θ方向の回転を可能とした矩形状のワーク
支持板３２と、ワーク支持板３２を回転自在に支持する
スライド台３３と、ワーク支持板３２をθ方向に回転駆
動するモータ（図示省略）とを備えている。図示を省略
したが、ワーク支持板３２には多数の吸引孔が設けられ
ており、これら吸引孔は真空ポンプ及びバルブ等を備え
たエア回路に接続されている。つまり、ワークＷは吸引
孔に負圧を作用させることによりワーク支持板３２に接
した状態で吸着保持され、負圧作用を解除することによ
りその保持を解かれる。

【００１８】このテーブル３１は、第２の位置Ｐ２から
Ｘ方向（図１参照）に離れたダイシング領域への移動
と、このダイシング領域から第２の位置Ｐ２への移動を
可能としている。テーブル３１をＸ方向（図１参照）に
移動させる機構は、図５及び図６に示すように、台板４
１と、台板４１上に支持されたＸ方向の一対のガイドレ
ール４２とボールネジ４３と、ボールネジ４３の一端に
その軸４４ａを連結されたモータ４４と、一対のガイド
レール４２に移動可能に係合するように前記テーブル３
１の下面に設けられた二対のスライドガイド４５と、前
記テーブル３１の下面に設けられボールネジ４３に螺合
するナット４６とを備えている。つまり、前記テーブル
３１は、モータ４５によってボールネジ４３を回転させ
ることにより、ガイドレール４２に沿ってＸ方向に移動
する。

【００１９】前記のダイシング領域には、ダイシングヘ
ッド５１が配置されている。このダイシングヘッド５１
は、図５及び図６に示すように、円筒形のスピンドルモ
ータ５２と、スピンドルモータ５２のシャフト５２ａに
着脱自在に固定されたダイヤモンドブレード等のブレー
ド５３と、ブレード５３の下部が露出するようにその外
側を覆うブレードカバー５４と、ブレードカバー５４の
内面からブレード５３に向かって水等の冷却液を供給す
る冷却液噴射口（図示省略）を備えている。スピンドル
モータ５２の向きは前記テーブル３１のワーク支持板３
２の表面と平行で、且つ、テーブル３１の移動方向と直
交しており、ブレード５３の向きはテーブル３１の移動
方向と平行である。

【００２０】このダイシングヘッド５１は、Ｘ方向と直
交したＹ方向（図１参照）と上下方向に当たるＺ方向
（図１参照）の移動を可能としている。ダイシングヘッ
ド５１をＹ方向とＺ方向に移動させる機構は、図５及び
図６に示すように、支柱６１と、支柱６１の側面に支持
されたＹ方向の一対のガイドレール６２とボールネジ６
３と、ボールネジ６３の一端にその軸を連結されたモー
タ６４と、一対のガイドレール６２に移動可能に係合す
る二対のスライドガイド６５と、ボールネジ６３に螺合
するナット６６と、スライドガイド６５及びナット６６
が連結された第１スライド板６７と、第１スライド板６
７の側面に支持されたＺ方向の一対のガイドレール６８
とボールネジ６９と、ボールネジ６９の一端にその軸を
連結されたモータ７０と、一対のガイドレール６８に移
動可能に係合する二対のスライドガイド７１と、ボール
ネジ６９に螺合するナット７２と、スライドガイド７１
及びナット７２が連結された第２スライド板７３と、第
２スライド板７３の下部に前記ダイシングヘッド５１の
スピンドルモータ５２の前部及び後部を連結するための
２つの連結部材７４とを備えている。つまり、前記ダイ
シングヘッド５１は、モータ６４によってボールネジ６
３を回転させて第１スライド板６７をガイドレール６２
に沿って移動させることによりＹ方向に移動し、また、
モータ７０によってボールネジ６９を回転させて第２ス
ライド板７３をガイドレール６８に沿って移動させるこ
とによりＺ方向に移動する。

【００２１】また、前記第２スライド板６７のテーブル
側には、ＣＣＤ等の２次元撮像素子を内蔵した２つのカ
メラ８１，８２がＹ方向に並べて配置されている。この
２つのカメラ８１，８２はテーブル３１上のワークＷを
撮像してワークＷの位置検出を行うためのものであり、
図示例のものでは、第２スライド板６７に近い方のカメ
ラ８１として高倍率のものを用い、他方のカメラ８２と
して低倍率のものを用いてある。

【００２２】前記第３の位置Ｐ３には、図７に示すよう
なワーク洗浄器９１が配置されている。このワーク洗浄
器９１は、上端開口の固定筒９２と、固定筒９２内に配
置されたターンテーブル９３と、ターンテーブル９３を
回転するためのモータ９４と、ターンテーブル９３に向
かって水等の洗浄液を供給するための洗浄液噴射口９５
と、ターンテーブル９３に向かって空気等の乾燥用ガス
を供給するためのガス噴射口９６と、洗浄液がモータ９
４側に浸入することを防止するための防水カバー９７と
を備えている。図示を省略したが、ターンテーブル９３
には多数の吸引孔が設けられており、これら吸引孔は真
空ポンプ及びバルブ等を備えたエア回路に接続されてい
る。つまり、ワークＷは吸引孔に負圧を作用させること
によりターンテーブル３２に接した状態で吸着保持さ
れ、負圧作用を解除することによりその保持を解かれ
る。

【００２３】以下に、本実施形態のダイシング装置の動
作を説明する。

【００２４】動作開始前において旋回アーム１は図１に
示す位置にあり、この旋回アーム１の３つの吸着ヘッド
２は第１の位置Ｐ１〜第３の位置Ｐ３にそれぞれ対峙し
ている。

【００２５】動作開始後は、まず、図１の状態において
旋回アーム１の図中右下の吸着ヘッド２を下降させ、こ
の吸着ヘッド２によってワーク供給器１１における１枚
目のワークＷを吸着保持し、ワーク保持後にこの吸着ヘ
ッド２を上昇復帰させる。

【００２６】次に、図８に示すように、旋回アーム１を
図中時計回り方向に９０度回転させ、ここで、１枚目の
ワークＷを保持している吸着ヘッド２を下降させてこの
ワークＷをテーブル３１に搭載し、搭載後はワーク保持
を解除してからこの吸着ヘッド２を上昇復帰させる。テ
ーブル３１上に搭載されたワークＷはワーク支持板３２
に吸着保持される。

【００２７】次に、図９に示すように、旋回アーム１を
図中反時計回り方向に９０度回転させると共に、ワーク
Ｗが搭載されたテーブル３１を第２の位置Ｐ３からダイ
シング領域に移動させる。

【００２８】テーブル３１がダイシング領域に移動する
と、低倍率のカメラ８２（図６参照）によってテーブル
３１上のワークＷが撮像され、この撮像データに基づい
て検出エリアの絞り込みが行われる。そして、高倍率の
カメラ８１（図６参照）によってワークＷの検出エリア
が撮像され、この撮像データに基づいてワークＷの正確
な位置検出が行われる。この位置検出後は、検出情報に
基づいてテーブル３１上のワークＷに対してダイシング
が実施される。

【００２９】具体的には、まず、Ｘ方向に移動可能なテ
ーブル３１とＹ・Ｚ方向に移動可能なダイシングヘッド
５１を適宜移動させて、ワークＷに対するブレード５３
の初期位置を決定する。そして、ダイシングヘッド５１
のブレード５３を回転させながらテーブル３１をＸ方向
に一定速度で移動させて、ワークＷに１ライン目の切断
を実施する。１ライン目の切断を終了した後は、ダイシ
ングヘッド５１をＺ方向上側に所定距離移動させてブレ
ード５３をワークＷから離し、そしてテーブル３１を前
記とは逆方向に移動させると共に、ダイシングヘッド５
１をＹ方向に所定距離移動させてライン替えを行う。そ
して、ダイシングヘッド５１をＺ方向下側に所定距離移
動させて高さ位置を合わせ、前記と同様にテーブル３１
をＸ方向に一定速度で移動させて、ワークＷに２ライン
目の切断を実施する。この後も前記と同様の動作を繰り
返して同じ方向の切断を必要ライン数繰り返す。次い
で、テーブル３１をθ方向に９０度回転させてワークＷ
の向きを変えてから、先に形成したラインと直交する方
向の切断を前記同様に必要ライン数繰り返す。勿論、１
つのラインの切断が終了した後にテーブル３１を逆方向
に移動させるときに次のラインの切断を行うようにして
もよい。これにより、テーブル３１上のワークＷが格子
状に切断され個々のチップに分断される。先に述べたよ
うにワークＷの下面には樹脂シートが粘着層を介して張
り付けられているので、分断されたチップは樹脂シート
に張り付いた状態を維持する。尚、前記のダイシング時
には、ブレードカバー５４に設けられた冷却液噴射口か
らブレード５３に向かって冷却液が供給され、これによ
りブレード５３の冷却と切断によって生じた加工かす
（セラミック微細粉）の除去が行われる。

【００３０】ダイシング完了後は、図１０に示すよう
に、テーブル３１を第２の位置Ｐ２に戻す。そして、旋
回アーム１の図中左下の吸着ヘッド２を下降させ、この
吸着ヘッド２によってテーブル３１上のダイシング済み
のワークＷを吸着保持し、ワーク保持後にこの吸着ヘッ
ド２を上昇復帰させる。また、旋回アーム１の図中右下
の吸着ヘッド２を下降させ、この吸着ヘッド２によって
ワーク供給器１１における２枚目のワークＷを吸着保持
し、ワーク保持後にこの吸着ヘッド２を上昇復帰させ
る。

【００３１】次に、図１１に示すように、旋回アーム１
を図中時計回り方向に９０度回転させ、ここで、ダイシ
ング済みのワークＷを保持している吸着ヘッド２を下降
させてこのワークＷをワーク洗浄器９１のターンテーブ
ル９２に搭載し、搭載後はワーク保持を解除してからこ
の吸着ヘッド２を上昇復帰させ、搭載ワークＷをターン
テーブル９２に吸着保持させる。また、２枚目のワーク
Ｗを保持している吸着ヘッド２を下降させてこのワーク
Ｗをテーブル３１に搭載し、搭載後はワーク保持を解除
してからこの吸着ヘッド２を上昇復帰させ、搭載ワーク
Ｗをワーク支持板３２に吸着保持させる。

【００３２】次に、図１２に示すように、旋回アーム１
を図中反時計回り方向に９０度回転させると共に、ワー
クＷが搭載されたテーブル３１を第２の位置Ｐ２からダ
イシング領域に移動させる。テーブル３１がダイシング
領域に移動した後は、前記と同様の位置検出とダイシン
グが実施されると共に、ダイシングの時間を利用してワ
ーク洗浄器９１では、ターンテーブル９２上のダイシン
グ済みのワークＷに対して洗浄が実施される。

【００３３】具体的には、ターンテーブル９２上のワー
クＷに向かって洗浄液噴射口９５から洗浄液を供給しな
がらターンテーブル９２を所定数回転させる洗浄プロセ
スと、ターンテーブル９２上のワークＷに向かってガス
噴射口９６から乾燥用ガスを供給しながらターンテーブ
ル９２を所定数回転させる乾燥プロセスを所定時間毎に
１サイクル以上繰り返して、ダイシング済みのワークＷ
に対する洗浄を行う。ちなみに、洗浄後の洗浄液は、固
定筒９２または防水カバー９７に設けた排水口（図示省
略）から外部に排出される。

【００３４】ダイシングと洗浄を完了した後は、図１３
に示すように、テーブル３１を第２の位置Ｐ２に戻す。
そして、旋回アーム１の図中左上の吸着ヘッド２を下降
させ、この吸着ヘッド２によってワーク洗浄器９１のタ
ーンテーブル９２上の洗浄済みのワークＷを吸着保持
し、ワーク保持後にこの吸着ヘッド２を上昇復帰させ
る。また、旋回アーム１の図中左下の吸着ヘッド２を下
降させ、この吸着ヘッド２によってテーブル３１上のダ
イシング済みのワークＷを吸着保持し、ワーク保持後に
この吸着ヘッド２を上昇復帰させる。さらに、旋回アー
ム１の図中右下の吸着ヘッド２を下降させ、この吸着ヘ
ッド２によってワーク供給器１１における３枚目のワー
クＷを吸着保持し、ワーク保持後にこの吸着ヘッド２を
上昇復帰させる。

【００３５】次に、図１４に示すように、旋回アーム１
を図中時計回り方向に９０度回転させ、ここで、洗浄済
みのワークＷを保持している吸着ヘッド２を下降させて
このワークＷをワーク保管器２１の昇降板２２上に搭載
し、搭載後はワーク保持を解除してからこの吸着ヘッド
２を上昇復帰させる。また、ダイシング済みのワークＷ
を保持している吸着ヘッド２を下降させてこのワークＷ
をワーク洗浄器９１のターンテーブル９２に搭載し、搭
載後はワーク保持を解除してからこの吸着ヘッド２を上
昇復帰させ、搭載ワークＷをターンテーブル９２に吸着
保持させる。さらに、３枚目のワークＷを保持している
吸着ヘッド２を下降させてこのワークＷをテーブル３１
に搭載し、搭載後はワーク保持を解除してからこの吸着
ヘッド２を上昇復帰させ、搭載ワークＷをワーク支持板
３２に吸着保持させる。

【００３６】この後は、図１２〜図１４で説明した手順
を繰り返して、ワークＷに対するダイシングと洗浄と保
管を連続して行う。

【００３７】このように、本実施形態のダイシング装置
によれば、ダイシング前のワークＷを供給する第１の位
置Ｐ１と、加工テーブル３１上にダイシング前のワーク
Ｗを搭載する第２の位置Ｐ２と、ダイシング後のワーク
Ｗを洗浄する第３の位置Ｐ３と、洗浄後のワークを保管
する第４の位置Ｐ４とを同一円周上に９０度間隔で時計
回り方向に配置すると共に、前記円周の中心に旋回軸１
ｂを有する旋回アーム１に前記円周に沿って９０度間隔
で３つの吸着ヘッド２を配置してあるので、旋回アーム
１を９０度の角度で往復回転させることによって、第１
の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２へのワーク搬送と第２の
位置Ｐ２から第３の位置Ｐ３へのワーク搬送と第３の位
置Ｐ３から第４の位置Ｐ４へのワーク搬送を的確に行う
ことができる。

【００３８】つまり、旋回アーム１は、第１の位置Ｐ１
〜第３の位置Ｐ３に３つの吸着ヘッド２がそれぞれ対峙
した位置と、第２の位置Ｐ２〜第４の位置Ｐ４に３つの
吸着ヘッド２がそれぞれ対峙した位置との間で往復回転
するだけであるので、旋回アーム１を９０度よりも大き
な角度範囲で回転させる必要がなく、極力小さな角度範
囲の往復回転によって所期のワーク搬送を高効率で安定
して行うことができる。

【００３９】また、前述のダイシング装置では、その機
能上、第４の位置Ｐ４から第１の位置Ｐ１へのワーク搬
送は行われないため、旋回アーム１に前記円周に沿って
９０度間隔で３つの吸着ヘッド２を設けておけば、最も
多くのワークＷが同時に搬送される状態、即ち、第１の
位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２へのワーク搬送と、第２の
位置Ｐ２から第３の位置Ｐ３へのワーク搬送と、第３の
位置Ｐ３から第４の位置Ｐ４へのワーク搬送を同時に行
う状態でも、このときのワーク搬送を良好に行うことが
できる。換言すれば、旋回アーム１に不要な吸着ヘッド
２を設ける必要がなく、しかも、旋回アーム１としてＴ
字状のものを採用できるので、旋回アーム自体の構成を
簡略化してコスト面での負担やメンテナンスの負担を軽
減することができる。

【００４０】さらに、旋回アーム１には３つの吸着ヘッ
ド２を個別に昇降及び回転させるためのアクチュエータ
を設けてあるので、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２の
間や第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３との間や第３の位
置Ｐ３から第４の位置Ｐ４との間に段差や障害物等があ
る場合でも吸着ヘッド２を適宜昇降させることにより所
期のワーク搬送を支障なく良好に行うことができる。ま
た、搬送されるワークＷの向きが搬送途中を含めて変化
するような場合でも、吸着ヘッド２を適宜回転させるこ
とにより搬送ワークＷの向きを簡単に矯正することがで
きる。

【００４１】ちなみに、図１５に示すように、第２の位
置Ｐ３と第３の位置Ｐ４との間に、搬送途中のワークＷ
及び吸着ヘッド２が衝突するような障害物ＯＢ、例え
ば、ダイシングヘッド５１をＹ・Ｚ方向に移動させるた
めのアクチュエータの一部が存在するような場合には、
吸着ヘッド２によってテーブル３１上ダイシング済みの
ワークＷを吸着保持した後に、この吸着ヘッド２を時計
回り方向或いは反時計回り方向に４５度回転させてか
ら、旋回アーム１を図中時計回り方向に９０度回転させ
るようにするとよい。このようにすれば、ワークＷ及び
吸着ヘッド２が第２の位置Ｐ３から第３の位置Ｐ４に移
動するときにワークＷ及び吸着ヘッド２が障害物ＯＢに
衝突することを未然に防止することができる。但し、第
２の位置Ｐ２で時計回り方向或いは反時計回り方向に４
５度回転させると、第３の位置Ｐ３におけるワークＷ及
び吸着ヘッド２の向きも４５度回転したままの状態とな
るため、ダイシング済みのワークＷをワーク洗浄器９１
のターンテーブル９２に搭載する前段階で吸着ヘッド２
を時計回り方向或いは反時計回り方向に４５度回転させ
るか、或いは、洗浄後にターンテーブル９２を±４５度
回転させるとワークＷ及び吸着ヘッド２の向きを元の状
態に戻すことができる。

【００４２】尚、本実施形態の装置では、ワークＷとし
てセラミック積層板を用いたものを示したが、セラミッ
ク積層板以外のワークＷ、例えば、半導体ウエハや集積
回路ウエハを個々のチップに分断する場合にも前述の装
置を用いることができ、前記と同様の作用効果を得るこ
とができる。

【００４３】また、本実施形態の装置では、旋回アーム
１としてＴ字状のものを用いたが、３つの吸着ヘッドを
同一円周上に９０度間隔で有するものであれば、旋回ア
ームは必ずしもＴ字状である必要はない。

【００４４】さらに、本実施形態の装置では、Ｔ字状を
なす旋回アーム１の各アーム部１ａの先端部に吸着ヘッ
ド２を設けたものを示したが、各アーム部１ａを少なく
とも２段階で伸縮可能な構造とするか、或いは、各アー
ム部１ａをヒンジ部において折り曲げることができるよ
うな構造としておけば、アーム部１ａを適宜伸縮させる
か折り曲げることによって吸着ヘッド２を待避させ、各
位置Ｐ１〜Ｐ４におけるメンテナンスをより簡単に行う
ことができる。

【００４５】図１６及び図１７には、ダイシング時にブ
レード５３に向かって供給された後の冷却液がテーブル
３１をＸ方向に移動させるための機構に入り込むことを
防止するのに有用な構造を示してある。

【００４６】図中の符号１０１はテーブル３１のスライ
ド台３３の周囲に水密に取り付けられた横断面コ字形の
防水カバー、符号１０２は防水カバー１０１のＸ方向の
両端にその一端を水密に連結された横断面コ字形の一対
の伸縮カバーである。この伸縮カバー１０２はネオプレ
ンやシリコン等の合成ゴムや芯布に樹脂コーティングを
施したものをその材料として蛇腹状に形成されており、
テーブル３１がＸ方向に移動するときにこれに合わせて
適宜伸縮する。また、符号１０３は一対の伸縮カバー１
０２の他端が水密に連結された一対の支持板、符号１０
４は両端を支持板１０３に水密に連結された横断面Ｕ字
形の排水部材であり、一対の支持板１０４は台板４１に
取り付けられている。また、一対の排水部材１０４はテ
ーブル３１の両側に互いが平行となるように配置され、
横断面コ字形の防水カバー１０１の垂直部分は防水カバ
ー１０１の内側に入り込んでいる。

【００４７】符号１０５は一対の排水部材１０４の内側
それぞれに配置された螺旋状ブラシであり、その中心軸
は一対の支持板１０３に支持され、その下側部分を排水
部材１０４の内底に接している。２本の螺旋状ブラシ１
０５の軸一端にはプーリ１０６がそれぞれ取り付けら
れ、この２つのプーリ１０６にはベルト１０７が巻き付
けられている。また、一方の螺旋状ブラシ１０５の軸一
端には前記とは別のプーリ１０６が取り付けられ、この
プーリ１０６とモータ１０８の軸に取り付けられたプー
リ１０６にはベルト１０７が巻き付けられている。即
ち、２本の螺旋状ブラシ１０５は、モータ１０８の作動
によってその軸を中心として同一方向に回転する。ちな
みに、一対の排水部材１０４はプーリが設けられた側が
他方の側よりも高くなるように、或いはこの逆に傾斜し
ており、低位側の底または端には図示省略の排水口が設
けられている。また、２本の螺旋状ブラシ１０５は、傾
斜した排水部材１０４における自然排水を妨げるもので
はなく、しかも排水を促進できるような向きで回転す
る。

【００４８】先に述べたように、テーブル３１上のワー
クＷに対してダイシングが実施されるときには、ブレー
ドカバー５４に設けられた冷却液噴射口からブレード５
３に向かって冷却液が供給され、これによりブレード５
３の冷却と切断によって生じたセラミック微細粉の除去
が行われる。セラミック微細粉を含む冷却液は、図１７
に矢印で示すように流れて防水カバー１０１及び伸縮カ
バー１０２から排水部材１０４内に流れ込む。この冷却
液は排水部材１０４の傾斜に沿って流れて排水口から排
水される。また、このときにはモータ１０８によって２
つの螺旋状ブラシ１０５が回転し、排水部材１０４の内
底に溜まったセラミック微細粉を排水口方向に移動させ
る。

【００４９】つまり、前記のような螺旋状ブラシ１０５
がない場合には、冷却液に含まれているセラミック微細
粉が排水部材１０４の内底に溜まったままとなってしま
うが、前記のような螺旋状ブラシ１０５を用いてこれを
回転させれば、排水部材１０４の内底に溜まったセラミ
ック微細粉を排水口方向に移動させて排出することがで
き、これにより内底に溜まったセラミック微細粉によっ
て排水部材１０４から冷却液が溢れてしまうことを未然
に防止することができる。

【００５０】防水カバー１０１と伸縮カバー１０２は何
れも横断面コ字形をなし、しかも防水カバー１０１の垂
直部分が防水カバー１０１の内側に入り込んいるので、
テーブル３１上から防水カバー１０１内に流れ込む冷却
液がガイドレール４２やボールネジ４３等を含むテーブ
ル移動機構に入り込むことはないが、より確実な防水を
行うときには、図１８に示すように前記防水カバー１０
１と同様の形状を有する第２の防水カバー１１０をスラ
イド台３３の周囲に水密に取り付けると共に、この第２
の防水カバー１１０のＸ方向の両端に前記伸縮カバー１
０２と同様の形状を有する一対の第２の伸縮カバー（図
示省略）の一端を水密に連結し他端を支持板１０３に水
密に連結するようにするとよい。このようにすれば、テ
ーブル移動機構への冷却液の入り込みを２重に防止する
ことができる。

【００５１】尚、排水部材１０４の内底に溜まったセラ
ミック微細粉を排水口方向に移動させることは前記の螺
旋状ブラシ１０５を用いなくとも行うことが可能であ
る。例えば、図１９に示すように、その下側部分を排水
部材１０４の内底に接する好ましくは可撓性の掻き取り
板１１１をロッド１１１ａを介して防水カバー１０１に
取り付ければ、テーブル３１がＸ方向に移動するときに
同時に掻き取り板１１１を移動させて、排水部材１０４
の内底に溜まったセラミック微細粉を排水口方向に移動
させることができる。この場合には、掻き取り板１１１
によるセラミック微細粉の移動を一方向に規制すること
ができないので、掻き取り板１１１の移動範囲内に合わ
せて複数の排水口を排水部材１０４の内底に設けるよう
にするとよい。勿論、図２０に示すように、前記同様の
掻き取り板１１２をシリンダ１１３のロッド１１３ａに
取り付けて昇降できるようにすれば、掻き取り板１１２
を下げた状態で移動させることにより、掻き取り板１１
２によるセラミック微細粉の移動を一方向に規制するこ
とができる。また、図２１に示すように、前記同様の掻
き取り板１１４の上端をピン１１４ａを介して防水カバ
ー１０１に回転自在に取り付け、この掻き取り板１１４
の回転方向をストッパピンＳＰによって制限するように
すれば、掻き取り板１１４によるセラミック微細粉の移
動を一方向に規制することができる。

【００５２】また、図２２に示すように、防水カバー１
０１に取り付けられた支持部材１１５に防水機能を有す
るモータ１１６を取り付け、このモータ１１６の軸１１
６ａに円筒状のブラシ１１７を取り付けてその下側部分
を排水部材１０４の内底に接するようにしておけば、テ
ーブル３１がＸ方向に移動するときに同時にブラシ１１
７を所定方向に回転させることで、排水部材１０４の内
底に溜まったセラミック微細粉を排水口方向に移動させ
ることができる。

【００５３】さらに、図２３に示すように、防水カバー
１０１に取り付けられた支持部材１１８にロッド１１９
を回転自在に設け、このロッド１１９にローラ１２０を
設けてこのローラ１２０を排水部材１０４の内面或いは
内面に設けたレール１２１に接触させると共に、ロッド
１１９の下端に球状のブラシ１２２を取り付けてその下
側部分を排水部材１０４の内底に接するようにしておけ
ば、テーブル３１がＸ方向に移動するときに同時に回転
するローラ１２０によってブラシ１１７を回転させるこ
とで、排水部材１０４の内底に溜まったセラミック微細
粉を排水口方向に移動させることができる。この場合、
前記ローラ１２０としてピニオンを用い、レール１２１
としてラックを用いれば、テーブル移動に伴うブラシ１
１７の回転をより的確に行える。

【００５４】図２４には、ダイシング時にブレード５３
に向かって供給された冷却液または供給された後の冷却
液がブレード５３の回転によって飛散してカメラ８１，
８２の対物レンズに付着して撮像不良を生じることを防
止するのに有用な構造を示してある。

【００５５】図中の符号８１，８２はカメラ、符号８１
ａ，８２ａは対物レンズ、符号８１ｂ，８２ｂはカメラ
８１，８２の下部に取り付けられたレンズフード、８１
ｃ，８２ｃはレンズフード８１ｂ，８２ｂの下部に取り
付けられた照明器である。照明器８１ｃ，８２ｃは光フ
ァイバ等を通じて導かれた光を図中太線矢印方向に伝搬
してその下面からリング状に照射して、撮像時にワーク
Ｗを照明する。レンズフード８１ｂ，８２ｂには吸気口
８１ｂ１，８２ｂ１が設けられ、この吸気口８１ｂ１，
８２ｂ１にはエアコンプレッサ及びバルブ等を備えたエ
ア回路に接続されている。

【００５６】先に述べたように、テーブル３１上のワー
クＷに対してダイシングが実施されるときには、ブレー
ドカバー５４に設けられた冷却液噴射口からブレード５
３に向かって冷却液が供給され、これによりブレード５
３の冷却と切断によって生じたセラミック微細粉の除去
が行われる。ブレード５３に向かって供給された冷却液
または供給された後の冷却液はブレード５３の回転によ
って周囲に飛散するが、このときには吸気口８１ｂ１，
８２ｂ１からレンズフード８１ｂ，８２ｂ内にエアを供
給し、このエアをレンズフード８１ｂ，８２ｂの下面開
口から外部に吹き出すようにする。

【００５７】つまり、ブレード５３に向かって供給され
た冷却液または供給された後の冷却液はブレード５３の
回転によって周囲に飛散するような状況下でも、この飛
散物がレンズフード８１ｂ，８２ｂ内に入り込むこと、
また、飛散物が対物レンズ８１ａ，８２ａに付着するこ
とを前記のエア吹き出しによって確実に防止して、撮像
を良好に実施することができる。

【００５８】尚、冷却液の飛散物が付着することを原因
とした撮像不良の問題は前記以外の構造でも防止するこ
とができる。例えば、図２５に示すように、レンズフー
ド８１ｂ，８２ｂの下面開口に親水性のフィルター１３
１を取り付けて、液の膜を積極的に、好ましくは均一に
付けるようにすれば、水滴が分散して付着する場合に比
べて撮像に対する影響を抑制することができる。

【００５９】また、図２６に示すように、レンズフード
８１ｂ，８２ｂの下面開口に撥水性のフィルター１３２
を取り付けると共に、レンズフード８１ｂ，８２ｂには
吸気口８１ｂ２，８２ｂ２とフード下面に向かう通気路
８１ｂ３，８２ｂ３を設けて、通気路８１ｂ３，８２ｂ
３の下端にフィルター１３１の下面に向くノズル１３３
を設ければ、吸気口８１ｂ２，８２ｂ２から通気路８１
ｂ３，８２ｂ３を介してノズル１３３からフィルター１
３１に向けてエアを吹き出すことで、フィルター１３１
に付着した冷却液を飛散物をこの吹き出しエアによって
除去して、撮像不良の問題を解消することができる。フ
ィルター１３１として撥水性のものを用いているので、
前記の吹き出しエアによる付着物の除去も容易である。

【００６０】さらに、図２７に示すように、レンズフー
ド８１ｂ，８２ｂの下面開口の内面に撮像視野を妨げな
い範囲で吸水性部材１３４、例えば吸水性樹脂の層を設
ければ、冷却液を飛散物をこの吸水性部材１３４で積極
的に吸収して飛散物がレンズ方向に入り込むことを防止
し、撮像不良の問題を解消することができる。

【００６１】さらにまた、図２８に示すように、透明フ
ィルム１３５を送り出すためのプーリ１３６と巻き取る
ためのプーリ１３７をレンズフード８１ｂ，８２ｂの下
面両側に配置し、巻き取りプーリ１３７をモータ１３８
によって回転できるようにすれば、レンズフード８１
ｂ，８２ｂの下面開口を覆う透明フィルム１３５が冷却
液の飛散物によって汚れるたびにこの透明フィルム１３
５を所定長さ巻き取ることで、撮像不良の問題を解消す
ることができる。この場合、巻き取られる透明フィルム
１３５の汚れを取り除く吸水パッド等を巻き取り側に設
けておけば、使い終わった透明フィルム１３５を再利用
することができるし、送り出しプーリ１３６側にもモー
タを設けておけば透明フィルム１３５を逆方向に移動さ
せて繰り返し利用することもできる。

【００６２】さらにまた、図２９に示すように、複数の
フィルター１３９ａを同一円周上に等角度間隔で有する
フィルター板１３９の中心をモータ１４０の軸１４０ａ
に取り付けておけば、レンズフード８１ｂ，８２ｂの下
面開口を覆うフィルター１３９ａが冷却液の飛散物によ
って汚れるたびにフィルター板１３９を所定角度回転さ
せてこのフィルター１３９ａを別のフィルター１３９ａ
と切り替えることで、撮像不良の問題を解消することが
できる。

【００６３】さらにまた、ダイシングヘッド５１とカメ
ラ８１，８２との間に、冷却液の飛散物がダイシングヘ
ッド５１からカメラ８１，８２に向かって流れることを
遮るための遮蔽板（図示省略）を配置しても、飛散物が
カメラ８１，８２に付着することを防止することができ
る。この遮蔽板は第１スライド板６７と第２スライド板
７３の少なくとも一方に取り付けて一緒に動けるように
してもよいし、装置本体に固定配置されていてもよい。

【００６４】図３０には、ダイシング時にブレード５３
に向かって供給された後の冷却液に含まれるセラミック
微細粉がダイシングヘッド５１のスピンドルモータ５２
側に入り込んでシャフト５２ａに回動接触、所謂かじり
を生じることを防止するのに有用な構造を示してある。

【００６５】図中の符号５１はダイシングヘッド、符号
５２はスピンドルモータ、符号５２ａはスピンドルモー
タ５２のシャフト、符号５２ｂはブレード押さえ部材、
符号５２ｃはブレード押さえ部材５２ｂをシャフト５２
ａに固定するためのロック部材、符号５３は円盤状のブ
レード、符号５４はブレードカバー５４である。シャフ
ト５２ａはスピンドルモータ５２のハウジング内にスラ
スト軸受とラジアル軸受を用いて回動自在に配置されて
いる。スピンドルモータ５２のハウジングとシャフト５
２ａとの間には１ｍｍ程度の隙間があり、また、シャフ
ト５２ａとブレードカバー５４との間にも同様の隙間が
ある。つまり、スピンドルモータ５２のハウジング及び
ブレードカバー５４と、シャフト５２ａとの間には、図
に示すような屈曲した隙間Ｇが形成されている。また、
スピンドルモータ５２のハウジングには吸気口（図示省
略）が設けられ、この吸気口にはエアコンプレッサ及び
バルブ等を備えたエア回路が接続されている。つまり、
吸気口からハウジング内にエアを供給した状態では、前
記の隙間Ｇがエアーベアリングとして作用する。

【００６６】ダイシング時に、吸気口からハウジング内
にエアを供給すると、このエアは前記隙間Ｇを通じてシ
ャフト５２ａの周囲からブレード側に吹き出される。ダ
イシング時にはブレード５３に向かって供給された後の
冷却液の飛散物がシャフト５２ａとブレードカバー５４
との間に入り込もうとするが、前記の吹き出しエアによ
ってこの飛散物を排除することができ、また、飛散物に
含まれるセラミック微細粉が前記隙間Ｇに入り込むこと
も同時に防止して前記のシャフトかじりを防止すること
ができる。

【００６７】尚、隙間Ｇの開放端におけるエア圧低下を
原因として、この開放端の近傍部分にセラミック微細粉
が付着して堆積するような場合には、図３１に示すよう
に同部分に隙間Ｇのバイパス通路５４ａを設けて、同部
分におけるセラミック微細粉の付着を積極的に防止する
ようにしてもよい。また、セラミック微細粉が付着し易
い部分を多孔質部材で構成しておき、同部材全体からエ
アが出るようにしておいても同様の効果が得られる。

【００６８】図３２には、ワーク供給器１１の昇降板１
２上に積み重ねられたワークＷから最上位のワークＷを
吸着ヘッド２によって取り出すときに、ワーク相互の密
着を原因として２枚以上のワークＷが取り出されてしま
うことを防止するのに有用な構造を示してある。

【００６９】図中の符号１２はワーク供給器１１の昇降
板、符号１８は取出口、符号Ｗは昇降板１２上に積み重
ねられたワークＷである。符号１５１は昇降板１２に取
り付けられた微振動発生用の振動源である。最上位のワ
ークＷを吸着ヘッド２によって取り出すときには、吸着
ヘッド２がワークＷに接触したところで振動源を作動さ
せてワーク全体に微振動を与える。最上位のワークＷと
その下側とのワークＷとが密着しているような場合で
も、前記の微振動によって両者の切り離しを行うことが
でき、これにより吸着ヘッド２によって２枚以上のワー
クＷが取り出されてしまうことを防止することができ
る。

【００７０】尚、吸着ヘッド２によって２枚以上のワー
クＷが取り出されてしまうことを防止するには前記以外
の方法も採用できる。例えば、図３３に示すように、吸
着ヘッド２の外周縁に複数のシリンダ１５２を対向して
配置し、そのロッド１５２ａを吸着ヘッド２の下面（パ
ッド２ａの下面）から突出できるようにしておき、最上
位のワークＷを吸着ヘッド２によって取り出すときに予
めロッド１５２ａを吸着ヘッド２の下面から僅かに突出
させておいて、この状態で吸着ヘッド２を最上位のワー
クＷに接触させて吸着を行えば、最上位のワークＷを吸
引力によって図中に破線で示すように撓ませて、下側の
ワークＷとの切り離しを行うことができる。この後、ロ
ッド１５２ａを引っ込ませれば、前記の撓みを解除して
ワークＷを吸着ヘッド２に適正な状態で吸着保持するこ
とができる。このようにしても、吸着ヘッド２によって
２枚以上のワークＷが取り出されてしまうことを防止す
ることができる。

【００７１】図３４は２枚以上のワークＷが取り出され
てしまったことを検知する構造を示すものであり、ここ
では発光器１５３と受光器１５４とから成る光スイッチ
を取出口１８に設けて、この光スイッチの検出信号に基
づいてワーク取り出しの良否を判断するようにしてい
る。即ち、光スイッチの検知ラインを最上位のワークＷ
のみとぶつかるように設定しておけば、２枚以上のワー
クＷが取り出されたときにはこの後に昇降板１２をワー
ク１枚分上昇させても光スイッチはオフとならないの
で、この信号を利用して２枚以上のワークＷが取り出さ
れたことを判断することができる。２枚以上のワークＷ
が取り出されたことが判断されたときに装置動作を一時
的に停止させるようにすれば、この停止時間を利用して
ワーク取出不良を修正することができる。

【００７２】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
３つのワーク吸着ヘッドを利用して最も効率的なワーク
搬送を実現することができると共に、不要な吸着ヘッド
を省略して最適なアーム構成を確保することができ、こ
れにより、構成を簡略化してコスト面での負担やメンテ
ナンスの負担を軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示すダイシング装置の概
略上面図

【図２】旋回アームを往復回転させるための機構を示す
図とその動作説明図

【図３】吸着ヘッドを昇降及び回転させるための機構を
示す図

【図４】ワーク供給器の詳細図とワーク保管器の詳細図

【図５】テーブルとこれをＸ方向に移動させるための機
構と、ダイシングヘッドとこれをＹ・Ｚ方向に移動させ
る機構を示す図

【図６】図５の要部側面図

【図７】ワーク洗浄器の詳細図

【図８】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図９】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１０】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１１】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１２】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１３】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１４】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１５】図１に示したダイシング装置の動作説明図

【図１６】供給後の冷却液がテーブル移動機構に浸入す
ることを防止するための構造を示す図

【図１７】図１６のＡ−Ａ線断面図

【図１８】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図１９】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図２０】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図２１】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図２２】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図２３】図１６に示した構造の変形例を示す図

【図２４】冷却液の飛散物がカメラに浸入することを防
止するための構造を示す図

【図２５】図２４に示した構造の変形例を示す図

【図２６】図２４に示した構造の変形例を示す図

【図２７】図２４に示した構造の変形例を示す図

【図２８】図２４に示した構造の変形例を示す図

【図２９】図２４に示した構造の変形例を示す図

【図３０】冷却液の飛散物に含まれるセラミック微細粉
によって生じるシャフトかじりをを防止するための構造
を示す図

【図３１】図３０に示した構造の変形例を示す図

【図３２】２枚以上のワークが吸着ヘッドによって取り
出されてしまうことを防止するための構造を示す図

【図３３】図３２に示した構造の変形例を示す図

【図３４】２枚以上のワークが吸着ヘッドによって取り
出されたことを検知する構造を示す図

【符号の説明】

Ｐ１…第１の位置、Ｐ２…第２の位置、Ｐ３…第３の位
置、Ｐ４…第４の位置、Ｗ…ワーク、１…旋回アーム、
２…吸着ヘッド、５…モータ、６…シリンダ、１１…ワ
ーク供給器、２１…ワーク保管器、３１…テーブル、４
２…ガイドレール、４３…ボールネジ、４４…モータ、
４５…スライドガイド、４６…ナット、５１…ダイシン
グヘッド、５２…スピンドルモータ、５２ａ…シャフ
ト、５３…ブレード、６２…ガイドレール、６３…ボー
ルネジ、６４…モータ、６５…スライドガイド、６６…
ナット、６７…第１スライド板、６８…ガイドレール、
６９…ボールネジ、７０…モータ、７１…スライドガイ
ド、７２…ナット、７３…第２スライド板、８１，８２
…カメラ、９１…ワーク洗浄器。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 寛和 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (72)発明者 清水 利通 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (72)発明者 廖 新治 台湾新竹市建功一路51巷７號３樓 (72)発明者 洪 春長 台湾新竹市富群街６巷３弄35號 (72)発明者 劉 永光 台湾新竹市長春街15巷17號５樓 (56)参考文献 特開 昭54−56356（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−288642（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−29735（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/301 B65G 49/07 H01L 21/68

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシング前のワークを供給する第１の
   位置と、加工テーブル上にダイシング前のワークを搭載
   する第２の位置と、ダイシング後のワークを洗浄する第
   ３の位置と、洗浄後のワークを保管する第４の位置と、
   第２の位置から離れたダイシング領域において加工テー
   ブル上のワークをダイシングするダイシング機構と、第
   １の位置から第２の位置へのワーク搬送と第２の位置か
   ら第３の位置へのワーク搬送と第３の位置から第４の位
   置へのワーク搬送を可能としたワーク搬送機構とを備え
   たダイシング装置であって、 前記第１の位置〜第４の位置は同一円周上に９０度間隔
   で配置され、 前記ワーク搬送機構は、前記円周の中心に旋回軸を有
   し、且つ、３つのワーク吸着ヘッドを前記円周に沿って
   ９０度間隔で有する旋回アームと、旋回アームを第１〜
   第３の位置に３つのワーク吸着ヘッドがそれぞれ対峙し
   た位置と第２〜第４の位置に３つのワーク吸着ヘッドが
   それぞれ対峙した位置との間で９０度往復回転させるた
   めのアクチュエータと、３つのワーク吸着ヘッドを個別
   に昇降及び回転させるためのアクチュエータとを備え、 前記第１の位置には、ダイシング前のワークを積み重ね
   て収容し、且つ、吸着ヘッドによる最上位ワークの取り
   出しを可能としたワーク供給器が配置され、 前記第２の位置には、ダイシング領域との間を往復移動
   可能で、且つ、吸着ヘッドによるダイシング前ワークの
   載置とダイシング後ワークの取り出しを可能とした加工
   テーブルが配置され、 前記第３の位置には、吸着ヘッドによるダイシング後ワ
   ークの載置と洗浄後ワークの取り出しを可能としたワー
   ク洗浄器が配置され、 前記第４の位置には、洗浄後のワークを積み重ねて保管
   し、且つ、吸着ヘッドによる洗浄後ワークの積み重ねを
   可能としたワーク保管器が配置されており、前記ダイシング機構は、回転ブレードを有するダイシン
   グヘッドと、ダイシングヘッドを加工テーブルの移動方
   向と直交する方向と上下方向に移動させるためのアクチ
   ュエータと、回転ブレードに冷却液を供給する冷却液噴
   射口とを備え、 さらに、前記加工テーブルの少なくとも一側には冷却液
   を加工かすと一緒に排水するための排水部材が設けら
   れ、 この排水部材の内側には排水部材の内底に溜まった加工
   かすを排水口に向かって移動させるかす除去器具が設け
   られている、 ことを特徴とするダイシング装置。
2. 【請求項２】 かす除去器具は、排水部材の内側に配置
   されモータにより所定方向に回転可能なブラシから成
   る、 ことを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
3. 【請求項３】 ブラシは、その下側部分を排水部材の内
   底に接する螺旋状ブラシである、 ことを特徴とする請求項２に記載のダイシング装置。
4. 【請求項４】 かす除去器具は、排水部材の内側に配置
   され加工テーブルと一緒に移動可能な掻き取り板から成
   る、 ことを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。