JP2004058016A

JP2004058016A - 洗浄装置、切削加工装置、及びインクジェット記録ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JP2004058016A
Application number: JP2002223425A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Kimura; 木村　敏
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2002-07-31
Filing date: 2002-07-31
Publication date: 2004-02-26

Abstract

【課題】格別な閉鎖空間を必要とせず、被加工物に付着物を残留させずに、バリや汚れを吹き飛ばす。
【解決手段】加速経路６の噴出口６ａから多数の液滴を窒素ガスと共に噴出させて、これらの液滴を被加工物の表面に吹き付けると、被加工物のバリ、カエリ、汚れ等を吹き飛ばすことができる。また、ジェットノズル２の先端周辺の液滴や窒素ガスを吸引管３の吸引口３ａに吸引しているので、吹き飛ばされたバリ、カエリ、汚れ等を多数の液滴や窒素ガスと共に吸引口３ａに吸引することができ、被加工物に付着物を残留させることがない。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴を加圧された気体と共にノズルから噴出する洗浄装置、切削加工装置、及びインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被加工物の研削や切断に伴い、この被加工物にバリや汚れ等が発生する。この被加工物のバリや汚れ等を除去するために、例えば水やガス等の噴流を該被加工物に吹き付けることがある。
【０００３】
例えば、特開平１０−８５６３４号公報には、気相の水蒸気噴流と液相の水噴流を混合した２相噴流を形成して、この２相噴流を被加工物に吹き付けるという技術が開示されている。また、特開平１０−１５６２２９号公報には、加圧されたガスと液体を混合し、液滴を加圧されたガスと共に被加工物に吹き付けるという技術が開示されている。更に、特開２０００−３１７４１０号公報には、ノズル形状の改良により洗浄液を十分に加速して吹き付けるという技術が開示されている。また、特開２０００−１４１５０１号公報には、繊維強化樹脂成型品を液体ジェット加工した後、この繊維強化樹脂成型品に熱風を吹き付けて、該成型品のバリ取りを行うという技術が開示されている。あるいは、特開平１０−２２３５８７号公報には、噴射時の断熱膨張により液滴を氷粒子にするという技術が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、水やガス等を被加工物に吹き付けて、バリや汚れ等を吹き飛ばすだけでは、被加工物に付着物が残留することがある。しかしながら、上記各公報では、被加工物の付着物の残留を防止するまでには至っておらず、被加工物のクリーニングを別途行う必要があった。あるいは、被加工物の付着物を完全に吹き飛ばしたとしても、付着物が飛び散るので、格別な閉鎖空間が必要であった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、格別な閉鎖空間を必要とせず、被加工物に付着物を残留させずに、バリや汚れ等を吹き飛ばすことが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００６】
また、本発明は、本発明の洗浄装置を備える切削加工装置及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、加圧された気体の流路に液体を供給して、液滴を形成し、この液滴を該加圧された気体と共にノズルから噴出する洗浄装置において、ノズルから噴出した液滴を吸引する吸引手段を該ノズルの周囲に設けている。
【０００８】
この様な構成の本発明によれば、液滴を加圧された気体と共にノズルから噴出している。この噴出した液滴を被加工物に吹き付けることにより、被加工物のバリや汚れ等を吹き飛ばすことができる。そして、ノズルから噴出した液滴を吸引手段により吸引しているので、吹き飛ばされたバリや汚れ等を液滴と共に吸引することができ、被加工物に付着物を残留させずに済み、被加工物のクリーニングを別途行う必要が無い。また、吹き飛ばされたバリや汚れ等を飛散させないことから、格別な閉鎖空間を必要としない。
【０００９】
尚、液体としては、水やＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等が挙げられ、気体としては、クリーンエアや窒素等が挙げられる。また、被加工物としては、脆性材を延性材によりコートした部材が挙げられる。この様な部材の場合には、該部材のバリやカエリ等が吹き飛ばされることになり、これらが付着物となり得る。
【００１０】
また、本発明においては、ノズルから噴射した液滴は、液相からなる。
【００１１】
この様にノズルから噴射した液滴の液相を保持すれば、この液滴を吹き付けられる被加工物の表面に傷が付かずに済む。この場合は、多数の液滴が霧状になって吹き付けられる。
【００１２】
尚、ノズルの形状や気体の加圧圧力の調整により噴出時の断熱膨張を発生させ、この断熱膨張により液滴を凍結させて固体相の粒子にすることも可能である。
【００１３】
更に、本発明においては、加圧された気体の流路に複数種類の液体を選択的に供給する液体切り換え供給手段を備えている。
【００１４】
この様に加圧された気体の流路に複数種類の液体を選択的に供給すれば、洗浄能力が多様化される。例えば、まず水を供給して、水の液滴を被加工物に吹き付けて、付着物を除去し、この後でＩＰＡの液滴を被加工物に吹き付けて、被加工物の表面を洗浄する。
【００１５】
次に、本発明は、被加工物を切削する切削加工装置において、切削された被加工物を洗浄するために、上記洗浄装置を備えている。
【００１６】
この様に切削加工装置に上記洗浄装置を適用すれば、被加工物の切削箇所に液滴を吹き付けることができ、これにより被加工物のバリや汚れを吹き飛ばして、吹き飛ばされたバリや汚れを液滴と共に吸引することができる。その上、液滴を切削刃に吹き付けて、切削刃を冷却することができる。
【００１７】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、被加工物からインクジェット記録ヘッドのプレートを切り出す切断工程と、切り出されたプレートを上記洗浄装置により洗浄する洗浄工程とを含んでいる。
【００１８】
被加工物からインクジェット記録ヘッドのプレートを切り出すに際し、ヘッドの電極の切断面にバリやカエリ等が生じる。また、該電極の切断面がインクの吐出口に直面しており、この吐出口に傷等があると、インクの吐出方向に誤差が生じる。このため、該電極の切断面を傷付けることなく、バリやカエリ等を除去する必要がある。従来は、ブラシにより該電極の切断面のバリやカエリ等を除去していたが、この場合は、該電極の切断面に傷を付けることがある。これに対して本発明によれば、切り出されたプレートを上記洗浄装置により洗浄しているため、電極の切断面に傷を付けずにバリやカエリを短時間で吹き飛ばすことができる。また、吹き飛ばされたバリやカエリを液滴と共に吸引することから、被加工物のクリーニングを別途行う必要が無く、格別な閉鎖空間を必要としない。
【００１９】
また、本発明においては、上記洗浄装置のノズルとプレートの離間距離を２０〜３０ｍｍとし、該ノズルからの気体の流量を１００〜２４０（リットル／分）とし、液体の加圧圧力を０．１〜０．４（ＭＰａ）としている。
【００２０】
インクジェット記録ヘッドのプレートは、脆性材の圧電材料から切出される。このため、離間距離が２０ｍｍ未満であったり、気体の流量が２４０（リットル／分）を超えたり、液体の加圧圧力が０．４（ＭＰａ）を超えると、プレートにクラックが生じ易い。また、離間距離が３０ｍｍを超えたり、気体の流量が１００（リットル／分）未満であったり、液体の加圧圧力が０．１（ＭＰａ）未満であると、プレートの洗浄効果が発揮されない。
【００２１】
更に、本発明においては、切断工程及び洗浄工程は、上記切削加工装置を適用してなる。
【００２２】
この場合は、プレートを切断加工しつつ、プレートの切削箇所に液滴を吹き付けて、プレートのバリやカエリ等を吹き飛ばし、吹き飛ばされたバリやカエリ等を液滴と共に吸引することができるばかりではなく、液滴を切削刃に吹き付けて、切削刃を冷却することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明の洗浄装置の一実施形態を示す側面図である。本発明の洗浄装置１は、ジェットノズル２と、吸引管３とを備えている。
【００２５】
ジェットノズル２は、気体流入経路４、液体混合経路５、及び加速経路６を有する。気体流入経路４は、窒素ガスを矢印Ａの方向から０．３（ＭＰａ）の圧力で供給され、この窒素ガスを２００（リットル／分で）の流量で液体混合経路５へと導く。
【００２６】
液体混合経路５は、その内径が例えば１（ｍｍ）であり、その側壁に純水流入口７が形成されている。純水流入口７は、純水を矢印Ｂの方向から０．５（ＭＰａ）の圧力で供給され、この純水を０．８（リットル／分で）の流量で液体混合経路５へと供給する。この純水は、液体混合経路５で多数の液滴となって窒素ガスと混合され、加速経路６へと導かれる。
【００２７】
加速経路６は、液体混合経路５に滑らかに連結されており、その内壁が円錐状に徐々に広がり、先端での内径が例えば３（ｍｍ）となっている。円錐状の対向内壁に挟まれる角度は、５〜６度である。液体混合経路５で混合された多数の液滴及び窒素ガスは、加速経路６で加速され、この加速経路６の先端の噴出口６ａから噴出される。
【００２８】
吸引管３は、ジェットノズル２の外周に設けられ、先端の吸引口３ａが加速経路６の噴出口６ａを囲んでいる。この吸引管３の内壁とジェットノズル２の外壁間の吸引経路３ｂは、例えば真空ポンプに接続されており、この吸引経路３ｂの内部が負圧にされている。このため、ジェットノズル２の先端周辺の液滴や窒素ガスが吸引口３ａから吸引経路３ｂへと吸引される。
【００２９】
さて、この洗浄装置１の加速経路６の噴出口６ａから多数の液滴を窒素ガスと共に噴出させて、これらの液滴を被加工物の表面に吹き付けると、被加工物のバリ、カエリ、汚れ等が吹き飛ばされる。また、ジェットノズル２の先端周辺の液滴や窒素ガスを吸引管３の吸引口３ａへと吸引しているので、吹き飛ばされたバリ、カエリ、汚れ等を多数の液滴や窒素ガスと共に吸引口３ａに吸引することができ、被加工物に付着物を残留させずに済み、被加工物のクリーニングを別途行う必要が無い。しかも、バリ、カエリ、汚れ等を飛散させないことから、格別な閉鎖空間を必要としない。更に、ここでは、噴出口６ａから噴出された多数の液滴を液相の状態に保っているので、これらの液滴を被加工物に吹き付けても、被加工物の表面を傷付けずに済む。仮に、ジェットノズル２の形状や窒素ガスの加圧圧力の調整により噴出時の断熱膨張を発生させ、この断熱膨張により液滴を凍結させて固体相の粒子にすると、この固体の粒子により被加工物が傷付けられる。
【００３０】
ところで、ジェットノズル２の液体混合経路５の側壁には、純水流入口７の他に、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等の洗浄剤を該液体混合経路５に供給するための洗浄剤流入口８が形成されている。この洗浄剤は、純水と同様に、液体混合経路５で多数の液滴となって窒素ガスと混合される。そして、この洗浄剤の多数の液滴及び窒素ガスは、加速経路６の先端の噴出口６ａから噴出される。
【００３１】
ここでは、純水流入口７及び洗浄剤流入口８のいずれかより液体混合経路５へと純水及び洗浄剤が選択的に供給される。例えば、まず純水を純水流入口７より液体混合経路５へと供給して、この純水の多数の液滴及び窒素ガスを加速経路６の噴出口６ａから噴出させて、これらの液滴を被加工物の表面に吹き付けて、被加工物のバリ、カエリ、汚れ等を吹き飛ばし、この後に洗浄剤を洗浄剤流入口８より液体混合経路５へと供給して、この洗浄剤の多数の液滴及び窒素ガスを加速経路６の噴出口６ａから噴出させて、これらの液滴を被加工物の表面に吹き付けて、被加工物の表面を十分にクリーニングする。
【００３２】
図２は、本発明の切削加工装置の一実施形態を示す側面図である。本実施形態の切削加工装置１１では、ダイシングソー１２と、図１の洗浄装置１とを備えている。
【００３３】
ダイシングソー１２は、回転駆動されており、矢印Ｄの方向に進行しつつ、被加工物１３を切断する。
【００３４】
洗浄装置１は、ダイシングソー１２の直後に一定の間隔を開けて配置され、ダイシングソー１２に追従して進行する。また、洗浄装置１のジェットノズル２からの液滴の噴出方向と被加工物１３表面のなす角度を７５度に保ち、かつジェットノズル２の先端と被加工物１３との離間距離を２０〜３０（ｍｍ）に保った状態で、洗浄装置１を設置している。
【００３５】
この様な構成の切削加工装置１１では、ダイシングソー１２により被加工物１３を切断しつつ、ジェットノズル２からその切断箇所へと多数の液滴及び窒素ガスを吹き付けて、被加工物１３のバリ、カエリ、汚れ等を吹き飛ばすことができ、更に吹き飛ばされたバリ、カエリ、汚れ等を多数の液滴や窒素ガスと共に洗浄装置１の吸引口３ａに吸引することができる。また、これと同時に多数の液滴をダイシングソー１２に吹き付けて、ダイシングソー１２を冷却することができる。従って、洗浄装置１は、バリ、カエリ、汚れ等の吹き飛し、吸引、及びダイシングソー１２の冷却という３つの役目を果たす。
【００３６】
次に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明する。この実施形態の製造方法では、圧電体材料からインクジェット記録ヘッドの圧電体プレートを切り出しつつ、この圧電体プレートを図１の洗浄装置１により洗浄している。
【００３７】
ここで、まずインクジェット記録ヘッドの構成を説明する。図３は、インクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。また、図４（ａ）は、インクジェット記録ヘッドを示す側面図である。更に、図４（ｂ）、（ｃ）、及び（ｄ）は、図４（ａ）のＸに沿う断面図、（ａ）のＹに沿う断面図、（ａ）のＺに沿う断面図である。
【００３８】
図３及び図４から明らかな様にインクジェット記録ヘッド２１は、圧電体プレート２２上側にカバープレート２３を貼り合わせ、圧電体プレート２２の端面にノズルプレート２４を貼り合わせたものである。
【００３９】
圧電体プレート２２は、多数の溝状のインクチャネル２５を有しており、各インクチャネル２５の一端にそれぞれの導電性部材２６を埋め込んでいる。また、各インクチャネル２５の両側壁にそれぞれの駆動電極２７を設け、各インクチャネル２５別に、インクチャネル２５の両側壁の駆動電極２７を導電性部材２６を通じて外部接続する。
【００４０】
カバープレート２３は、圧電体プレート２２に貼り合わせられる下面に切り欠き部２３ａを有している。カバープレート２３を圧電体プレート２２に貼り合わせると、該切り欠き部２３ａの部位が共通インク室２８となる。この共通インク室２８から各インクチャネル２５へとインクが供給される。
【００４１】
ノズルプレート２４には、各インクチャネル２５のインクを吐出するためのそれぞれのノズル孔２４ａを形成している。
【００４２】
次に、図５（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）は、図３及び図４のインクジェット記録ヘッド２１における相互に隣接する３つのインクチャネル２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃの動作を示す図である。
【００４３】
図５（ａ）では、各インクチャネル２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃのいずれの駆動電極２７にも駆動電圧が印加されていない。このため、各インクチャネル２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃのいずれの側壁も変形しない。
【００４４】
図５（ｂ）では、インクチャネル２５Ｂの駆動電極２７に駆動電圧を印加して、インクチャネル２５Ｂの各側壁を変形させ、インクチャネル２５Ｂを拡張させて、インクチャネル２５Ｂにインクを補給する。
【００４５】
図５（ｃ）では、インクチャネル２５Ｂの両隣の各インクチャネル２５Ａ，２５Ｃの駆動電極２７に駆動電圧を印加して、インクチャネル２５Ｂの各側壁を変形させ、インクチャネル２５Ｂを収縮させて、インクチャネル２５Ｂのノズル孔２４ａからインク滴を吐出させる。
【００４６】
図６（ａ）は、図５（ｂ）のときにインクチャネル２５Ｂの駆動電極２７に印加されるパルス幅ＡＬの駆動電圧を示し、また図６（ｂ）は、図５（ｃ）のときに両隣の各インクチャネル２５Ａ，２５Ｃの駆動電極２７に印加されるパルス幅２ＡＬの駆動電圧を示している。ここでは、パルス幅ＡＬを（インクチャネルの長さ）／（インク中の音速）に等しく設定し、パルス幅２ＡＬをパルス幅ＡＬの２倍に設定して、インクチャネルからのインク滴の吐出動作を最適化している。
【００４７】
図７（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）は、多数のインクチャネル２５からのインクの吐出動作を示す図である。
【００４８】
ここでは、各インクチャネル２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを繰り返し順次配列し、各インクチャネル２５ＡをＡグループとし、各インクチャネル２５ＢをＢグループとし、各インクチャネル２５ＣをＣグループとしている。各インクチャネル２５Ｂからのインクの吐出を行うときには、各インクチャネル２５Ｂの駆動電極２７にパルス幅ＡＬの駆動電圧を印加して、図７（ｂ）に示す様に各インクチャネル２５Ｂを拡張させてから、両隣の各インクチャネル２５Ａ，２５Ｃの駆動電極２７にパルス幅２ＡＬの駆動電圧を印加して、図７（ｃ）に示す様に各インクチャネル２５Ｂを収縮させる。
【００４９】
同様に、各インクチャネル２５Ｃからのインクの吐出を行うときには、各インクチャネル２５Ｃを拡張させてから、各インクチャネル２５Ｃを収縮させる。また、各インクチャネル２５Ａからのインクの吐出を行うときには、各インクチャネル２５Ａを拡張させてから、各インクチャネル２５Ａを収縮させる。
【００５０】
さて、本実施形態の製造方法では、図８（ａ）〜（ｄ）及び図９（ｅ）〜（ｇ）に示す手順に従い、インクジェット記録ヘッド２１を形成し、図１の洗浄装置１を用いて、インクジェット記録ヘッド２１を洗浄している。尚、図８（ａ）〜（ｄ）及び図９（ｅ）〜（ｇ）においては、左側に側面図を配し、右側に正面図を配している。
【００５１】
まず、図８（ａ）に示す様にダイシングソー１２により溝状の多数のインクチャネル２５を圧電体材料３１に形成する。そして、図８（ｂ）に示す様に斜め上方向からの蒸着により導電膜３２を各インクチャネル２５の両側壁に形成する。更に、図８（ｃ）に示す様に各インクチャネル２５の長手方向の複数箇所に銀ペーストを埋め込んで、各導電性部材２６を形成する。この後、図８（ｄ）に示す様に圧電体材料３１の上面を研磨して、導電膜３２を分離し、各インクチャネル２５の駆動電極２７を形成する。
【００５２】
次に、図９（ｅ）に示す様にカバー材料３３を圧電体材料３１に被せて接着し、図９（ｆ）に示す様に各インクチャネル２５の長手方向の複数箇所に形成された各導電性部材２６の部位で、ダイシングソーにより圧電体材料３１及びカバー材料３３を切断し、またダイシングソーにより圧電体材料３１及びカバー材料３３を該長手方向と直交する方向で２分割し、これにより圧電体プレート２２及びカバープレート２３からなる複数のインクジェット記録ヘッド２１を形成する。
【００５３】
こうして複数のインクジェット記録ヘッド２１を形成した後、図９（ｇ）に示す様に洗浄装置１を用いて、各インクジェット記録ヘッド２１を洗浄する。このとき、洗浄装置１のジェットノズル２と各インクジェット記録ヘッド２１の離間距離を２０〜３０ｍｍとし、ジェットノズル２からの気体の流量を１００〜２４０（リットル／分）とし、純水の加圧圧力を０．１〜０．４（ＭＰａ）とする。これにより、インクジェット記録ヘッド２１にクラックを生じさせたり、圧電体プレート２２、カバープレート２３、及び駆動電極２７を傷付けることなく、それらのバリ、カエリ、汚れ等を吹き飛ばして吸引することができ、それらに付着物を残留させずに済み、それらのクリーニングを別途行う必要も無い。しかも、バリ、カエリ、汚れ等を飛散させないことから、格別な閉鎖空間を必要としない。
【００５４】
従来は、ブラシにより圧電体プレート２２、カバープレート２３、及び駆動電極２７のバリやカエリ等を除去していたが、この場合は、各インクチャネル２５の吐出口に傷を付け、インクの吐出方向に誤差が生じることがあった。
【００５５】
尚、図９（ｆ）の工程において、図２の切削加工装置１１を適用すれば、圧電体材料３１及びカバー材料３３をダイシングソー１２により切断しつつ、各インクジェット記録ヘッド２１を洗浄装置１により洗浄することができ、図９（ｇ）の工程を省略して、工程時間を短縮することができる。また、同時に液滴をダイシングソー１２に吹き付けて、ダイシングソー１２を冷却することができる。
【００５６】
また、図８（ｄ）の工程において、洗浄装置１による洗浄を行なっても良い。これにより、圧電体材料３１及び導電膜３２の研磨により発生したダスト等を除去することができる。
【００５７】
更に、洗浄装置１による洗浄に際し、純水の液滴及び窒素ガスを吹き付け、引き続き洗浄剤の液滴及び窒素ガスを吹き付けても良い。これにより、各インクジェット記録ヘッド２１を十分に洗浄することができる。
【００５８】
また、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。例えば、２種類以上の純水や洗浄剤を混合して用いたり、３種類以上の洗浄剤を選択的に用いたり、他の種類の気体を適用しても構わない。更に、洗浄能力を向上させるために、ジェットノズル２の形状や窒素ガスの加圧圧力の調整により噴出時の断熱膨張を発生させ、この断熱膨張により液滴を凍結させて固体の粒子にしても良い。ただし、被加工物が堅牢であって、固体の粒子により被加工物が傷付かないことが前提条件となる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明した様に本発明の洗浄装置によれば、液滴をノズルから被加工物に吹き付けることにより、被加工物のバリや汚れ等を吹き飛ばしている。また、ノズルから噴出した液滴を直ちに吸引しているので、吹き飛ばされたバリや汚れ等を液滴と共に吸引することができ、被加工物に付着物を残留させずに済み、被加工物のクリーニングを別途行う必要が無い。更に、吹き飛ばされたバリや汚れを飛散させないことから、格別な閉鎖空間を必要としない。
【００６０】
また、ノズルから噴射した液滴の液相を保持しているので、この液滴を吹き付けられる被加工物の表面に傷が付かずに済む。
【００６１】
更に、複数種類の液体を選択的に用いているので、洗浄能力が多様化される。
【００６２】
また、本発明の切削加工装置によれば、上記洗浄装置を適用しているので、被加工物のバリや汚れを吹き飛ばし、吹き飛ばされたバリや汚れを液滴と共に吸引することができるばかりではなく、液滴を切削刃に吹き付けて、切削刃を冷却することができる。
【００６３】
更に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法によれば、上記洗浄装置を適用しているので、インクジェット記録ヘッドの電極の切断面に傷を付けずに、該電極の切断面のバリやカエリ等を短時間で吹き飛ばして吸引することができる。
【００６４】
また、洗浄装置のノズルと被加工物の離間距離、ノズルからの気体の流量、液体の加圧圧力を適宜に設定することにより、被加工物に負担をかけずに、被加工物を洗浄している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の洗浄装置の一実施形態を示す側面図である。
【図２】本発明の切削加工装置の一実施形態を示す側面図である。
【図３】インクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図４】（ａ）はインクジェット記録ヘッドを示す側面図であり、（ｂ）、（ｃ）、及び（ｄ）は、（ａ）のＸに沿う断面図、（ａ）のＹに沿う断面図、（ａ）のＺに沿う断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）は、図３及び図４のインクジェット記録ヘッドにおける相互に隣接する３つのインクチャネルの動作を示す図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、図３及び図４のインクジェット記録ヘッドにおける各インクチャネルの駆動電圧を示すタイミングチャートである。
【図７】（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）は、図３及び図４のインクジェット記録ヘッドにおける多数のインクチャネルの動作を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、インクジェット記録ヘッドの製造手順を示す図である。
【図９】（ｅ）〜（ｇ）は、図８に引き続く製造手順を示す図である。
【符号の説明】
１　　洗浄装置
２　　ジェットノズル
４　　気体流入経路
５　　液体混合経路
６　　加速経路
７　　純水流入口
８　　洗浄剤流入口
１１　　切削加工装置
１２　　ダイシングソー
１３　　被加工物
２１　　インクジェット記録ヘッド
２２　　圧電体プレート
２３　　カバープレート
２４　　ノズルプレート
２５　　インクチャネル
２６　　導電性部材
２７　　駆動電極
２８　　共通インク室

Claims

加圧された気体の流路に液体を供給して、液滴を形成し、この液滴を該加圧された気体と共にノズルから噴出する洗浄装置において、
ノズルから噴出した液滴を吸引する吸引手段を該ノズルの周囲に設けたことを特徴とする洗浄装置。
ノズルから噴射した液滴は、液相からなることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
加圧された気体の流路に複数種類の液体を選択的に供給する液体切り換え供給手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
被加工物を切削する切削加工装置において、
切削された被加工物を洗浄するために、請求項１に記載の洗浄装置を備えることを特徴とする切削加工装置。
被加工物からインクジェット記録ヘッドのプレートを切り出す切断工程と、
切り出されたプレートを請求項１に記載の洗浄装置により洗浄する洗浄工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
請求項１に記載の洗浄装置のノズルとプレートの離間距離を２０〜３０ｍｍとし、該ノズルからの気体の流量を１００〜２４０（リットル／分）とし、液体の加圧圧力を０．１〜０．４（ＭＰａ）としたことを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
切断工程及び洗浄工程は、請求項４に記載の切削加工装置を適用してなることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。