KR102128861B1 - 분사 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 등의 대상물을 세정하기 위해서 유체를 분사하는 분사 장치에 관한 것으로서, 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부는 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도로 기울어지게 분사될 수 있다.

Description

분사 장치 및 방법{Spray apparatus and method}
본 발명은 분사 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 등의 대상물을 세정하기 위해서 유체를 분사하는 분사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, OLED(Organic Light Emitting Diodes), LCD(Lipuid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등을 이용한 평판형 디스플레이 장치들은 화질이 우수하고, 비교적 저전력을 사용한다는 점에서 널리 사용되고 있다.
이러한, 평판형 디스플레이 장치들은 유리 기판이나 필름 기판이나 반도체 기판 등의 기판에 수많은 공정들을 수행하여 제작되는 것으로서, 그 과정 상에서 먼지나 기판 조각이나 금속 조각 등 각종 파티클이나 부산물이나 폴리머나 유기물이나 미생물 등의 이물질들이 발생될 수 있다.
이러한 이물질들을 세정을 위하여, 종래에는 브러쉬나 초음파 진동 등과 같은 물리적인 힘을 이용한 물리적인 방법이 있었다.
그러나, 이러한 물리적인 세정 방법은 기판의 표면에 미세한 스크레치가 발생되거나 기판이 파손되는 등의 문제점들이 있었다.
한편, 대한민국 특허등록 제10-0724696호에 기재된 바와 같이, 물을 분사하여 세정을 수행하는 물 분사부와 물이 분사되기 이전에 상기 세정 목적물의 세정 대상 부위에 설정된 압력을 갖는 스팀을 분사하여 초기적 세정을 행하는 스팀 분사부를 이용한 습식 세정 장치가 개발된 바 있다.
그러나, 이러한 종래의 세정 장치는 분사된 유체가 기판의 진행 방향 또는 기판의 표면을 기준으로 수직으로 분사되는 것으로서, 수직 분사시 유체가 대상물과 접촉되는 접촉 면적이 상대적으로 짧아져서 난류가 심하게 발생되고, 이러한 난류로 인하여 기판으로부터 순간적으로 분리된 이물질들이 액막을 따라 혼잡되게 부유하다가 기판의 다른 영역이나 다른 기판이나 다른 장비에 흡착되어 재오염시킬 수 있고, 오히려 오염물을 분산시켜서 불량 영역이 확장되거나 다른 기판이나 다른 장비에 악영향을 끼치는 등의 문제점이 있었다.
또한, 이러한 종래의 세정 장치는 난류로 인한 불규칙한 유체의 흐름에 의해서 대형 기판에 폭 전체에 걸쳐서 유체를 균일하게 분사하지 못하여 세정의 균일도가 떨어지고, 노즐의 형상이 일체형상으로 형성되어 제작이 어렵고, 이로 인하여 장비의 제조 비용과 시간이 증대되는 등의 문제점들이 있었다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 코안다 효과를 통해서 대상물과의 접촉 면적, 즉 세정 면적을 극대화할 수 있고, 기판으로부터 분리된 이물질이 층류를 따라 신속하게 흡입함으로써 기판의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 여러 개의 블록들로 이루어진 블록체를 이용하여 제작이 용이하고, 대형 기판이라도 층류를 이용한 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있게 하는 분사 장치 및 방법을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 분사 장치는, 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부는 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도로 기울어지게 분사되며, 상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되고, 상기 블록체는, 베이스 블록; 상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및 상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 베이스 블록은, 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성되고, 상기 분사부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 하부가 상기 코안다 효과를 유지시키는 유지 구간이 형성되도록 상기 대상물의 표면을 따라 형성되다가 상기 베이스 블록을 따라 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되며, 상기 베이스 블록을 따라 올라와서 상기 베이스 블록과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부가 형성되도록 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록의 상부 방향으로 3차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부가 형성되며, 상기 흡입부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 4 절곡부가 형성되고, 상기 흡입부 형성 블록과 상기 분사부 형성 블록 사이에 전체적으로 단면이 일자 형상인 중간 블록이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 블록체는, 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 가압하는 블록 고정체; 상기 제 2 유체 공급부와 연결되도록 상기 베이스 블록에 형성되는 제 2 유체 공급관; 상기 제 1 유체 분산 수용부와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록에 형성되는 제 1 유체 공급관; 및 상기 흡입부와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록에 형성되는 흡입관;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 분사부는, 상기 제 1 유체가 유입되는 제 1 유체 유입구가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구를 통해 유입된 상기 제 1 유체가 골고루 분산되도록 제 1 폭을 갖는 제 1 유체 분산 수용부; 상기 제 1 유체 분산 수용부의 상기 제 1 유체가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭으로 형성되는 혼합 유체 토출부; 상기 제 1 유체 분산 수용부와 상기 혼합 유체 토출부 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체와 상기 제 1 유체의 상기 혼합 유체가 상기 혼합 유체 토출부로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부로 상기 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급부; 및 상기 혼합 유체 토출부의 말단부에 형성되고, 상기 대상물의 표면에 수직한 방향으로 토출되는 상기 혼합 유체를 상기 제 1 분사 각도까지 유도할 수 있도록 유도 곡면이 형성되는 유도 곡면부;를 포함할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 유도 곡면부는, 조립형 블록 또는 각도 조절형 블록에 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분사 장치는, 상기 제 1 유체 분산 수용부의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체와 충돌되어 상기 제 1 유체를 골고루 분산시키는 분산체;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 유체는 적어도 스팀, 순수(deionized water) 스팀, 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA), 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지고, 상기 제 2 유체는 적어도 물, 순수, 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 분사 장치는, 상기 대상물의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 설치되고, 상기 이물질을 부유시키는 액막을 형성하기 위해서 상기 대상물 상에서 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물에 제 3 유체를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치는, 내부에 상기 제 3 유체를 수용하는 제 3 유체 수용 공간이 형성되고, 복수개의 분사홀이 형성되는 내통; 및 상기 내통을 둘러싸는 형상으로 상기 내통과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀과 어긋난 위치에 분사 슬릿이 형성되는 외통;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치는, 상기 외통의 상기 분사 슬릿의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 분사 방법은, 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부는 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도로 기울어지게 분사되며, 상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되고, 상기 블록체는, 베이스 블록; 상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및 상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;을 포함하는 분사 장치를 이용한 분사 방법에 있어서, 상기 분사부를 이용하여 상기 대상물에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및 상기 흡입부를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 분사되는 유체의 흐름이 대상물의 표면을 따라 비교적 균일한 층류가 형성될 수 있게 하는 코안다 효과를 통해서 대상물과의 접촉 면적, 즉 세정 면적을 극대화할 수 있고, 기판으로부터 분리된 이물질이 층류를 따라 신속하게 흡입함으로써 기판의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 여러 개의 블록들로 이루어진 블록체를 이용하여 제작이 용이하고, 대형 기판이라도 층류를 이용한 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치를 나타내는 외관 사시도이다.
도 2는 도 1의 분사 장치의 부품 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 분사 장치의 단면도이다.
도 4는 도 1의 분사 장치의 부분 절개 사시도이다.
도 5는 도 1의 분사 장치의 작동 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 1의 분사 장치의 제 3 유체 액막 형성 장치를 나타내는 확대 단면도이다.
도 7은 도 1의 분사 장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 1의 분사 장치의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)를 나타내는 외관 사시도이고, 도 2는 도 1의 분사 장치(100)의 부품 분해 사시도이고, 도 3은 도 1의 분사 장치(100)의 단면도이고, 도 4는 도 1의 분사 장치(100)의 부분 절개 사시도이다.
먼저, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 크게 프레임(110)과, 분사부(10) 및 흡입부(20)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(110)은, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)가 형성되는 후술될 블록체(B)를 기판 등의 대상물(S) 상에 일정한 거리로 이격되도록 지지할 수 있도록 충분한 내구성과 강도를 갖는 구조체로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 볼트나 나사 등 각종 고정구들을 이용하여 서로 조립되는 각종 수평 부재와 수직 부재 및 경사 부재들로 이루어질 수 있다.
그러나, 이러한 상기 프레임(110)은 도면에 국한되지 않고, 상기 대상물(S)의 형태나 설치 규격이나 설치 환경 등에 따라서 매우 다양하게 구성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부(10)는, 상기 대상물(S)에 제 1 유체(1) 또는 상기 제 1 유체(1)와 제 2 유체(2)가 혼합된 혼합 유체(4)를 분사할 수 있는 것으로서, 상기 블록체(B)의 일부분에 형성될 수 있다.
여기서, 예컨대, 상기 제 1 유체(1)는 적어도 스팀, 순수 스팀(deionized water steam), 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA) 또는 알콜 성분이나 유기물 성분 등이 포함된 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제 2 유체(2)는 적어도 물, 순수(deionized water), 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다.
따라서, 예컨대, 상기 분사부(10)에 의해서 상기 순수 스팀은 상기 순수와 혼합되어 고압으로 상기 대상물(S)의 표면에 분사될 수 있다.
그러나, 상기 제 1 유체(1)와 상기 제 2 유체(2)는 이에 반드시 국한되지 않고, 고압의 질소 가스나, 아르곤 가스이나, 청정 공기나 압축 건조 공기 등이 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡입부(20)는, 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)을 흡입하는 것으로서, 상기 분사부(10)로부터 근접된 상기 블록체(B)의 다른 부분에 형성될 수 있다.
즉, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)는 적어도 하나 이상(도면에서는 3개)의 블록(B1)(B2)(B3)을 포함하는 블록체(B)에 서로 나란하게 형성될 수 있다.
여기서, 상기 분사부(10)는 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)가 상기 대상물(S)의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)가 상기 대상물(S)의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도(K1)로 기울어지게 분사될 수 있다.
이러한, 상기 제 1 분사 각도(K1)는 상기 대상물(S)의 진행 방향에 대향되는 방향으로 0도 내지 90도 각도로 기울어진 것으로서, 각도가 0도에 근접되게 너무 작은 경우, 코안다 효과는 크지만 상기 대상물(S)의 표면에 인가되는 압력은 작아져서 이물질에 대한 분리 능력이 떨어질 수 있고, 각도가 90도에 근접되게 너무 클 경우, 상기 대상물(S)의 표면에 인가되는 압력은 커서 이물질에 대한 분리 능력이 커질 수는 있으나 상대적으로 코안다 효과는 떨어져서 심하게 난류가 발생되고 이로 인하여 상기 이물질(P)의 재오염 현상이 발생될 수 있다. 따라서, 반복적인 실험과 시뮬레이션을 통해서, 상기 제 1 분사 각도(K1)은 20도 내지 60도인 것이 바람직하다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 상기 제 1 분사 각도(K1)는 상기 대상물(S)의 종류나 규격이나 세정 환경 등에 따라서 최적화될 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부(10)는, 상기 제 1 유체(1)가 유입되는 제 1 유체 유입구(10a)가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구(10a)를 통해 유입된 상기 제 1 유체(1)가 골고루 분산되도록 제 1 폭(W1)을 갖는 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)의 상기 제 1 유체(1)가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭(W1) 보다 좁은 제 2 폭(W2)으로 형성되는 혼합 유체 토출부(10-2)와, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와 상기 혼합 유체 토출부(10-2) 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체(2)와 상기 제 1 유체(1)의 상기 혼합 유체(4)가 상기 혼합 유체 토출부(10-2)로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부(10-2)로 상기 제 2 유체(2)를 공급하는 제 2 유체 공급부(10-3) 및 상기 혼합 유체 토출부(10-2)의 말단부에 형성되고, 상기 대상물(S)의 표면에 수직한 방향으로 토출되는 상기 혼합 유체(4)를 상기 제 1 분사 각도(K1)까지 연속적으로 유도할 수 있도록 유도 곡면(R)이 형성되고 상기 제 2 폭(W2) 보다 넓은 제 3 폭(W3)으로 형성되는 유도 곡면부(10-4)를 포함할 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 분사부(10)는, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체(1)와 충돌되어 상기 제 1 유체(1)를 골고루 분산시키는 분산체(T)를 더 포함할 수 있다.
이러한 상기 분산체(T)는 상기 제 1 유체(1)의 유동 방향과 수직을 이루는 전후 방향 또는 좌우 방향으로 길게 형성되는 것이 가능하다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않는다.
따라서, 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 1 유체 유입구(10a)를 거쳐서 상기 분산체(T)와 충돌되어 골고루 분산되고, 이러한, 균일하게 분산된 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 2 유체 공급부(10-3)를 통해 상기 제 2 유체(2)와 합쳐지고, 합쳐진 고압의 상기 혼합 유체(4)가 상기 혼합 유체 토출부(10-2)를 통해 상기 대상물(S) 방향으로 토출되다가, 상기 유도 곡면부(10-4)에 의해 상기 제 1 분사 각도(K1)까지 연속적으로 유도되어 상기 대상물(S)의 표면에 층류가 형성되도록 분사될 수 있다.
이 때, 상기 유도 곡면부(10-4)는, 상기 제 2 폭(W2) 보다 넓은 제 3 폭(W3)으로 형성되어 층류가 형성될 수 있도록 상기 혼합 유체(4)의 유속을 낮출 수 있다. 즉, 유량이 같을 경우, 상기 제 3 폭(W3)을 넓게 하여 유속을 낮춤으로써 난류 보다는 층류를 유도할 수 있다.
그러므로, 코안다 효과를 이용하여 이러한 층류를 형성함으로써 상기 대상물(S)과의 접촉 면적, 즉 세정 면적을 극대화할 수 있고, 기판으로부터 분리된 이물질(P)이 층류를 따라 이웃으로 전파되기 전에 신속하게 흡입함으로써 기판의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있다.
한편, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 블록체(B)는, 상기 분사부(10)와 상기 흡입부(20)는 적어도 하나 이상의 블록(B1)(B2)(B3)을 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 블록체(B)는, 베이스 블록(B1)과, 상기 베이스 블록(B1)에 조립되고, 상기 베이스 블록(B1)과 대향되는 대향면(F1)에 상기 분사부(10)가 형성되는 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 분사부 형성 블록(B2)에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록(B2)과 대향되는 대향면(F2)에 상기 흡입부(20)가 형성되는 흡입부 형성 블록(B3)을 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 블록(B1)은, 제작이 쉽고 상기 분사부 형성 블록(B2)이 쉽게 조립될 수 있도록 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 분사부 형성 블록(B2)은, 상기 분사부 형성 블록(B2)은, 전체적으로 단면이 하부가 상기 코안다 효과를 유지시키는 유지 구간이 형성되도록 상기 대상물(S)의 표면을 따라 형성되다가 상기 베이스 블록(B1)을 따라 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되며, 상기 베이스 블록(B1)을 따라 올라오다가 상기 베이스 블록(B1)과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부(A)가 형성되도록 상기 베이스 블록(B1)으로부터 멀어지는 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부(R2)가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록(B1)의 상부 방향으로 3차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부(R3)가 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡입부 형성 블록(B3)은, 상기 흡입부(20)가 흡입 압력을 형성할 수 있도록 협폭된 제 4 폭(W4)을 갖고, 균일한 흡입을 위해서 확폭된 흡입 압력 형성 공간(D)이 형성될 수 있도록 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록(B2)의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부(R3)가 형성될 수 있다.
전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록(B2)의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 4 절곡부(R4)가 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 흡입부 형성 블록(B3)과 상기 분사부 형성 블록(B2) 사이에 전체적으로 단면이 일자 형상인 중간 블록(B4)이 형성될 수 있다.
그러므로, 이러한 상기 블록체(B)는 나사나 볼트 등의 고정구(F)으로 조립될 수 있는 4개 이상의 블록(B1)(B2)(B3)(B4)들로 이루어질 수 있기 때문에 내부에 복잡한 유로를 쉽게 형성할 수 있고, 다양한 형태의 각재를 절삭하여 쉽게 조립할 수 있으며, 부품의 파손이나 내부 세정시, 각각의 블록(B1)(B2)(B3)(B4)들을 쉽게 분해하여 교체하거나 세정할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 블록체(B)는, 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 가압하는 블록 고정체(120)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 블록 고정체(120)를 조립하여 상기 베이스 블록(B1)과, 상기 분사부 형성 블록(B2) 및 상기 흡입부 형성 블록(B3)을 견고하게 고정시킬 수 있다.
또한, 상기 블록체(B)는, 상기 제 2 유체 공급부(10-3)와 연결되도록 상기 베이스 블록(B1)에 형성되는 제 2 유체 공급관(P2)과, 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록(B2)에 형성되는 제 1 유체 공급관(P1) 및 상기 흡입부(20)와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록(B3)에 형성되는 흡입관(P3)을 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 제 1 유체(1)는 상기 제 1 유체 공급관(P1)을 통해서 상기 제 1 유체 분산 수용부(10-1)로 공급될 수 있고, 상기 제 2 유체(2)는 상기 제 2 유체 공급관(P2)을 통해서 상기 제 2 유체 공급부(10-3)로 공급될 수 있으며, 상기 혼합 유체(4)에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)은 상기 대상물(S)을 재오염시키기 전에 상기 흡입관(P3)을 통해서 신속하게 외부로 배출될 수 있다.
여기서, 상기 제 2 유체(2)는 분기관(P4)을 이용하여 복수개의 상기 제 2 유체 공급관(P2)으로 분기되어 공급될 수 있고, 상기 이물질(P)은 합기관(P5)을 통해서 복수개의 상기 흡입관(P3)들로부터 합기되어 회수될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 상기 대상물(S)의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체(B)의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 설치되고, 상기 이물질(P)을 부유시키는 액막(W)을 형성하기 위해서 상기 대상물(S) 상에서 상기 제 1 유체(1) 또는 상기 혼합 유체(4)를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물(S)에 제 3 유체(3)를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 더 포함할 수 있다.
도 6은 도 1의 분사 장치(100)의 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 나타내는 확대 단면도이다.
예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)는, 제 3 유체 공급관(P6)과 연결되고, 내부에 상기 제 3 유체(3)를 수용하는 제 3 유체 수용 공간(C)이 형성되며, 복수개의 분사홀(H)이 형성되는 내통(31) 및 상기 내통(31)을 둘러싸는 형상으로 상기 내통(31)과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀(H)과 어긋난 위치에 분사 슬릿(33)이 형성되는 외통(32)을 포함할 수 있다.
또한, 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)는, 상기 외통(32)의 상기 분사 슬릿(33)의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치(34)를 더 포함할 수 있다.
이러한, 상기 각도 조절 장치(34)는 기준 눈금과 대비하여 상기 분사 슬릿(33)의 상기 분사 각도를 눈금으로 조절할 수 있는 각도 조절 노브가 적용될 수 있다. 따라서, 작업자는 상기 각도 조절 노브의 각도를 조절하여 상기 분사 슬릿(33)의 분사 각도를 조절할 수 있다. 이외에도 각도 조절 모터를 설치하여 자동으로 각도를 조절하는 것도 가능하다.
따라서, 상기 제 3 유체(3)는 상기 제 3 유체 수용 공간(C)으로부터 상기 내통(32)에 형성된 복수개의 상기 분사홀(H)을 통해서 1차로 그 압력을 균일하게 분산될 수 있고, 상기 분사홀(H)과 어긋난 위치에 형성된 상기 외통(32)의 상기 분사 슬릿(33)을 통해서 2차로 압력이 균일화되어 상기 대상물(S)의 표면에 상기 액막(W)을 형성할 수 있다. 여기서, 이러한 상기 제 3 유체(3)는 적어도 물, 순수(deionized water), 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있다. 그러나 이에 반드시 국한되지 않고, 고압의 질소 가스나, 아르곤 가스이나, 청정 공기나 압축 건조 공기 등이 적용될 수 있다.
도 5는 도 1의 분사 장치(100)의 작동 상태를 나타내는 단면도이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 상기 대상물(S)의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체(B)의 전방 및 후방에 각각 설치된 상기 제 3 유체 액막 형성 장치(30)를 이용하여 상기 이물질(P)을 부유시키는 상기 액막(W)이 형성되면, 상기 제 1 유체(1)와 상기 제 2 유체(2)가 합쳐진 상기 혼합 유체(4)가 상기 분사부(10)를 통해 상기 대상물(S) 방향으로 고압으로 토출될 수 있다.
이 때, 상술된 상기 유도 곡면부(10-4)에 의해 상기 제 1 분사 각도(K1)까지 연속적으로 유도되어 상기 대상물(S)의 표면에 층류가 형성되도록 분사될 수 있고, 유속을 낮춤으로써 난류 보다는 층류를 유도할 수 있다.
그러므로, 코안다 효과를 이용하여 이러한 층류를 형성함으로써 상기 대상물(S)과의 접촉 면적, 즉 세정 면적을 극대화할 수 있다.
이러한, 상기 혼합 유체(4)의 코안다 효과에 의해서 상기 대상물(S)로부터 상기 이물질(P)이 분리될 수 있고, 분리된 상기 이물질(P)은 상기 대상물(S)을 재오염시킬 수 없도록 비교적 층간 이동이 없는 층류를 따라 흡입부(20)를 통해서 신속하게 흡입될 수 있다.
그러므로, 분사되는 유체의 흐름이 상기 대상물(S)의 표면을 따라 층간 이동이 없는 비교적 균일한 층류가 형성될 수 있게 하는 코안다 효과를 통해서 대상물과의 접촉 면적, 즉 세정 면적을 극대화할 수 있고, 기판 등의 상기 대상물(S)에 유체를 분사하는 상기 분사부(10)와 유체에 의해 분리된 상기 이물질(P)을 흡입하는 상기 흡입부(20)가 서로 근접되도록 일체화된 상기 블록체(B)를 이용하여 상기 대상물(S)로부터 분리된 상기 이물질(P)을 신속하게 흡입함으로써 상기 대상물(S)의 재오염이나 다른 기판이나 장비로의 오염의 전파를 방지할 수 있고, 3개의 블록들로 이루어진 상기 블록체(B)를 이용하여 제작이 용이하고, 블록들 간의 조립을 용이하여 블록들 사이에 형성된 슬릿 형태의 분사부의 제작 정밀도를 향상시킬 수 있어서 대형 기판이라도 균일한 압력으로 골고루 유체를 분사할 수 있다.
도 7은 도 1의 분사 장치(100)의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)의 유도 곡면부(10-4)는, 대상물(S)의 특성이나 세정 조건 등에 따라서 최적의 각도를 취사 선택하여 교체하거나, 부품 마모에 의해 헌것을 새것으로 교체할 수 있도록 별도 제작한 조립형 블록(10-5)의 일측에 형성될 수 있다.
이 때, 상기 조립형 블록(10-5)는 도시하지 않았지만, 나사나 볼트 등 각종 고정구나 고정장치로 분리가 가능하도록 체결될 수 있다.
따라서, 사용자는 예컨대, 상기 유도 곡면부(10-4)의 최종 분사 각도가 5도, 10도, 15도, 20도 각도로 형성된 다양한 상기 조립형 블록(10-5)들 중 가장 적합한 어느 하나를 선택하여 교체하거나 마모된 것을 새것으로 교체함으로써 기판에 형성된 미세 패턴을 최대한 보호할 수 있고, 세정력을 극대화하면서 반영구적으로 사용할 수 있다.
도 8은 도 1의 분사 장치(100)의 또 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)의 유도 곡면부(10-4)는, 대상물(S)의 특성이나 분사 조건 등에 따라서 최적의 각도로 분사 각도를 조정할 수 있도록 힌지축(10-7)을 중심으로 회전 각도가 조절될 수 있는 각도 조절형 블록(10-6)의 일측에 형성될 수 있다.
이 때, 상기 각도 조절형 블록(10-6)는 도시하지 않았지만, 각도 조절 나사나 각도 조절 볼트나 각도 조절 모터 등 각종 수동식 또는 자동식 각도 조절 장치를 이용하여 분사 각도 조절이 가능하게 설치될 수 있다.
따라서, 사용자는 예컨대, 대상물(S)이나 세정 조건 등에 따라 상기 유도 곡면부(10-4)의 최종 분사 각도를 5도에서 20도까지 미세하게 조절하면서 분사할 수 있게 하여 다양한 기판에 형성된 미세 패턴을 최대한 보호할 수 있고, 세정력을 극대화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 분사 장치(100)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 필터 등을 이용하여 흡입된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체로부터 상기 이물질(P)을 분리하고, 정화된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 순환 펌프나 분배기 등으로 재순환시키는 상기 순환계(200)를 더 포함할 수 있다.
한편, 이러한 본 발명의 분사 장치를 이용한 분사 방법은, 상기 분사부(10)를 이용하여 상기 대상물(S)에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및 상기 흡입부(20)를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물(S)로부터 분리된 이물질(P)을 흡입하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 필터 등을 이용하여 흡입된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체로부터 상기 이물질(P)을 분리하고, 정화된 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 재순환시키는 상기 순환계(200)를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 순환시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
S: 대상물
P: 이물질
1: 제 1 유체
2: 제 2 유체
3: 제 3 유체
4: 혼합 유체
10: 분사부
10a: 제 1 유체 유입구
10-1: 제 1 유체 분산 수용부
10-2: 혼합 유체 토출부
10-3: 제 2 유체 공급부
10-4: 유도 곡면부
10-5: 조립형 블록
10-6: 각도 조절형 블록
K1: 제 1 분사 각도
R: 유도 곡면
F: 고정구
T: 분산체
20: 흡입부
B: 블록체
B1: 베이스 블록
B2: 분사부 형성 블록
B3: 흡입부 형성 블록
B4: 중간 블록
A: 제 1 유체 분산 수용부
R1: 제 1 절곡부
R2: 제 2 절곡부
R3: 제 3 절곡부
R4: 제 4 절곡부
P1: 제 1 유체 공급관
P2: 제 2 유체 공급관
P3: 흡입관
P4: 분기관
P5: 합기관
P6: 제 3 유체 공급관
W: 액막
30: 제 3 유체 액막 형성 장치
31: 내통
32: 외통
33: 분사 슬릿
34: 각도 조절 장치
110: 프레임
120: 블록 고정체
100: 분사 장치
200: 순환계

Claims (11)

  1. 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및
    상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고,
    상기 분사부는 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도로 기울어지게 분사되며,
    상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되고,
    상기 블록체는,
    베이스 블록;
    상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및
    상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;
    을 포함하고,
    상기 분사부는,
    상기 제 1 유체가 유입되는 제 1 유체 유입구가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구를 통해 유입된 상기 제 1 유체가 골고루 분산되도록 제 1 폭을 갖는 제 1 유체 분산 수용부;
    상기 제 1 유체 분산 수용부의 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭으로 형성되는 혼합 유체 토출부;
    상기 제 1 유체 분산 수용부와 상기 혼합 유체 토출부 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체와 상기 제 1 유체의 상기 혼합 유체가 상기 혼합 유체 토출부로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부로 상기 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급부; 및
    상기 혼합 유체 토출부의 말단부에 형성되고, 상기 대상물의 표면에 수직한 방향으로 토출되는 상기 혼합 유체를 상기 제 1 분사 각도까지 유도할 수 있도록 유도 곡면이 형성되고, 상기 제 2 폭보다 넓은 제 3 폭으로 형성되는 유도 곡면부;
    를 포함하는, 분사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 블록은, 전체적으로 단면이 일자 형상으로 형성되고,
    상기 분사부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 하부가 상기 코안다 효과를 유지시키는 유지 구간이 형성되도록 상기 대상물의 표면을 따라 형성되다가 상기 베이스 블록을 따라 1차 절곡된 형상으로 제 1 절곡부가 형성되며, 상기 베이스 블록을 따라 올라와서 상기 베이스 블록과의 사이에 상기 제 1 유체 분산 수용부가 형성되도록 상기 베이스 블록으로부터 멀어지는 방향으로 2차 절곡된 형상으로 제 2 절곡부가 형성되고, 그 상부가 상기 베이스 블록의 상부 방향으로 3차 절곡된 형상으로 제 3 절곡부가 형성되며,
    상기 흡입부 형성 블록은, 전체적으로 단면이 상기 분사부 형성 블록의 하부에서 1차 절곡된 형상으로 제 4 절곡부가 형성되고,
    상기 흡입부 형성 블록과 상기 분사부 형성 블록 사이에 전체적으로 단면이 일자 형상인 중간 블록이 형성되는, 분사 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 블록체는,
    상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 고정시킬 수 있도록 조립된 상기 베이스 블록과, 상기 분사부 형성 블록 및 상기 흡입부 형성 블록을 가압하는 블록 고정체;
    상기 제 2 유체 공급부와 연결되도록 상기 베이스 블록에 형성되는 제 2 유체 공급관;
    상기 제 1 유체 분산 수용부와 연결되도록 상기 분사부 형성 블록에 형성되는 제 1 유체 공급관; 및
    상기 흡입부와 연결되도록 상기 흡입부 형성 블록에 형성되는 흡입관;
    을 포함하는, 분사 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유도 곡면부는, 조립형 블록 또는 각도 조절형 블록에 형성되는, 분사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 유체 분산 수용부의 내부에 형성되고, 상기 제 1 유체와 충돌되어 상기 제 1 유체를 골고루 분산시키는 분산체;
    를 더 포함하는, 분사 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 유체는 적어도 스팀, 순수(deionized water) 스팀, 압축 건조 공기(compressed dry air, CDA), 세정액 스팀 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지고, 상기 제 2 유체는 적어도 물, 순수, 압축 건조 공기, 세정액 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어지는, 분사 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 대상물의 진행 방향을 기준으로 상기 블록체의 전방 또는 상기 전방 및 후방에 설치되고, 상기 이물질을 부유시키는 액막을 형성하기 위해서 상기 대상물 상에서 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체를 결집시킬 수 있도록 상기 대상물에 제 3 유체를 분사하는 제 3 유체 액막 형성 장치;
    를 더 포함하는, 분사 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 3 유체 액막 형성 장치는,
    내부에 상기 제 3 유체를 수용하는 제 3 유체 수용 공간이 형성되고, 복수개의 분사홀이 형성되는 내통; 및
    상기 내통을 둘러싸는 형상으로 상기 내통과 이격되게 형성되고, 상기 분사홀과 어긋난 위치에 분사 슬릿이 형성되는 외통;
    을 포함하는, 분사 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 3 유체 액막 형성 장치는,
    상기 외통의 상기 분사 슬릿의 분사 각도를 조절하는 각도 조절 장치;
    를 더 포함하는, 분사 장치.
  11. 대상물에 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 제 2 유체가 혼합된 혼합 유체를 분사하는 분사부; 및 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 흡입부;를 포함하고, 상기 분사부는 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 따라 흐르는 코안다 효과를 얻을 수 있도록 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 상기 대상물의 표면을 기준으로 제 1 분사 각도로 기울어지게 분사되며, 상기 분사부와 상기 흡입부는 적어도 하나 이상의 블록을 포함하는 블록체에 형성되고, 상기 블록체는, 베이스 블록; 상기 베이스 블록에 조립되고, 상기 베이스 블록과 대향되는 대향면에 상기 분사부가 형성되는 분사부 형성 블록; 및 상기 분사부 형성 블록에 조립되고, 상기 분사부 형성 블록과 대향되는 대향면에 상기 흡입부가 형성되는 흡입부 형성 블록;을 포함하는 분사 장치를 이용한 분사 방법에 있어서,
    상기 분사부를 이용하여 상기 대상물에 상기 제 1 유체 또는 상기 제 1 유체와 상기 제 2 유체가 혼합된 상기 혼합 유체를 분사하는 단계; 및
    상기 흡입부를 이용하여 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체에 의해 상기 대상물로부터 분리된 이물질을 흡입하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 분사부는,
    상기 제 1 유체가 유입되는 제 1 유체 유입구가 형성되고, 상기 제 1 유체 유입구를 통해 유입된 상기 제 1 유체가 골고루 분산되도록 제 1 폭을 갖는 제 1 유체 분산 수용부;
    상기 제 1 유체 분산 수용부의 상기 제 1 유체 또는 상기 혼합 유체가 고압으로 토출될 수 있도록 상기 제 1 폭 보다 좁은 제 2 폭으로 형성되는 혼합 유체 토출부;
    상기 제 1 유체 분산 수용부와 상기 혼합 유체 토출부 사이에 형성되고, 상기 제 2 유체와 상기 제 1 유체의 상기 혼합 유체가 상기 혼합 유체 토출부로 토출될 수 있도록 상기 혼합 유체 토출부로 상기 제 2 유체를 공급하는 제 2 유체 공급부; 및
    상기 혼합 유체 토출부의 말단부에 형성되고, 상기 대상물의 표면에 수직한 방향으로 토출되는 상기 혼합 유체를 상기 제 1 분사 각도까지 유도할 수 있도록 유도 곡면이 형성되고, 상기 제 2 폭보다 넓은 제 3 폭으로 형성되는 유도 곡면부;
    를 포함하는, 분사 방법.
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