JP2015208796A - バイト切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 半導体ウェーハ
15 デバイス
17 表面保護テープ
19 バンプ
30 バイトホイール
32 バイト工具
42 チャックテーブル
72 洗浄ノズル
73 噴射口
74 混合流体回収手段
Claims (3)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物の表面を該保持面と直交する回転軸回りに回転して切削するバイト工具を備えたバイト切削手段と、該チャックテーブルに被加工物が着脱される着脱領域と被加工物のバイト切削を行う加工領域とに該チャックテーブルを位置付ける位置付け手段と、を備えたバイト切削装置であって、
該加工領域に位置付けられた被加工物表面へ、液体と気体との混合流体を噴射して被加工物の切削屑を除去する洗浄ノズルを具備したことを特徴とするバイト切削装置。 - 前記洗浄ノズルは、前記バイト工具が被加工物に切り込む側から切り抜ける側に向かって混合流体を噴射する請求項1記載のバイト切削装置。
- 前記加工領域に位置付けられた前記チャックテーブルを挟んで前記洗浄ノズルと対面する位置に開口し、前記混合流体を吸引して該加工領域から排出する混合流体回収手段を更に具備した請求項1又は2記載のバイト切削装置。
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- 2014-04-24 JP JP2014090395A patent/JP2015208796A/ja active Pending
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