KR101976798B1 - 스팀 재사용 노즐 - Google Patents

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Abstract

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐은 외부공간으로부터 내부공간을 분리시키는 몸체, 상기 몸체 내부로 스팀을 들이는 스팀유입관, 상기 스팀을 세정하고자 하는 대상에 분사유체로서 분사하는 분사구, 상기 스팀의 분사방향을 제어하는 분사구경사판, 상기 몸체의 외부에 위치하고, 기체 및 스팀 중 적어도 하나 이상을 구비하는 기체커튼(curtain)을 상기 대상 중 상기 스팀이 분사되지 않은 앞단에 형성하는 기체커튼형성부, 상기 분사유체의 스팀일부 및 상기 기체커튼의 기체일부 중 적어도 하나 이상을 흡입하는 석션후드(suction hood), 상기 석션후드로부터 흡입된 상기 스팀일부 및 상기 기체일부 중 적어도 하나 이상을 상기 기체커튼형성부로 공급하는 배기관, 및 흡입된 상기 스팀일부 및 상기 기체일부 중 적어도 하나 이상를 상기 석션후드로부터 상기 기체커튼부로 들이는 유체순환기를 포함한다.

Description

스팀 재사용 노즐{NOZZLE FOR RECYCLING STEAM}
본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로서, 반도체 기판의 세정장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 세정에 이용되는 스팀 재사용 노즐에 관한 것이다.
반도체 장치가 고집적화 되면서 기판 상에 구현해야 하는 회로의 패턴 역시 점차 미세화 되고 있다. 그래서 기판 상의 패턴은 아주 미세한 오염물에 의해서도 반도체 소자의 불량을 발생하게 할 수 있으며, 이에 따라 세정공정의 중요성이 더욱 더 부각되고 있다.
이러한 세정공정에서 일반적으론, 초음파 발진기를 거친 순수를 분사하거나, 고압 노즐을 사용하여 순수를 분사한다. 그러나 이러한 초음파가 인가되거나 또는 고압의 순수 등 만을 이용해서 기판을 세정하면, 기판의 표면에 단순 부착되어 있는 오염물은 제거할 수 있으나, 포토레지스트 같은 기판의 표면에 강하게 결합되어 있거나 패턴에 강하게 부착되어 있는 오염물의 경우에는 이를 단시간 내에 효과적으로 제거할 수 없다. 따라서 제거되지 않은 오염물에 의해서 후속 공정에서 막질의 균일도를 저하시키거나 기판의 결함을 초래할 수 있다.
이에 따라 잘 제거되지 않는 오염물을 제거하기 위해서 분사하는 순수의 압력을 높여, 고압순수세정을 실행해왔다. 그러나 분사압력이 높아짐에 따라서 미세한 반도체 회로의 패턴들이 무너지고 이로 인해 반도체 회로가 제대로 작동하지 않는 문제가 생겼다.
또한 분사압력을 높인다 하여도, 순수의 입자 크기 자체가 반도체 회로의 패턴간의 사이사이에 들어가기에 충분히 작지 않기 때문에, 세정이 불가능한 패턴간의 사이가 여전히 존재한다는 문제가 있다.
위와 같은 문제점들을 해결하기 위하여, 최근에 들어서 스팀세정을 실시해 오고 있다. 스팀세정은 일반적인 세정방법과 견주었을 때 얻을 수 있는 세 가지 이점이 있다.
첫째로, 세정하고자 하는 대상에 위치하는 패턴의 무너짐과 뭉개짐을 회피할 수 있는 것이다. 일반적인 세정방법에서는, 세정하고자 하는 기판상의 패턴이 충격을 받아 무너지거나 뭉개질 수 있었다. 그러나, 스팀세정은 패턴에 고압의 마찰을 인가하지 않음으로써 기판상의 패턴의 무너짐과 뭉개짐을 회피할 수 있다.
둘째로, 세정하고자 하는 대상에 위치하는 패턴이 미세 패턴을 포함하는 경우에도, 해당 미세 패턴의 사이사이까지 세정할 수 있다. 일반적인 세정방법에서 사용하는 브러쉬의 솔 및 순수의 물방울은 미세 패턴의 사이사이를 침투하기에 충분히 작지 않다. 그러나, 스팀세정의 스팀 크기는 미세 패턴 사이사이에 침투할 수 있을 만큼 충분히 작다. 따라서, 스팀세정은, 미세 패턴의 사이사이까지 세정할 수 있다.
그러나, 일반적인 스팀세정은 세정노즐로부터 분사된 스팀을 폐기처리한다. 이로 인해, 분사된 스팀에 포함된 잔존하는 에너지가 폐에너지로 폐기되는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 분사된 스팀을 곧바로 폐기처리하지 않고 재사용하여 폐에너지를 최소화한 스팀 재사용 노즐을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐은 외부공간으로부터 내부공간을 분리시키는 몸체, 상기 몸체 내부로 스팀을 들이는 스팀유입관, 상기 스팀을 세정하고자 하는 대상에 분사유체로서 분사하는 분사구, 상기 스팀의 분사방향을 제어하는 분사구경사판, 상기 몸체의 외부에 위치하고, 기체 및 스팀 중 적어도 하나 이상을 구비하는 기체커튼(curtain)을 상기 대상 중 상기 스팀이 분사되지 않은 앞단에 형성하는 기체커튼형성부, 상기 분사유체의 스팀일부 및 상기 기체커튼의 기체일부 중 적어도 하나 이상을 흡입하는 석션후드(suction hood), 상기 석션후드로부터 흡입된 상기 스팀일부 및 상기 기체일부 중 적어도 하나 이상을 상기 기체커튼형성부로 공급하는 배기관, 및 흡입된 상기 스팀일부 및 상기 기체일부 중 적어도 하나 이상를 상기 석션후드로부터 상기 기체커튼부로 들이는 유체순환기를 포함한다.
실시 예에 있어서, 상기 분사구경사판은 상기 분사구의 양단 중 상기 석션후드와 먼 쪽에 위치할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 분사구경사판은 상기 분사유체의 분사방향을 상기 분사구로부터 상기 석션후드를 향하는 방향으로 제어할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 분사구경사판은 상기 대상의 진행방향과 0o 초과 90o 미만의 각을 이룰 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 분사구는 상기 대상의 진행방향과 수직한 가상의 선을 포함하는 선형으로, 상기 분사유체를 분사할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 몸체의 외부에 위치하고, 상기 대상 중 상기 분사유체가 분사되지 않은 앞 단 및 상기 분사유체가 분사된 후 단 중 적어도 하나 이상에, 액체를 분사하여 액체커튼을 형성하는 액체커튼형성부를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 액체커튼형성부는 상기 석션후드와 상기 분사구를 포함하는 공간의 외부에 적어도 하나 이상 구비될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 몸체 내부로 상기 기체 및 액체 중 적어도 하나 이상을 들이는 추가유입관을 더 포함하여, 상기 스팀, 상기 기체 및 상기 액체 중 적어도 하나 이상이 상기 분사구를 통하여 분사될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 기체는 청정공기(CDA, clean dry air), 산소(O2) 및 질소(N2) 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 액체는 순수 및 오존수 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 순수는 탈이온수(DIW, deionized water) 및 초순수(UPW, ultrapure water) 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 스팀 재사용 노즐의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.
스팀 재사용 노즐은 분사된 스팀을 곧바로 폐기처리하지 않고 재사용하여 폐에너지를 감소시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 같은 전력을 소비하여 스팀세정을 수행하는 일반적인 노즐보다, 증대된 효율로 세정을 수행 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 3는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 구체적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 스팀 재사용 노즐은 스팀분사부(50), 액체커튼형성부(500), 기체커튼형성부(550) 및 석션부(600)를 포함할 수 있다.
스팀분사부(50)는 분사유체(30)로서 스팀(20)을 분사하여 스팀세정을 수행할 수 있다. 액체커튼형성부(500) 및 기체커튼형성부(550)는 각각 액체(5)와 기체(22)를 들이고, 이를 분사하여 액체커튼(505)와 기체커튼(555)를 형성할 수 있다. 여기서, 액체커튼(505)은 스팀분사부(50)에서 분사된 분사유체(30) 및 기체커튼형성부(550)로부터 분사된 기체커튼(555)이 이미 세정이 완료된 위치로 비산하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기체커튼(555)은 기체커튼형성부(550)로부터 분사되는 압력을 통해 스팀세정을 도울 수 있다. 이때 석션부(600)는 비산이 방지된 분사유체(30)의 스팀일부 및 기체커튼(555)의 기체일부를 흡입하고, 흡입한 스팀일부 및 기체일부를 기체커튼형성부(550)로 공급하여, 이후, 기체커튼(555)의 형성에 이들이 재활용될 수 있도록 한다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 스팀 재사용 노즐은 스팀분사부(50), 기체커튼형성부(550) 및 석션부(600)를 포함할 수 있다.
구체적으로 스팀분사부(50)는 몸체(100), 스팀유입관(204), 분사관(220), 분사구(222) 및 분사구경사판(224)를 포함할 수 있고, 기체커튼형성부(550)는 기체유입관(552) 및 기체커튼 형성 유닛(572)을 포함할 수 있고, 석션부(600)는 석션후드(610), 배기관(612) 및 유체순환기(620)를 포함할 수 있다.
우선, 스팀(20)이 스팀유입관(204)을 통하여 스팀분사부(50)의 몸체(100) 외부로부터 몸체 내부로 들여진 후, 분사유체(30)로서 분사관(220)을 지나 분사구(222)를 통하여 세정하고자 하는 대상으로 분사될 수 있다. 분사유체(30)가 분사구(222)로부터 분사될 때, 분사유체(30)는 분사구경사판(224)에 의해 일정한 방향으로의 편향을 가지고 분사될 수 있다. 이로 인해, 분사유체(30)는 세정하고자 하는 대상 상의 사방이 아닌 의도한 특정 방향을 선택적으로 스팀세정할 수 있다.
특히, 분사구경사판(224)이 분사구(222)의 양단 중 석션후드(610)와 먼 쪽에 위치하고, 분사구경사판(224) 끝단(225)이 도 2와 같이 석션부(600)쪽을 향하는 경우, 분사구(222)로부터 분사되어 스팀세정을 수행한 분사유체(30) 중 스팀일부가 효과적으로 석션후드(610)에 흡입될 수 있다.
또한, 분사구경사판(224)이 세정하고자 하는 대상의 진행방향과 0o 초과 90o 미만의 각을 이루고 있을 때, 분사유체(30)가 세정하고자 하는 대상으로부터 오염물을 효과적으로 쓸어낼 수 있다.
한편, 기체(22)는 기체유입관(552)를 통하여 기체커튼 형성 유닛(572) 내부로 들여진 후, 기체커튼(555)으로서 분사될 수 있다. 여기서, 기체(22)는 청정공기(CDA, clean dry air), 질소(N2), 산소(O2) 및 스팀 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. 기체커튼(555)은 기체커튼 형성 유닛(572)으로부터 분사되는 압력을, 세정하고자 하는 대상 상의 오염물을 해당 대상에서 밀어내는 전단력으로 이용하여 스팀세정을 도울 수 있다. 이후, 기체커튼(555) 중 기체일부는 분사유체(30) 중 스팀일부와 함께 석션후드(610)에 흡입될 수 있다.
이후, 석션후드(610)에 흡입된 스팀일부 및 기체일부는 배기관(612)을 통하여 석션후드(610)로부터 배기되고, 이로 인해 한정된 공간을 포함하는 석션후드(610)가 지속적으로 스팀일부 및 기체일부를 흡입할 수 있다. 이때, 석션후드(610)와 연결되지 않은 배기관(612)의 나머지 끝은 기체커튼 형성 유닛(550)의 기체유입관(552)과 연결될 수 있고, 스팀일부 및 기체일부는 유체순환기(620)를 통하여 기체커튼부로 흐르도록 유도될 수 있다. 구체적으로, 물리적인 기압차를 형성하는 유체순환기(620)가 본 발명에 구비되어, 배기관(612) 내 스팀일부 및 기체일부가 기체커튼형성부로 들여질 수 있다.
이로 인해, 석션후드(610)으로부터 배기된 스팀일부 및 기체일부는 기체유입관(552)로부터 들여진 기체(22)와 함께 기체커튼 형성 유닛(572)로 들여지고, 기체커튼(555)을 형성하는데 재사용될 수 있다.
도 3는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐의 사시도이다.
도 3을 참조하면, 스팀 재사용 노즐의 분사구(222)는 슬릿(slit)형태일 수 있다. 이로 인해서, 분사구(222)로부터 분사되는 분사유체(30)는 대상의 진행방향과 수직한 가상의 선을 포함하는 선형으로 분사될 수 있고, 이로 인해, 일순간에 대상 표면의 선형 형태 영역을 세정할 수 있다.
결과적으로, 슬릿(slit)형태의 분사구(222)를 포함한 스팀 재사용 노즐이, 시간의 흐름에 따라 분사구(222)의 장축과 수직한 방향으로, 세정하고자 하는 대상(40)에 대해 상대속도를 가지고 이동한다면, 일순간에 한 스팟을 세정하는 슬릿타입이 아닌 세정노즐과 비교하여, 같은 시간 동안에, 상대적으로 더 넓은 면적을 세정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 스팀 재사용 노즐을 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 스팀 재사용 노즐은 액체커튼형성부(500) 및 추가유입관(506) 중 적어도 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 액체커튼형성부(500)는 액체커튼(505)을 형성하기 위한 액체(5)를 들이는 액체유입관(502), 액체커튼(505)를 형성하는 커튼형성제1유닛(522) 및 커튼형성제2유닛(524)을 포함할 수 있다. 해당 액체(5)는 커튼형성제1유닛(522)과 커튼형성제2유닛(524)으로 이루어진 공간으로, 액체유입관(502)을 통하여 유입되어, 커튼형성유닛들(522, 524) 사이에 위치하고, 아랫쪽으로 형성된 얇은 틈을 통하여 커튼형태의 얇은 막으로 세정하고자 하는 대상에 분사된다. 여기서, 얇은 막을 액체커튼(505)이라 한다.
한편, 액체커튼형성부(500)는 석션후드와 분사구를 포함하는 공간의 외부에 적어도 하나 이상 구비될 수 있는데, 이 경우, 액체커튼(505)은 세정을 수행한 후에 오염물을 포함하는 스팀이, 이미 세정이 완료된 대상 또는 세정이 진행될 예정인 대상으로 비산되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 세정하고자 하는 대상에 도달하여 수막을 형성한 액체커튼(505)은 해당 대상으로부터 떨어져 나온 오염물을 수막위에 부유시키고, 해당 오염물은, 해당 대상이 해당 스팀세정의 단계로부터 벗어날 때, 수막과 함께 탈락될 수 있다.
또한, 액체유입관(502)을 통하여 들여오는 액체(5)는 순수 또는 오존수 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. 여기서 순수는 이온을 포함하지 않는 탈이온수(DIW, deionized water)나, 이온과 이온 이외의 불순물들을 포함하지 않는 초순수(UPW, ultrapure water) 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
특히, 액체유입관(502)을 통하여 액체로서 오존수를 들이는 경우, 분사된 액체커튼(505)은 산소라디칼(O·)과 히드록시라디칼(OH·)을 포함하게 되고, 해당 라디칼들이 오염물들과 화학적 작용을 하여서 세정하고자 하는 대상으로부터 오염물을 분리해내는, 화학적 세정효과를 제공할 수 있다.
한편, 스팀 재사용 노즐은 몸체 내부(101)로 기체(22) 및 액체(5) 중 적어도 하나 이상을 들이는 추가유입관(506)을 더 포함하여, 스팀(20), 기체(22) 및 액체(5) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 분사유체를 분사구를 통하여 분사할 수 있다.
이 경우, 스팀(20)만을 몸체 내부(101)로 들이는 경우보다, 분사유체(30)의 부피가 증가할 수 있다. 이에 따라, 분사유체(30)는 부피가 증가하기 전과 동일한 시간비율로 배출되기 위해서, 전보다 증가된 속력으로 대상에 분사될 수 있다. 여기서, 증가된 속력은 세정하고자 하는 대상 표면의 오염물을 밀어내는 추가적인 압력으로 작용하여 스팀세정의 효율을 높일 수 있다.
따라서, 이상의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
5: 액체 20: 스팀(steam)
22: 기체 30: 분사유체
50: 스팀분사부 100: 몸체
202: 액체유입관 204: 스팀유입관
220: 분사관 222: 분사유체분사구
224: 분사구경사판 225: 끝단
500: 액체커튼형성부 502: 액체유입관
505: 액체커튼 506: 추가유입관
522: 액체커튼 형성 제1유닛 524: 액체커튼 형성 제2유닛
550: 기체커튼형성부 552: 기체유입관
555: 기체커튼 572: 기체커튼 형성 유닛
600: 석션부 610: 석션후드
612: 배기관 620: 유체순환기

Claims (11)

  1. 외부공간으로부터 내부공간을 분리시키는 몸체;
    상기 몸체 내부로 스팀을 들이는 스팀유입관;
    상기 몸체에 구비되고, 세정하고자 하는 대상의 표면에 상기 스팀을 분사하는 분사구;
    상기 스팀이 상기 대상의 표면 상에서 제1 방향을 향하여 진행되도록 상기 스팀의 분사방향을 제어하는 분사구경사판;
    상기 몸체의 제1 방향 측면에 구비되어 상기 대상의 표면에 기체커튼을 형성하는 기체커튼형성부;
    상기 기체커튼형성부의 제1 방향 측면에 구비되어, 상기 스팀의 일부 및 상기 대상의 표면에 타격된 기체커튼의 일부를 흡입하는 석션후드; 및
    상기 흡입된 스팀의 일부 및 상기 흡입된 기체커튼의 일부를 상기 석션후드로부터 상기 기체커튼형성부로 들이는 유체순환기를 포함하고,
    상기 기체커튼형성부는 기체유입관 및 기체커튼 형성 유닛을 포함하고, 상기 기체유입관을 통해서 상기 기체커튼 형성 유닛 내부로 기체를 들인 후 상기 대상의 표면에 상기 기체커튼으로 분사하며,
    상기 석션후드로부터 배기된 상기 스팀의 일부 및 기체커튼의 일부는 상기 유체순환기를 통해서 상기 기체커튼형성부로 들여져 상기 기체유입관으로부터 들여진 상기 기체와 함께 상기 기체커튼 형성 유닛으로 들여져 상기 기체커튼을 형성하는데 재사용되고
    상기 기체커튼은 상기 기체커튼 형성 유닛으로부터 분사되는 압력을 이용하여 상기 대상 상의 오염물을 상기 대상에서 밀어내도록 상기 대상 상의 오염물에 전단력을 부가하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기체커튼 내 상기 기체는,
    청정공기(CDA, clean dry air), 산소(O2), 스팀 및 질소(N2) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 분사구경사판은,
    상기 대상의 진행방향과 0o 초과 90o 미만의 각을 이루는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 분사구는,
    상기 대상의 진행방향과 수직한 가상의 선을 포함하는 선형으로, 상기 스팀을 분사하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체의 외부에 위치하고, 상기 대상 중 상기 스팀이 분사되지 않은 앞 단 및 상기 스팀이 분사된 후 단 중 적어도 하나 이상에, 액체를 분사하여 액체커튼을 형성하는 액체커튼형성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 액체커튼형성부는,
    상기 석션후드와 상기 분사구를 포함하는 공간의 외부에 적어도 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체 내부로 기체 및 액체 중 적어도 하나 이상을 들이는 추가유입관을 더 포함하여, 상기 스팀, 및 상기 추가유입관으로 유입된 상기 기체 및 상기 액체 중 적어도 하나 이상이 상기 분사구를 통하여 분사되는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 추가유입관으로 유입된 상기 기체는,
    청정공기(CDA, clean dry air), 산소(O2) 및 질소(N2) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  10. 제 6 항 또는 8항에 있어서,
    상기 액체커튼형성부 내 상기 액체 또는 상기 추가유입관으로 유입된 상기 액체는,
    순수 및 오존수 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 순수는,
    탈이온수(DIW, deionized water) 및 초순수(UPW, ultrapure water) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 스팀 재사용 노즐.
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