KR100857525B1 - 미세 오염물 흡입장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 미세 오염물 흡입장치에 관한 것으로, 미세 오염물이 포함된 공기를 흡입하도록 관통형성된 흡입공과, 상기 흡입공을 통과하여 내부로 도입된 공기가 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 흡입이송로가 구비된 공기흡입부; 상기 공기흡입부와 이격설치되며, 진공흡입력에 의해 공기배출이 가능하도록 진공펌프에 연결되는 펌프연결공과, 내부로 도입된 공기가 상기 펌프연결공측으로 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 배기이송로가 구비된 펌프연결부; 및 상기 공기흡입부의 흡입이송로 및 펌프연결부의 배기이송로에 연통되는 공기이동경로를 형성하도록 상기 공기흡입부 및 펌프연결부에 양단부가 각각 결합되며, 유연성있게 구부러지거나 굴절가능한 플렉서블 튜브 소재로 이루어지는 굴절연결부;를 포함하여 구성됨을 기술적 요지로 하여, 세정대상물의 특성에 따라 분사노즐의 분사각도, 분사거리, 분사유량 등을 조정시킴과 동시에, 공기흡입장치의 흡입각도 및 흡입거리 또한 독립적으로 조정가능하여, 공기분사장치에 의한 세정효율과 공기흡입장치에 의한 흡입효율의 최적화를 용이하게 구현할 수 있는 미세 오염물 흡입장치에 관한 것이다.

세정 건조 청정도 노즐 플렉서블튜브

Description

미세 오염물 흡입장치{Suction device of minute particles}

본 발명은 미세 오염물 흡입장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 극저온 CO₂세정과 같은 건식세정에서 세정대상물로부터 부상한 불순물입자를 흡입하는 진공흡입장치에 관한 것이다.

일반적으로 CCM(Compact Camera Module), 반도체, LCD, PDP와 같은 정밀부품·기기를 가공·생산함에 있어서는, 가공대상물의 표면에 공기를 분사하면서 건식세정하여 불순물 입자를 가공대상물의 표면으로부터 이탈시키거나, 세정액을 이용하여 세정이 이루어진 경우에는 잔류된 세정액을 건조시키는 공정을 함께 거치게 된다.

이러한 세정공정이나 건조공정을 행하는 과정에서 가공대상물의 표면에 부착되어 있던 미세오염물은 가공대상물로부터 이탈되며 공중에 비산되어 공정구역의 공기청정도를 저하시키게 되는데, 이러한 미세오염물을 지속적으로 흡입하는 흡입장치를 구비하지 않으면 한정된 공정구역 내부에서 미세오염물의 비산밀도가 증가함으로 인해 가공대상물의 표면에 재부착되어 불량을 증가시키는 원인이 되었다.

이에 따라, 미세오염물을 흡입하는 흡입장치가 다수 개발되고 있으며, 이러 한 종래기술로써 대한민국특허청 공개특허 제2003-68772호의 엘씨디 패널의 건식 세정 장치에 대해 간단히 설명하기로 한다. 도 1은 상기 종래기술의 구성 및 동작상태를 보인 단면도이고, 도 2는 상기 종래기술의 다른 실시예를 보인 단면도이다.

상기 종래기술은 엘씨디 패널(1)의 글라스 표면에 잔존하는 불순물 입자(P)를 제거하도록 하는 엘씨디 패널의 건식 세정 장치에 있어서, 공급되는 CO₂가스를 냉각하여 액화시키고, 액체상태의 CO₂를 분사 노즐(13)을 통해 드라이 아이스로 분사시키도록 하는 CO₂분사장치(10)와, CO₂와의 마찰에 의해 엘씨디 패널(1)의 표면에 발생되는 정전기를 감쇄시키는 이온화 장치(20)와, CO₂와의 충돌에 의해 엘씨디 패널(1)의 표면으로부터 용해되거나 부상하는 불순물 입자(P)를 진공 흡입하는 백큠장치(30)로 이루어진 구성을 가진다.

상기 종래기술은 상기 백큠장치(30)가 CO₂분사장치(10) 주위에 고정된 위치와 형상을 유지하도록 설치되어 공기흡입단이 상기 분사 노즐(13)과 일정한 상대위치를 가지게 되나, 상기 분사노즐(13)이 분사각도나 분사거리, 분사유량을 변경시키게 될 경우, 상기 백큠장치(30)의 공기흡입단 또한 상기 분사노즐(13)과 동일변위로 이동되면서 가공대상물의 표면으로부터 부상되는 오염물을 효율적으로 흡입시키지 못하게 된다는 문제점이 있었다.

이에 따라, 다양한 형상이나 소재특성을 가지는 가공대상물을 처리함에 있어서, 분사노즐의 분사효율과 오염물의 흡입효율을 최적으로 유지하기 위해서는 각각의 가공대상물에 대해서 분사노즐과 백큠방치의 공기흡입단간의 설치위치 및 형태를 별도로 제작하여야 하므로 생산성이 저하되고 생산단가가 높아지게 되는 문제점 이 따르게 되었다.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 세정대상물의 특성에 따라 분사노즐의 분사각도, 분사거리, 분사유량 등을 조정시킴과 동시에, 공기흡입장치의 흡입각도 및 흡입거리 또한 독립적으로 조정가능하여, 공기분사장치에 의한 세정효율과 공기흡입장치에 의한 흡입효율의 최적화를 용이하게 구현할 수 있는 미세 오염물 흡입장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, 미세 오염물이 포함된 공기를 흡입하도록 관통형성된 흡입공과, 상기 흡입공을 통과하여 내부로 도입된 공기가 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 흡입이송로가 구비된 공기흡입부; 상기 공기흡입부와 이격설치되며, 진공흡입력에 의해 공기배출이 가능하도록 진공펌프에 연결되는 펌프연결공과, 내부로 도입된 공기가 상기 펌프연결공측으로 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 배기이송로가 구비된 펌프연결부; 및 상기 공기흡입부의 흡입이송로 및 펌프연결부의 배기이송로에 연통되는 공기이동경로를 형성하도록 상기 공기흡입부 및 펌프연결부에 양단부가 각각 결합되며, 유연성있게 구부러지거나 굴절가능한 플렉서블 튜브 소재로 이루어지는 굴절연결부;를 포함하여 구성되는 미세 오염물 흡입장치를 기술적 요지로 한다.

여기서, 상기 공기흡입부의 흡입공은, 가압공기를 분사하는 분사노즐의 분사면적 내지 분사형태에 대응되는 형상을 이루도록 다수가 배치형성되는 것이 바람직 하다.

그리고, 상기 분사노즐에는, 원형의 분사면적 내지 세정대상물측으로 갈수록 직경이 확장되는 원뿔형의 분사형태를 형성하는 원형의 분사공이 형성되며, 상기 공기흡입부의 흡입공은, 상기 분사노즐의 분사면적 내지 분사형태에 대응되는 내부관통공간을 가지는 링형상을 이루도록 다수가 배치형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 펌프연결부는, 가압공기를 분사하는 분사노즐에 고정설치되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 분사노즐에는, 외면둘레 내지 하단부에 측방향으로 외향돌출된 돌출턱이 구비되며, 상기 펌프연결부는, 상기 분사노즐의 돌출턱에 걸리거나 접속된 상태로 상기 분사노즐에 정위치 결합되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 굴절연결부는, 상호 일정한 이격거리를 가지는 다수가 구비되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 펌프연결부의 펌프연결공은, 상기 굴절연결부의 단부가 결합되는 튜브연결공 사이에 관통형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 굴절연결부는, 상기 공기흡입부와 펌프연결부의 측면상에 양단부가 각각 고정결합되는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같은 구성에 의한 본 발명은, 굴절연결부를 굽히거나 펴는 조정작동에 의해, 공기흡입부의 흡입거리 및 흡입각도를 세정대상물의 특성과 분사노즐의 설치상태에 따라 최적인 위치와 각도로 용이하게 조정할 수 있다는 효과가 있 다.

그리고, 세정장치나 건조장치에 분사노즐과 함께 설치됨에 있어서, 세정대상물의 특성에 따라 분사노즐의 분사각도, 분사거리, 분사유량 등을 조정시킴과 동시에, 공기흡입부의 흡입각도 및 흡입거리를 분사노즐과 독립적으로 조정가능하여, 공기분사장치에 의한 세정효율과 공기흡입장치에 의한 흡입효율의 최적화를 용이하게 구현할 수 있다는 다른 효과가 있다.

또한, 하나의 공기분사장치 및 공기흡입장치에 의해, 다양한 형태와 소재특성을 가지는 세정대상물 각각의 특성에 맞추어 세정효율과 흡입효율의 최적화를 구현할 수 있어 가공생산성을 향상시키고 생산단가를 낮출 수 있다는 다른 효과가 있다.

또한, 세정효율과 흡입효율의 최적화를 구현함으로써 공정지역의 청정도를 유지하면서 세정공정 내지 건조공정이 안정적으로 이루어질 수 있으며, 세정대상물의 표면으로부터 이탈된 오염물의 재부착으로 인한 제품의 불량율을 낮출 수 있다는 다른 효과가 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 도 3은 본 발명에 따른 미세 오염물 흡입장치의 제1실시예를 도시한 사시도이며, 도 4는 도 3을 다른 각도에서 도시한 사시도이고, 도 5는 도 3의 A-A선 단면도이다.

그리고, 도 6은 본 발명이 분사노즐에 설치된 상태를 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6으로부터 분사노즐과 공기흡입부의 설치상태를 변경시킨 상태를 도시한 사시도이다.

본 발명에 따른 미세 오염물 흡입장치는, 크게 공기흡입부(110), 펌프연결부(120), 굴절연결부(130)로 이루어지며, 상기 공기흡입부(110)를 통해 작업공간내의 오염공기를 흡입하고, 상기 펌프연결부(120)가 진공펌프(미도시)에 연결되어 상기 공기흡입부(110)측으로 진공흡입력을 전달하며, 상기 굴절연결부(130)에 의해 상기 공기흡입부(110)와 펌프연결부(120)가 상대적인 위치변형이 가능하면서도 공기이동경로가 상호 연통되는 구조를 가진다.

상기 공기흡입부(110)는 흡입공(111), 흡입이송로(112)를 구비한 구조를 가지며, 상기 흡입공(111)과 흡입이송로(112)를 일정한 형태 및 형상으로 형성 및 배치가능한 기본프레임을 구비하여, 상기 기본프레임상에 상기 흡입공(111)을 관통형성하고, 상기 흡입공(111)과 연통되도록 상기 기본프레임 내부에 상기 흡입이송로(112)를 연통형성시킨 구조를 가진다.

상기 공기흡입부(110)의 기본프레임은 상기 흡입공(111)과 흡입이송로(112)를 형성가능하고 일정한 형태로 유지시킬 수 있다면, 파이프형상으로 형성되거나, 내부가 빈 박스형상으로 형성되거나, 링형상, 부채꼴형상 내지 직선형 막대형상으로 형성되는 실시예를 포함하여 특정한 구조와 소재로 제한되지 않는다.

상기 흡입공(111)은 작업공간의 공중에 부유하는 미세 오염물의 흡입이 이루어지도록 미세 오염물이 포함된 공기를 상기 흡입이송로(112)측으로 강제흡입·이동시키는 경로를 제공하며, 상기 흡입이송로(112)는 상기 흡입공(111)을 통과하여 내부로 도입된 공기가 상기 펌프연결부(120)측으로 연속이동가능한 연통경로를 형성한다.

본 발명에 따른 미세 오염물 흡입장치가 설치됨에 있어서, 세정대상물 내지 가공대상물의 표면에 가압공기를 분사하는 분사노즐(200)과 함께 설치가 이루어지게 되는 경우, 상기 흡입공(111)은 상기 분사노즐(200)의 분사면적 내지 분사형태를 고려하여 이의 외곽에 대응되는 형상을 이루도록 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 제1실시예에서 상기 흡입공(111)은 원형단면을 가지는 다수가 정간격을 두고 배치된 형상을 가지는데, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 분사노즐(200)이 하나의 원형 분사공(211)을 구비하여 세정대상물측으로 갈수록 직경이 확장되는 원뿔형의 분사형태를 형성하거나 세정대상물상에 원형의 횡단면 분사면적을 형성하게 되는 경우, 상기 흡입공(111)은 상기와 같은 분사면적 및 분사형태를 고려하여 원형의 내부관통공간(110a)을 가지는 링형상 내지 원주형상을 이루도록 배치되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기와 같이 상기 분사노즐(200)이 원뿔형의 분사형태를 가지는 경우, 상기 공기흡입부(110)의 기본프레임의 형상 또한 상기 분사노즐(200)에서 유도하는 공기의 분사흐름을 저해하지 않도록 상기 내부관통공간(110a)이 도 5에 도시된 바와 같이 상기 분사노즐(200)로부터 이격될수록 확장되는 형상을 가지도록 하는 것이 바람직하다.

상기 펌프연결부(120)는 상기 펌프연결공(121)과 배기이송로(122)를 구비하여 상기 공기흡입부(110)와 분리형성된 구조를 가지며, 상기 펌프연결공(121)과 배 기이송로(122)를 일정한 형태 및 형상으로 형성 및 배치가능한 기본프레임을 구비하여, 상기 기본프레임상에 상기 펌프연결공(121)을 관통형성하고, 상기 기본프레임 내부에 상기 펌프연결공(121)과 연통되도록 상기 배기이송로(122)를 연통형성시킨 구조를 가진다.

상기 펌프연결부(120)의 기본프레임은, 상기 공기흡입부(110)의 기본프레임과 마찬가지로, 상기 펌프연결공(121)과 배기이송로(122)를 형성가능하고 일정한 형태로 유지시킬 수 있다면, 파이프형상으로 형성되거나, 내부가 빈 박스형상으로 형성되거나, 링형상, 부채꼴형상 내지 직선형 막대형상으로 형성되는 실시예를 포함하여 특정한 구조와 소재로 제한되지 않는다.

상기 펌프연결공(121)은 상기 공기흡입부(110)를 통해 도입된 오염공기를 진공흡입력에 의해 미세 오염물이 공중에 부유되어 있는 작업공간부와 이격된 별도의 공간부로 강제배출시킬 수 있도록 진공펌프(미도시)에 연결가능한 경로를 제공하며, 상기 배기이송로(122)는 상기 공기흡입부(110)로부터 도입된 공기가 상기 펌프연결공(121)측으로 연속이동가능한 연통경로를 형성한다.

상기 펌프연결부(120)는 상기 공기흡입부(110)측으로 진공흡입력을 전달하는 주요한 기능을 함과 동시에, 상기 굴절연결부(130)(이하 설명)에 연결된 상태로 상기 공기흡입부(110)와 이격된 위치에 설치됨에 따라, 상기 펌프연결부(120)가 특정위치에 고정설치된다면 상기 공기흡입부(110)의 위치나 각도를 변경시킴에 있어서 상기 공기흡입부(110)의 상대위치 및 각도를 결정 및 조정시키는 기준이 된다.

본 발명에 따른 미세 오염물 흡입장치가 설치됨에 있어서, 세정대상물 내지 가공대상물의 표면에 가압공기를 분사하는 분사노즐(200)과 함께 설치가 이루어지게 되는 경우, 상기 펌프연결부(120)를 상기 분사노즐(200)에 고정설치시키면, 상기 펌프연결부(120)와 함께 상기 펌프연결부(120)가 결합된 상기 분사노즐(200) 또한 상기 공기흡입부(110)의 상대위치 및 각도를 결정 및 조정하는 기준이 된다.

상기 분사노즐(200)이 상하방으로 연장되는 기본형상을 가지며 하단에 공기를 분사하는 분사공(211)이 형성된 구조를 가지는 경우, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 분사노즐(200)의 외면둘레 내지 하단부에 측방향으로 외향돌출된 돌출턱(210)을 형성시키고, 상기 펌프연결부(120)를 상기 돌출턱(210)에 걸리거나 접속가능한 형상으로 형성시키면, 상기 펌프연결부(120)를 상기 분사노즐(200)상에 간단하게 정위치 결합시킬 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같은 상태에서 도 7에 도시된 바와 같이 상기 분사노즐(200)의 위치나 각도를 변형시키게 되면 기존에는 상기 공기흡입부(110)가 상기 분사노즐(200)과 동일변위로 이동 및 각도변형이 이루어질 수 밖에 없었으나, 본 발명에 따르면 도 7에 도시된 바와 같이 상기 공기흡입부(110)을 상기 분사노즐(200)을 기준으로 하여 적정한 위치와 각도로 이동 및 변형시킬 수 있다.

상기 굴절연결부(130)는 유연성있게 구부러지거나 임의의 굴절변형이 가능하고 내부에 공기이동경로가 연속형성된 플렉서블 튜브를 소재로 하여, 상기 공기흡입부의 흡입이송로(112) 및 펌프연결부의 배기이송로(122)에 연통되는 공기이동경로를 형성하도록 상기 공기흡입부(110) 및 펌프연결부(120)에 양단부가 각각 결합된 구조를 가진다.

상기 굴절연결부(130)는 하나의 개소로써 상기 공기흡입부(110) 및 펌프연결부(120)를 연결할 수도 있으나, 상기 공기흡입부의 흡입이송로(112) 및 펌프연결부의 배기이송로(122)가 연장된 경로를 가지는 경우, 공기의 흐름이 상기 흡입이송로(112) 및 배기이송로(122) 전반에 걸쳐 고르게 이루어짐으로써 보다 원활한 공기흐름을 유도할 수 있도록, 다수를 상호 일정한 이격거리를 가지도록 설치하는 것이 바람직하다.

본 발명의 제1실시예에서 상기 공기흡입부의 흡입이송로(112) 및 펌프연결부의 배기이송로(122)는 각각 원주형상의 공기이송경로를 형성하고 있으며, 상기 공기흡입부(110)와 펌프연결부(120)에는 상기 굴절연결부(130)의 일단부 및 타단부가 각각 결합가능한 튜브연결공(115, 125)이 상호 120°의 상대각도를 가지는 3개소에 형성되고, 상기 굴절연결부(130)의 일단부 및 타단부는 상기 튜브연결공(115, 125) 각각에 결합된 구조를 가진다.

상기 제1실시예와 같은 구조에서, 오염공기는 원주형상을 이루도록 배치된 다수의 상기 흡입공(111)을 통해 상기 흡입이송로(112)측으로 도입되고, 상기 흡입이송로(112)로 도입된 오염공기는 상기 흡입이송로(112)의 원주형 곡면을 타고 3개의 상기 굴절연결부(130) 중 인접한 위치에 설치되거나 흡입력이 상대적으로 강한 개소를 통해 상기 배기이송로(122)측으로 이동이 이루어지게 된다.

상기 펌프연결부의 펌프연결공(121)을 상기 굴절연결부(130)가 결합되는 상기 펌프연결부의 튜브연결공(125) 사이에 관통형성시키면, 상기 배기이송로(122)로 도입된 오염공기는 상기 배기이송로(122)의 원주형 곡면을 타고 상기 펌프연결 공(121) 중 인접한 위치에 설치되거나 흡입력이 상대적으로 강한 개소를 통해 진공펌프측으로 배기가 이루어지게 된다.

상기 굴절연결부(130)를 설치함에 있어서, 상기 펌프연결부(120)를 기준으로 상기 공기흡입부(110)의 상대위치 및 각도를 임의로 변형가능하고 변형된 형태로 유지가능하면 특정한 구조 및 형태로 제한되지 않으나, 상기 펌프연결부(120)가 상기 분사노즐(200)상에 고정설치되거나 인접하게 설치되는 경우 상기 분사노즐(200)에 의해 유도되는 공기분사흐름을 저해하지 않도록 상기 공기흡입부(110)와 펌프연결부(120)의 측면상에 양단부를 각각 고정시키는 것이 바람직하다.

상기 공기흡입부(110)를 상기 펌프연결부(120)를 기준으로 특정한 상태 위치 및 각도를 가지도록 변위를 형성하면 자연히 상기 굴절연결부(130)가 상기 공기흡입부(110)와 펌프연결부(120)사이에서의 상대적인 거리에 맞추어 굴곡변형이 이루어지게 된다.

이에 따라, 상기 굴절연결부(130)를 직접 가압하여 변형시키거나, 상기 공기흡입부(110)를 지정된 임의의 위치로 변경이동시키는 간단한 동작만으로, 상기 공기흡입부(100)의 흡입거리 및 흡입각도를 세정대상물의 특성과 상기 분사노즐(200)의 설치상태에 따라 최적인 위치와 각도로 용이하게 조정할 수 있다.

본 발명에 따르면 상기 분사노즐(200)의 설치상태와 독립적으로 상기 공기흡입부(110)의 위치 및 각도를 용이하게 조정·변경시킬 수 있어, 다양한 형태와 소재특성을 가지는 세정대상물 각각의 특성에 맞추어 상기 분사노즐(200)을 최적의 형태로 설치함에 따른 세정효율의 향상과 상기 공기흡입부(110)을 최적의 형태로 설치함에 따른 흡입효율의 향상을 함께 구현할 수 있다.

설치위치 및 각도를 변형가능한 분사노즐(200)을 구비한 세정장치 내지 건조장치에 있어서, 본 발명을 추가로 구비하게 되면, 하나의 개소만을 구비하여도 다양한 형태와 소재특성을 가지는 세정대상물을 작업공간의 청정도를 유지하면서 안정적이고 효율적으로 세정처리할 수 있어, 세정대상물에 맞추어 장비를 일일이 교환하거나 재설치할 필요가 없어 가공생산성을 향상시키고 생산단가를 낮출 수 있으며, 세정대상물의 표면으로부터 이탈된 오염물의 재부착으로 인한 제품의 불량율을 낮출 수 있다.

도 1 - 상기 종래기술의 구성 및 동작상태를 보인 단면도

도 2 - 상기 종래기술의 다른 실시예를 보인 단면도

도 3 - 본 발명에 따른 미세 오염물 흡입장치의 제1실시예를 도시한 사시도

도 4 - 도 3을 다른 각도에서 도시한 사시도

도 5 - 도 3의 A-A선 단면도

도 6 - 분사노즐에 설치된 상태를 도시한 사시도

도 7 - 도 6으로부터 분사노즐과 공기흡입부의 설치상태를 변경시킨 상태를 도시한 사시도

<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>

110 : 공기흡입부 110a : 내부관통공간

111 : 흡입공 112 : 흡입이송로

115 : 공기흡입부의 튜브연결공 120 : 펌프연결부

121 : 펌프연결공 122 : 배기이송로

125 : 펌프연결부의 튜브연결공 130 : 굴절연결부

200 : 분사노즐 210 : 돌출턱

211 : 분사공

Claims (8)

1. 미세 오염물이 포함된 공기를 흡입하도록 관통형성된 흡입공과, 상기 흡입공을 통과하여 내부로 도입된 공기가 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 흡입이송로가 구비된 공기흡입부;

   상기 공기흡입부와 이격설치되며, 진공흡입력에 의해 공기배출이 가능하도록 진공펌프에 연결되는 펌프연결공과, 내부로 도입된 공기가 상기 펌프연결공측으로 연속이동가능한 연통경로를 형성하는 배기이송로가 구비된 펌프연결부; 및

   상기 공기흡입부의 흡입이송로 및 펌프연결부의 배기이송로에 연통되는 공기이동경로를 형성하도록 상기 공기흡입부 및 펌프연결부에 양단부가 각각 결합되며, 유연성있게 구부러지거나 굴절가능한 플렉서블 튜브 소재로 이루어지는 굴절연결부;

   를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
2. 제 1항에 있어서, 상기 공기흡입부의 흡입공은,

   가압공기를 분사하는 분사노즐의 공기분사면적 내지 공기분사형태의 외곽에 대응되는 형상을 이루도록 다수가 배치형성됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
3. 제 2항에 있어서,

   상기 분사노즐에는,

   원형의 공기분사면적 내지 세정대상물측으로 갈수록 직경이 확장되는 원뿔형의 공기분사형태를 형성하는 원형의 분사공이 형성되며,

   상기 공기흡입부의 흡입공은,

   상기 분사노즐의 공기분사면적 내지 공기분사형태에 대응되는 내부관통공간을 가지는 원주형상을 이루도록 다수가 배치형성됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
4. 제 1항에 있어서, 상기 펌프연결부는,

   가압공기를 분사하는 분사노즐에 고정설치됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
5. 제 4항에 있어서,

   상기 분사노즐에는,

   외면둘레 내지 하단부에 측방향으로 외향돌출된 돌출턱이 구비되며,

   상기 펌프연결부는,

   상기 분사노즐의 돌출턱에 걸리거나 접속된 상태로 상기 분사노즐에 정위치 결합됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
6. 제 1항에 있어서, 상기 굴절연결부는,

   상호 일정한 이격거리를 가지는 다수가 구비됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
7. 제 6항에 있어서, 상기 펌프연결부의 펌프연결공은,

   상기 굴절연결부의 단부가 결합되는 튜브연결공 사이에 관통형성됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치
8. 제1항에 있어서, 상기 굴절연결부는,

   상기 공기흡입부와 펌프연결부의 측면상에 양단부가 각각 고정결합됨을 특징으로 하는 미세 오염물 흡입장치

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