JP5954978B2 - バイト切削装置 - Google Patents
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Description
10 バイト切削ユニット
11 半導体ウエーハ
11e 面取り部
15 保護テープ
17 バリ
30 バイトホイール
32 バイト工具
42 チャックテーブル
66 洗浄テーブル
68 スピンナ洗浄機構
70 表面洗浄液供給ノズル
72 外周縁洗浄流体供給ノズル
Claims (1)
- 表面に延性材を有する被加工物の裏面側を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の表面を切削するバイト切削手段と、該バイト切削手段で切削された被加工物を洗浄する洗浄機構と、を備えたバイト切削装置であって、
該洗浄機構は、被加工物より小さい面積を有し被加工物の外周縁の全周が露出するように被加工物の裏面側を回転可能に保持する洗浄テーブルと、該洗浄テーブルで保持された被加工物の表面に対面した洗浄液噴出口を有し、被加工物の表面に洗浄液を供給する表面洗浄液供給手段と、該洗浄テーブルの保持面より下方かつ該洗浄テーブルに保持された被加工物の外周縁より外側に位置付けられた流体噴出口を有し、該洗浄テーブルに保持された被加工物の外周縁に流体を供給する外周縁洗浄流体供給手段と、を含み、
該流体噴出口は、切削加工によって被加工物の外周縁に形成された延性材のバリを該流体の噴射圧で除去できるように水平方向から20〜60度傾斜しており、
該表面洗浄液供給手段から被加工物の表面に洗浄液を供給して被加工物の表面を洗浄するとともに、該外周縁洗浄流体供給手段の該流体噴出口から噴出する流体で切削加工後の被加工物の外周縁を洗浄することにより、切削加工によって被加工物の外周縁に形成された延性材のバリを該流体の噴射圧で除去することを特徴とするバイト切削装置。
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2011274008A JP5954978B2 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | バイト切削装置 |
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